CN102854200B - 一种阵列基板检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种阵列基板检测设备，用以通过采集到的被测物的图像确定被测物的高度。本发明提供的阵列基板检测设备包括：检测设备本体、设置于所述检测设备本体上的图像采集装置、高度计算装置以及报警装置，所述图像采集装置采集被测物在不同于垂直方向上的至少两个角度上的图像的数据信息，并将所述数据信息传送给所述高度计算装置；所述高度计算装置根据接收到的数据信息，计算出所述被测物的高度；所述报警装置与所述高度计算装置进行通讯，用于在被测物的高度超过预设值时实施报警。

Description

一种阵列基板检测设备

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列基板检测设备。

背景技术

近年来，平板显示技术发展迅速，产品的不良也多种多样。为了既满足客户的需求，又达到低成本的目的，提高产品的良品率是每个厂家一直追求的目标。

相应地，在制作产品的过程中，有多种阵列基板检测设备，用于在制作完每一道工序之后检测产品是否存在导致不良的因素，以便后续及时处理导致不良的因素。在制作薄膜晶体管（Thin Film Transistor，TFT）液晶显示器件的阵列基板的过程中，涉及到对阵列基板上的电路（简称阵列电路）的检测。阵列电路光学检测设备（Pattern Inspection，PI）专门用于检测阵列基板上的阵列电路的颗粒。该颗粒可能来自空气中的尘埃或者来自镀膜过程中的污渍，但是当该颗粒足够大时，可以损坏后续阵列电路电学检测设备。因此，PI将阵列电路中存在的颗粒及时检测出来，将高度较高的颗粒加以标记，并在电学检测设备检测电路之前，及时处理掉这些较大的颗粒。这些颗粒一旦没有被及时处理，不但损坏检测设备还会造成产品的不良。即所述颗粒可以导致产品不良。

PI设备是一种光学阵列基板检测设备，具体地，通过PI设备中的图像采集装置，如相机，获取阵列基板上的颗粒的灰度图像，通过对颗粒图像的观测和分析对可能会导致产品不良的颗粒进行处理。对阵列电路的检测还包括一种电学检测设备（Array Tester，AT），用于在阵列基板上的阵列电路上电的情况下，检测阵列电路是否存在导致不良的因素。这种检测设备主要检测电路部件被划伤等问题。当阵列基板上存在导致不良的颗粒，并且该颗粒的高度较高时，会将AT检测设备上的相关薄膜损坏，导致AT检测设备的破损。由于AT检测设备非常昂贵。因此，对电路进行AT检测之前需要将阵列电路上的高度较高的颗粒处理掉，避免后续工艺中损坏AT检测设备。

如图1所示，现有的PI设备中的图像采集设备30的镜头的出射光线40的方向为垂直方向，即出射光线与阵列基板10的夹角为90度。检测出来的颗粒图像无法显示阵列基板10上的颗粒20的高度。因此，目前还没有专门的检测阵列基板10上的颗粒20的高度的阵列基板检测设备。

发明内容

本发明实施例提供一种阵列基板检测设备，用以通过从不同角度照射被测物从同一角度采集被测物的图像，或者从不同角度采集被测物同一部位的图像，通过所述采集到的图像检测被测物的高度。

本发明实施例提供的一种阵列基板检测设备，包括：

检测设备本体、设置于所述检测设备本体上的图像采集装置、高度计算装置以及报警装置，所述图像采集装置采集被测物在不同于垂直方向上的至少两个角度上的图像的数据信息，并传送给所述高度计算装置；所述高度计算装置用于根据所述图像采集装置采集的所述图像的数据信息，计算出所述被测物的高度；所述报警装置与所述高度计算装置进行通讯，用于在被测物的高度超过预设值时实施报警。

本发明提供的阵列基板检测设备，通过从不同角度照射或者以图像采集装置从不同角度采集被测物同一部位的图像的数据信息（该数据信息可以是被测物的图像，也可以是被测物的影子图像），由高度计算装置利用所述图像采集装置采集到的图像计算出所述被测物的高度。优选地，所述不同的角度是不同于垂直方向的至少两个角度。通过所述检测设备检测阵列基板上的被测物（如颗粒或污渍）的高度，可以避免较高的被测物对后续电学检测设备造成一定的影响或损坏电学检测设备。

