CN102768012A - 校正多个影像感测器坐标位置的方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种校正多个影像感测器坐标位置的方法及其装置，包含于一检测台上设一光罩、一下影像感测器及一上影像感测器，该光罩上具有一透光图形，令下影像感测器于光罩下方感测透光图形，而校正下影像感测器的坐标位置，且令上影像感测器于光罩上方感测透光图形，而校正上影像感测器的坐标位置，使得上、下影像感测器的坐标位置能同步调动。

Description

校正多个影像感测器坐标位置的方法及其装置

技术领域

本发明提供一种校正多个影像感测器的坐标位置的方法，特别涉及利用光罩校正检测设备的多个影像感测器的坐标位置。本发明也提供一种具备多个影像感测器的检测设备。

背景技术

工业用的检测设备上通常配备有影像感测器，举如影像CCD(Charge CoupledDevice)感测器，该影像感测器大多能在检测设备的检测台上沿纵向、横向及垂向位移，且能由上而下感测检测台上的待测物件的顶面影像。

且知，上述影像感测器通常能外接至计算机，并经由计算机运算出影像感测器的坐标位置，进而得知影像感测器感测的待测物件的坐标位置，以作为控制其他器具对物件进而加工或检测的依据；该影像感测器的坐标位置通常是利用检测台上的机械式原点来进行校正，该机械式原点是指能够将影像感测器校正至正确的坐标位置的止挡结构或装置。

然而，由于目前的光电产品的制造精密度极高，上述利用机械式原点校正影像感测器的坐标位置的作法，在进行多个影像感测器的坐标位置的校正时，容易造成各影像感测器的坐标位置之间产生微细误差，但该微细误差已足以影响光电产品的制造精度；此外，上述利用影像感测器由待测物件的单一方位进行感测而取得坐标位置的作法，显然已经难以满足现阶段在检测精密度上的需求；另外，市面上虽然已存在有在物件的多个方位分别配置影像感测器来进行感测的作法，但所述影像感测器是各自运作的，因此各影像感测器的坐标位置并不具有同步调动的能力，且未提出校正所述影像感测器的坐标位置的作法。

再者，市面上另存在有利用光罩来校正物件单一方位的影像感测器的坐标位置的技术，但所述物件单一方位的影像感测器对检测精密度的提升上并不具有显著功效。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种校正多个影像感测器坐标位置的方法，能够以光学式原点校正多个影像感测器的坐标位置，以克服上述先前技术中，利用机械式原点校正影像感测器的坐标位置，而容易造成各影像感测器的坐标位置之间产生微细误差的问题；此外，并能够校正待测物件的多个方位的影像感测器的坐标位置，致使所述影像感测器的坐标位置能够同步调动，进而能够利用所述影像感测器由待测物件的多个方位进行感测，以克服上述先前技术中，利用影像感测器由待测物件的单一方位进行感测，而难以满足现阶段在检测精密度上需求的困扰。

本发明的另一目的在于提供一种校正多个影像感测器坐标位置的装置，能够利用待测物件的多个方位的影像感测器进行感测而取得坐标位置，并能校正所述影像感测器的坐标位置。

为实现上述目的并解决问题，本发明采用的方法，包含：

在一检测台上提供一光罩，该光罩上具有一透光图形；

使用该检测台上的一下影像感测器，在该光罩下方感测该透光图形，而校正该下影像感测器的坐标位置；及

使用该检测台上的一位置高于该下影像感测器的上影像感测器，在该光罩上方感测该透光图形，而校正该上影像感测器的坐标位置。

据此，能以光罩作为光学式原点，校正待测物件的上、下二个方位的上、下影像感测器的坐标位置，致使所述上、下影像感测器的坐标位置能同步调动，进而能够利用所述上、下影像感测器由待测物件的上、下二个方位进行感测。

在一具体的实施上，该下影像感测器固设于光罩下方；或者，该下影像感测器也能沿着一个以上轴向位移至光罩下方。此外，该上影像感测器能沿着一个以上轴向位移至光罩上方。

在另一具体的实施上，该上影像感测器及下影像感测器同步经由该透光图形相互感测。

除此之外，本发明采行的装置技术，包含：

一检测台；

一光罩，固设于该检测台上，该光罩上具有一透光图形：

一下影像感测器，配置于该检测台上，能够于该光罩下方感测该透光图形，而校正该下影像感测器的坐标位置；及

一上影像感测器，配置于该检测台上高于该下影像感测器的位置，能够进行一个以上轴向位移，而于该光罩上方感测该透光图形，并校正该上影像感测器的坐标位置。

据此，能利用待测物件的上、下二个方位的上、下影像感测器进行感测而取得坐标位置，并能校正所述上、下影像感测器的坐标位置，使所述上、下影像感测器的坐标位置能够同步调动。

