CN102806212A - 芯片在线清洗设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种芯片在线清洗设备，包括自动送料机构、浸泡式清洗装置、喷淋式清洗装置、定位台。所述浸泡式清洗装置包括浸洗柜和风切机构，浸洗柜内的设置进料传送带、出料传送带，进料传送带与出料传送带之间设置盛装有浸洗液的浸洗池，浸洗池内并排设置对应进料传送带的第一输料架、对应出料传送带的第二输料架；所述第一输料架包括同步垂直向下运动的两对输料带，两对输料带之间的下部位置设置滑动于第一输料架与第二输料架之间的滑板，第一输料架与第二输料架之间的上部位置设置对应出料传送带将芯片拨动到出料传送带的料机构。本发明可实现对芯片长时间的浸泡洗和短时间的喷淋洗，有效去除芯片表面的大颗粒污染物以及微量污染。

Description

芯片在线清洗设备

技术领域

本发明涉及一种用于清洗芯片的机械设备，具体的说是一种用于清洗微生物芯片的浸泡式清洗设备。

背景技术

近年来，微生物技术发展迅猛，微生物芯片被广泛应用于生物、医药等各个领域。微生物芯片的制备过程相当严格，在生产、切割、运输等途中，微生物芯片的表面容易被污染，而微生物芯片作为一种以微米为制备单位的工件，生产中工件须经严格清洗，否则，即使微量污染也会导致最终产品器件的失效。因此，微生物芯片的清洗成为重要的工艺环节，并且此清洗过程都要求很高的洁净度。

清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于表面。其中，有机污染包括有机溶剂残留、以及人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，这些污染物严重影响后期产品检测率；而颗粒污染则包括玻璃渣、塑料颗粒、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。清除污染的方法包含物理清洗、化学清洗两种模式。

发明内容

本发明需要解决的技术问题是提供一种自动化程度高、清洗效果好的芯片在线清洗设备。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

芯片在线清洗设备，包括若干台后端设置有风切机构的浸泡式清洗装置，所述浸泡式清洗装置包括封闭的浸洗柜，浸洗柜内的一侧设置衔接自动送料机构的一对托住芯片两侧边水平运动的进料传送带，浸洗柜内的另一侧设置与风切机构连接的一对水平运动的出料传送带，所述进料传送带与出料传送带之间设置盛装有浸洗液的浸洗池，所述浸洗池内并排设置对应进料传送带的第一输料架、对应出料传送带的第二输料架；所述第一输料架包括由机械动力控制的衔接于进料传送带后端分别托住芯片的一个侧边同步垂直向下运动的两对输料带，两对输料带之间的下部位置设置带有芯片检测装置的由丝杠滑块机构控制滑动于第一输料架与第二输料架之间的滑板，所述第二输料架包括与第一输料架结构相同的两对同步垂直向上运动的输料带，第一输料架与第二输料架之间的上部位置设置对应出料传送带将芯片拨动到出料传送带的拨料机构。

本发明的进一步改进在于：所述一对进料传送带之间的下方位置设置推动芯片向第一输料架运动的推杆，推杆的一端连接水平设置的气缸，推杆的中部设置转动轴，推杆的另一端为末端对应芯片的侧边的弧形结构。

本发明的进一步改进在于：所述第一输料架和第二输料架的输料带上间隔设置互相对应的托住芯片侧边的托板，每对输料带上的托板均向内延伸超出输料带内侧的侧边，各托板上方的输料带上还设置对芯片进行限位的挡板；第一输料架上部的各对输料带之间对应设置托住由推杆推动来的芯片的十字旋转架，十字旋转架包括穿设在输料带之间的旋转轴，旋转轴上设置四个互相垂直设置的旋转板，其中任一个旋转板从输料带之间伸出并搭接在对应位置的两个托板上。

