CN102738293A - 执行装置和机械手 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种执行装置和机械手，该执行装置包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。本发明提供的技术方案中，执行装置通过第一封闭部件线形接触被吸附晶片，被吸附晶片无需与第一部件直接面接触，避免了由于被吸附晶片和执行装置面接触而产生缝隙所造成的真空度达不到设定真空度的问题，从而避免了执行装置吸取晶片失败。

Description

执行装置和机械手

技术领域

本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种执行装置和机械手。

背景技术

随着制造晶硅太阳能电池的工艺效率的显著提高，太阳能电池生产线对晶片的自动化传输效率的要求也越来越高，这就需要晶片传输的各个环节都要高速且可靠地工作。在晶片传输的过程中，把晶片从料盒中取出的操作是晶片传输过程中的第一步，该步骤的速度和可靠性直接关系到晶片的传输效率。图1为一种料盒的结构示意图，如图1所示，该料盒包括多个相对设置的晶片槽11，每两个相对设置的晶片槽11可用于放置一个晶片。把晶片从料盒中取出通常需要专用的机械手，图2为一种机械手的结构示意图，如图2所示，该机械手包括手臂12、执行装置13和驱动装置。执行装置13固定于手臂12的末端；驱动装置设置于手臂12的下方，该驱动装置用于驱动手臂12运动。其中，驱动装置可包括直线轴承14、气缸15和电缸16，手臂12固定于直线轴承14上。具体地，电缸16包括电机、丝杠和导轨(图中未具体示出)，该电缸16可驱动手臂12水平运动，从而实现手臂12和执行装置13的伸缩运动。执行装置13的竖直运动是通过气缸15和四个直线轴承14实现的，气缸15产生动力以驱动直线轴承14，直线轴承14在气缸15的驱动下带动手臂12竖直运动，从而实现手臂12的升降运动。进一步地，机械手还包括设置于电缸16下方的支撑柱17，该支撑柱17用于支撑电缸16。另外，机械手还包括各种气动管路和电气线路等(图中未画出)，该气动管路和电气线路与气缸15连接。此外，机械手还包括拖链10，拖链10用于使气动管路和电气线路走线，即气动管路和电气线路设置于拖链10中。拖链10带动气动管路和电气线路做水平往复运动。进一步地，该机械手中还设置有用于吸附晶片的吸片气路。机械手的重要执行元件是执行装置13，该执行装置13上端设置有吸附通孔，当获取晶片时该执行装置13可产生真空，从而吸住晶片并使晶片随其快速运动。图3为机械手的吸片气路原理图，如图3所示，该吸片气路包括依次连接的调压阀18、电磁阀19、过滤器20和压力传感器21，调压阀18还与真空源22相连，压力传感器21还与执行装置13连接。调压阀18用于调节真空压力，当电磁阀19处于常开状态(如图3中所示)时，执行装置13和真空源22之间的气路连通，此时在执行装置13和晶片23之间产生真空，从而把晶片23吸附在执行装置13上，压力传感器21可检测出执行装置13和电磁阀19之间气路的真空度。执行装置13上吸附有晶片时和未吸附有晶片时执行装置13和电磁阀19之间气路的真空度是不同的，因此可通过压力传感器21检测出的真空度来判断执行装置13上是否吸附有晶片23。当需要释放掉执行装置13上吸附的晶片时，使电磁阀19处于常闭状态，此时执行装置13和真空源22之间的气路隔断同时执行装置13和大气连通，使执行装置13和晶片23之间的气压恢复至大气压，从而使执行装置13释放掉吸附的晶片23。综上所述，机械手是通过执行装置13产生的真空吸附作用来实现晶片23的吸取和释放，通过电缸16实现晶片23的伸缩移动，通过气缸15实现晶片23的升降运动。其中，执行装置13的结构会直接影响到吸取晶片23的稳定性以及晶片23传输的效率。

