CN102956845A

CN102956845A - 屏蔽以及有机发光材料层的制作方法

Info

Publication number: CN102956845A
Application number: CN2012103873104A
Authority: CN
Inventors: 张锡明
Original assignee: CPT Video Wujiang Co Ltd; Chunghwa Picture Tubes Ltd
Current assignee: Suzhou Shengze Science And Technology Pioneer Park Development Co ltd
Priority date: 2012-10-12
Filing date: 2012-10-12
Publication date: 2013-03-06
Anticipated expiration: 2032-10-12
Also published as: CN102956845B

Abstract

一种屏蔽，包括多个第一开口列以及多个第二开口列。各第一开口列包括排成一列的多个第一开口。位于不同第一开口列中的第一开口在行方向上对齐。各第二开口列包括排成一列的多个第二开口。位于不同第二开口列中的第二开口在行方向上对齐。第一开口列与第二开口列交替设置且任一第二开口列位于两相邻的第一开口列之间。第一开口与第二开口在列方向上交错。

Description

屏蔽以及有机发光材料层的制作方法

技术领域

本发明是有关于一种屏蔽以及一种发光材料层的制作方法，且特别是有关于一种具有多个开口列的屏蔽以及一种使用该屏蔽的有机发光材料层的制作方法。

背景技术

在现行图案化制程中，常藉由屏蔽搭配镀膜制程来形成图案化膜层。以用来形成有机发光材料层的屏蔽为例，屏蔽包括屏蔽主体以及配置于屏蔽主体中的多个长条状开口，该些长条状开口在行方向上排列且各长条状开口几乎延伸至屏蔽主体的边缘。当搭配蒸镀制程时，可经由屏蔽的每个长条状开口蒸镀出一个长条状单色图案，因此制作出包括交替排列的多色图案的有机发光层。

然而，当屏蔽具有如上述的多个开口时，位于中央处的屏蔽主体容易因外部拉力及其整体重量而下垂，使得中央处的屏蔽主体相较于周边处的屏蔽主体与待镀物的距离不同。如此一来，导致蒸镀出来的长条状单色图案会有中央宽于两侧的失真形状，影响图案的均匀性与精确度。

为解决上述问题，有人提出以多个长度较短但彼此紧邻的开口来替代单一个长条形开口，使得开口之间具有提供支撑性的屏蔽主体，进而避免屏蔽发生上述下垂或变形等情况。然而，由于这些开口之间具有屏蔽主体，因此经由这些开口蒸镀出来的多个图案之间会具有间隙，导致图案无法紧密接续配置。如此一来，将此屏蔽用于制作有机发光层时，多个单色图案之间会有显著的间隙存在，可能影响有机发光装置的光学质量。

发明内容

本发明提供一种屏蔽，其具有稳固的结构且能用以形成多个紧密接续配置的图案。

本发明提供一种有机发光材料层的制作方法，其中有机发光材料层包括藉由上述屏蔽制作的紧密接续配置的单色图案。

本发明提出一种屏蔽，包括多个第一开口列以及多个第二开口列。各第一开口列包括排成一列的多个第一开口。位于不同第一开口列中的第一开口在行方向上对齐，其中各第一开口具有第一长度，位于同一列的两相邻第一开口之间具有第一间距。各第二开口列包括排成一列的多个第二开口。位于不同第二开口列中的第二开口在行方向上对齐，其中各第二开口具有第二长度，位于同一列的两相邻第二开口之间具有第二间距。第一开口列与第二开口列交替设置且任一第二开口列位于两相邻第一开口列之间，第一开口与第二开口在列方向上交错。

在本发明的一实施例中，上述的第一间距等于或大于第二长度，第二间距等于或大于第一长度。

在本发明的一实施例中，上述的第一开口具有第一宽度。第二开口列相对于第一开口列于列方向上偏移第一距离。第一距离大于或等于第一长度，且第一距离小于或等于第一长度加上第一间距与第二长度之差。第二开口列相对于第一开口列于行方向上偏移第二距离。第二距离大于或等于三倍的第一宽度。

本发明提出一种屏蔽，包括多个第一开口列以及多个第二开口列。各第一开口列包括排成一列的多个第一开口。位于不同第一开口列中的第一开口在行方向上对齐，其中各第一开口具有第一长度，位于同一列的两相邻第一开口之间具有第一间距。各第二开口列包括排成一列的多个第二开口。位于不同第二开口列中的第二开口在行方向上对齐，其中各第二开口具有第二长度，位于同一列的两相邻第二开口之间具有第二间距。第一开口列与第二开口列交替设置且任一第二开口列位于两相邻第一开口列之间，第一开口与第二开口在列方向上至少部分重迭。