本发明的进一步改进在于：所述拨料结构包括垂直连接在水平设置的驱动气缸输出端的拨杆，拨杆的中部设置转轴，拨杆的自由端对应第二输料架上芯片的一个侧边。

本发明的进一步改进在于：所述第一输料架与第二输料架的输料带的机械动力控制机构包括位于两对输料带上端的一圈由伺服电机通过齿轮带动旋转的皮带，皮带对应输料带的四个角均设置传动齿轮，各传动齿轮的下方设置一同步旋转的锥齿轮，与锥齿轮配合的传动锥齿轮带动位于输料带上部的主动齿轮同步旋转，输料带的下部设置被动齿轮。

本发明进一步改进在于：所述第一输料架和第二输料架的每对输料带的外侧相对设置与各层托板对应的通过管路和进水泵与浸洗池内的浸洗液连通的对芯片进行喷洗的喷水孔，所述各层喷水孔对应芯片的喷淋角度从顶层的的对准芯片的中间过渡到底层的对准芯片的边缘。

本发明进一步改进在于：所述风切机构包括封闭的风切柜，风切柜内设置一对运输芯片的风切传送带，风切传送带的上方设置连接有若干风切风机的第一风室，第一风室通过进风管道与位于风切传送带下方的第二风室连通，所述进风管道上设置减压阀，第一风室对应风切风机处设置有风切过滤网，所述第一风室和第二风室对应风切传送带的位置设置互相对应的位于风切传送带的垂直面内与芯片成一定角度的切向出风口。

本发明的进一步改进在于：所述芯片在线清洗设备还包括若干台后端设置风切机构的喷淋式清洗装置，所述喷淋式清洗装置包括封闭的喷淋柜，喷淋柜内的上部设置一对承载芯片两侧边的喷淋传送带，喷淋柜内的下部设置封闭的第一喷淋液容器，第一喷淋液容器连接出两条由水泵和电磁阀控制的喷淋管路，所述两条喷淋管路分别位于喷淋传送带所承载的芯片的上方和下方并设置对应芯片的喷嘴，喷淋传送带下部设置一上端开口的收集喷淋后的残液的过渡容器，过渡容器通过设置有过滤网的管路连接到第一喷淋液容器。

本发明的进一步改进在于：所述喷淋式清洗装置的喷淋柜内还设置与第一喷淋液容器并联设置在过渡容器下方的用于切换喷淋液的第二喷淋液容器。

本发明的进一步改进在于：所述芯片在线清洗设备还包括位于清洗线末端的对芯片进行定位的定位台，所述定位台包括支架，支架的下面设置与芯片尺寸对应的由提升气缸推动做上下运动的提升台面，支架的上表面设置环绕提升台面的定位机构，所述定位机构包括两个相邻的垂直固定在支架上表面的固定挡板，还包括两个相对固定挡板设置的由动力气缸驱动推动芯片运动的活动挡片。

由于采用了上述技术方案，本发明取得的技术进步是：

本发明设计的清洗设备可以同时实现对芯片浸泡洗和喷淋洗，有效去除芯片表面的大颗粒污染物以及微量污染，并且整个清洗过程在封闭的环境中进行，无二次污染，依靠自动化的设备完成，满足现代化生产的高质高效、自动化程度高的要求。

所述浸泡式清洗装置设置封闭的浸洗池，浸洗池内的装置都采用耐酸耐碱材质。第一输料架借助推杆接应由进料传送带运输来的芯片，推杆的末端采用圆弧结构推动，减小了向上的作用力，采用推杆同时缩短了气缸的行程。推杆推动芯片，芯片从挡板和托板之间穿过并落在十字旋转架的旋转板上，旋转板随着输料带的向下运动，受物料和托板的共同作用带动十字旋转架旋转，芯片脱离旋转板的托架，稳定而完整落在托板上，借助托板上部的挡板，芯片克服因浮力可能上漂的问题。芯片达到第一输料架的下端，借助芯片检测装置，滑板接收芯片，滑板滑动将芯片运输到第二输料架一侧，第二输料架的托板托住芯片向上运动，到达顶部对应出料传送带时，再借助拨料机构将芯片拨动给出料传送带，拨料机构设计巧妙合理，并且不会对芯片造成损伤。第一输料架和第二输料架的输料带借助顶部的齿轮皮带配合实现同步运动，结构简单、设计合理，且便于控制速度。在输料带的外侧设置对芯片进行喷淋的喷水孔，且设置逐步变化的喷淋角度，进一步增加了浸洗效果，提高芯片清洗的清洁度。