附图说明

图1为现有阵列检测设备检测被测物是否存在的简单系统示意图；

图2为本发明实施例一提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图3为本发明实施例二提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图4为本发明实施例三提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图5为本发明实施例四提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图6为本发明实施例五提供的阵列基板检测设备结构示意图；

图7为本发明实施例六提供的阵列基板检测设备结构示意图。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种阵列基板检测设备，用以通过从不同角度照射被测物从同一角度采集被测物的图像，或者从不同角度采集被测物同一部位的图像，检测被测物的高度。

本发明实施例提供的阵列基板检测设备，通过从不同角度照射被测物从同一角度采集被测物的图像的数据信息，或者从不同角度采集被测物同一部位的图像的数据信息，将采集到的图像的数据信息发送至高度计算装置，高度计算装置根据接收到的数据信息计算出被测物的高度。

本发明实施例提供的阵列基板检测设备，包括：

检测设备本体、设置于所述检测设备本体上的图像采集装置、高度计算装置以及报警装置，所述图像采集装置采集被测物在不同于垂直方向上的至少两个角度上的图像的数据信息，并将所述数据信息传送给所述高度计算装置；所述高度计算装置根据接收到的数据信息，计算出所述被测物的高度；所述报警装置与所述高度计算装置进行通讯，用于在被测物的高度超过预设值时实施报警。

所述图像采集装置可以为工业CCD相机，且可以是一台或两台甚至多台相机，不同的图像采集装置（相机）采集被测物不同角度的图像。

较佳地，所述图像采集装置包括第一图像采集装置和第二图像采集装置，所述第一图像采集装置从第一角度采集所述被测物的图像的数据信息，所述第二图像采集装置从第二角度采集所述被测物的图像的数据信息，所述第一图像采集装置和第二图像采集装置分别将采集到的数据信息传送给所述高度计算装置。

较佳地，所述图像采集装置还至少包括第三图像采集装置，所述第三图像采集装置从不同于所述第一角度和所述第二角度的第三角度采集所述被测物的图像的数据信息，并将采集到的数据信息传送给所述高度计算装置，所述高度计算装置根据第三图像采集装置采集的数据信息、第一图像采集装置采集的数据信息及所述第二图像采集装置采集的数据信息，计算出所述被测物的多个估计高度，并在所述多个估计高度中选取最大的估计高度作为被测物的高度。

较佳地，图像采集装置为一台相机时，所述阵列基板检测设备还包括图像采集装置移动机构，用于使所述图像采集装置沿水平方向由第一位置移动到第二位置，图像采集装置在第一位置沿第一角度采集所述被测物的图像的数据信息，以及在第二位置沿第二角度采集所述被测物的图像的数据信息。

当图像采集装置为一台相机时，较佳地，所述阵列基板检测设备，还包括：被测物移动机构，用于使所述被测物沿水平方向移动，所述图像采集装置先后沿第一角度和第二角度采集所述被测物的图像的数据信息。

所述图像采集装置上可以设置照明装置，可以是一个、两个，或者多个。

较佳地，所述阵列基板检测设备设有一个照明装置，所述照明装置先后沿第一角度和第二角度照射所述被测物，图像采集装置分别在照明装置沿第一角度和第二角度照射所述被测物时，采集被测物的图像的数据信息。

较佳地，所述阵列基板检测设备设有至少两个照明装置，第一照明装置和第二照明装置，所述第一照明装置沿第一角度照射所述被测物，第二照明装置沿第二角度照射所述被测物，图像采集装置分别在第一照明装置沿第一角度和第二角度照射所述被测物时采集被测物的图像的数据信息。

较佳地，所述高度计算装置中包括计算模块，用于根据公式h=ΔL/(1/tanα-1/tanβ)来计算所述被测物的高度h，其中，α为所述第一角度与水平面的夹角，β为所述第二角度与水平面的夹角，ΔL为所述被测物分别沿所述第一角度和所述第二角度而在水平面上的投影的长度之差。

需要说明的是，本发明实施例提供的阵列基板检测设备可以用于检测任意微小物体的高度，应用领域不受限制。如可以应用到液晶显示行业、医药研究领域等。

例如，在液晶显示行业，本发明实施例提供的阵列基板检测设备可以用于检测阵列基板上的杂质或者灰尘颗粒，简称颗粒。这些颗粒是导致产品不良的一个因素。这就需要使用光学或电学检测设备检测阵列基板上的不良的因素。如果所述颗粒较高会损坏电学检测设备的镜头。因此在利用电学检测设备检测阵列基板之前，需要使用阵列基板检测设备检测颗粒的高度，将高度较高的或超过预设值的颗粒标记出来并进行相应的处理。