在本发明的一实施例中，上述的第一开口具有第一宽度。第二开口列相对于第一开口列于列方向上偏移第一距离。第一距离小于第一长度。第二开口列相对于第一开口列于行方向上偏移第二距离，第二距离大于或等于三倍的第一宽度。

本发明还提出一种有机发光材料层的制作方法。此制作方法包括于基板上形成第一颜色图案，此步骤如下所述。首先，提供基板，基板包括多个第一区域，各第一区域包括在列方向上交替配置的多个第一次区域与多个第二次区域。第一次区域与第二次区域之间具有间隙或紧密连接。接着，于基板上提供前述的屏蔽。第一开口与第二开口暴露出第一次区域。第二次区域被屏蔽遮蔽。然后，经由第一开口与第二开口，于基板的各第一次区域上形成第一次图案。而后，于各第二次区域上形成第二次图案，其中第一次图案与第二次图案之间具有间隙或紧密连接。第一颜色图案包括第一次图案与第二次图案。

在本发明的一实施例中，上述的于各第二次区域上形成第二次图案的步骤如下所述。首先，移动屏蔽，使屏蔽的第一开口与第二开口暴露出第二次区域，且位于第一次区域的第一次图案被屏蔽遮蔽。接着，经由第一开口与第二开口，于基板的各第二次区域上形成第二次图案。

在本发明的一实施例中，上述的于各第二次区域上形成第二次图案的步骤如下所述。首先，移除屏蔽。接着，于基板上提供前述的另一屏蔽，此屏蔽的第一开口与第二开口暴露出第二次区域，且位于第一次区域的第一次图案被屏蔽遮蔽。然后，经由第一开口与第二开口，于基板的各第二次区域上形成第二次图案。

在本发明的一实施例中，上述的有机发光材料层的制作方法更包括于基板上形成第二颜色图案，此步骤如下所述。首先，提供基板，基板包括多个第二区域，各第二区域包括在列方向上交替配置的多个第三次区域与多个第四次区域。第三次区域与第四次区域之间具有间隙或紧密连接。接着，于基板上提供前述的屏蔽。第一开口与第二开口暴露出第三次区域。第四次区域被屏蔽遮蔽。然后，经由第一开口与第二开口，于基板的各第三次区域上形成一第三次图案。而后，于各第四次区域上形成第四次图案，其中第三次图案与第四次图案之间具有间隙或紧密连接。第二颜色图案包括第三次图案与第四次图案。

在本发明的一实施例中，上述的间隙的大小为第一间距与第一长度的差值的二分之一。

综上所述，本发明的屏蔽具有交替设置的多个第一开口列以及多个第二开口列，位于同一列的相邻两个开口之间具有一定的间距，而且第一开口与第二开口于列方向上交错或重迭设置。在一实施例中，藉由使用多个上述屏蔽或移动上述屏蔽来进行多次蒸镀制程，能制作出紧密接续配置的多个单色次图案，进而形成由该些单色次图案所构成的单色图案，以及由多个单色图案构成的有机发光材料层。由于本发明的屏蔽具有不易变形的稳固结构，因此透过本发明的屏蔽所制作的有机发光材料层的单色图案具有紧密接续配置、高均匀度以及高精确度的优点。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明一实施例的屏蔽的上视示意图;

图2是依照本发明一实施例的屏蔽的上视示意图;

图3是依照本发明一实施例的屏蔽的上视示意图;

图4是依照本发明一实施例的屏蔽的上视示意图;

图5是依照本发明一实施例的屏蔽的上视示意图;

图6是依照本发明一实施例的屏蔽的上视示意图;

图7A是依照本发明一实施例的屏蔽的上视示意图;

图7B是依照本发明一实施例的屏蔽的上视示意图;