所述喷淋式清洗装置为封闭式结构，保证喷淋时不受污染。设置的喷淋传送带托住芯片的两个侧边，借助上下两条喷淋管路对芯片的上方和下方进行喷淋冲洗，清洗过程简单，借助水泵和电磁阀控制清洗压力和水量，达到芯片的清洗要求。喷淋后的残液流入过渡容器后经过滤网过滤可重复使用，节约能源。设置检测第一喷淋液容器和第二喷淋液容器内喷淋液情况的检测装置，当第一喷淋液容器内的喷淋液不可再用时，可切换到第二喷淋液容器，更换第一喷淋液容器，可以实现连续清洗，不间断工作。

所述风切机构的高压风经过风切过滤网进入第一风室，一部分高压风沿第一风室的出风口吹出，形成的风刀以一定角度冲击盖板，另一部分高压风沿进风管道经过减压阀从第二风室的出风口吹出，形成风刀对芯片的背面进行风干，风力均匀恒定，去除残留在芯片表面的液体及部分污染物。并且设置第一风室的风压大于第二风室的风压，防止芯片被吹起。

所述定位台首先借助提升台面将芯片提升定位机构的水平面上，然后以两个相邻的固定挡板为基准，操作两个活动挡片定位芯片，方便后续工艺中拾取芯片的操作。

附图说明

图1是本发明的一种实施例的结构示意图；

图2是本发明的浸洗柜内部结构示意图；

图3是本发明的第一输料架的结构示意图；

图4是图3的局部放大图；

图5是本发明的推杆部分的结构示意图；

图6是本发明的拨料机构的结构示意图；

图7是本发明的喷水孔部分的原理示意图；

图8是本发明的喷淋柜的内部结构示意图；

图9是本发明的风切机构的结构示意图；

图10是图9的右视图；

图11是本发明的自动送料机构的结构示意图；

图12是本发明的定位台的结构示意图。

其中，1、进料传送带，2、出料传送带，3、浸洗池，4、第一输料架，5、第二输料架，6、托板，7、伺服电机，8、皮带，9、齿轮，101、传动齿轮，102、锥齿轮，103、锥齿轮，104、传动锥齿轮，105、主动齿轮，106、被动齿轮，107、输料带，108、滑板，109、电机，110、驱动气缸，111、拨杆，112、转轴，113、推杆，114、气缸，115、转动轴，116、十字旋转架，117、旋转轴，118、旋转板，119，挡板，120，进水管，121、进水过滤网，122、进水泵，123、压力控制阀，124、喷水孔，125、喷水线路，

21、第一喷淋液容器，22、第二喷淋液容器，23、过渡容器，24、喷淋传送带，25、过滤网，26、电磁阀，27、水泵，28、喷淋管路，29、喷嘴，

31、风切柜，32、风切传送带，33、风切风机，34、第一风室，35、第二风室，36、进风管道，37、减压阀，38、风切过滤网，39、切向出风口，

41、支撑架，42、卡槽，43、输送带，

51、支架，52、提升台面，53、提升气缸，54、固定挡板，55、活动挡片，56、动力气缸，A、自动送料机构，B、浸洗柜，C、风切机构，D、喷淋柜，E、定位台，F、芯片。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步详细说明：

芯片在线清洗设备，包括自动送料机构A、后端设置风切机构C的浸泡式清洗装置、后端设置相同风切机构C的喷淋式清洗装置、定位台E。

所述自动送料机构A设置在第一台在线清洗设备的前端，如图1和图11所示，自动送料机构A衔接在浸泡式清洗装置的前端，由支撑架41支撑一对与浸泡式清洗装置内的进料传送带为一体或者分体的双链式输送带43，输送带43的外侧设置固定的卡槽42，卡槽42的尺寸与芯片尺寸对应，用于对放置其上的芯片F进行初步定位。