执行装置13的结构首先要满足该执行装置13能伸入到料盒中取出晶片，由于料盒中晶片之间的间距通常为4.5mm～5mm，因此要求执行装置13的厚度要小于4mm，通常执行装置13的厚度小于或者等于2mm；同时为了满足执行装置13中存在抽气通道，执行装置13需采用双层结构。图4为一种执行装置的结构示意图，图5为图4中第一部件的结构示意图，图6为图4中第二部件的结构示意图，如图4、图5和图6所示，该执行装置包括第一部件31和第二部件32，第一部件31和第二部件32通过高强度胶粘接在一起。第一部件31位于上层，第二部件32位于底层。第一部件31上设置有吸附通孔33，第二部件32上设置有气路通道。具体地，第一部件31上设置有5个吸附通孔33，其中四个吸附通孔33设置于一个吸附通孔33的周边；气路通道包括第一条形槽34、第二条形槽35和第三条形槽36。第二条形槽35、第三条形槽36分别与第一条形槽34垂直相交，从而使第二条形槽35、第三条形槽36分别与第一条形槽34相互连通。位于中间的吸附通孔33与第一条形槽34相对设置，从而使该吸附通孔33与第一条形槽34连通；位于周边的二个吸附通孔33与第二条形槽35相对设置，从而使该二个吸附通孔33与第二条形槽35连通；位于周边的另二个吸附通孔33与第三条形槽36相对设置，从而使该二个吸附通孔33与第三条形槽36连通。其中，气路通道和吸附通孔33形成抽气通道。另外，第一部件31上还设置有二个第一固定孔37，第二部件32上还设置有与第一固定孔37对应的第二固定孔38。具体地，可在手臂12的末端设置螺孔，通过将螺钉穿设于第一固定孔37、第二固定孔38和螺孔中以实现将第一部件31和第二部件32固定于手臂12的末端。第一条形槽34上还设置有抽气口39，该抽气口39和真空源连通。结合图1至图4所示，将执行装置13深入到料盒中取片，当料盒中的晶片落到执行装置13的吸附通孔33上时，电磁阀19处于常开状态，此时执行装置13上的气路通道通过抽气口39和真空源连通，又由于吸附通孔33被晶片覆盖，因此使通过气路通道和吸附通孔33形成的抽气通道从大气状态转换到真空状态，从而实现将晶片吸附在执行装置13上。由于执行装置13是通过第一部件31上的吸附通孔33吸取晶片的，第一部件31的顶面和晶片接触，因此执行装置13和晶片是面接触的，这对执行装置13的第一部件31顶面的平面度要求很高。但是，机械手运行时执行装置13会出现以下问题：晶片生产线的厂房洁净度不高，前面的工序会在晶片底面产生颗粒，当晶片的底面上出现较大颗粒时，第一部件31和晶片底面接触时第一部件31和晶片之间会产生很多狭小的缝隙，当执行装置13吸取晶片时抽气通道和吸附通孔的真空度达不到设定的真空度，从而造成执行装置31吸取晶片失败。

发明内容

本发明提供一种执行装置和机械手，用以解决执行装置吸取晶片失败的问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种执行装置，包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。

进一步地，所述执行装置还包括第一部件和第二部件，所述第一部件设置于所述第二部件上；所述第二部件上设置有气路通道和抽气口，所述气路通道连通所述抽气口，所述第一部件上设置有第一吸附通孔，且所述第一吸附通孔、气路通道和抽气口形成抽气通道；所述第一部件上设置有第一凹槽，所述第一凹槽围绕所述第一吸附通孔设置，所述第一封闭部件与所述第一凹槽形状相匹配地设置于所述第一凹槽内，所述第一封闭部件凸出于所述第一部件，且所述第一封闭部件用于在对所述抽气通道抽真空的过程中，密封接触被吸附晶片以使所述第一凹槽与所述被吸附晶片之间形成真空空间。

进一步地，所述第一封闭部件的底面粘接于所述第一凹槽的底面。

进一步地，所述气路通道为设置于所述第二部件上的凹槽。

进一步地，所述气路通道为设置于所述第二部件内部的通道。

进一步地，所述第一凹槽为环状凹槽，且所述第一封闭部件为与所述环状凹槽形状相匹配的环状部件。

进一步地，所述第一封闭部件的材料为橡胶。

进一步地，所述第一吸附通孔的数量为一个或者多个。

进一步地，多个所述第一吸附通孔在所述第一凹槽所围绕的范围内均匀分布。

进一步地，所述第一封闭部件凸出于所述第一部件的高度差小于或者等于0.5mm。

进一步地，所述第一部件上还设置有第二凹槽，且所述第二凹槽位于所述第一凹槽所围绕的范围内，所述第二凹槽中设置有与所述第二凹槽形状相匹配的第二封闭部件，所述第二封闭部件凸出于所述第一部件。

