CN102903660A - 装载装置 - Google Patents

Abstract

一种装载装置，包括：腔室，腔室侧壁具有输入阀门；对应输入阀门设置的机械手，机械手与第一驱动装置连接，用于支撑晶圆自输入阀门外水平传递至腔室内；位于腔室内的基座，基座与第二驱动装置连接，用于带动基座相对于腔室上下移动；固定于基座表面且若干重叠设置的卡槽，卡槽用于将晶圆固定于基座上方；固定于卡槽和输入阀门之间的传感器，传感器低于机械手的标准水平位置，且传感器高于在机械手下一层的晶圆表面，机械手的标准水平位置为机械手未发生偏移时，机械手经过输入阀门进入腔室后的水平位置；传感器与第一驱动装置连接，根据传感器产生的信号控制第一驱动装置停止机械手的运动。所述装载装置能够避免划伤晶圆。

Description

装载装置

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种装载装置。

背景技术

在现有的半导体制造工艺中，成膜装置或干法刻蚀装置一般包括工艺装置、装载装置以及位于所述工艺装置和装载装置之间的传送装置。其中，所述工艺装置用于在晶圆表面成膜或对晶圆进行刻蚀；所述传送装置用于在所述工艺装置和装载装置之间传递晶圆；所述装载装置用于装载晶圆，并实现大气压环境和真空环境之间相互转换。

现有技术的晶圆装载装置，请参考图1，包括：腔室100，所述腔室100与供气通道101、排气通道102和气压平衡通道103连通；所述腔室100侧壁具有输入阀门104和输出阀门105，所述输出阀门105与所述输入阀门104相对；位于所述腔室内的基座106，所述基座106能够相对于所述腔室100上下移动或水平转动；固定于所述基座106表面若干重叠设置的卡槽107，所述卡槽107用于将若干晶圆分立重叠地固定于基座106上方；根据所述输入阀门104的位置设置的机械传递装置108，用于将晶圆自输入阀门104外传递至腔室100内的卡槽107处固定。

当所述装载装置工作时，所述输入阀门104打开，所述机械传递装置108将晶圆通过输入阀门104水平送入所述腔室100内部，并到达所述相邻的卡槽107之间，且位于所述机械传递装置108下方的卡槽107空置；通过将所述卡槽107向上移动，使所述晶圆固定于所述卡槽107处，同时所述机械传递装置108离开所传递的晶圆下表面，并处于相邻晶圆之间；当固定所述晶圆之后，所述机械传递装置108自相邻晶圆之间的位置水平移动到腔室100外部；当所述机械传递装置108回到腔室100外部后，所述卡槽107向下移动，使位于所固定晶圆上方的空置卡槽107与所述输入阀门104的位置对应，以进行下一片晶圆的装载。

然而，现有的晶圆的装载装置容易造成晶圆表面的划伤，致使晶圆报废，产生浪费，提高成本。

更多晶圆的装载装置请参考公开号为CN102194651A的中国专利文件。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种装载装置，能够避免晶圆的划伤，提高半导体器件的制造效率，且降低了成本。

为解决上述问题，本发明提供一种装载装置，包括：腔室，所述腔室侧壁具有输入阀门；对应所述输入阀门设置的机械手，所述机械手与第一驱动装置连接，用于支撑晶圆自输入阀门外水平传递至腔室内；位于所述腔室内的基座，所述基座与第二驱动装置连接，用于带动所述基座相对于所述腔室上下移动；固定于所述基座表面且若干重叠设置的卡槽，所述卡槽用于将晶圆固定于基座上方；固定于卡槽和输入阀门之间的传感器，所述传感器低于所述机械手的标准水平位置，且所述传感器高于位于所述机械手下一层的晶圆表面，所述机械手的标准水平位置为所述机械手未发生偏移时，机械手经过输入阀门进入腔室后的水平位置；所述传感器与第一驱动装置连接，根据所述传感器产生的信号控制所述第一驱动装置停止所述机械手的运动。

可选地，所述传感器包括：固定于腔室内侧壁上的光信号发生器和光信号接收器，所述光信号发生器和光信号接收器相对设置，由所述光信号发生器产生的光柱自所述输入阀门和卡槽之间穿过，并被所述光信号接收器接收，所述光柱低于所述机械手的标准水平位置，且所述光柱高于在所述机械手标准水平位置下一层的晶圆表面。

