CN103014650B - 蒸发台用的圆片放置夹具 - Google Patents
蒸发台用的圆片放置夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103014650B CN103014650B CN201210584442.6A CN201210584442A CN103014650B CN 103014650 B CN103014650 B CN 103014650B CN 201210584442 A CN201210584442 A CN 201210584442A CN 103014650 B CN103014650 B CN 103014650B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- arm
- disk
- clamp
- placing clamp
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明属于集成电路制造技术领域,是一种圆片背面金属化工艺用的夹具,具体地说是一种蒸发台用的圆片放置夹具,包括内沿设置台阶的环状本体,所述台阶上转动设置若干个环形手臂,特征在于:所述环形手臂包括上臂,上臂上设置有滑槽,紧定螺栓将下臂固定连接于滑槽下端,所述下臂端部设置圆片台阶。本发明蒸发台用的圆片放置夹具在不改变现有设备构造、不增加设备负担的前提下,为多种尺寸的硅片同时进行背面金属化工艺,提供了较好的解决办法,在减少运行成本及贵重靶材消耗的同时,工艺可靠性也能得到保证,可操作性强,本发明结构简单、巧妙、合理,可以有效装载不同尺寸规格的圆片。
Description
技术领域
本发明属于集成电路制造技术领域,是一种圆片背面金属化工艺用的夹具,具体地说是一种蒸发台用的圆片放置夹具。
背景技术
目前,在圆片背面金属化工艺过程当中,真空蒸发台所使用的夹具只能装载与夹具本身尺寸相对应的圆片,在使用的灵活性上受到很大限制。
实际操作过程中,当同时有两种或两种以上尺寸规格的圆片需要进行背面金属化时,只能先对其中一种尺寸规格的圆片进行工艺,然后再对另一种尺寸规格的圆片进行工艺,以此类推,通过这样反复多次的工艺来完成所有的加工需求。这样多批次的重复性作业,不仅大大增加了人力、动力等运营成本,对于贵重靶材的重复性消耗,更是对资源的极大浪费。
如果可以通过设计一种夹具,在不改变现有设备结构的情况下就能应对上述提及的情况,显然是非常有好处的。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足,提供一种结构简单、巧妙、合理的蒸发台用的圆片放置夹具,该夹具可以柔性装载不同尺寸的圆片,使用灵活,应用范围较广。
按照本发明提供的技术方案:一种蒸发台用的圆片放置夹具,包括圆片保护盖、内沿设置台阶的环状本体,所述台阶上转动设置若干个环形手臂,特征在于:所述环形手臂包括上臂,上臂上设置有滑槽,紧定螺栓将下臂固定连接于滑槽下端,所述下臂端部设置圆片台阶。
作为本发明的进一步改进,所述环状本体的台阶沿圆周方向均布定位孔,定位栓将环形手臂的上臂固定于台阶的定位孔中,所述定位栓下端部通过定位栓销子卡紧。
作为本发明的进一步改进,所述环形手臂的弧度与环状本体的弧度相同。
作为本发明的进一步改进,所述下臂上设置有螺纹孔,紧定螺栓下端旋紧在螺纹孔中。
本发明与现有技术相比,优点在于:本发明蒸发台用的圆片放置夹具在不改变现有设备构造、不增加设备负担的前提下,为多种尺寸的硅片同时进行背面金属化工艺,提供了较好的解决办法,在减少运行成本及贵重靶材消耗的同时,工艺可靠性也能得到保证,可操作性强,本发明结构简单、巧妙、合理,可以有效装载不同尺寸规格的圆片。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的使用状态结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图1、2所示,包括环状本体1、台阶2、环形手臂3、上臂4、下臂5、定位栓6、滑槽7、紧定螺栓8、圆片台阶9、定位栓销子10、圆片保护盖11、 圆片12、定位孔13、螺纹孔14。
如图1、2所示,本发明是一种蒸发台用的圆片放置夹具,包括圆片保护盖11、内沿设置台阶2的环状本体1,所述台阶2上转动设置若干个环形手臂3,所述环形手臂3包括上臂4,上臂4上设置有滑槽7,紧定螺栓8将下臂5固定连接于滑槽7下端,所述下臂5端部设置圆片台阶9。
所述环状本体1的台阶2沿圆周方向均布定位孔13,定位栓6将环形手臂3的上臂4固定于台阶2的定位孔13中,所述定位栓6下端部通过定位栓销子10卡紧。
所述环形手臂3的弧度与环状本体1的弧度相同。
所述下臂5上设置有螺纹孔14,紧定螺栓8下端旋紧在螺纹孔14中。
如图1、2所示,将本发明通过行星架上的弹簧片固定后,可以根据不同尺寸规格的圆片12,对该夹具上臂4、下臂5的相对位置作出调整,具体是:将环形手臂3向内旋转90°,根据圆片12的尺寸规格,松开紧定螺栓8,在滑槽7中,拉出下臂5至适当位置后,旋紧紧定螺栓8,插入定位栓6固定环形手臂3,在定位栓6的底部通过定位栓销子10卡紧,在调整好夹具后,根据将圆片12图形面朝上放置于环形本体1的圆片台阶9上,盖上圆片保护盖11即可。
本发明蒸发台用的圆片放置夹具在不改变现有设备构造、不增加设备负担的前提下,为多种尺寸的硅片同时进行背面金属化工艺,提供了较好的解决办法,在减少运行成本及贵重靶材消耗的同时,工艺可靠性也能得到保证,可操作性强,本发明结构简单、巧妙、合理,可以有效装载不同尺寸规格的圆片。
Claims (1)
1. 一种蒸发台用的圆片放置夹具,包括内沿设置台阶(2)的环状本体(1),所述台阶(2)上转动设置若干个环形手臂(3),其特征在于:还包括圆片保护盖(11),所述环形手臂(3)包括上臂(4),上臂(4)上设置有滑槽(7),紧定螺栓(8)将下臂(5)固定连接于滑槽(7)下端,所述下臂(5)端部设置圆片台阶(9);
所述环状本体(1)的台阶(2)上沿圆周方向均布定位孔(13),定位栓(6)将环形手臂(3)的上臂(4)固定于台阶(2)的定位孔(13)中,所述定位栓(6)下端部通过定位栓销子(10)卡紧;