图8A至图8M是依照本发明一实施例的有机发光材料层的制作流程示意图。

【主要组件符号说明】

100、100a、100b、100c、100d、100e、100f：屏蔽

110：第一开口列

112：第一开口

120：第二开口列

122：第二开口

200：基板

210：第一区域

210a：第一次区域

210b：第二次区域

220：第二区域

220a：第三次区域

220b：第四次区域

230：第三区域

300：有机发光材料层

310：第一颜色图案

310a：第一次图案

310b：第二次图案

320：第二颜色图案

320a：第三次图案

320b：第四次图案

330：第三颜色图案

330a：第五次图案

330b：第六次图案

d：间隙

d1：第一长度

d2：第一间距

d3：第二长度

d4：第二间距

D1：列方向

D2：行方向

M：移动程序

w1：第一宽度

w2：第二宽度

x：第一距离

y：第二距离

具体实施方式

图1至图7B是依照本发明实施例中的屏蔽的上视示意图。首先，请参照图1，屏蔽100包括多个第一开口列110以及多个第二开口列120。第一开口列110与第二开口列120交替设置。换言之，任一第二开口列120例如是位于两相邻的第一开口列110之间，任一第一开口列110例如是位于两相邻的第二开口列120之间。

各第一开口列110包括在列方向D1上排成一列的多个第一开口112。位于不同第一开口列110中的第一开口112在行方向D2上对齐。第一开口112具有第一长度d1，位于同一列的两个相邻的第一开口112之间具有第一间距d2。在本实施例中，第一开口112例如是具有第一宽度w1。

各第二开口列120包括在列方向D1上排成一列的多个第二开口122。位于不同第二开口列120中的第二开口122在行方向D2上对齐。第二开口122具有第二长度d3，位于同一列的两个相邻的第二开口122之间具有第二间距d4。在本实施例中，第二开口122例如是具有第二宽度w2。

在本实施例中，第一开口112与第二开口122在列方向D1上交错，第一开口112之间的第一间距d2等于或大于第二长度d3，第二间距d4等于或大于第一长度d1。因此，以列方向D1来看，位于同一列的两个相邻第一开口112之间配置有一个第二开口122，位于同一列的两个相邻第二开口122之间配置有一个第一开口112，且第一开口112与第二开口122在列方向D1上不重迭。因此，以整体观之，第一开口112与第二开口122例如是呈千鸟格状排列。

在本实施例中，是以第一间距d2大于第二长度d3以及第二间距d4大于第一长度d1为例，也就是第一间距d2与第二长度d3之间具有第一距离差△d1，第二间距d4与第一长度d1之间具有第二距离差△d2。因此，第一开口112与第二开口122在列方向D1上不会刚好切齐。第一距离差△d1例如是小于100μm。第二距离差△d2例如是小于100μm。在本实施例中，是以第一开口112的第一长度d1等于第二开口122的第二长度d3，第一间距d2等于第二间距d4为例，因此第一开口112与第二开口122例如是具有相同尺寸且具有尺寸相同的间距，且第一距离差△d1例如是等于第二距离差△d2，但本发明不以此为限。

以另一观点来看，当第一开口112与第二开口122在列方向D1上交错时，表示屏蔽100的第二开口列120是相对第一开口列110于列方向D1上偏移一段第一距离x，其中第一距离x具有d1x(d1+△d1)的关系。在本实施例中，是以d1＜x＜(d1+△d1)且x=d1+1/2(△d1)为例，但在其它实施例中，x也可以等于d1、d1+△d1或位于上述两者之间的其它值，也就是第二开口列120是相对第一开口列110于列方向D1上偏移第一长度d1或第一长度d1加上第一距离差△d1的距离或两者之间的任意距离。再者，在本实施例中，第一开口112的第一宽度w1例如是等于第二开口122的第二宽度w2，且屏蔽100的第二开口列120是相对第一开口列110于行方向D2上偏移一段第二距离y，第二距离y例如是实质上大于或等于三倍的第一宽度w1。

在本实施例中，是以第一间距d2大于第二长度d3以及第二间距d4大于第一长度d1为例，但在另一实施例中，如图2的屏蔽100a所示，第一间距d2也可以等于第二长度d3以及第二间距d4也可以等于第一长度d1，也就是说，第一间距d2与第二长度d3之间的第一距离差△d1例如是等于0，第二间距d4与第一长度d1之间的第二距离差△d2例如是等于0。如此一来，第二开口列120是相对第一开口列110于列方向D1上偏移的第一距离x等于第一长度d1，使得第一开口112与第二开口122在列方向D1上刚好切齐。