实际上，该下影像感测器固设于光罩下方；或者，该检测台上具有一连接下影像感测器的第一驱动器，能驱动下影像感测器沿着一个以上轴向位移至光罩下方。

此外，该检测台上具有一连接上影像感测器的第二驱动器，能驱动上影像感测器沿着一个以上轴向位移至光罩上方。

然而，为能明确且充分揭露本发明，并予列举较佳实施的图例，以详细说明其实施方式如后述：

附图说明

图1是本发明第一款实施例的流程图；

图2是本发明第二款实施例的俯视图；

图3是图2的A-A断面图；

图4是图2的B-B断面图；

图5是图2的光罩的局部放大图；

图6是图3的影像感测器及光罩的局部放大图；

图7是图3的附加实施型态的配置示意图。

附图标记说明：1-检测台；11-承座；111-窥视口；12-承放盘；2-光罩；21-透光图形；211-透光区块；212-遮蔽区块；3-下影像感测器；4-上影像感测器；5-第二驱动器；51、61-纵向驱动单元；52、62-横向驱动单元；53-垂向驱动单元；6-第一驱动器。

具体实施方式

首观图1所示，揭示出本发明第一款实施例的流程图，并配合图2至图4说明本发明校正多个影像感测器坐标位置的方法，包含下列实施步骤：

在步骤S10中，在一检测台1上提供一光罩2(配合图5及图6所示)，该光罩2上具有一透光图形21，该透光图形21具有一个以上透光区块211及一个以上遮蔽区块212；在本实施上，该检测台1顶部设有一固定式承座11，该光罩2固定于承座11顶部。此外，该检测台1上设有一能够摆放待测物件的承放盘12。

在步骤S20中，使用检测台1上的一下影像感测器3，在光罩2下方的位置，朝向上方感测该透光图形21(配合图5及图6所示)，经由辨识所述透光区块211及所述遮蔽区块212，而校正下影像感测器3的坐标位置；在本实施上，该下影像感测器3固设于该承座11的中段位置，而位于光罩2下方；在一具体实施上，该承座11呈管状，而在承座11顶部形成一窥视口111，该光罩2固定于窥视口111，且下影像感测器3固定于承座11内部，能够朝窥视口111方向感测该透光图形21

在步骤S21中，经由下影像感测器3外接的一计算机(未绘制)，判断下影像感测器3的坐标位置是否校正完毕；实际上，该计算机能接收下影像感测器3感测的透光图形21的影像(配合图5及图6所示)，以校正下影像感测器3的坐标位置；当计算机判断下影像感测器3的坐标位置未校正完毕时，即重复实施在步骤S20，当计算机判断下影像感测器3的坐标位置已校正完毕时，即实施在步骤S40；由于光罩2及下影像感测器3在本实施上都是以固定方式配置，因此下影像感测器3始终保持在正确的坐标位置。

在步骤S30中，使用检测台1上的一位置高于下影像感测器3的上影像感测器4，在光罩2上方的位置，朝向下方感测该透光图形21(配合图5及图6所示)，经由辨识所述透光区块211及所述遮蔽区块212，而校正上影像感测器4的坐标位置；在本实施上，该上影像感测器4能沿着一个以上轴向位移至光罩2上方；实际上，该检测台1顶部设有一连接上影像感测器4的第二驱动器5，该第二驱动器5包含一纵向驱动单元51、一横向驱动单元52及一垂向驱动单元53，该纵向驱动单元51设于检测台1顶部，该横向驱动单元52设于纵向驱动单元51上，该垂向驱动单元53设于横向驱动单元52上，且上影像感测器4设于垂向驱动单元53上，所述纵向、横向、垂向驱动单元51、52、53各自以一马达、一接受该马达驱动的螺杆及二导引用滑轨构成；如此，该第二驱动器5能够驱动上影像感测器4沿纵向、横向及垂向位移至光罩2上方，并朝窥视口111方向感测该透光图形21。

在步骤S31中，经由上影像感测器4外接的该计算机，判断上影像感测器4的坐标位置是否校正完毕；实际上，该计算机也能接收上影像感测器4感测的透光图形21的影像(配合图5及图6所示)，以校正上影像感测器4的坐标位置；当计算机判断上影像感测器4的坐标位置未校正完毕时，即重复实施在步骤S30，当计算机判断上影像感测器4的坐标位置已校正完毕时，即实施在步骤S40。