可选地，还包括：驱动单元，与第一驱动装置和第二驱动装置连接，用于控制所述第一驱动装置和第二驱动装置的工作和停止。

可选地，所述传感器与驱动单元连接，当所述传感器被触发，向所述驱动单元发送停止信号，使所述第一驱动装置停止工作。

可选地，所述停止信号的电压为5V。

可选地，所述传感器与所述第一驱动装置的电源连接。

可选地，当所述传感器被触发，向所述第一驱动装置的电源发送断电信号，使所述第一驱动装置的电源停止供电以停止第一驱动装置的工作。

可选地，还包括：与所述机械手固定连接的机械臂，所述机械臂与所述第一驱动装置连接。

可选地，当所述机械手根据所述传感器产生的信号停止运动后，所述第一驱动装置控制所述机械手按原路径返回初始位置。

可选地，所述卡槽的数量为20-30个。

可选地，相邻卡槽之间的距离为6毫米-7毫米。

可选地，所述传感器到所述机械手的标准水平位置的垂直距离为3毫米-3.5毫米。

可选地，所述输入阀门垂直方向上的宽度为15毫米-25毫米。

可选地，所述第一驱动装置包括1至3个第一驱动马达；所述第二驱动装置包括1至3个第二驱动马达。

可选地，还包括：位于所述腔室侧壁上的输出阀门，所述输出阀门与所述输入阀门相对；与所述腔室连通的供气通道、排气通道和气压平衡通道。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

在卡槽和输入阀门之间固定设置传感器，所述传感器低于所述机械手的标准水平位置，而且所述传感器高于在所述机械手下一层的晶圆表面；其中，所述机械手的标准水平位置为未发生偏移时，机械手的经过输入阀门进入腔室后的水平位置；当所述机械手经过输入阀门进入腔室时，若所述机械手未发生偏移，所述传感器位于所述机械手下方；因此，当所述机械手向下发生偏移时，会首先触发所述传感器；由于所述传感器与第一驱动装置连接，从而当所述传感器被触发后，所述传感器产生的信号能够停止所述第一驱动装置，从而控制所述机械手停止运动；因此，在所述机械手接触到下一层晶圆表面之前，所述机械手的运动能够被停止，避免了所述机械手因向下偏移而划伤晶圆表面的问题，从而避免浪费，节约成本。

附图说明

图1是现有技术的晶圆装载装置；

图2是现有技术的机械传递装置的剖面结构示意图；

图3是本发明实施例的装载装置的剖面结构示意图；

图4是本发明实施例的装载装置的俯视结构示意图；

图5是图3中的机械手经过所述输入阀门时，区域220的放大图；

图6是本发明实施例的装载装置的传感器系统实例一的示意图；

图7是本发明实施例的装载装置的传感器系统实例一中，传感器的电路示意图；

图8是本发明实施例的装载装置的传感器系统实例二的示意图。

具体实施方式

如背景技术所述，现有的晶圆的装载装置容易造成晶圆表面的划伤，致使晶圆报废，导致浪费。

本发明的发明人经过研究发现，请继续参考图1，由于现有的机械传递装置108在传递晶圆的过程中，会向下偏移，当晶圆已固定于卡槽107处，且所述机械传递装置108处于相邻晶圆之间时，若所述机械传递装置108发生向下的偏移，会导致所述机械传递装置108碰触到固定于当前所装载的晶圆下方的晶圆，从而划伤所述晶圆表面，致使所述晶圆报废，而造成浪费。

具体地，请参考图2，是现有技术的机械传递装置108（如图1所示）的剖面结构示意图，包括：机械手110，用于支撑所述晶圆自腔室100（如图1所示）外部通过输入阀门104（如图1所示）进入所述腔室100内部；机械腕111，固定于机械手110远离所述腔室100的一端；机械臂112，与所述机械腕111固定连接；其中，所述机械手110的材料为石英，所述机械腕111和机械臂112的材料为金属，例如铝。

由于所述机械手110与所述机械腕111的材料不同，其热膨胀系数不同，当所述机械传递装置108受热时，会导致所述机械手110与所述机械腕111的固定处不匹配，从而使所述机械手向下偏移；其次，当所述机械手110和机械腕111的连接处、或所述机械腕111和机械臂112的连接处若存在磨损，也会造成机械手110与机械腕111的固定处、或机械腕111和机械臂112的固定处不匹配，造成所述机械手110向下偏移；再次，若所述机械手110、机械腕111和机械臂112未能正确安装，也会造成所述机械手110的位置偏移。因此，所述机械手110的偏移难以避免，那么，及时发现机械手110的偏移并及时停止所述机械手110的运动，是避免晶圆被划伤的关键。