进一步地，所述第一部件上还设置有第二吸附通孔，且所述第二吸附通孔和所述抽气通道连通，所述第二吸附通孔位于所述第二凹槽所围绕的范围内。

进一步地，所述第二封闭部件的顶面平行于所述第一封闭部件的顶面。

进一步地，所述第二封闭部件的底面粘接于所述第二凹槽的底面。

进一步地，所述第二封闭部件的材料为橡胶。

进一步地，所述第二凹槽为环状凹槽，且所述第二封闭部件为与所述环状凹槽形状相匹配的环状部件。

为实现上述目的，本发明还提供了一种机械手，包括：手臂、上述执行装置和驱动装置，所述执行装置固定于所述手臂上，所述驱动装置用于驱动所述手臂运动。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的技术方案中，执行装置包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。本发明中，执行装置通过第一封闭部件线形接触被吸附晶片，被吸附晶片无需执行装置面接触，避免了由于被吸附晶片和执行装置面接触而产生缝隙所造成的真空度达不到设定真空度的问题，从而避免了执行装置吸取晶片失败。

附图说明

图1为一种料盒的结构示意图；

图2为一种机械手的结构示意图；

图3为机械手的吸片气路原理图；

图4为一种执行装置的结构示意图；

图5为图4中第一部件的结构示意图；

图6为图4中第二部件的结构示意图；

图7为本发明实施例二提供的一种执行装置的结构示意图；

图8为图7中第一部件的结构示意图；

图9为图7中第二部件的结构示意图；

图10为图7中第一封闭部件的结构示意图；

图11为本发明实施例三提供的一种执行装置的结构示意图；

图12为本发明实施例四提供了一种执行装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的执行装置和机械手进行详细描述。

本发明实施例一提供了一种执行装置，该执行装置包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。

本实施例提供的执行装置包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。本发明中，执行装置通过第一封闭部件线形接触被吸附晶片，被吸附晶片无需执行装置面接触，避免了由于被吸附晶片和执行装置面接触而产生缝隙所造成的真空度达不到设定真空度的问题，从而避免了执行装置吸取晶片失败。

图7为本发明实施例二提供的一种执行装置的结构示意图，图8为图7中第一部件的结构示意图，图9为图7中第二部件的结构示意图，如图7、图8和图9所示，该执行装置包括第一部件41和第二部件42，第一部件41设置于第二部件42上，第二部件42上设置有气路通道43和抽气口44，气路通道43连通抽气口44，第一部件41上设置有第一吸附通孔45，且第一吸附通孔45、气路通道43和抽气口44形成抽气通道，第一部件41上还设置有第一凹槽46，第一凹槽46围绕第一吸附通孔45设置，第一凹槽46中设置有与第一凹槽46形状相匹配的第一封闭部件47，第一封闭部件47凸出于第一部件41，且第一封闭部件47用于在抽气通道抽真空的过程中，密封接触被吸附晶片以使第一凹槽与被吸附晶片之间形成真空空间。

其中，气路通道43通过抽气口44与真空源(图中未示出)连通，从而使抽气通道和真空源连通，抽气通道可通过真空源实现抽真空的过程。

优选地，第一部件41为片状结构，第一部件41的顶面411为平面，第一部件41的底面为平面；第二部件42为片状结构，第二部件42的顶面421为平面，第二部件42的底面为平面。本实施例中，第一部件41位于上层，第二部件42位于下层。优选地，可将第一部件41的底面粘接于第二部件42的顶面，从而实现第一部件41固定于第二部件42上。进一步还可以采用其它方式将第一部件41固定于第二部件42上，此处不再一一列举。

图10为图7中第一封闭部件的结构示意图，结合图7至图10所示，本实施例中，可通过多种方式将第一封闭部件47固定于第一凹槽46中，以实现在第一凹槽46中设置第一封闭部件47。其中，第一凹槽46用于对第一封闭部件47进行定位。优选地，第一封闭部件47的底面472粘接于第一凹槽46的底面461，从而将第一封闭部件47固定于第一凹槽46中。本实施例中，可通过高强度胶将第一封闭部件47的底面472粘接于第一凹槽46的底面461。进一步地，为使第一封闭部件47的底面472能够牢固的粘接于第一凹槽46的底面461，第一封闭部件47的底面472为平面，第一凹槽46的底面461为平面。本实施例中，为使第一封闭部件47能够设置于第一凹槽46中，第一封闭部件47的形状与第一凹槽46的形状需要相匹配。优选地，第一凹槽46和第一封闭部件47均可以为中心对称的结构。其中，第一凹槽46可以为环状凹槽，且第一封闭部件47可以为与环状凹槽形状相匹配的环状部件。进一步地，第一封闭部件47的形状和第一凹槽46的形状还可以为其它形状，此处不再赘述。