再者，在又一实施例中，如图3的屏蔽100b所示，第一开口112的第一长度d1也可以大于第二开口122的第二长度d3。具体而言，第一开口112的第一长度d1可以等于第二开口122的第二长度d3，或是，第一开口112的第一长度d1也可以不等于第二开口122的第二长度d3，本发明并未对第一开口112与第二开口122的尺寸进行限制，只要第一开口112与第二开口122在列方向D1上交错时，第一开口112之间的第一间距d2等于或大于第二长度d3，第二间距d4等于或大于第一长度d1即可。

图4是依照本发明另一实施例的屏蔽的上视示意图。本实施例的屏蔽100c与图1的屏蔽100的构件相同，其不同处在于第一开口112与第二开口122在列方向D1上至少部份重迭，以下针对不同处进行说明。请参照图4，在本实施例中，屏蔽100c的第一开口112与第二开口122在列方向D1上至少部份重迭，其中第一开口112之间的第一间距d2等于或大于第二长度d3，第二间距d4等于或大于第一长度d1。

第一开口112与第二开口122在列方向D1上重迭表示第一开口112与第二开口122可以是在列方向D1上部份重迭或完全重迭。若以第一开口列110为基准点来看，第二开口列120是相对第一开口列110实质上于列方向D1上偏移第一距离x，使得第一开口112与第二开口122在列方向D1上至少部份重迭，其中0≦x＜d1。在本实施例中，是以第一开口112与第二开口122是在列方向D1上部份重迭，因此(d1-d3)＜x＜d1。在本实施例中，是以第一开口112的第一长度d1大于第二开口122的第二长度d3，第一间距d2小于第二间距d4为例，但本发明不以此为限。换言之，第一开口112的第一长度d1也可以等于第二开口122的第二长度d3。在本实施例中，第一开口列110与第二开口列120在行方向D2上的第二距离y例如是实质上大于或等于三倍的第一宽度w1。

如图5所示，在另一实施例的屏蔽100d中，第一开口112与第二开口122在列方向D1上可以完全重迭为例，也就是第二开口列120相对第一开口列110实质上于列方向D1上未偏移，即上述关系式0≦x＜d1中x=0的情况。再者，在上述实施例中，是以第一间距d2大于第二长度d3以及第二间距d4大于第一长度d1为例。

在另一实施例中，如图6的屏蔽100e所示，第一间距d2也可以等于第二长度d3以及第二间距d4也可以等于第一长度d1。

在又一实施例中，如图7的屏蔽100f所示，第一开口112的第一长度d1也可以大于第二开口122的第二长度d3。

换言之，本发明未对第一开口112与第二开口122的尺寸进行限制，只要第一开口112与第二开口122在列方向D1上重迭时，第一开口112之间的第一间距d2等于或大于第二长度d3，第二间距d4等于或大于第一长度d1即可。再者，在上述的实施例中都是以第二开口列120相对第一开口列110实质上于列方向D1上未偏移为例，但当d1d3时，第二开口列120也以是相对第一开口列110偏移x，其中x≦(d1-d3)，如图7B所示。

在上述的实施例中，由于位于同一列的相邻两开口112、122之间具有一定的间距d1、d2，因此开口112、122之间具有提供支撑性的屏蔽主体。如此一来，屏蔽100-100f具有稳固的结构，能避免架设屏蔽100-100f时所产生的中央处下垂或变形的情况。因此，藉由此屏蔽的开口所形成的图案具有较佳的均匀度与精确度。再者，由于第一开口112与第二开口122在列方向D1上交错或重迭，因此藉由使用多个此屏蔽或移动此屏蔽来进行多次蒸镀制程，能制作出紧密接续配置的多个次图案。这些所形成的次图案之间不具有间隙或者是具有实质上可忽略的间隙，因此能拼接成诸如长条状等所需形状的图案。

以下将使用前述实施例的屏蔽来进行有机发光材料层的制作。

图8A至图8M是依照本发明一实施例的有机发光材料层的制作流程示意图。请参照图8A，首先，提供基板200。基板200包括多个第一区域210，各第一区域210包括在列方向D1上交替配置的多个第一次区域210a与多个第二次区域210b，第一次区域210a与第二次区域210b之间例如是具有间隙d。在本实施例中，基板200例如是更包括多个第二区域220与多个第三区域230，其中第一区域210、第二区域220以及第三区域230在行方向D2上交替配置。