所述浸泡式清洗装置如图2～7所示，包括浸洗柜B和风切机构C两部分。

所述浸洗柜B如图2所示，浸洗柜B内的一侧设置衔接自动送料机构A的一对进料传送带1，浸洗柜B内的另一侧设置与风切机构C连接的一对出料传送带2。进料传送带1和出料传送带2位于同一水平面上，而且都是双链式结构，其每对传送带之间的间距均小于芯片F的尺寸，工作时分别托住芯片F两侧边水平运动。所述进料传送带1与出料传送带2之间设置盛装有浸洗液的浸洗池3。浸洗池3内并排设置对应进料传送带1的第一输料架4、对应出料传送带2的第二输料架5。

所述第一输料架4如图3所示，包括两对垂直设置的输料带107，两对输料带107沿进料传送带的进料方向延伸设置，这样，两对输料带107之间的距离与进料传送带1的间距相对应，在输料带107设置互相对应的托板6，即可托住芯片F垂直运动。两对输料带107的上方设置控制输料带107同步垂直运动的机械动力控制机构，该机构包括一根环绕两对输料带107上方的皮带8，所述皮带8通过伺服电机7与齿轮9的配合带动旋转。齿轮9设置在其中任意一根输料带的顶部，伺服电机7对应齿轮9安装在浸洗池的3上方。其他输料带的顶部设置有起传动作用同时固定皮带的副齿轮，皮带8内侧设置与齿轮9、副齿轮相配合的齿牙。皮带8对应输料带的四个角均设置传动齿轮101，传动齿轮的齿牙与皮带配合，各传动齿轮101的下方设置一同步旋转的锥齿轮102。锥齿轮102的一侧设置与之配合的传动锥齿轮104，传动锥齿轮104连接与其同步旋转的位于输料带107的上部的直齿轮结构的主动齿轮105，输料带的下部设置被动齿轮106。这样，将皮带8的旋转运动借助锥齿轮配合传递给每根输料带，使输料带107同步垂直向上或者向下运动。此实施例中，第一输料架4中的输料带107同步向下运动。

第一输料架4的两对输料带107之间的下部位置设置一块滑板108，滑板表面均布若干小孔，滑板108上还带有芯片检测装置。滑板108由丝杠滑块机构控制滑动于第一输料架4与第二输料架5之间。为了保证电机109不被浸洗池内的溶液腐蚀，设置如图2和图3的传递机构，电机109位于浸洗池3上方，电机109通过两组锥齿轮配合将动力转化为驱动第一输料架4和第二输料架5之间的丝杠旋转的运动，丝杠上设置沿丝杠滑动的滑块，滑块与滑板108固定连接为一体。

所述第二输料架5包括与第一输料架4结构相同的两对输料带107，不同之处在于此两对输料带107在伺服电机7的反转驱动下同步垂直向上运动。在第一输料架4与第二输料架5之间的上部位置设置对应出料传送带将芯片拨动到出料传送带的拨料机构。所述拨料结构如图3和6所示，包括设置在第二输料架5的一侧的水平设置的驱动气缸110，驱动气缸110的输出端垂直连接与出料传送带水平2的拨杆111，拨杆111的中部设置转轴112，拨杆111的自由端对应第二输料架5上芯片F的一个侧边。如图6，驱动气缸110的输出端向左动作，拨杆111沿转轴112运动，自由端向右动作，推动第二输料架5上的芯片F向右滑动到出料传送带2上。