所述下臂(5)上设置有螺纹孔(14),紧定螺栓(8)下端旋紧在螺纹孔(14)中;
所述环形手臂(3)的弧度与环状本体(1)的弧度相同。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210584442.6A CN103014650B (zh) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 蒸发台用的圆片放置夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210584442.6A CN103014650B (zh) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 蒸发台用的圆片放置夹具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103014650A CN103014650A (zh) | 2013-04-03 |
CN103014650B true CN103014650B (zh) | 2014-12-03 |
Family
ID=47963758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210584442.6A Active CN103014650B (zh) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 蒸发台用的圆片放置夹具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103014650B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110646430A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-01-03 | 太极半导体(苏州)有限公司 | 一种晶圆检验治具 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5033538A (en) * | 1989-05-08 | 1991-07-23 | Balzers Aktiengesellschaft | Workpiece carrier for a disk-shaped workpiece as well as a vacuum process space |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005118913A (ja) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Hemmi Slide Rule Co Ltd | 薄円盤の保持装置 |
-
2012
- 2012-12-28 CN CN201210584442.6A patent/CN103014650B/zh active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5033538A (en) * | 1989-05-08 | 1991-07-23 | Balzers Aktiengesellschaft | Workpiece carrier for a disk-shaped workpiece as well as a vacuum process space |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103014650A (zh) | 2013-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW201926736A (zh) | 獨立驅動的薄膜分離機構 | |
US10145614B2 (en) | Furnace door sealing device for low-pressure diffusion furnace | |
CN203055888U (zh) | 电子元器件芯片固定夹具 | |
CN207642687U (zh) | 一种135°接头车削装夹定位装置 | |
CN214816602U (zh) | 一种便捷换件的三爪夹具 | |
CN103014650B (zh) | 蒸发台用的圆片放置夹具 | |
CN203853793U (zh) | 机床的旋转工作台 | |
CN103659366A (zh) | 钻孔定位工装 | |
CN207800576U (zh) | 一种槽内花篮定位结构 | |
CN109623444A (zh) | 一种大型锥形回转体的可调节铣削夹具 | |
CN203900527U (zh) | 用于夹持异形工件的工装夹具 | |
CN206622897U (zh) | 一种高精度辅助夹具 | |
CN104002266B (zh) | 一种浮动式4自由度调心装置及其使用方法 | |
CN207606296U (zh) | 一种三爪卡盘装夹夹具及支撑装置 | |
CN204308810U (zh) | 一种汽车零部件工装夹具 | |
CN106002220A (zh) | 一种汽车紧固件自动机械手装配装置 | |
CN107091775B (zh) | 一种柔性试验夹具及使用方法 | |
CN202119233U (zh) | 一种新型的硅片甩干机内筒结构 | |
CN201728536U (zh) | 一种高效定位加工装置 | |
CN204171607U (zh) | 一种汽车焊装生产线及其固定装置 | |
CN204209216U (zh) | 一种平切活塞连杆时用于固定连杆的夹具 | |
CN204053774U (zh) | 一种齿轮室盖加工用夹持装置 | |
CN208117556U (zh) | 一种用于夹持蓝宝石晶棒的旋转工作平台 | |
CN105817778A (zh) | 新型双向可夹可胀快速紧固机构 | |
CN203390582U (zh) | 一种镗孔夹具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |