CN102947593A

CN102947593A - 双膜片泵

Info

Publication number: CN102947593A
Application number: CN2011800260338A
Authority: CN
Inventors: 托马斯·许策
Original assignee: Promera & CoKg GmbH
Current assignee: Promera & CoKg GmbH
Priority date: 2010-03-26
Filing date: 2011-03-18
Publication date: 2013-02-27
Anticipated expiration: 2031-03-18
Also published as: CN102947593B; DE102010013108A1; EP2553269A2; WO2011116911A2; WO2011116911A3; US20130101445A1; EP2553269B1

Abstract

本发明涉及一种双膜片泵，其中流体往复地移动第一活塞缸系统（1，2，3）的至少一个第一活塞（1），其中所述第一活塞（1）与至少另一液压活塞（9）机械地连接，并且液压活塞（9）借助于液压介质驱动至少一个膜片（M₁，M₂）。

Description

双膜片泵

技术领域

本发明涉及一种具有至少一个膜片的膜片泵。

背景技术

在膜片泵中，膜片限制输送腔，输入管道和排出管道通到所述输送腔中。通常，将止回阀设置在输入管道和排出管道中，使得能够通过膜片的往复运动首先经由输入管道将输送介质吸入到输送腔中，并且接下来能够经由排出管道从输送腔中压出。

因此，连续的输送是可能的，通常两个膜片泵并联，其中所述膜片泵中的一个吸入输送介质并且另一个同时将输送介质从其输送腔中压出。

此外已知双膜片泵，其中通常构成为盘式膜片的膜片借助于共同的活塞缸系统或者借助于电驱动器来调节。在其中能够出现爆炸性气体的腔中不允许电泵运行或者必须考虑爆炸保护的严格要求。在此，通常使用气动泵，其中与膜片机械地连接的活塞借助于压缩空气在缸中往复运动。在此，压缩空气借助于主阀来切换，使得用压缩空气交替地填充两个工作腔。这种泵从US 4,818,191中已知。通过膜片而与输送腔分开的腔借助于通道与周围环境连接，使得在可能的泄漏的情况下，输送介质能够从泵中排出并且不妨碍膜片的运动。所述泵的缺点是，膜片由于在输送腔中的高的压力和在膜片之后充斥的环境压力而经受高的压差负荷，这导致膜片的快速磨损。

进一步发展的气动驱动的双膜片泵从WO2009/024619中已知。在所述泵中，驱动活塞的压缩空气同时导入到在膜片后的腔中。同时地，通过盘来保护膜片，然而所述盘仅仅在止点中完全支撑在膜片上地靠置。所述泵的缺点是，在膜片损坏的情况下，输送介质到达气动装置中，并且阀进而整个泵失灵。随后，该泵仅能够以高的耗费来再次修复，如果要完全修复。

没有被驱动的活塞的双腔室膜片泵从DE 3206242中已知。所述泵的缺点是在达到止点之后必须用压缩空气填充的大的腔，因此，膜片能够朝另一方向运动。由此需要极其大量的压缩空气，所述压缩空气提高了泵的维护成本。从CA 1172904、WO97/10902和US 5,368,452中已知具有相同的缺点的类似构成的泵。在从W2009/024619中已知的泵中也需要过多的压缩空气来运行泵。所述泵也不能够被置于过压，使得输送压力总是位于供给压力之下。

发明内容

本发明的目的是，提供一种膜片泵，其中膜片具有高的使用寿命以及用低的压力差加载并且具有良好的效率。

该目的根据本发明借助具有权利要求1的特征的膜片泵来实现。根据权利要求1所述的膜片泵的有利的扩展方案从从属权利要求的特征中得出。

本发明基于下述思想：膜片泵具有第一活塞缸系统，其活塞驱动至少一个液压缸。在此，活塞能够借助于例如压缩空气或液体介质的流体来驱动，即往复地运动。由此至少一个液压活塞也往复运动。液压活塞自身设置在缸中并且将所述缸划分成两个工作腔，第一和第二工作腔。在此，至少所述第一工作腔用作用于膜片泵的膜片的液压介质填充。有利地，膜片泵构成为双膜片泵，使得两个膜片分别交替地输送。有利地，第一工作腔在端侧分别通过液压活塞和膜片来限界。然而也可能的是，工作腔经由连接管道与被膜片相对于输送腔分开的腔连接，并且因此由液压活塞移动的液压介质作用于膜片并且调节所述膜片。