本实施例中，为保证第一封闭部件47吸附晶片时晶片和第一封闭部件47直接接触而不与第一部件41直接接触，第一封闭部件47要凸出于第一部件41。其中，第一封闭部件47凸出于第一部件41具体为：第一封闭部件47的顶面471高于第一部件41的顶面411。同时为避免第一封闭部件47和晶片接触瞬间第一封闭部件47对晶片造成损伤，例如：造成晶片变形或破碎等，第一封闭部件47可采用具有优良的弹性、柔软性以及密封作用的材料，优选地，第一封闭部件47的材料可以为橡胶。

本实施例中，气路通道43为设置于第二部件上的凹槽，具体地气路通道43为设置在第二部件42上的条形凹槽，该气路通道43的一端设置有抽气口44。该抽气口44可以为设置在第二部件42上的通孔，并且该抽气口44分别与气路通道43和真空源连通。进一步地，气路通道43还可以为设置于第二部件42内部的通道，此种情况在图中未示出。

第一吸附通孔45的数量可以为一个或者多个，本实施例中以二个第一吸附通孔45为例进行说明。优选地，多个第一吸附通孔45在第一凹槽46所围绕的范围内均匀分布。第一吸附通孔45位于气路通道43的上方，从而使第一吸附通孔45和气路通道43连通，抽气口44、第一吸附通孔45和气路通道43形成抽气通道。抽气口44可通过吸片气路和真空源连通。其中，吸片气路可包括依次连接的调压阀、电磁阀、过滤器和压力传感器，该吸片气路的具体结构可参见背景技术和图3中的描述。

本实施例中，由于第一封闭部件47凸出于第一部件41，因此当料盒中的晶片落于第一封闭部件47上时，第一封闭部件47吸附晶片，第一封闭部件47密封接触被吸附晶片以使第一凹槽46与该被吸附晶片之间形成真空空间，即：在晶片的底面、第一部件41的顶面411和第一封闭部件47之间形成真空空间。该真空空间和抽气通道连通，换言之，该真空空间通过第一吸附通孔45和气路通道43连通。当吸片气路中的电磁阀处于常开状态时，抽气通道通过设置于气路通道43上的抽气口44和真空源连通，使抽气通道和与抽气通道连通的真空空间从大气状态转换到真空状态，从而使第一封闭部件47实现对晶片的吸附。本实施例中，执行装置通过第一封闭部件吸附晶片，晶片无需与第一部件直接接触，晶片直接与第一封闭部件进行线接触而并非与第一部件进行面接触，从而减小了晶片与执行装置的接触面积。

本实施例中，位于晶片下方的真空空间的真空状态使得位于晶片上方的大气对晶片产生向下的压力，又由于晶片很薄(例如：通常为0.2mm)容易变形，因此该压力会造成晶片产生向下弯折的变形。为解决晶片弯折的问题，第一封闭部件47凸出于第一部件41的高度需要限定在一定的高度值，优选地，第一封闭部件47凸出于第一部件41高度差小于或者等于0.5mm。从而避免了吸附于第一封闭部件47上的晶片产生弯折变形甚至于破碎的问题。

本实施例中，位于晶片下方的真空空间的真空度越大，位于晶片上方的大气对晶片产生向下的压力就越大。因此，进一步地，还可以通过减小真空空间的真空度的方法降低大气对晶片产生的向下的压力，从而避免晶片产生弯折变形甚至于破碎的问题。

本实施例中，需要将执行装置固定于机械手的手臂上，以使执行装置实现吸附料盒中的晶片。因此，第一部件41上还设置有第一固定孔48，第二部件42上还设置有与第一固定孔48对应的第二固定孔49。具体地，可在手臂上设置螺孔，通过将螺钉穿设于第一固定孔48、第二固定孔49和螺孔中以实现将第一部件41和第二部件42固定于手臂上。对机械手的具体描述可参见背景技术部分，此处不再赘述。