经过本发明的发明人进一步研究，在所述卡槽和输入阀门之间固定传感器，并使所述传感器低于所述机械手的标准水平位置，而且所述传感器高于在所述机械手下一层的晶圆表面；由于所述机械手经过输入阀门进入腔室时，若所述机械手未发生偏移，那么所述传感器位于所述机械手下方，且所述传感器始终高于所述机械手下一层的晶圆表面；当所述机械手向下发生偏移时，会首先触发所述传感器；若所述传感器被触发，与所述传感器连接的第一驱动装置能够根据所述传感器产生的信号而停止工作，从而停止所述机械手的运动，避免了机械手在向下偏移的状态下继续运动而划伤位于下一层的晶圆表面；因此，本发明的装载装置能够在所述机械手向下偏移的状态下，在接触到下一层晶圆表面之前停止所述机械手的运动，以避免所述机械手因向下偏移而划伤晶圆表面的问题。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

图3是本发明实施例的装载装置的剖面结构示意图，包括：腔室200，所述腔室200侧壁具有输入阀门201；对应所述输入阀门201设置的机械手202，所述机械手202与第一驱动装置206连接，用于支撑所述晶圆自输入阀门201外水平传递至腔室200内；位于所述腔室200内的基座203，所述基座203与第二驱动装置208连接，用于带动所述基座203相对于所述腔室200上下移动；固定于所述基座203表面若干重叠设置的卡槽204，所述卡槽204用于将晶圆固定于基座203上方；固定于卡槽204和输入阀门201之间的传感器205，所述传感器205低于所述机械手202的标准水平位置，且所述传感器205高于在所述机械手202下一层的晶圆表面，所述机械手202的标准水平位置为所述机械手未发生偏移时，机械手的经过输入阀门进入腔室后的水平位置；与所述传感器205与第一驱动装置206连接，用于根据所述传感器205产生的信号控制所述第一驱动装置206停止所述机械手202的运动。

所述腔室200是用于装载晶圆，并实现大气压环境和真空环境之间相互转换的场所；所述装载装置的腔室200通过传送装置与工艺装置连通；当晶圆被装载入腔室200，所述腔室200从大气压环境转换到真空环境后，所述晶圆自所述装载装置的腔室200内被传输至工艺装置中，以进行成膜或刻蚀工艺；当所述晶圆完成工艺后，自所述工艺装置传输回所述装载装置的腔室200中，所述腔室200自真空环境转换回大气压环境，所述晶圆再被传递出所述腔室200。

所述腔室200与供气通道211、排气通道212和气压平衡通道213连通；所述供气通道211位于所述腔室200的顶部，用于向腔室200内送气，所述供气通道211还连接有过滤装置和缓冲装置，所述过滤装置用于过滤送入气体中的杂质，所述缓冲装置用于保持送入气体的气流稳定；所述气压平衡通道213位于所述腔室上部，用于在所述供气通道211向腔室200内送气时，排出腔室200内的原有气体，并保持所述腔室200内外的气压平衡；所述排气通道212位于所述腔室下部，用于抽出所述腔室200内的气体。

所述腔室200的侧壁上设置有与所述输入阀门201相对的输出阀门214；当若干卡槽204上均固定有晶圆，且所述腔室200内已转换为真空环境，或所需气氛环境，例如氮气氛环境后，所述卡槽204自所述输出阀门214传递出所述腔室200，以进入工艺装置进行后续的工艺步骤。

若干重叠设置的卡槽204固定于基座203表面，而与第二驱动装置208连接的基座203能够控制所述基座203进行上下移动，从而带动所述卡槽204上下移动，以使机械手202能够将晶圆放置于各卡槽204上；此外，所述第二驱动装置208还能够控制所述基座203发生水平转动，使所述基座203表面卡槽204的方向能够分别适应自输入阀门201递入晶圆、以及自输出阀门214递出晶圆；在本实施例中，所述基座203在晶圆输入时的位置，相对应晶圆输出时的位置转动20度-25度。