在此，第一活塞缸系统的第一活塞有利地借助于压缩空气驱动，使得膜片泵也能够使用在防爆的腔中。

通过第一活塞和液压活塞的可自由选择的面能够调节在泵的输送压力和驱动的气动装置压力之间的任意的压力变化比（Druckübersetzung）。

与膜片泵的输送压力无关，膜片承受1bar的最大的压差负荷（最大的抽吸功率），由此有利地得到膜片的高使用寿命。

有利地，选择对于输送的介质而言惰性的液体作为液压介质，使得在膜片故障时输送介质没有被污染。如果在故障情况下，输送介质侵入到第一工作腔中，那么这不影响泵。

有利地，将液压作用的活塞缸系统的第二工作腔相互连接，使得通过往复地泵送位于所述工作腔中的介质而使所述工作腔起到阻尼器的作用，其中所述介质有利地是与在第一工作腔中相同的的惰性的液压介质。

只要泵构成为双膜片泵，膜片就有利地借助于连接元件彼此连接，所述连接元件同步泵的运动。所述连接元件不用于膜片的驱动。有利地，连接元件在其端部上分别具有螺纹，借助所述螺纹将所述连接元件旋入到膜片中。能够实现直接地旋入到尤其是橡胶的材料中或者旋入到置入膜片中的螺纹衬套中。因为连接元件不传递大的力，所以大多能够放弃螺纹衬套。

当将驱动的第一活塞缸系统设置在液压作用的活塞缸系统之间时，有利地由此实现小的结构方式。第一活塞在此借助于活塞杆与两个液压活塞刚性地连接，由此所述液压活塞与所述第一活塞同步地进行调节。在此，膜片的连接元件有利地延伸穿过管形的活塞杆并且可移动地支承在所述活塞杆中。同样地，连接元件穿过液压活塞，其中相应设置的密封件阻止液压介质穿过活塞杆从一个工作腔达到另一工作腔。

有利地，膜片泵具有用于监控位于液压作用的活塞缸系统的一个和/或多个工作腔中的和/或位于活塞缸系统的连接管道中的液压介质的量的至少一个装置。只要液压介质泄漏并且从存储容器中吸出，这就由装置识别并且将泵停止和/或将报错信号发送给上一级的控制设备。

使第一活塞缸系统的第一活塞往复运动的流体，尤其是压缩空气由尤其通过第一活塞的运动控制的主阀交替地导入到第一活塞缸系统的第一和第二工作腔中。

在达到相应的止点或者换向点时或者之前分别由第一活塞机械地操作的换向阀、尤其是二位三通阀设置在第一活塞缸系统的在轴向或者在端侧界定工作腔的壁中。在此，换向阀控制切换主阀的压缩空气。在此有利的是，使用未调节的压缩空气，即由外部的压缩空气源提供的压缩空气。所述压力通常高于运行根据现有技术的膜片泵的压力。由此确保，根据本发明的膜片泵可靠地切换。这在其中主阀具有用于调节的空气的仅一个入口的根据现有技术的膜片泵中通常没有给出，因为到第一活塞缸系统的调节的压力通常极其低。

第一活塞机械地操作换向阀的阀调节单元，其中换向阀尤其构成为插装式阀，即能够从外部插入，尤其是旋入到第一活塞缸系统的相应在端侧限界的壁中。由此得到尤其适宜的结构，因为能够在不打开输送腔的情况下更换阀。