如前所述，第一输料架4和第二输料架5的输料带上间隔设置互相对应的托住芯片侧边的托板6。参考图4，使每对输料带上的托板6均向内延伸超出输料带107内侧的侧边。在每个托板上方的输料带上还设置了对芯片进行限位的挡板119，挡板的长度可以与输料带齐边，或者小于输料带的宽度。如图3和图5所示，在一对进料传送带1之间的下方位置设置推动芯片向第一输料架4运动的推杆113，推杆113的一端连接水平设置的气缸114，推杆113的中部设置转动轴115，推杆113的另一端为末端对应芯片F的侧边的弧形结构。如拨料机构的运动过程，气缸114向左运动，推杆113沿转动轴115转动，推杆113的弧形边缘顶住芯片F的侧边，使芯片F向右划入第一输料架4上。为了使第一输料架4更好的衔接芯片F，如图4所示，在第一输料架4上部的各对输料带之间对应设置托住由推杆推动来的芯片的十字旋转架116。十字旋转架116包括穿设在输料带之间的旋转轴117，旋转轴117上设置四个互相垂直设置的旋转板118，旋转板118的宽度小于一对输料带107之间的宽度，长度以可以搭接在托板6上为准。如图4所示，工作时，其中一个旋转板从输料带之间伸出并搭接在对应位置的输料带的两个托板上，旋转板位于托板与挡板之间，芯片被推杆推动，从托板与挡板之间穿过，并落在旋转板上，随着输料带的向下运动，旋转板受芯片和托板的共同作用向下旋转，芯片顺势脱离旋转板的托架，并滑落到托板上，芯片在托板与挡板之间稳定住，并借助挡板克服芯片可能受到的浮力。同时，十字旋转架的向下旋转，促使另一个旋转板搭接到输料带的上一层托板上。

所述第一输料架和第二输料架的每对输料带的外侧分层设置互相对应的喷水孔124，喷水孔124与各层托板6对应对芯片F表面进行喷洗。如图7所示，设置一条带进水泵122的进水管120，进水泵122进水端的进水管120上设置对浸洗液进行过滤的进水过滤网121，进水泵122出水端的进水管120在各层托板6处设置喷洗支路，每条喷洗支路上还设置压力控制阀123，喷洗支路的末端设置对应芯片的喷水孔124。进水泵122从浸洗池3内抽取经进水过滤网121过滤后的浸洗液，从各层托板6处对芯片F进行喷洗。其中，顶层的喷水孔的喷淋角度对准芯片的中间，底层的喷水孔的喷淋角度对准芯片的边缘，中间各层的喷水孔的喷淋角度，如图7所示从顶层对准芯片的中心逐步过渡到底层的喷水孔对准芯片的边缘。

浸泡式清洗装置的浸洗柜后端设置风切机构C，风切机构C用于对浸洗后的芯片进行冷风干燥，去除表面浸洗液。风切机构C如图9和图10所示，包括封闭的风切柜31，风切柜31内设置一对衔接出料传送带运输来的芯片的风切传送带32。风切传送带32与出料传送带2的结构一样。风切传送带32的上方设置连接有若干风切风机33的第一风室34，第一风室34对应风切风机处设置有风切过滤网38，出风稳定。风切传送带下方设置第二风室35，第一风室34通过进风管道36与第二风室35连通，所述进风管道36上设置减压阀37，保证第一风室34内的风压大于第二风室35的风压。所述第一风室34和第二风室35对应风切传送带的位置设置互相对应的切向出风口39，如图10所示，所述切向出风口39位于风切传送带32的垂直面内，并与芯片成60度夹角。

所述喷淋式清洗装置包括喷淋柜D和风切机构C两部分，风切机构C与浸泡式清洗装置的结构相同。所述喷淋柜D如图8所示，喷淋柜D内的上部设置一对喷淋传送带24，两条喷淋传送带24分别托住芯片F的一个侧边，芯片中心部分的正反两面都不与喷淋传送带接触。喷淋柜D的中部两条喷淋传送带24的下方设置一个上端开口的过渡容器23，过渡容器23的下面设置封闭的第一喷淋液容器21和第二喷淋液容器22。过渡容器23下面连接一条带有过滤网25的管路，该管路分为两条支路，分别连接第一喷淋液容器21和第二喷淋液容器22。所述管路和两条支路上都设置电磁阀26。所述第一喷淋液容器21和第二喷淋液容器22还都连接出一条出液管路，各出液管路上也设置电磁阀26，出液管路汇总为一条设置有水泵27的总管路，总管路在喷淋传送带24处分支为两条喷淋管路28，两条喷淋管路28分别位于喷淋传送带24所承载的芯片F的上方和下方，并且两条喷淋管路28上也设置电磁阀26。所述第一喷淋液容器和第二喷淋液容器设置检测喷淋液情况的检测装置。工作时，第一喷淋液容器21内的喷淋液由电磁阀26和水泵27控制输送到喷淋管路28，喷淋管路的喷嘴29对芯片的正反两面进行冲洗，冲洗后的残留喷淋液流入过渡容器23，过渡容器23内的残液经过过滤网25过滤后回流到第一喷淋液容器21内。当检测装置检测到第一喷淋液容器21内的喷淋液不可再用时，电磁阀26控制出液管路切换到第二喷淋液容器22，更换第一喷淋液容器21，可以实现连续清洗，不间断工作。

