CN103075515A - 用于箱体间的密封定位台 - Google Patents

Abstract

本发明涉及密封定位台的设计领域，尤其涉及用于箱体间的密封定位台。本发明提供了用于箱体间的密封定位台，包括定位座和若干密封夹紧组件，在所述定位座上设置定位槽，通过定位槽实现对并排的各箱体的基本定位；在所述定位槽上开设成对设置于定位槽两侧壁的卡槽，配合卡条的使用，一方面可实现对各箱体的夹紧定位作用，一方面可使本发明的密封定位台能够适应不同箱体个数的定位需求；此外，通过密封夹紧组件的密封作用，实现两相邻箱体之间缝隙的密封。其采用结构简洁的设计方式，实现了并排设置的箱体间的定位和密封的设计效果，可适应不同工艺需求的半导体制造流程的要求，为实现半导体集成密封制造系统的模块化提供必要的准备与前提。

Description

用于箱体间的密封定位台

技术领域

本发明涉及密封定位台的设计领域，尤其涉及用于箱体间的密封定位台。

背景技术

目前半导体基本一般采用半导体集成密封制造系统完成，由于半导体的制造过程中每一道工序均需在密封条件下完成，且在完成每一工序后无需取出，且对取出后的环境同样的密封的严格要求，因此造成设备厂房规模较大，制造难度较大和成本较高。目前半导体制造企业一般都要耗费大量的人力和物力建设厂房，投资建设一个完整的半导体集成密封制造系统通常要花费几千万乃至上亿的投资，且厂房的建设周期通常要耗时几年。因此半导体制造行业入行门槛较高，且投资风险巨大。

要避免因建设大型厂房而造成投资风险，可采用将半导体制造过程中的每一工序变成由若干箱体串接而成的模块化处理，由每一个密封箱体完成一个工序，由若干个串接的密封箱体完成一个完整的工艺流程。因此，如何构建相互串接的箱体间的密封连接及定位成为构建半导体集成密封制造系统模块化的首要问题。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之缺陷，旨在提供用于箱体间的密封定位台，同时降低整个定位台的制造成本，为实现半导体集成密封制造系统的模块化提供必要的准备。

本发明是这样实现的，用于箱体间的密封定位台，包括定位座和若干密封夹紧组件，所述定位座上设有可放置并排设置的若干待定位箱体的定位槽，所述定位槽为长条状，所述定位槽长度方向的两侧壁契合待定位箱体底部的侧边，所述定位槽宽度方向的两侧壁契合若干并排放置后的待定位箱体底部的侧边，所述定位槽长度方向的两侧壁相对的位置设有若干成对布置的卡槽，位于同一侧壁上的两相邻所述卡槽的间距等于一待定位箱体侧边的长度，该密封定位台还包括一可卡合于任一对所述卡槽内的卡条；各所述密封夹紧组件包括第一夹紧板和第二夹紧板，所述第一夹紧板的一端固定于所述定位槽长度方向的第一侧壁，所述第二夹紧板的一端固定于所述定位槽长度方向的第一侧壁相对设置的第二侧壁，所述第一夹紧板和第二夹紧板围合于两相邻的待定位箱体相接触处的外围，且通过扣紧机构连接。

具体地，所述扣紧机构包括固定于所述第一夹紧板上的扣座和固定于所述第二夹紧板上的扣台，所述扣座和扣台位于待定位箱体的同一侧壁，所述扣座上设有扣位，所述扣台上设有可相对于所述扣台转动的第一旋转件，所述第一旋转件上设有可相对于所述第一旋转件转动的第二旋转件，所述第二旋转件一端扣合于所述扣座的扣位。

具体地，所述扣座的扣位背向所述扣台。

具体地，所述第一旋转件背向所述扣座由其本体上延伸出一松紧手柄。

具体地，所述第一夹紧板的一端具有贴合于所述第二夹紧板的一端表面的贴合部，所述贴合部与所述第一夹紧板主体之间设有一断面呈弧形的过渡折边。

具体地，所述第一夹紧板、第二夹紧板与待定位的两相邻箱体相接触处共同形成一凹槽结构，所述凹槽结构内设有密封胶条。

具体地，所述定位槽由固定于所述定位座上的凸条组件围合而成，所述第一夹紧板和第二夹紧板分别固定于所述凸条组件长度方向的两侧。

具体地，所述凸条组件包括分别位于所述定位座两侧向的两限位凸条及分别位于所述定位座两长度方向的若干密封凸条，位于同一侧的两相邻的密封凸条之间设有形成所述卡槽的间隙。