主阀也有利地在外部设置在膜片泵的壳体上，使得主阀也能够容易地被清洁、修复或者更换。

有利地，主阀构成为二位四通阀或者二位五通阀。这就是说，主阀的阀控制元件在两个末端位置之间交替往复地运动。因此，所述阀控制元件仅具有以两个末端位置形式限定的位置。在从一个末端位置到另一末端位置的路径上，即在运动期间，在末端位置之间的中间区域中，第一活塞缸系统的两个工作腔经由主阀的阀控制元件彼此连接，进而用来自输送的工作腔中的压缩的压缩空气预填充接收的工作腔。之后，被预填充的工作腔用已调节的压缩空气继续填充。另一工作腔与阀出口连接，使得来自工作腔的剩余的工作空气能够经由吸声器来减压。由此得到根据本发明的膜片泵的更好效率，因为对于泵的运行而言需要少量的压缩空气。

有利地，主阀具有用于外部压缩空气源的未调节的压缩空气的入口，其中主阀本身能够具有用于产生特定压力的已调节的压缩空气的压力调节装置。经由可移动地设置在主阀的壳体中的阀控制元件将调节的压缩空气交替地导入到第一活塞缸系统的工作腔中，其中所述阀控制元件由被换向阀控制的压缩空气、尤其是未调节的压缩空气来调节。

因此，在第一活塞的止点中的剩余的工作腔尽可能小，第一活塞缸系统的缸的轴向缸壁能够有利地匹配于第一活塞的轴向壁的形状。在此，能够优选的是平地构成的壁。

换向阀能够有利地具有节流阀，使得从相应的工作腔中压出的空气通过节流阀来制动，并且由此有利地造成主阀的阀控制元件自中间区域起的减慢的运动，由此使在预加应力的且接下来要排空的工作腔和之后要填充的工作腔之间的压力平衡阶段变得尽可能长。在气动活塞的运动的初始，节流阀的作用还没有强烈到，使得主阀的阀控制元件以高的速度从其末端位置中朝向中间区域的方向进行调节，在所述中间区域中气动缸的工作腔是短接的。

每个输送腔有利地能够分别经由输送通道与共同的输送管道连接和/或分别经由排出通道与共同的压力管道连接，其中输送管道和/或压力管道浮动地支承在泵壳体的至少一个连接区域上。由此有利地实现，交替出现的应力在连接部位上没有表现出机械疲劳现象。在输送通道和在排出通道中分别设置有尤其是止回阀的阀。

显然可能的是，借助于尤其借助压缩空气气动地驱动的第一活塞缸系统能够驱动多个彼此并联设置的液压活塞。由此，借助于启动驱动器能够驱动或者调节多于两个的膜片，尤其是二的倍数的膜片，以用于抽吸和按压。

附图说明

下面，根据附图详细阐明构成为双膜片泵的米片泵的可能的实施形式。

其示出：

图1示出双膜片泵形式的根据本发明的膜片泵的立体图；

图2示出根据图1的膜片泵的剖面图；

图3示出横贯根据图1和2的双膜片泵的横截面图；

图4示出图3中的部分断面图；

图5示出具有作为主阀的二位五通阀的根据本发明的膜片泵的气动布局；

图6示出具有作为主阀的二位四通路阀的根据本发明的膜片泵的气动布局。

具体实施方式

图1和2示出双膜片泵形式的根据本发明的膜片泵的立体图。双膜片泵具有壳体盖19以及壳体部件11，所述壳体部件容纳有液压作用的活塞缸系统9、10的缸10。如在图2中示出，壳体部件11借助于同轴的螺栓11a固定在第一活塞缸系统的轴向缸壁3上。由壳体盖19和壳体部件11在22处（见图3和4）夹紧膜片M。壳体盖19和壳体部件11借助于螺栓19a彼此连接并且将膜片M保持在一定位置中。壳体盖19在下方和上方分别形成用于止回阀24的容纳部。止回阀23、24在将壳体法兰25、27旋拧在壳体盖19上之前插入到壳体盖19的相应的凹部中。附加的密封件阻止，输送介质能够围绕止回阀23、24的壳体渗入。第一活塞缸系统的这些轴向壁3借助于间隔衬套7保持一定间距并且借助于螺栓6彼此连接。此外，在这些壁3之间压密地设置有形成缸的圆柱形的壁衬套2，其中附加的密封件确保密封性。螺栓6具有螺栓头6a并且在其端部处具有螺纹6b，所述螺栓借助所述螺纹与一个轴向壁3旋紧。