在步骤S40中，在下影像感测器3及上影像感测器4的坐标位置均校正完毕时，结束运作。

在另一具体实施上，在步骤S20中，该下影像感测器3也能沿着一个以上轴向位移至光罩2下方；实际上，该检测台1上设有一连接下影像感测器3的第一驱动器6(如图7所示)，该第一驱动器6包含一纵向驱动单元61及一横向驱动单元62，该纵向驱动单元61设于检测台1上，该横向驱动单元62设于纵向驱动单元61上，且下影像感测器3设于横向驱动单元62上，所述纵向、横向驱动单元61、62各自以一马达、一接受该马达驱动的螺杆及二导引用滑轨构成；如此，该第一驱动器6能够驱动下影像感测器3沿纵向及横向位移至光罩2下方，以感测该透光图形21。

在又一具体的实施上，该上影像感测器4及下影像感测器3也能同步经由该透光图形21的透光区块211相互感测(如图5及图6所示)，能够更进一步提升校正精度。

通过上述，能够在检测台1的承放盘12顶部摆放待测物件，所述上、下影像感测器4、3分别位于该物件的上、下二个方位；据此，能够以光罩2作为光学式原点，校正上、下影像感测器4、3的坐标位置，以克服上述先前技术中，利用机械式原点校正影像感测器的坐标位置，而容易造成各影像感测器的坐标位置之间产生微细误差的问题；此外，并能校正待测物件的上、下二个方位的上、下影像感测器4、3的坐标位置，致使所述上、下影像感测器4、3的坐标位置能够同步调动，进而能够利用所述上、下影像感测器4、3由待测物件的上、下二个方位进行感测，以克服上述先前技术中，利用影像感测器由待测物件的单一方位进行感测，而难以满足现阶段在检测精密度上需求的困扰。

请参阅图2所示，揭示出本发明第二款实施例的俯视图，并配合图3及图4说明本发明校正多个影像感测器坐标位置的装置，包含一检测台1、一光罩2、一下影像感测器3及一上影像感测器4；该光罩2固设于检测台1上，且光罩2上具有一透光图形21(如图5及图6所示)：该下影像感测器3配置于检测台上，能在光罩2下方感测该透光图形21，而校正下影像感测器3的坐标位置；该上影像感测器4配置于检测台1上高于下影像感测器3的位置，能进行一个以上轴向位移，而在光罩2上方感测该透光图形21，并校正上影像感测器4的坐标位置。其余构件组成及实施步骤是等同于上述第一款实施例。

通过上述，能够于检测台1上摆放待测物件，所述上、下影像感测器4、3分别位于该物件的上、下二个方位；据此，能够利用待测物件的上、下二个方位的上、下影像感测器4、3进行感测而取得坐标位置，并能校正所述上、下影像感测器4、3的坐标位置，使所述上、下影像感测器4、3的坐标位置能够同步调动。

以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围的内。

Claims (9)

1.一种校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于包含有：

在一检测台上提供一光罩，该光罩上具有一透光图形；

使用该检测台上的一下影像感测器，在该光罩下方感测该透光图形，而校正该下影像感测器的坐标位置；及

使用该检测台上的一位置高于该下影像感测器的上影像感测器，在该光罩上方感测该透光图形，而校正该上影像感测器的坐标位置。

2.根据权利要求1所述校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于：所述下影像感测器固设于该光罩下方。

3.根据权利要求1所述校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于：所述下影像感测器能够沿着一个以上轴向位移至该光罩下方。

4.根据权利要求1所述校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于：所述上影像感测器能够沿着一个以上轴向位移至该光罩上方。

5.根据权利要求1所述校正多个影像感测器坐标位置的方法，其特征在于：所述上影像感测器及该下影像感测器同步经由该透光图形相互感测。

6.一种校正多个影像感测器坐标位置的装置，其特征在于，包含有：

一检测台；

一光罩，固设于该检测台上，该光罩上具有一透光图形：

一下影像感测器，配置于该检测台上，能够于该光罩下方感测该透光图形，而校正该下影像感测器的坐标位置；及

一上影像感测器，配置于该检测台上高于该下影像感测器的位置，能够进行一个以上轴向位移，而在该光罩上方感测该透光图形，并校正该上影像感测器的坐标位置。

7.根据权利要求6所述校正多个影像感测器坐标位置的装置，其特征在于：所述下影像感测器固设于该光罩下方。

8.根据权利要求6所述校正多个影像感测器坐标位置的装置，其特征在于：所述检测台上具有一连接该下影像感测器的第一驱动器，能够驱动该下影像感测器沿着一个以上轴向位移至该光罩下方。

9.根据权利要求6所述校正多个影像感测器坐标位置的装置，其特征在于：所述检测台上具有一连接该上影像感测器的第二驱动器，能够驱动该上影像感测器沿着一个以上轴向位移至该光罩上方。

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