下面以液晶显示行业为例结合附图具体说明本发明实施例提供的技术方案。

图像采集装置为相机，设每台相机的分辨率相同为m，每台相机的放大倍数相同，每台相机的镜头距离颗粒的垂直距离大致相同。通过结合相机距被测物的距离对图像的尺寸进行换算，使得每台相机拍到的一个像素对应于阵列基板上Lμm的长度也固定。

下面的实施例一和实施例二，图像采集装置为至少两台相机。

实施例一：

参见图2，本实施例提供的阵列基板检测设备，包括：

检测设备本体1、设置于检测设备本体1上的第一相机2和第二相机3、高度计算装置4以及报警装置5。

较佳地，第一相机2和第二相机3可以固定于检测设备本体1的顶部或者侧部。

当第二相机3固定于检测设备本体1的顶部或是侧部时，优选地保证第二相机3距被测物的垂直距离和第一相机2距被测物的垂直距离大致相等。从而，通过简单的换算，可使拍摄的图像的大小具有可比性。

图2中各部件的工作原理简述如下：

第一相机2从第一角度（与水平方向的夹角为α的角度，α≠90°）采集被测物10的图像的数据信息，第二相机3从第二角度（与水平方向的夹角为β的角度，β≠90°，α≠β）采集被测物10的图像的数据信息。第一相机2和第二相机3分别将采集到的图像的数据信息传送给高度计算装置4。高度计算装置4根据接收到的数据信息，计算出被测物10的高度；报警装置5与高度计算装置4进行通讯，在被测物10的高度超过预设值时实施报警。

在具体实施过程中，当阵列基板检测设备放置于承载阵列基板的设备机台上合适的位置时，检测阵列基板上的被测物，如检测被测物的高度的过程包括以下三个步骤：

步骤一、参见图2，第一相机2对被测物10进行拍照，得到被测物10的a边的长度L1，将长度L1发送给高度计算装置4；第二相机3对被测物10进行拍照，得到a边的长度L2，将长度L2发送给高度计算装置4。

步骤二、高度计算装置4接收第一相机2和第二相机3发送的数据信息L1和L2。根据预先设置的计算公式（1-1），计算出被测物的高度h。

h=|（L1-L2）/(1/tanα-1/tanβ)|=|ΔL/(1/tanα-1/tanβ)|        （1-1）

步骤三、报警装置5与高度计算装置4进行通讯，在被测物10的高度超过预设值时实施报警，否则什么都不做。

该被测物10的高度超过预设值时，可以通过显示装置显示给工作人员的方式实施报警，或者也可以是通过显示装置显示给工作人员以及配合声音实施报警。工作人员及时对该被测物进行标记，以便后续在AT检测流程之前对该被测物进行处理。

需要说明的是，第一相机和第二相机对被测物拍照的过程是相互独立的，为了提高对被测物高度的检测效率，所述第一相机和第二相机的拍照时间可以为同一时间。

所述被测物的长度是根据被测物的a边所占的像素个数得到的。如果a边所占的像素个数为x，并且一个像素对应于阵列基板上Lμm的长度，则测量得到的a边的长度为x*L。从不同角度测量得到的a边所占的像素个数不同，得到的a边的长度也不同。

所述高度计算装置可以通过软件中的计算模块实现，计算模块计算出被测物的高度。本实施例可以检测出阵列基板上的被测物（如颗粒或污渍）的高度，可以避免较高的被测物对后续电学检测设备造成一定的影响或损坏电学检测设备。而且由于角度均不同于90度，故对于非柱状（例如球形或其他顶面凸起的形状）的颗粒，本实施例的测量方式更加精确。

实施例二：

参见图3，本发明实施例提供的阵列基板检测设备，在图2所示的整列基板检测设备的基础上，增加一台相机，为第三相机6；

第三相机6在第三角度（与水平方向的夹角为γ的角度，γ≠90°，α≠β≠γ）对被测物10进行拍照，并将采集到的数据信息传送给所述高度计算装置4，高度计算装置4根据第一相机2、第二相机3，以及第三相机6采集的数据信息，计算出被测物10的三个估计高度h1、h2、h3，并在三个估计高度中选取最大的估计高度作为被测物的高度h。