具体地，各所述密封凸条上设有供所述第一夹紧板的一端和第二夹紧板的一端插入的定位开槽，该定位开槽的侧向上设有凸条通孔，所述第一夹紧板和第二夹紧板上分别设有与所述凸条通孔适配的夹紧通孔，相互对应的凸条通孔与所述夹紧通孔设有紧固件。

本发明的有益效果：本发明提供的用于箱体间的密封定位台，针对半导体集成制造过程中各个工序依次串接，半导体集成制造系统模块化设计后各箱体之间优先采用并排设置的特点，设置长条状的定位槽与之适应，同时在所述定位槽长度方向的两侧壁设置成对设置的卡槽，并配备一可卡合于任一对所述卡槽内的卡条，且位于同一侧壁上的两相邻所述卡槽的间距等于一待定位箱体侧边的长度，因此在设计所述定位槽长度方向上的尺寸时，可预留比较多对的卡槽，如此使构成半导体集成制造系统的各模块化的箱体的数量可以依据设计的需要进行适当的增减，而无需更换不同的定位台；显然当两箱体并排设置后，两箱体相接触的接触面必存在细微的缝隙，由于半导体集成制造过程中对密封有特殊的要求，对此，本发明通过在两相邻的待定位箱体相接触处的外围设置第一夹紧板和第二夹紧板，通过第一、第二夹紧板的密封作用，实现两相邻的箱体之间的密封，同时通过扣紧机构提高所述第一夹紧板和第二夹紧板之间连接的紧固程度。

附图说明

图1是本发明一优选实施例的结构示意图；

图2是图1安装箱体后的结构示意图；

图3是图1的局部放大图A；

图4是扣紧机构的结构示意图；

图5是图1的右向侧视图；

图6是箱顶板的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参照图2，本实施例以对七个外轮廓大小相等的立方体结构的箱体的密封定位为例，介绍本发明的特点。其中，各所述箱体3并排设置，各所述箱体3依次为第一隔离舱31、清洗模块32、第二隔离舱33、干燥模块34、第三隔离舱35、PVD模块36及第四隔离舱37。

请参照图1~2，用于箱体间的密封定位台，包括定位座1和若干密封夹紧组件2，所述定位座1上设有可放置并排设置的若干待定位箱体3的定位槽11，所述定位槽11为长条状，所述定位槽11长度方向的两侧壁契合待定位箱体3底部的侧边，所述定位槽11宽度方向的两侧壁契合若干并排放置后的待定位箱体3底部的侧边，具体地，所述定位槽11为长条状的矩形槽，所述第一隔离舱31底面的三侧边分别抵顶所述定位槽11的一横向侧壁及两纵向侧壁，如此，实现对所述第一隔离舱31三侧边及底面的定位，从而达到对所述第一隔离舱31的定位。此后，其余各箱体按照清洗模块32、第二隔离舱33、干燥模块34、第三隔离舱35、PVD模块36及第四隔离舱37的次序依次安装到所述定位座1上，至此便完成了各所述箱体3的基本定位。

请参照图1~2，为防止位于侧边的第四隔离舱37沿如图所示的左侧滑移，所述定位槽11长度方向的两侧壁相对的位置设有若干成对布置的卡槽12，位于同一侧壁上的两相邻所述卡槽12的间距等于一待定位箱体3侧边的长度，该密封定位台还包括一可卡合于任一对所述卡槽12内的卡条4。如此，在完成所述第四隔离舱37的定位安装后，可以通过所述卡条4卡合位于所述第四隔离舱37右侧的卡槽12内，从而实现各所述箱体3的夹紧定位。在半导体的制造过程中，常常会对不同的产品需求而调整工艺流程，而工艺流程的调整则势必导致工艺步骤的增删。在本发明的工作台中，为适应上述调整需求，所述定位槽11长度方向的两侧壁相对的位置设有若干成对布置的卡槽12，位于同一侧壁上的两相邻所述卡槽12的间距等于一待定位箱体3侧边的长度，并配置一可卡合于任一对所述卡槽12内的卡条4。如此，无论所述箱体3的数量如何变化，只要适当的余留较多的成对设置卡槽12，即可使本发明的工作台适应不同箱体3数量的变化，由此可见本发明通常采用简洁设计方式，使工作台获得良好的定位夹紧效果，同时具备较大的适应性。

请参照图1~2，由于各所述箱体3并排设置后，相邻两箱体之间必存在一定的连接缝隙，而半导体的制造过程中每一道工序均需在密封条件下完成，为此，各所述密封夹紧组件2包括第一夹紧板21和第二夹紧板22，所述第一夹紧板21的一端固定于所述定位槽11长度方向的第一侧壁，所述第二夹紧板22的一端固定于所述定位槽11长度方向的第二侧壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁相对，所述第一夹紧板21和第二夹紧板22围合于两相邻的待定位箱体3相接触处的外围，所述第一夹紧板21与第二夹紧板22之间通过扣紧机构5连接。如此，通过第一夹紧板21和第二夹紧板22围合于两相邻的所述箱体3相接触处，实现了相邻两箱体之间连接缝隙的密封，此外为方便操作人员的处理，采用扣紧机构5以实现所述第一夹紧板21与第二夹紧板22之间的快速连接。