固定设置于基座203表面的卡槽204的数量为20-30个，因此，所述装载装置能够同时固定20-30个晶圆已进行后续工艺；固定于所述卡槽204上的晶圆也呈重叠且相互分立的状态。

所述机械手202位于腔室200外侧的一端固定有机械腕209，所述机械手202通过所述机械腕209与机械臂210固定连接，而所述机械臂210与所述第一驱动装置206连接，从而所述第一驱动装置206驱动所述机械臂210进行水平移动，使所述机械手202能够在所述输入阀门201之间发生水平移动；所述机械手202的材料为石英，所述机械腕209和机械臂210的材料为金属，例如铝。

所述第一驱动装置210包括1至3个第一驱动马达，使所驱动的机械手202能够以不同的运动状态移动；所述第二驱动装置208包括1至3个第二驱动马达，使所述基座203能够以不同的运动状态进行移动。

当所述装载装置未工作时，位于所述腔室200侧壁上的输入阀门201关闭，且所述机械手202位于所述输入阀门201外侧，同时，位于所述腔室200内的空置的卡槽204与所述输入阀门201机械手202的位置对应；当所述装载装置工作时，所述输入阀门201开启，由第一驱动装置206驱动的机械手202支撑晶圆经由所述输入阀门201水平进入腔室200内，使晶圆到达卡槽204的对应位置；之后，由所述第二驱动装置208驱动的基座203向上移动，将支撑于所述机械手202上的晶圆固定于空置的卡槽204上，同时，所述机械手202离开所述晶圆的下表面并处于相邻卡槽204之间；所述第一驱动装置206再驱动所述机械手自所述输入阀门201水平移出所述腔室200，以进行下一片晶圆的装载；需要说明的是，被装载晶圆自所述重叠设置的卡槽204最下一层逐层向上装载，直至所述重叠设置的卡槽204被装满，进行下一道工序。

然而，由于所述机械手202与机械腕209之间的材料不同，其热膨胀系数也不相同，因此当所述机械手202和机械腕209受热膨胀时，会使所述机械手202与所述机械腕209的固定处不匹配，从导致所述机械手202向下偏移；此外，若所述机械腕209与机械臂210之间未正确安装，或固定处存在磨损，也会造成所述机械手向下偏移；若所述机械手202向下偏移，当机械手202将晶圆固定于卡槽204后，离开所述晶圆下表面并处于相邻卡槽204中间时，所述向下偏移的机械手202会划伤位于下一层的晶圆表面，从而导致所述晶圆的报废，造成浪费。

因此，在本实施例所述装载装置中，在卡槽204和输入阀门201之间设置有传感器205；所述传感器205低于所述机械手202的标准水平位置，其中，所述机械手202的标准水平位置为：未发生偏移的机械手202经过输入阀门201时，水平移动的位置；而且，所述传感器205高于设置于所述机械手202下一层的晶圆表面，因此，一旦所述机械手向下发生偏移，在接触到位于机械手202下一层的晶圆表面之前，会首先处于所述传感器205被触发的范围内；又由于所述传感器205与第一驱动装置206连接，一旦所述传感器205被触发，能够向产生信号控制所述第一驱动装置206停止所述机械手202的运动；进一步的，当所述机械手202停止运动后，所述第一驱动装置206和第二驱动装置208控制所述机械手202和基座203按原运动轨迹回到初始位置；从而避免了因所述机械手202的偏移而导致划伤晶圆表面，能够节约成本，提高工艺效率。

请参考图3和图4，图4是本发明实施例的装载装置的俯视结构示意图，所述传感器205（如图3所示）包括：分别固定于腔室200内两侧壁上的光信号发生器221和光信号接收器222；所述光信号发生器221和光信号接收器222分别固定于与所述输入阀门201所在侧壁相邻的两侧壁上，且相对设置；由所述光信号发生器221产生的光柱223穿过所述输入阀门201和卡槽204之间，被所述光信号接收器222接收；所述光柱223的位置高于位于所述机械手202下一层的晶圆表面；在本实施例中，所述光柱223的直径为0.1毫米-0.5毫米。

当所述机械手202经过所述输入阀门201时，一旦所述机械手202向下发生偏移，会首先遮挡住由光信号发生器221发出的光柱223，使得所述光信号接收器222未接收到所述光信号发生器发出的光柱223，从而所述传感器205被触发，继而所述机械手202的移动被停止；达到避免划伤晶圆的目的。