在第一活塞缸系统的缸2、3中设置有第一活塞1，所述第一活塞通过两个盘1a、1b形成并且将工作腔A和B彼此分开。盘1a、1b借助于螺栓4彼此旋紧。圆柱形的壁2在其外侧上具有用于从周围空气中吸收热量的肋片，以便阻止膜片泵结冰。轴向壁3同样具有凹部3b，所述凹部同样用于更好的导热以及用于加固和节约材料。活塞1具有环绕的密封件1c，所述密封件密封地靠置在缸2的内壁上。

在组装活塞1时，首先移动活塞杆8a、8b穿过孔1d直到环圈8c置于活塞盘1a、1b的相应的凹部1e中。通过组装活塞盘1a、1b，将活塞杆8a、8b形状接合地固定在活塞1上。

活塞杆8a、8b穿过轴向壁3的孔3a，其中密封件56确保，没有压缩空气从工作腔A、B到达液压腔H₂中。活塞杆8a、8b用其端部8d借助螺栓60与液压活塞密封地连接。活塞杆8a、8b构成为管，连接元件5以杆的形式可移动地置入在所述管中。连接元件5以其具有外螺纹的端部5a旋入到膜片盘20中。膜片盘20在膜片的中心21形成在膜片M_l中。

液压活塞9分别具有环绕的密封件12，所述密封件密封地靠置于缸壁10的内壁上并且将两个工作腔H₁、H₂彼此分开。两个液压活塞缸系统的两个液压腔H₂经由连接通道16、17和18彼此连接。在液压活塞9中，分别设置有压差阀13。只要在泵工作时在工作腔H₁和H₂之间的压差超过一定数值，压差阀13就打开并且能够将压差降低到预设值上。连接通道16、17、18能够借助于没有示出的另一连接管道与存储容器和/或传感器连接。如果现在液压介质在存储容器或者连接管道上流入或流出，那么这能够表示膜片断裂，紧接着，上一级的控制器能够发送报错信号和/或自动地停住膜片泵。这例如能够通过强制控制地关闭用压缩空气供应泵的输入管道来进行。

输入通道28借助于输入管道36彼此连接，其中输入管道36用其一个端部41形成泵的输送介质入口。构成为管的输入管道36的另一端部借助于旋入的塞子34封闭。输入管道36以其区域36a浮动地置入在壳体法兰27中，其中密封件39确保所需的密封性。壳体法兰27具有包围区域36a的环形腔40，所述环形腔通过环绕的槽形成。在区域36a中，输入管道36具有窗口状的开口38，输送介质从输入管道36的内腔37中穿过所述开口进入到环形腔40中并且从那里进入到输入通道28中。

排出通道26借助于压力管道29彼此连接，其中压力管道29用其一个端部33形成泵的输送介质出口。构成为管的压力管道29的另一端部借助于旋入的塞子34封闭。压力管道29以其区域29a浮动地置入在壳体法兰25中，其中密封件39确保必要的密封性。壳体法兰25具有包围区域29a的环形腔32，所述环形腔通过环绕的槽形成。在区域29a中，压力管道29具有窗口状的开口31，输送介质能够从环形腔32中穿过所述开口到达压力管道29的内腔30中。

在轴向壁3中设置有换向阀14，所述换向阀以其阀控制单元的延长部15伸入到工作腔A、B中。只要活塞1到达其止点，就操作相应的换向阀，由此经由没有示出的通道将压缩空气导引至主阀50，并且主阀本身进行切换。

主阀50在外部设置在泵壳体上，使得能够进行与周围空气的良好的热交换，由此减小结冰的危险。

只要借助液压活塞9将膜片盘20调节成使得输送腔Fl缩小，那么位于输送腔Fl中的输送介质就通过止回阀24输送到排出通道26中。止回阀23在该期间关闭。如果接下来输送腔Fl通过回移膜片Ml而扩大，那么经由从现在开始打开的止回阀23从输入管道36中将输送介质吸入到输送腔Fl中。在吸入阶段期间，关闭止回阀24。