参见图3，在具体实施过程中，检测被测物的高度的过程和实施例一中检测被测物的高度的过程类似，不同之处在于：

实施例一步骤一中，除了第一相机2对被测物10进行拍照，得到被测物10的a边的长度L1，将长度L1发送给高度计算装置4，以及第二相机3对被测物10进行拍照，得到a边的长度L2，将长度L2发送给高度计算装置4之外，还包括：第三相机6对被测物10进行拍照，得到被测物10的a边的长度L3，将长度L3发送给高度计算装置4。

实施例一步骤二中，出了根据公式（1-1）计算被测物的高度h1之外，还包括：根据公式（1-2）和公式（1-3）计算被测物的高度h2和h3。

h2=|（L1-L3）/(1/tanα-1/tanγ)|=|ΔL/(1/tanα-1/tanγ)|    （1-2）

h3=|（L2-L3）/(1/tanβ-1/tanγ)|=|ΔL/(1/tanβ-1/tanγ)|    （1-3）

计算出被测物10的三个估计高度h1、h2、h3之后，比较h1、h2和h3的大小，选取最大的估计高度作为被测物的高度h。

实施例一步骤三中，报警装置5根据被测物的高度h判断是否报警。

本发明实施例二，采用多个相机采集图像的数据信息，高度计算装置根据数据信息计算被测物的多个估计高度，从中选择一个最大的值，作为被测物的高度，测量的被测物的高度更加准确，避免了因测量值小于实际值造成器件损坏。

需要说明的是，实施例一和实施例二仅是对本发明进行了示例性的介绍，实施例一或实施例二中还可以设置更多台相机，如设置四台或五台或者更多。每一台相机拍摄的角度唯一，高度计算装置计算出多个被测物的高度，选取最大的估计高度作为被测物的高度h。相比于实施例一，本实施例可以进一步提高阵列基板检测设备检测被测物高度的准确性。

下面的实施例，图像采集装置为可以为一台相机，或者两台相机或者多台相机。

实施例三至实施例六以设置一台相机为例说明本发明实施例提供的技术方案。

实施例三：

为了减小相机的个数，且提高检测被测物高度的准确性。本实施例三提供的阵列检测设备包括图像采集装置移动机构，也就是相机移动机构。

参见图4，本发明实施例提供的阵列基板检测设备，包括：

检测设备本体1、设置于检测设备本体1上的第一相机2、相机移动机构7、高度计算装置4以及报警装置5。

参见图4，相机移动机构7，用于移动第一相机2，使第一相机2沿水平方向由第一位置（位置A）移动到第二位置（位置B），第一相机2在第一位置沿第一角度（与水平方向的夹角为α的角度，α≠90°）采集被测物10的图像的数据信息，以及在第二位置沿第二角度（与水平方向的夹角为β的角度，β≠90°，α≠β）采集被测物10的图像的数据信息。

为了便于描述图4中包括两个第一相机2，以虚线所示的第一相机2为相机移动机构7移动第一相机2之后处于B位置的第二相机2，以实线所示的第一相机2为移动前位于A位置的第一相机2。水平方向带箭头的线段表示第一相机2移动的方向。

在具体实施过程中，本实施例三检测被测物的高度的过程和实施例一检测被测物的高度的过程类似，不同之处在于：

步骤一中，第一相机2先后对被测物10进行拍照，得到被测物10的a边的长度L1和L2，将长度L1和L2发送给高度计算装置4。

其他步骤同实施例一中的步骤，这里不再赘述。

本发明实施例三提供的阵列基板检测设备，仅设置一台相机，就可以实现对被测物高度的检测，由此可以降低所述阵列基板检测设备的构造成本。

较佳地，相机移动机构可以移动相机一次、两次，或者更多次。例如：将相机由第一位置移动到第二位置，接着将相机由第二位置移动到第三位置。相机处于每个位置时，都会对被测物拍照，获取同一部位的图像的数据信息。例如：获取a边的长度L1、L2、L3，将获取的多个数据信息传送给高度计算装置，计算被测物的高度。