所述光信号发生器221、光信号接收器222及其所形成的光柱223的具体位置，根据装载装置的结构不同能够有本领域技术人员具体确定，以所述机械手202在接触到位于下一层的晶圆表面之前即可遮挡住光柱223为宜；同时，所产生的光柱223的位置不可妨碍所述机械手202的正常运动。

请参考图3和图5，图5是图3中的机械手202经过所述输入阀门201时，区域220的放大图。

当所述机械手202经过所述输入阀门201时，所述机械手202的水平移动轨迹经过所述输入阀门201的中央，即所述机械手202的上表面到所述输入阀门201顶部的距离，与所述机械手202的下表面到所述输入阀门201底部的距离相同。

相邻卡槽204（如图3所示）之间的距离为6毫米-7毫米，因此固定于所述卡槽204上的相邻晶圆230之间的距离L₁为6毫米-7毫米；而所述输入阀门201垂直方向上的宽度L₃为15毫米-25毫米，因此所述机械手202能够支撑晶圆230经过所述输入阀门201进入腔室200。

若所述机械手202未发生偏移，当所述机械手202将晶圆230固定于卡槽204，并离开所述晶圆230下表面，处于相邻晶圆230之间时，所述机械手202到相邻晶圆230表面的距离相等；若所述机械手202向下偏移，即会触发所述传感器205，所述传感器205发出信号以停止所述机械手202的运动，从而避免划伤位于机械手202下一层的晶圆230表面。

由于所述传感器205需要高于所述机械手202下一层的晶圆230表面，而相邻晶圆230之间的距离L₁为6毫米-7毫米，因此，所述传感器205到机械手202的标准水平位置的垂直距离L₂具有最大值，且所述最大值为3毫米-3.5毫米；即光柱223（如图4所示）到所述机械手202的标准水平位置的垂直距离L₂的最大值为3毫米-3.5毫米。

在本实施例中，当所述传感器205被触发，所述第一驱动装置206被停止，从而停止所述机械手202的移动。以下将结合具体实例对本实施例中的传感器系统进行详细说明。

实例一

请参考图6，图6是本发明实施例的装载装置中，传感器系统实例一的示意图，包括：传感器205，用于检测机械手202是否偏移；驱动单元240，与所述传感器205连接，用于接收来自所述传感器205发出的信号，并根据所述信号停止所述第一驱动装置206。

所述驱动单元240用于根据接收到的指令控制所述第一驱动装置206和第二驱动装置208工作或停止；所述驱动单元240包括第一驱动单元2401和第二驱动单元2402；所述第一驱动单元2401和第一驱动装置206连接，用于控制所述第一驱动装置206的工作和停止；所述第二驱动单元2402和第二驱动装置208连接，用于控制所述第二驱动装置208的工作和停止。

在本实施例中，所述传感器205与所述驱动单元240连接，一旦所述传感器205被触发，即可向所述驱动单元240发出停止信号；所述驱动单元240接收到所述传感器205发出的停止信号后，将所述停止信号分配予第一驱动单元2401；所述第一驱动单元206收到所述停止信号后，控制所述第一驱动装置206停止工作，从而停止机械手202的移动。

请参考图7，图7是实例一所述传感器205的电路示意图，所述传感器205由光信号发生器221（如图4所示）和光信号接收器222（如图4所示）、及其产生的光柱223（如图4所示）构成；其中，所述光信号接收器222为光电三极管；一旦所述光信号发生器221未接收到光信号发生器221发出的光，所述光电三极管的源漏极即被导通，产生电压为5伏的电信号；而所述驱动单元240与所述光电三极管的发射极连接；当所述传感器205接通电源工作时，一旦所述传感器205被触发后，能向所述驱动单元240发出停止信号，所述停止信号的电压为5伏；从而，所述驱动单元240根据收到的停止信号停止所述第一驱动装置206的工作。

实例二

图8是本发明实施例的装载装置中，传感器系统实例二的示意图，包括：传感器205，用于检测机械手202是否偏移；第一电源单元2061，用于控制所述第一驱动装置206的电源开启或断开，所述第一电源单元2061与所述传感器205连接。

当所述传感器205被触发，即向所述第一电源单元2061发出断开信号，使所述第一驱动装置206断电，从而停止第一驱动装置206的工作，达到停止机械手继续移动的目的。