所述定位台E设置在生产线的后端，如图12所示。所述定位台E包括支架51，支架51的下面设置与芯片尺寸对应的提升台面52，提升台面52接受从上一个设备传递来的芯片F。提升台面52的下端连接固定在支架51上的提升气缸53，提升气缸53推动提升台面52做上下运动，从而运输提升台面52上的芯片F向上或者向下运动。支架51的上表面设置环绕提升台面52的定位机构。所述定位机构包括两个相邻设置的固定挡板54，固定挡板54垂直固定在支架的上表面。两个固定挡板54的对面设置活动挡片55，活动挡片由安装在活动挡片55后面的动力气缸56驱动向着或者背离固定挡板54运动。

本发明中由于设置了规格统一，互相衔接的传送带，各清洗装置的数量和位置均可以做适当的调整，并根据清洗要求对其中的清洗液体做改变，如图1所示的一种实施例，包括顺次设置的自动送料机构、盛装酸溶液的浸泡式清洗装置、盛装去离子水的喷淋式清洗装置、盛装碱溶液的浸泡式清洗装置、盛装去离子水的喷淋式清洗装置、盛装纯水的喷淋式清洗装置、盛装超纯水的喷淋式清洗装置、定位台。但是值得指出的是，实际生产中并非本说明书中列举的此一种实施例，而且在实际操作中，应该对所述的包括进水过滤网、过滤网、风切过滤网等过滤装置，连同清洗液体等都做定期的检测和更换。

Claims (10)

1.芯片在线清洗设备，其特征在于：包括若干台后端设置有风切机构(C)的浸泡式清洗装置，所述浸泡式清洗装置包括封闭的浸洗柜(B)，浸洗柜(B)内的一侧设置衔接自动送料机构(A)的一对托住芯片(F)两侧边水平运动的进料传送带(1)，浸洗柜(B)内的另一侧设置与风切机构(C)连接的一对水平运动的出料传送带(2)，所述进料传送带(1)与出料传送带(2)之间设置盛装有浸洗液的浸洗池(3)，所述浸洗池(3)内并排设置对应进料传送带(1)的第一输料架(4)、对应出料传送带(2)的第二输料架(5)；所述第一输料架(4)包括由机械动力控制的衔接于进料传送带(1)后端分别托住芯片(F)的一个侧边同步垂直向下运动的两对输料带(107)，两对输料带(107)之间的下部位置设置带有芯片检测装置的由丝杠滑块机构控制滑动于第一输料架(4)与第二输料架(5)之间的滑板(108)，所述第二输料架(5)包括与第一输料架(1)结构相同的两对同步垂直向上运动的输料带(107)，第一输料架(4)与第二输料架(5)之间的上部位置设置对应出料传送带(2)将芯片(F)拨动到出料传送带(2)的拨料机构。

2.根据权利要求1所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述一对进料传送带(1)之间的下方位置设置推动芯片(F)向第一输料架(4)运动的推杆(113)，推杆(113)的一端连接水平设置的气缸(114)，推杆(113)的中部设置转动轴(115)，推杆(113)的另一端为末端对应芯片(F)的侧边的弧形结构。