较佳地，相机移动机构还可以设置在具有不止一个相机的阵列基板检测设备中。例如，可以设置在具有两个相机的阵列基板检测设备中。可以为所有相机装设一个相机移动机构，也可以是为每一个相机装设一个相机移动机构。

例如，可以为实施例一中的相机装设相机移动机构，也可以为实施例二中的相机装设相机移动机构，使得高度计算装置计算更多个被测物的估计高度，提高检测被测物高度的准确性。

实施例四：

实施例三是通过移动相机使得相机从不同角度对被测物拍照，本实施例四与实施例三不同，通过移动被测物所处的位置，使得相机相对被测物先后从两个角度对被测物拍照，获取图像的同一部位的数据信息。

参见图5，本发明实施例提供的阵列基板检测设备，包括：

检测设备本体1、设置于检测设备本体1上的第一相机2、高度计算装置4以及报警装置5，以及被测物移动机构8；

被测物移动机构8可以是可伸缩的机械手。

参见图5，被测物移动机构8，用于使被测物10沿水平方向移动，由第一位置（位置A）移动到第二位置（B位置），相应地第一相机在被测物10处于第一位置时，沿第一角度（与水平方向的夹角为α的角度，α≠90°）采集被测物10的图像的数据信息，第一相机被测物10处于二位置时，沿第二角度（与水平方向的夹角为β的角度，β≠90°，α≠β）采集被测物10的图像的数据信息。

需要说明的是，实施例三中的相机移动机构7，以及实施例四中的被测物移动机构8还可以同时设置于一个阵列基板检测设备中，按照实际需求可以灵活移动相机的位置或者被测物的位置。实施例四可以达到与实施例三基本相同的效果。

实施例五：

参见图6，本发明实施例提供的阵列基板检测设备，包括：

检测设备本体1、设置于检测设备本体1上的第一相机2、照明装置9、高度计算装置4以及报警装置5。

照明装置9用于先后沿第一角度（与水平方向的夹角为α的角度，α≠90°）和第二角度（与水平方向的夹角为β的角度，β≠90°，α≠β）照射被测物10，以此得到被测物10在不同角度上的影子以作为所述被测物的图像的数据信息。

为了便于描述图6中出现两个照明装置9，以实线所示的照明装置9为沿第一角度照射被测物的照明装置所在的位置。以虚线所示的照明装置9为沿第二角度照射被测物的照明装置所在的位置。

参见图6，在具体实施过程中，检测被测物的高度的过程包括以下三个步骤：

步骤一、当照明装置9沿第一角度（与水平方向的夹角为α的角度，α≠90°）照射被测物10时，第一相机2采集被测物10的影子L1以作为所述被测物的图像的数据信息；当照明装置9沿第二角度（与水平方向的夹角为β的角度，β≠90°，α≠β）照射被测物10时，第一相机2采集被测物10的影子的长度L2以作为所述被测物的图像的数据信息。

步骤二、高度计算装置4接收第一相机2发送的数据信息L1和L2。根据预先设置的计算公式（1-1），计算出被测物的高度h。

h=|（L1-L2）/(1/tanα-1/tanβ)|=|ΔL/(1/tanα-1/tanβ)|    （1-1）

步骤三、报警装置5与高度计算装置4进行通讯，在被测物10的高度超过预设值时实施报警，否则什么都不做。

本实施例中的相机与照明装置分离，可以在相机与颗粒的位置保持不变的情况下得到不同角度的影子信息，以作为被测物的图像信息。这样，可以减少因相机与被测物的位置变换而带来的换算误差，从而使算得的数据更加可信。

实施例六：

参见图7，本发明实施例提供的阵列基板检测设备，包括：

检测设备本体1、设置于检测设备本体1上的第一相机2、第一照明装置11和第二照明装置12、高度计算装置4以及报警装置5。

第一照明装置11沿第一角度照射所述被测物，第二照明装置12沿第二角度照射所述被测物，以此得到所述被测物在第一角度和第二角度上的影子以作为所述被测物的图像的数据信息。

该实施例六和实施例五提供的阵列基板检测设备结构类似，不同之处在于，实施例五中，用一个照明装置两次沿不同的角度照射被测物，实施例六中，同时用两个照明装置沿不同的角度照射被测物，实现对被测物高度的检测。

高度计算装置接收到数据信息后和实施例五中的处理过程相同，这里不再赘述。本实施例的测高效果与实施例五的大致相同，而且相比于实施例五，本实施例可以减少照明装置的数量以节省成本，并且可以进一步增加光照角度变换的灵活性。