图5示出根据图1至4的膜片泵的气动装置布置设计图。借助压缩空气运行的膜片泵具有压缩空气入口43，所述压缩空气入口有利地设置在主阀50上。在主阀50中或者在主阀50上能够设置有压力调节装置45，所述压力调节装置借助于连接管道44与入口43连接。压力调节装置45能够是比例阀，所述比例阀能够具有例如调节螺栓形式的调节机构，借助所述调节螺栓能够预紧弹簧以用于压力调节。如果通过外部的压缩空气源（没有示出）提供7bar的未调节的压力，那么能够通过压力调节装置45经由连接管道将例如5.5bar的已调节的压缩空气输送给主阀50。

入口43经由连接管道48、49与换向阀14连接。换向阀构成为二位三通阀并且借助于其阀控制单元的伸入到工作腔A、B中的延长部15进行切换。在此，弹簧将阀控制单元压入到所示出的位置中，在所述位置中，控制管道52、53没有与阀入口或者连接管道48、49连接。一旦活塞1调节相应的阀控制单元15，就切换换向阀14并且外部压力源的未调节的压缩空气就切换根据本发明的阀50。

主阀50构成为二位五通阀。在示出的位置中，已调节的压缩空气经由连接管道57进入到工作腔A中。因此，活塞1连同液压活塞9一起向右调节。从现在起，通过位于液压腔H₁中的液压介质向右调节没有示出的右边的膜片，由此减小与其相关的输送腔。因此右边的膜片进行输送。同时，同样在图5中没有示出的左边的膜片将输送介质从输入管道中吸入到其输送腔中。在达到右边的止点时，右边的换向阀14经由延长部15来切换，使得同样切换主阀50。在向左的路径上，首先中断工作腔A与连接管道47的连接。之后，将两个工作腔彼此短接，使得位于工作腔B中的预受应力的压缩空气能够膨胀到工作腔A中。为此存在一定的时间，直到主阀50最终完全地切换完成并且经由连接管道47将已调节的压缩空气导入到工作腔B中，由此活塞1从现在开始向左运动。在压力腔B中的还未减压的剩余的压缩空气接下来经由阀出口51通过吸声器35膨胀到周围空气中。