须说明的是，基板200在此是指用来承载有机发光材料层300的待镀基板，因此基板200可以例如是有机发光组件中的电极层，本发明不加以限制。

请参照图8B，接着，于基板200上提供屏蔽100，屏蔽100的结构可以参照前文所述，于此不赘述。屏蔽100的第一开口112与第二开口122暴露出第一次区域210a，并且将第二次区域210b遮蔽。必须说明的是，虽然在本实施例中是以使用屏蔽100为例来进行有机发光材料层的制作，但在其它实施例中，也可以使用诸如前述的其它屏蔽100a-100f或具有前述特性的其它屏蔽来制作有机发光材料层。

请参照图8C，然后，经由第一开口112与第二开口122，于基板200的各第一次区域210a上形成第一次图案310a。其中，第一次图案310a的形成方法例如是镀膜制程。第一次图案310a例如是红色次图案、绿色次图案或蓝色次图案。

请同时参照图8C以及图8D，而后，对屏蔽100进行移动程序M，使屏蔽100的第一开口112与第二开口122例如是暴露出第二次区域210b。而且，屏蔽100遮蔽位于第一次区域210a的第一次图案310a。必须说明的是，在本实施例中，移动程序M例如是将屏蔽100往右移动的横向移动，以使屏蔽100的第一开口112与第二开口122暴露出第二次区域210b，而且使屏蔽100遮蔽位于第一次区域210a的第一次图案310a。以另一观点来看，由于移动程序M例如是将屏蔽100往右移动的横向移动，因此在移动屏蔽100之前，屏蔽100例如是暴露出基板200的右侧区域，在移动屏蔽100之后，屏蔽100例如是暴露出基板200的左侧区域。然而，本发明不限于此。在其它实施例中，移动程序M也可以例如是将屏蔽100往上或往下移动的纵向移动，或是先横向移动后再纵向移动，或是先纵向移动后再横向移动、或是直接移动到所欲对准的区域。换言之，本发明并不限定移动程序M的移动方式，只要能使屏蔽100的第一开口112与第二开口122暴露出第二次区域210b，而且使屏蔽100遮蔽位于第一次区域210a的第一次图案310a即可。

请参照图8E，接着，经由屏蔽100的第一开口112与第二开口114，于基板200的各第二次区域210b上形成第二次图案310b。

请参照图8F，之后，移除屏蔽100，以完成第一颜色图案310的制作。在本实施例中，第一次图案310a与第二次图案310b之间例如是具有间隙d。第二次图案310b的形成方法例如是镀膜制程，第二次图案310b的颜色例如是与第一次图案310a的颜色相同。第一次图案310a以及第二次图案310b构成第一颜色图案310。第一颜色图案310例如是红色图案、绿色图案或蓝色图案，且第一颜色图案310例如是长条状图案。换言之，第一次图案310a以及第二次图案310b例如是构成具有间隙d的第一颜色图案310。

在本实施例中，是藉由移动同一张屏蔽100来形成第一颜色图案310。在形成第二次图案310b时，例如是将屏蔽100移动至适当的位置，并使屏蔽100暴露出第二次区域210b，以进行后续的制程。然而，本发明不限于此。在另一实施例中，也可以使用另一与屏蔽100的开口图案互补的屏蔽来形成第二次图案310b。

在本实施例中，第一次图案310a与第二次图案310b之间的间隙d大小可透过屏蔽100的第一开口112的第一长度d1以及第一开口112之间的第一间距d2来决定。举例而言，间隙d大小例如是具有以下关系：

d=(d2-d1)/2

当第一间距d2大于第一长度d1时，第一颜色图案310例如是具有间隔的图案。然而，本发明不限于此。在其它实施例中，第一颜色图案310也可以是连续性的图案。举例来说，当第一间距d2等于第一长度d1时，第一次图案310a与第二次图案310b之间的间距为零且紧密连接。如此一来，便形成紧密接续配置的多个第一次图案310a以及多个第二次图案310b，这些第一次图案310a以及第二次图案310b可拚接成诸如长条状的第一颜色图案310。

再者，本实施例的有机发光材料层300的制作方法可以更包括形成第二颜色图案320。请参照图8G，首先，提供前述基板200。基板200包括多个第二区域220，各第二区域220包括在列方向D1上交替配置的多个第三次区域220a与多个第四次区域220b，第三次区域220a与第四次区域220b之间例如是具有间隙d。