实施例五和实施例六提供的阵列基板检测装置中的照明装置的个数不限于为一个或者两个，还可以是多个。各照明装置的照射角度不同，每一照明装置在照射被测物时，相机会在该照射角度下拍照，实现被测物高度的检测。

实施例四至实施例六的阵列基板检测装置中的相机不限于为一个，可以是两个或者多个，实现原理基本一致。

需要说明的是，上述所有实施例中所述相机的参数，照明装置的参数等都预置在高度计算装置中，具体地，通过程序代码实现。

所述相机为工业用相机或者其他分辨率更高的相机。

较佳地，阵列基板检测设备为一个独立的检测设备，也可以是对PI设备的改进。

需要说明的是，本发明提供的阵列基板检测设备不仅可以适用于检测阵列基板的被测物，还可以用于其它工序中基板上出现的被测物，如彩膜基板上的被测物。或者还可以用于其它领域中，只要需要检测因被测物引起的产品的不良，并需要检测被测物的高度的情况，均可使用本发明实施例提供的阵列基板检测设备。

或者还可以用于其它任何需要检测被测物的高度的领域。

本发明提供的阵列基板检测设备通过一台相机或至少两台相机采集被测物同一部位的图像，高度计算装置利用所述图像采集装置采集到的图像计算出所述被测物的高度。相比较现有技术，提高了检测被测物高度的准确性。

以上通过优选的实施例对本发明进行了示例性的介绍。然而，本领域的技术人员应当明白，可以对本发明的实施例作出各种改动。例如，数学模型及三角函数关系的公式不限于以上所述，本领域的技术人员可以根据具体情形对数学模型及三角函数关系的公式做出增加参数、展开、化简等变化，以使计算出的高度更接近于真实的高度。相机拍摄得到的图像数据信息既可以是被测物本身的照片图像，也可以是被测物的影子图像。

Claims (7)

1.一种阵列基板检测设备，其特征在于，包括：

检测设备本体、设置于所述检测设备本体上的图像采集装置、高度计算装置以及报警装置，所述图像采集装置从第一角度采集被测物的图像的数据信息，从第二角度采集所述被测物的图像的数据信息，以及从不同于所述第一角度和所述第二角度的第三角度采集所述被测物的图像的数据信息，分别将采集到的数据信息传送给所述高度计算装置；所述高度计算装置根据接收到的数据信息，计算出所述被测物的多个估计高度，并在所述多个估计高度中选取最大的估计高度作为被测物的高度；所述报警装置与所述高度计算装置进行通讯，用于在被测物的高度超过预设值时实施报警。

2.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备，其特征在于，所述图像采集装置包括第一图像采集装置和第二图像采集装置，所述第一图像采集装置从第一角度采集所述被测物的图像的数据信息，所述第二图像采集装置从第二角度采集所述被测物的图像的数据信息。

3.根据权利要求2所述的阵列基板检测设备，其特征在于，所述图像采集装置还至少包括第三图像采集装置，所述第三图像采集装置从第三角度采集所述被测物的图像的数据信息。

4.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备，其特征在于，所述阵列基板检测设备还包括图像采集装置移动机构，用于使所述图像采集装置沿水平方向由第一位置移动到第二位置，图像采集装置在第一位置沿第一角度采集所述被测物的图像的数据信息，以及在第二位置沿第二角度采集所述被测物的图像的数据信息。

5.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备，其特征在于，还包括被测物移动机构，用于使所述被测物沿水平方向移动，所述图像采集装置先后沿第一角度和第二角度采集所述被测物的图像的数据信息。

6.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备，其特征在于，所述阵列基板检测设备设有一个照明装置，所述照明装置先后沿第一角度和第二角度照射所述被测物，图像采集装置分别在照明装置沿第一角度和第二角度照射所述被测物时，采集被测物的图像的数据信息。

7.根据权利要求1所述的阵列基板检测设备，其特征在于，所述阵列基板检测设备设有至少两个照明装置，第一照明装置和第二照明装置，所述第一照明装置沿第一角度照射所述被测物，第二照明装置沿第二角度照射所述被测物，图像采集装置分别在第一照明装置沿第一角度和第二角度照射所述被测物时采集被测物的图像的数据信息。