综上所述，本发明的工作台采用结构简洁的设计方式，实现了并排设置的箱体间的定位和密封的设计效果，同时可适应不同工艺需求的半导体制造流程的要求，为实现半导体集成密封制造系统的模块化提供必要的准备与前提。

请参照图4，在本实施例中，所述扣紧机构5包括固定于所述第一夹紧板21上的扣座51和固定于所述第二夹紧板22上的扣台52，所述扣座51和扣台52位于待定位箱体3的同一侧壁，所述扣座51上设有扣位511，所述扣台52上设有可相对于所述扣台52转动的第一旋转件53，所述第一旋转件53上设有可相对于第一旋转件53转动的第二旋转件54，所述第二旋转件54一端扣合于所述扣座51的扣位511。如此，可通过改变所述第一旋转件53与所述扣台52的角度关系，达到控制所述第二旋转件54对所述扣座51的扣位511的扣紧程度，以控制所述第一夹紧板21与第二夹紧板22之间的夹紧关系。具体地，所述扣座51的扣位511背向所述扣台52，如此可使所述第二旋转件53与所述扣位511获得较佳的扣紧角度，从而获得较大的扣紧力。其中，所述扣位511为一开口弧形结构，且该弧形结构开口背向所述扣台52，如此能够保证所述第二旋转件53与所述扣座51具有较佳扣紧效果。更具体地，为方便操作人员对所述扣紧机构5松紧状态的调整，所述第一旋转件53背向所述扣座51由其本体上延伸出一松紧手柄531，如此操作人员可通过操控所述松紧手柄531，从而达到对所述扣紧机构5的松紧状态的控制。

请参照图5，在本实施例中，所述第一夹紧板21的一端具有贴合于所述第二夹紧板22的一端表面的贴合部211，所述贴合部211与所述第一夹紧板21主体之间设有一断面呈弧形的过渡折边212。如此，当所述扣紧机构5处于夹紧状态时，能够保证所述第一夹紧板21与所述第二夹紧板22相互连接处表面呈自然过渡。当然，如果亦进一步加强所述第一夹紧板21与所述第二夹紧板22对相邻两箱体的密封效果，可使所述扣紧机构5处于夹紧状态时，所述第二夹紧板22的末端抵顶所述过渡折边212，如此可以避免第一夹紧板21与第二夹紧板22相互连接处出现未曾密封的间隙。

请参照图5和图6，其中，所述第一夹紧板21由与所述第一侧壁连接的侧壁板213、设于所述箱体3上方的箱顶板214及与所述第二夹紧板22连接的连接板215组成，所述侧壁板213、箱顶板214及所述连接板依次相互连接，且各段相互连接点位于所述箱体3两侧面与顶面的转折处。同时，为保证所述侧壁板213与所述箱顶板214相互连接处、所述箱顶板214与连接板215相互连接处具有良好的密封效果，所述箱顶板214的宽度大于所述侧壁板213和连接板215的宽度，所述箱顶板214两端的中间位置分别开设有与所述侧壁板213和连接板215的宽度相等的开口2141，各所述开口2141的两侧弯圈成圆形的第一定位孔2142；与此适应的，所述侧壁板213和连接板215与所述箱顶板214连接的一端分别弯圈成圆形的第二定位孔2143，安装时，所述侧壁板213和连接板215由所述箱顶板214的开口2141穿过并抵顶所述开口2141的侧壁，且所述第二定位孔2143与所述第一定位孔2142对齐，并向所述第一定位孔2142与所述第二定位孔2143内插入连接销（图中未画出）。如此，一方面可方便所述第一连接件21的制作，另一方面可使所述第一连接件21的各组成部分获得良好的密封效果。

请参照图2，在本实施例中，所述第一夹紧板21、第二夹紧板22与待定位的两相邻箱体相接触处共同形成一凹槽结构，所述凹槽结构内设有密封胶条。具体地，相邻两所述箱体相接触的侧面的周边分别设有大小相等、位置相同的半槽，所述凹槽结构由相邻两所述箱体的半槽拼合而成。在安装时，密封胶涂抹于所述凹槽结构内以形成所述密封胶条。如此，可以加强所述第一夹紧板21和第二夹紧板22对两相邻箱体接触侧面的密封效果。