在本实施例中，在卡槽204和输入阀门201之间设置传感器205，所述传感器205低于所述机械手202的标准水平位置，且所述传感器205高于在所述机械手202下一层的晶圆表面；由于所述传感器205与第一驱动装置206连接，因此当所述传感器205被触发，能够向所述第一驱动装置206发出停止信号，使所述第一驱动装置206停止所述机械手202的运动；从而避免了因机械手202的偏移而划伤晶圆表面，减少了浪费，节约成本，并提高了工艺效率。

综上所述，在卡槽和输入阀门之间固定设置传感器，所述传感器低于所述机械手的标准水平位置，而且所述传感器高于在所述机械手下一层的晶圆表面；其中，所述机械手的标准水平位置为未发生偏移时，机械手的经过输入阀门进入腔室后的水平位置；当所述机械手经过输入阀门进入腔室时，若所述机械手未发生偏移，所述传感器位于所述机械手下方；因此，当所述机械手向下发生偏移时，会首先触发所述传感器；由于所述传感器与第一驱动装置连接，从而当所述传感器被触发后，所述传感器产生的信号能够停止所述第一驱动装置，从而控制所述机械手停止运动；因此，在所述机械手接触到下一层晶圆表面之前，所述机械手的运动能够被停止，避免了所述机械手因向下偏移而划伤晶圆表面的问题，从而避免浪费，节约成本。

本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (15)

1.一种装载装置，其特征在于，包括：

腔室，所述腔室侧壁具有输入阀门；

对应所述输入阀门设置的机械手，所述机械手与第一驱动装置连接，用于支撑晶圆自输入阀门外水平传递至腔室内；

位于所述腔室内的基座，所述基座与第二驱动装置连接，用于带动所述基座相对于所述腔室上下移动；

固定于所述基座表面且若干重叠设置的卡槽，所述卡槽用于将晶圆固定于基座上方；

固定于卡槽和输入阀门之间的传感器，所述传感器低于所述机械手的标准水平位置，且所述传感器高于位于所述机械手下一层的晶圆表面，所述机械手的标准水平位置为所述机械手未发生偏移时，机械手经过输入阀门进入腔室后的水平位置；

所述传感器与第一驱动装置连接，根据所述传感器产生的信号控制所述第一驱动装置停止所述机械手的运动。

2.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述传感器包括：固定于腔室内侧壁上的光信号发生器和光信号接收器，所述光信号发生器和光信号接收器相对设置，由所述光信号发生器产生的光柱自所述输入阀门和卡槽之间穿过，并被所述光信号接收器接收，所述光柱低于所述机械手的标准水平位置，且所述光柱高于在所述机械手标准水平位置下一层的晶圆表面。

3.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，还包括：驱动单元，与第一驱动装置和第二驱动装置连接，用于控制所述第一驱动装置和第二驱动装置的工作和停止。

4.如权利要求3所述装载装置，其特征在于，所述传感器与驱动单元连接，当所述传感器被触发，向所述驱动单元发送停止信号，使所述第一驱动装置停止工作。

5.如权利要求4所述装载装置，其特征在于，所述停止信号的电压为5V。

6.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述传感器与所述第一驱动装置的电源连接。

7.如权利要求6所述装载装置，其特征在于，当所述传感器被触发，向所述第一驱动装置的电源发送断电信号，使所述第一驱动装置的电源停止供电以停止第一驱动装置的工作。

8.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，还包括：与所述机械手固定连接的机械臂，所述机械臂与所述第一驱动装置连接。

9.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，当所述机械手根据所述传感器产生的信号停止运动后，所述第一驱动装置控制所述机械手按原路径返回初始位置。

10.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述卡槽的数量为20-30个。

11.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，相邻卡槽之间的距离为6毫米-7毫米。

12.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述传感器到所述机械手的标准水平位置的垂直距离为3毫米-3.5毫米。

13.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述输入阀门垂直方向上的宽度为15毫米-25毫米。

14.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括1至3个第一驱动马达；所述第二驱动装置包括1至3个第二驱动马达。

15.如权利要求1所述装载装置，其特征在于，还包括：位于所述腔室侧壁上的输出阀门，所述输出阀门与所述输入阀门相对；与所述腔室连通的供气通道、排气通道和气压平衡通道。

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