图6示出一个替选的实施形式，其中主阀50构成为二位四通阀。主阀50与在图5中示出的主阀的不同之处仅在于：仅设有一个出口51。

附图标记列表

A/B 第一活塞缸系统的工作腔

M₁、M₂ 膜片

1 第一活塞缸系统的第一活塞

1a、1b 活塞盘

1c 密封件

1d 孔

1e 用于环圈8c的凹部

2 第一活塞缸系统的缸

2a 缸2的外部的散热片

3 第一活塞缸系统的轴向缸壁

4 螺栓

5 连接元件

5a 连接元件5的螺纹

6 连接螺栓

7 间隔衬套

8a、8b 活塞杆

8c 环圈

9 液压活塞

10 液压作用的活塞缸系统的缸

11 壳体部件

12 密封件

13 压差阀（pH1>pH2）

14 换向阀

15 阀控制单元

16、17、18 通道/连接管道

19 壳体盖

20 膜片盘

21 膜片区域，在所述膜片区域中设置有膜片盘20，

22 膜片M₁的夹紧区域

23 在输入通道中的止回阀（仅在左边的腔室中示出）

24 在排出通道中的止回阀（仅在左边的腔室中示出）

25 具有排出通道26的壳体法兰（排出壳体）

26 排出通道

27 具有输入通道28的壳体法兰（进入壳体）

28 输入通道

29 压力管道

30 压力管道29的内腔

31 在压力管道29的壁中的贯通开口

32 环形腔，所述环形腔包围压力管道29

33 用于输送介质的泵出口

34 具有旋入螺纹的塞子

35 用于减压的压缩空气的出流的吸声器

36 输入管道

37 输入管道36的内腔

38 在输入管道36的壁中的贯通开口

39 密封环

40 环形腔，所述环形腔包围输入管道36

41 用于输送介质的泵入口

42 底座

43 用于外部压缩空气源的未调节的压缩空气的入口

44 连接管道

45 比例阀形式的压力调节装置

46 用于压力调节装置46的已调节的输出压力的调节机构

47 连接管道，将调节的压缩空气引导至主阀50

48，49 用于未调节的压缩空气的连接管道

50 主阀

51 主阀的出口，所述出口与吸声器35连接

52、53 从换向阀14到主阀50的控制管道

54、55 向外的出口

56 密封件

57 到工作腔A的连接管道

58 到工作腔B的连接管道

66 在换向阀14中的节流阀

Claims

1.膜片泵，其中流体往复地移动第一活塞缸系统（1，2，3）的至少一个第一活塞（1），其中所述第一活塞（1）与至少另一液压活塞（9）机械地连接，并且所述液压活塞（9）借助于液压介质驱动至少一个膜片（M₁，M₂），

其特征在于，所述膜片泵是具有至少两个膜片（M₁，M₂）的双膜片泵，其中液压介质移动或者驱动所述膜片（M₁，M₂），其中至少一个液压活塞（9）移动所述液压介质，并且借助连接元件（5），尤其是杆或者管将每两个膜片（M₁，M₂）彼此机械地连接。

2.膜片泵，其中流体往复地移动第一活塞缸系统（1，2，3）的至少一个第一活塞（1），其中所述第一活塞（1）与至少另一个液压活塞（9）机械地连接，并且所述液压活塞（9）借助于液压介质驱动至少一个膜片（M₁，M₂）。

3.根据权利要求1所述的膜片泵，其特征在于，所述膜片泵是具有至少两个膜片（M₁，M₂）的双膜片泵，其中液压介质移动或者驱动所述膜片（M₁，M₂），其中至少一个液压活塞（9）移动所述液压介质。

4.根据权利要求3所述的膜片泵，其特征在于，每两个膜片（M₁，M₂）借助连接元件（5），尤其是杆或者管彼此机械地连接。

5.根据权利要求1或4所述的膜片泵，其特征在于，所述连接元件（5）以其端部（5a）中的每个分别与膜片（M₁，M₂）连接，尤其旋入或压入到所述膜片中。

6.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，膜片（M₁，M₂）设置在壳体（11，19）的膜片腔中，并且将所述膜片腔划分成输送腔（F₁，F₂）和液压腔（H₁）。

7.根据权利要求6所述的膜片泵，其特征在于，所述液压腔（H₁）尤其借助于通道或者管道与液压活塞（9）的所述活塞缸系统的一个第一工作腔连接、形成所述工作腔的组成部分或者本身是所述工作腔。

8.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，压缩空气往复移动所述第一活塞缸系统（1，2，3）的所述第一活塞（1），其中尤其通过移动所述第一活塞（1）来控制的主阀（50）将所述压缩空气交替地导入到所述第一活塞缸系统（1，2，3）的所述第一工作腔和所述第二工作腔（A，B）中。

9.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，所述第一活塞缸系统（1，2，3）设置在两个液压作用的活塞缸系统（9，10）之间，其中所述第一活塞（1）与所述液压活塞（9）经由至少一个活塞杆（8a，8b）连接，所述至少一个活塞杆尤其穿过所述第一活塞（1）接合和/或固定在所述第一活塞上。

10.根据权利要求9所述的膜片泵，其特征在于，所述连接元件（5）以能够相对于所述第一活塞（1）并相对于所述液压活塞（9）自由移动的方式支承，尤其以能够移动的方式支承在所述活塞杆（8a，8b）中并且穿过两个所述液压活塞（9）接合。

11.根据权利要求10所述的膜片泵，其特征在于，密封元件设置在所述连接元件（5）和所述液压活塞（9）和/或所述活塞杆（8a，8b）之间，使得液压介质不能够沿着所述连接元件（5）从液压腔（H₁，H₂）中到达另一液压腔中。

12.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，液压作用的所述活塞缸系统（9，10）分别具有第一和第二工作腔（H₁，H₂），并且各所述第一工作腔（H₁）是所述液压腔的组成部分，形成所述液压腔或者与所述液压腔经由通道连接，并且所述第二工作腔（H₂）经由连接管道（16，17，18）彼此连接。