请参照图8H，接着，于基板200上提供屏蔽100，以使屏蔽100的第一开口112与第二开口122暴露出第三次区域220a，并且将第四次区域220b遮蔽。

请参照图8I，然后，经由第一开口112与第二开口122，于基板200的各第三次区域220a上形成第三次图案320a。其中，第三次图案320a的形成方法例如是镀膜制程。第三次图案320a例如是红色次图案、绿色次图案或蓝色次图案。而后，对屏蔽100进行移动程序M。

请参考图8J，移动程序M例如是移动屏蔽100，使屏蔽100的第一开口112与第二开口122例如是暴露出第四次区域220b。而且，屏蔽100遮蔽位于第三次区域220a的第三次图案320a。在本实施例中，移动程序M例如是将屏蔽100往右移动的横向移动，因此在移动屏蔽100之前，屏蔽100例如是暴露出基板200的右侧区域，在移动屏蔽100之后，屏蔽100例如是暴露出基板200的左侧区域。必须说明的是，本发明不限定移动程序M的移动方式，只要能使屏蔽100的第一开口112与第二开口122暴露出第四次区域220b，而且使屏蔽100遮蔽位于第三次区域220a的第三次图案320a即可。

请参照图8K，接着，经由屏蔽100的第一开口112与第二开口114，于基板200的各第四次区域220b上形成第四次图案320b。

请参照图8L，之后，移除屏蔽100，以完成第二颜色图案320的制作。在本实施例中，第三次图案320a与第四次图案320b之间例如是具有间隙d。第四次图案320b的形成方法例如是镀膜制程，第四次图案320b的颜色例如是与第三次图案320a的颜色相同。第三次图案320a以及第四次图案320b构成第二颜色图案320。第二颜色图案320与第一颜色图案310的颜色例如是不同，其例如是红色图案、绿色图案或蓝色图案，且第二颜色图案320例如是长条状图案。换言之，第三次图案320a以及第四次图案320b例如是构成具有间隙d的第二颜色图案320。

此外，本实施例有机发光材料层300的制作方法可以更包括形成第三颜色图案330。第三颜色图案330的形成方法例如是进行与图8A至图8F或是与图8G至图8L相似的步骤，以完成如图8M所示的第三颜色图案330。详言之，第三颜色图案330包括第五次图案330a与第六次图案330b，第五次图案330a与第六次图案330b之间例如是具有间隙d。第六次图案330b的形成方法例如是镀膜制程，第六次图案330b的颜色与第五次图案330a的颜色相同。第一颜色图案310、第二颜色图案320以及第三颜色图案330的颜色例如是不同，第三颜色图案330例如是红色图案、绿色图案或蓝色图案，且第三颜色图案330例如是长条状图案。换言之，第五次图案330a以及第六次图案330b例如是构成具有间隙d的第三颜色图案330。

在本实施例中，有机发光材料层300例如是由第一颜色图案310、第二颜色图案320以及第三颜色图案330所构成。然而，本发明不限于此。在其它实施例中，有机发光材料层300也可以例如是由一种颜色图案、两种颜色图案或三种以上的颜色图案所组成，本发明不加以限制。

在本实施例中，例如是透过对屏蔽100进行移动程序M，来形成第二次图案310b。然而，本发明不限于此。在其它实施例中，也可以是透过提供另一与屏蔽100的开口图案互补的屏蔽，来形成第二次图案310b。具体而言，另一屏蔽的结构与屏蔽100a实质上相同，但另一屏蔽的开口图案与屏蔽100a的开口图案互补，也就是说，另一屏蔽的第一开口112对应地位于屏蔽100a的第一开口112之间的屏蔽主体处，另一屏蔽的第二开口122对应地位于屏蔽100a的第二开口122之间的屏蔽主体处。

综上所述，本发明的屏蔽具有交替设置的多个第一开口列以及多个第二开口列，位于同一列的相邻两个开口之间具有一定的间距，而且第一开口与第二开口于列方向上交错或重迭设置。在一实施例中，藉由使用多个上述屏蔽或移动上述屏蔽来进行多次蒸镀制程，能制作出具有间距或是紧密接续配置的多个单色次图案，进而形成由该些单色次图案所构成的单色图案，以及由多个单色图案构成的有机发光材料层。此外，由于本发明的屏蔽具有不易变形的稳固结构，因此透过本发明的屏蔽所制作的有机发光材料层的单色图案具有紧密接续配置、高均匀度以及高精确度的优点。