3.根据权利要求1或2所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述第一输料架(4)和第二输料架(5)的输料带(107)上间隔设置互相对应的托住芯片(F)侧边的托板(6)，每对输料带(107)上的托板(6)均向内延伸超出输料带(107)内侧的侧边，各托板(6)上方的输料带(107)上还设置对芯片进行限位的挡板(119)；第一输料架(4)上部的各对输料带(107)之间对应设置托住由推杆(113)推动来的芯片(F)的十字旋转架(116)，十字旋转架(116)包括穿设在输料带(107)之间的旋转轴(117)，旋转轴(117)上设置四个互相垂直设置的旋转板(118)，其中一个旋转板(118)从输料带(107)之间伸出并搭接对应位置的两个托板(6)上。

4.根据权利要求3所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述拨料结构包括垂直连接在水平设置的驱动气缸(110)输出端的拨杆(111)，拨杆(111)的中部设置转轴(112)，拨杆(111)的自由端对应第二输料架(5)上芯片(F)的一个侧边。

5.根据权利要求4所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述第一输料架(4)与第二输料架(5)的输料带(107)的机械动力控制机构包括位于两对输料带(107)上端的一圈由伺服电机(7)通过齿轮(9)带动旋转的皮带(8)，皮带(8)对应输料带(107)的四个角均设置传动齿轮(101)，各传动齿轮(101)的下方设置一同步旋转的锥齿轮(103)，与锥齿轮(103)配合的传动锥齿轮(104)带动位于输料带(107)上部的主动齿轮(105)同步旋转，输料带(107)的下部设置被动齿轮(106)。

6.根据权利要求5所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述第一输料架(4)和第二输料架(5)的每对输料带(107)的外侧相对设置与各层托板(6)对应的通过管路和进水泵(122)与浸洗池内的浸洗液连通的对芯片(F)进行喷洗的喷水孔(124)，所述各层喷水孔(124)对应芯片(F)的喷淋角度从顶层的的对准芯片(F)的中间过渡到底层的对准芯片(F)的边缘。

7.根据权利要求1、4、5、6任一项所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述风切机构(C)包括封闭的风切柜(31)，风切柜(31)内设置一对运输芯片(F)的风切传送带(32)，风切传送带(32)的上方设置连接有若干风切风机(33)的第一风室(34)，第一风室(34)通过进风管道(36)与位于风切传送带(32)下方的第二风室(35)连通，所述进风管道(36)上设置减压阀(37)，第一风室(34)对应风切风机(33)处设置有风切过滤网(38)，所述第一风室(34)和第二风室(35)对应风切传送带(32)的位置设置互相对应的位于风切传送带(32)的垂直面内与芯片(F)成一定角度的切向出风口(39)。

8.根据权利要求7所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述芯片在线清洗设备还包括若干台后端设置风切机构(C)的喷淋式清洗装置，所述喷淋式清洗装置包括封闭的喷淋柜(D)，喷淋柜(D)内的上部设置一对承载芯片两侧边的喷淋传送带(24)，喷淋柜(D)内的下部设置封闭的第一喷淋液容器(21)，第一喷淋液容器(21)连接出两条由水泵(27)和电磁阀(26)控制的喷淋管路(28)，所述两条喷淋管路(28)分别位于喷淋传送带(24)所承载的芯片(F)的上方和下方并设置对应芯片(F)的喷嘴(29)，喷淋传送带(24)下部设置一上端开口的收集喷淋后的残液的过渡容器(23)，过渡容器(23)通过设置有过滤网(25)的管路连接到第一喷淋液容器(21)。

9.根据权利要求8所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述喷淋式清洗装置的喷淋柜(D)内还设置与第一喷淋液容器(21)并联设置在过渡容器(23)下方的用于切换喷淋液的第二喷淋液容器(22)。

10.根据权利要求1或9所述的芯片在线清洗设备，其特征在于：所述芯片在线清洗设备还包括位于清洗线末端的对芯片进行定位的定位台(E)，所述定位台(E)包括支架(51)，支架(51)的下面设置与芯片(F)尺寸对应的由提升气缸(53)推动做上下运动的提升台面(52)，支架(51)的上表面设置环绕提升台面(52)的定位机构，所述定位机构包括两个相邻的垂直固定在支架(51)上表面的固定挡板(54)，还包括两个相对固定挡板(54)设置的由动力气缸(56)驱动推动芯片(F)运动的活动挡片(55)。

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