13.根据权利要求12所述的膜片泵，其特征在于，所述第二工作腔（H₂）以及所述连接管道（16，17，18）用液压介质填充。

14.根据权利要求12或13所述的膜片泵，其特征在于，所述膜片泵具有至少一个用于监控位于液压作用的所述活塞缸系统（9，10）的一个和/或多个工作腔（H₁，H₂）中的和/或位于所述连接管道（16，17，18）中的液压介质的量的装置。

15.根据权利要求14所述的膜片泵，其特征在于，所述第二工作腔（H₂）和将所述第二工作腔彼此连接的连接管道（16，17，18）经由另一连接管道与包含液压介质的存储容器连接，其中所述装置测定流过所连接的另一连接管道的液压介质的流出和/或流入。

16.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，至少位于所述液压腔（H₁，H₂）中的液压介质相对于被输送的介质是惰性的。

17.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，每个输送腔（F₁，F₂）分别经由输送通道（28）与共同的输送管道（36）连接和/或分别经由排出通道（26）与共同的压力管道（29）连接，其中所述输送管道（36）和/或所述压力管道（29）浮动地支承在泵壳体的至少一个连接区域（25）上。

18.根据权利要求17所述的膜片泵，其特征在于，在所述输送通道（28）中并且在所述排出通道（25）中分别设置有阀（23，24），尤其是止回阀。

19.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，所述第一活塞（1）的、尤其是气动活塞的活塞面大于或者等于一个或多个所述液压活塞（9）的活塞面，尤其以特定的比例，尤其以1：1至1：40的比例。

20.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，在超过或者低于所述工作腔（M₁，M₂）之间的特定的压力差时，经由尤其是过压阀或者负压阀的阀（13）进行液压介质从液压作用的活塞缸系统（9，10）中的一个工作腔到另一工作腔（H₁，H₂）的交换。

21.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，过压阀或者负压阀（13）设置在所述液压活塞（9）中，所述过压阀或者负压阀在正常情况下阻断轴向穿过所述液压活塞（9）延伸的连接通道。

22.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，所述第一活塞缸系统（1，2，3）的所述工作腔（A，B）的轴向缸壁（3a）匹配于所述第一活塞（1）的轴向壁（1c）的形状，所述轴向缸壁尤其平地构成，使得在所述活塞（1）的止点中剩余的工作腔是最小的。

23.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，在达到相应的所述止点或者所述切换点时或者之前分别由所述第一活塞（1）机械地操作的换向阀（14）、尤其是二位三通阀设置在所述第一活塞缸系统（1，2，3）的在轴向上或者在端侧界定所述工作腔（A，B）的壁（3）中，其中所述换向阀（14）控制切换所述主阀（50）的压缩空气，尤其是未调节的压缩空气。

24.根据权利要求23所述的膜片泵，其特征在于，所述活塞（1）机械地操作所述换向阀（14）的阀调节单元，其中所述换向阀（14）尤其构成为插装式阀，即能够从外部插入尤其是旋入到所述第一活塞缸系统（1，2，3）的相应在端侧限界的壁（3）中。

25.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，所述主阀（50）是二位五通路阀或者二位四通路阀，所述主阀尤其在切换阶段将所述第一活塞缸系统（1，2，3）的两个所述工作腔（A，B）彼此连接，进而用来自输送的所述工作腔（B，A）中的压缩的压缩空气预填充接收的所述工作腔（A，B）。

26.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，所述主阀（50）具有用于外部压缩空气源的未调节的压缩空气的入口（43），其中所述主阀（50）本身具有用于产生特定压力的已调节的压缩空气的压力调节装置（45）。

27.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，所述主阀（50）具有阀控制单元，所述阀控制单元由被所述换向阀（14）控制的压缩空气、尤其是未调节的压缩空气来调节。

28.根据权利要求27所述的膜片泵，其特征在于，所述阀控制单元控制由所述压力调节装置（45）调节的所述压缩空气并且导入到所述第一活塞缸系统（1，2，3）的所述工作腔（A，B）中以调节所述第一活塞（1）。

29.根据上述权利要求之一所述的膜片泵，其特征在于，所述换向阀（14）具有节流阀（66）。