请参照图1~3，在本实施例中，所述定位槽11由固定于所述定位座1上的凸条组件13围合而成，所述第一夹紧板21和第二夹紧板22分别固定于所述凸条组件13长度方向的两侧。具体地，所述凸条组件13包括分别位于所述定位座1两侧向的两限位凸条131及分别位于两长度方向的若干密封凸条132，同于一侧两相邻的密封凸条132之间设有形成所述卡槽12的间隙。当然，所述定位槽11的形成方式亦可以采用在所述定位座1上采用去除材料的加工方式获得，在本发明中对此没有限定。本发明采用凸条组件13围合而成，是基于对加工成本的控制考虑的。

请参照图3，在本实施例中，各所述密封凸条132上设有供所述第一夹紧板21的一端和第二夹紧板22的一端插入的定位开槽1321，设定位开槽1321的侧向上设有凸条通孔1322，所述第一夹紧板21和第二夹紧板22上分别设有与所述凸条通孔1322适配的夹紧通孔（图中未画出），相互对应的凸条通孔1322与所述夹紧通孔设有紧固件（图中未画出）。如此，可通过简易可行的方式，实现所述第一夹紧板21和第二夹紧板22分别与所述密封凸条132的固定连接。其中，所述定位开槽1321设于所述密封凸条132紧贴所述箱体3的槽壁上，如此可使所述第一夹紧板21和第二夹紧板22插入后其端部与各所述箱体3的侧面紧贴，以达到更佳的密封效果。

以上所述仅为本发明较佳的实施例而已，其结构并不限于上述列举的形状，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.用于箱体间的密封定位台，其特征在于：包括定位座和若干密封夹紧组件，所述定位座上设有可放置并排设置的若干待定位箱体的定位槽，所述定位槽为长条状，所述定位槽长度方向的两侧壁契合待定位箱体底部的侧边，所述定位槽宽度方向的两侧壁契合若干并排放置后的待定位箱体底部的侧边，所述定位槽长度方向的两侧壁相对的位置设有若干成对布置的卡槽，位于同一侧壁上的两相邻所述卡槽的间距等于一待定位箱体侧边的长度，该密封定位台还包括一可卡合于任一对所述卡槽内的卡条；各所述密封夹紧组件包括第一夹紧板和第二夹紧板，所述第一夹紧板的一端固定于所述定位槽长度方向的第一侧壁，所述第二夹紧板的一端固定于所述定位槽长度方向的第一侧壁相对设置的第二侧壁，所述第一夹紧板和第二夹紧板围合于两相邻的待定位箱体相接触处的外围，且通过扣紧机构连接。

2.根据权利要求1所述的用于箱体间的密封定位台，其特征在于：所述扣紧机构包括固定于所述第一夹紧板上的扣座和固定于所述第二夹紧板上的扣台，所述扣座和扣台位于待定位箱体的同一侧壁，所述扣座上设有扣位，所述扣台上设有可相对于所述扣台转动的第一旋转件，所述第一旋转件上设有可相对于所述第一旋转件转动的第二旋转件，所述第二旋转件一端扣合于所述扣座的扣位。

3.根据权利要求2所述的用于箱体间的密封定位台，其特征在于：所述扣座的扣位背向所述扣台。

4.根据权利要求2所述的用于箱体间的密封定位台，其特征在于：所述第一旋转件背向所述扣座由其本体上延伸出一松紧手柄。

5.根据权利要求2所述的用于箱体间的密封定位台，其特征在于：所述第一夹紧板的一端具有贴合于所述第二夹紧板的一端表面的贴合部，所述贴合部与所述第一夹紧板主体之间设有一断面呈弧形的过渡折边。

6.根据权利要求1~5任一项所述的用于箱体间的密封定位台，其特征在于：所述第一夹紧板、第二夹紧板与待定位的两相邻箱体相接触处共同形成一凹槽结构，所述凹槽结构内设有密封胶条。

7.根据权利要求1所述的用于箱体间的密封定位台，其特征在于：所述定位槽由固定于所述定位座上的凸条组件围合而成，所述第一夹紧板和第二夹紧板分别固定于所述凸条组件长度方向的两侧。

8.根据权利要求7所述的用于箱体间的密封定位台，其特征在于：所述凸条组件包括分别位于所述定位座两侧向的两限位凸条及分别位于所述定位座两长度方向的若干密封凸条，位于同一侧的两相邻的密封凸条之间设有形成所述卡槽的间隙。

9.根据权利要求8所述的用于箱体间的密封定位台，其特征在于：各所述密封凸条上设有供所述第一夹紧板的一端和第二夹紧板的一端插入的定位开槽，该定位开槽的侧向上设有凸条通孔，所述第一夹紧板和第二夹紧板上分别设有与所述凸条通孔适配的夹紧通孔，相互对应的凸条通孔与所述夹紧通孔设有紧固件。

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