虽然本发明已以实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围当视前述的申请专利范围所界定者为准。

Claims

1. 一种屏蔽，其特征在于，包括：

多个第一开口列，各该第一开口列包括排成一列的多个第一开口，位于不同第一开口列中的该些第一开口在行方向上对齐，其中各该第一开口具有一第一长度，位于同一列的两相邻的该些第一开口之间具有一第一间距；以及

多个第二开口列，各该第二开口列包括排成一列的多个第二开口，位于不同第二开口列中的该些第二开口在行方向上对齐，其中各该第二开口具有一第二长度，位于同一列的两相邻的该些第二开口之间具有一第二间距，

该些第一开口列与该些第二开口列交替设置且任一该第二开口列位于两相邻的该些第一开口列之间，该些第一开口与该些第二开口在列方向上交错。

2. 如权利要求1所述的屏蔽，其特征在于，该第一间距等于或大于该第二长度，该第二间距等于或大于该第一长度。

3. 如权利要求1所述的屏蔽，其特征在于，该第一开口具有一第一宽度，

该第二开口列相对于该第一开口列于列方向上偏移一第一距离，该第一距离大于或等于该第一长度，且该第一距离小于或等于该第一长度加上该第一间距与该第二长度的差，

该第二开口列相对于该第一开口列于行方向上偏移一第二距离，该第二距离大于或等于三倍的该第一宽度。

4. 一种屏蔽，其特征在于，包括：

该些第一开口列与该些第二开口列交替设置且任一该第二开口列位于两相邻的该些第一开口列之间，该些第一开口与该些第二开口在列方向上至少部分重迭，其中该第一间距等于或大于该第二长度，以及该第二间距等于或大于该第一长度。

5. 如权利要求4所述的屏蔽，其特征在于，该第一开口具有一第一宽度，

该第二开口列相对于该第一开口列于列方向上偏移一第一距离，该第一距离小于该第一长度，

6. 一种有机发光材料层的制作方法，其特征在于，包括：

于一基板上形成一第一颜色图案，包括：

提供该基板，该基板包括多个第一区域，各该第一区域包括在列方向上交替配置的多个第一次区域与多个第二次区域，该些第一次区域与该些第二次区域之间具有一间隙或紧密连接；

于该基板上提供如权利要求1或4所述的一屏蔽，其中该些第一开口与该些第二开口暴露出该些第一次区域，以及该些第二次区域被该屏蔽遮蔽；

经由该些第一开口与该些第二开口，于该基板的各该第一次区域上形成一第一次图案；以及

于各该第二次区域上形成一第二次图案，其中该些第一次图案与该些第二次图案之间具有该间隙或紧密连接，该第一颜色图案包括该些第一次图案与该些第二次图案。

7. 如权利要求6所述的有机发光材料层的制作方法，其特征在于，于各该第二次区域上形成该第二次图案的方法包括：

移动该屏蔽，使该屏蔽的该些第一开口与该些第二开口暴露出该些第二次区域，且位于该些第一次区域的该些第一次图案被该屏蔽遮蔽；以及

经由该些第一开口与该些第二开口，于该基板的各该第二次区域上形成该第二次图案。

8. 如权利要求6所述的有机发光材料层的制作方法，其特征在于，于各该第二次区域上形成该第二次图案的方法包括：

移除该屏蔽；于该基板上提供如权利要求1或4所述的另一屏蔽，其中该另一屏蔽的该些第一开口与该些第二开口暴露出该些第二次区域，以及位于该些第一次区域的该些第一次图案被该屏蔽遮蔽；以及

9. 如权利要求6所述之有机发光材料层的制作方法，其特征在于，还包括：

于一基板上形成一第二颜色图案，包括：

提供该基板，该基板包括多个第二区域，各该第二区域包括在列方向上交替配置的多个第三次区域与多个第四次区域，该些第三次区域与该些第四次区域之间具有一间隙或紧密连接；

于该基板上提供如权利要求1或4所述的一屏蔽，其中该些第一开口与该些第二开口暴露出该些第三次区域，以及该些第四次区域被该屏蔽遮蔽；

经由该些第一开口与该些第二开口，于该基板的各该第三次区域上形成一第三次图案；以及

于各该第四次区域上形成一第四次图案，其中该些第三次图案与该些第四次图案之间具有该间隙或紧密连接，该第二颜色图案包括该些第三次图案与该些第四次图案。

10. 如权利要求6所述的有机发光材料层的制作方法，其特征在于，该间隙的大小为该第一间距与该第一长度的差值的二分之一。