本实施例提供的执行装置包括第一部件和第二部件，第一部件固定于第二部件上，第二部件上设置有气路通道和抽气口，气路通道通过抽气口与真空源连通，第一部件上设置有第一吸附通孔，且第一吸附通孔、气路通道和抽气口形成抽气通道，第一部件上还设置有第一凹槽，第一凹槽围绕所述第一吸附通孔设置，第一凹槽中设置有与第一凹槽形状相匹配的第一封闭部件，第一封闭部件凸出于第一部件，第一封闭部件用于密封接触被吸附晶片以使第一凹槽与被吸附晶片之间形成真空空间。本实施例中，执行装置通过凸出于第一部件上的第一封闭部件吸附晶片，晶片无需与第一部件面接触，避免了由于被吸附晶片和执行装置面接触而产生缝隙所造成的真空度达不到设定真空度的问题，从而避免了执行装置吸取晶片失败。执行装置吸附晶片的过程中，由于晶片是吸附于第一封闭部件上的，因此极大的降低了对第一部件和晶片的平面度的要求，以及极大的降低了晶片底面的颗粒对执行装置吸附晶片造成的影响。执行装置通过第一封闭部件吸附晶片，晶片直接与第一封闭部件进行线接触而并非与第一部件进行面接触，减小了晶片与执行装置的接触面积，从而减少了执行装置与晶片接触瞬间的碰撞，显著降低了执行装置吸附晶片时对晶片的潜在损伤。

图11为本发明实施例三提供的一种执行装置的结构示意图，如图11所示，在上述实施例二的基础上，本实施例中，第一部件41上还设置有第二凹槽，且第二凹槽位于第一凹槽所围绕的范围内，第二凹槽中设置有与第二凹槽形状相匹配的第二封闭部件50，第二封闭部件50凸出于第一部件41。其中，第一凹槽和第二凹槽在图中未具体画出。

进一步地，第一部件41上还设置有第二吸附通孔51，且第二吸附通孔51和抽气通道连通，第二吸附通孔51位于第二凹槽所围绕的范围内。第二吸附通孔51的数量可以为一个或者多个，本实施例中以一个第二吸附通孔51为例进行说明。优选地，多个第二吸附通孔51在第二凹槽所围绕的范围内均匀分布。第二吸附通孔51位于气路通道的上方，从而使第二吸附通孔51和抽气通道连通。其中，如图11所示，第二吸附通孔51位于第二凹槽所围绕的范围内还可以描述为：第二吸附通孔51位于第二封闭部件50所围绕的范围内。需要说明的是：在第一部件41上设置第二凹槽的位置，应以不影响第一吸附通孔45的位置为前提。

其中，第二封闭部件50凸出于第一部件41具体为：第二封闭部件50的顶面501高于第一部件41的顶面411。

其中，第二封闭部件50的顶面501可低于或者平行于第一封闭部件41的顶面411。优选地，第二封闭部件50的顶面平行于第一封闭部件41的顶面411。第二封闭部件50可用于吸附晶片。

本实施例中，可通过多种方式将第二封闭部件50固定于第二凹槽中，以实现在第二凹槽中设置第二封闭部件50。其中，第二凹槽用于对第二封闭部件50进行定位。优选地，第二封闭部件50的底面粘接于第二凹槽的底面，从而将第二封闭部件50固定于第二凹槽中。本实施例中，可通过高强度胶将第二封闭部件50的底面粘接于第二凹槽的底面。进一步地，为使第二封闭部件50的底面能够牢固的粘接于第二凹槽的底面，第二封闭部件50的底面为平面，第二凹槽的底面为平面。

优选地，第二凹槽和第二封闭部件50均可以为中心对称的结构。优其中，第二凹槽为环状凹槽，且第二封闭部件50为与环状凹槽形状相匹配的环状部件。进一步地，第二封闭部件50的形状和第二凹槽的形状还可以为其它形状，此处不再赘述。

为避免第二封闭部件50和晶片接触瞬间第二封闭部件50对晶片造成损伤，例如：造成晶片变形或破碎等，第二封闭部件50可采用具有优良的弹性和柔软性的材料，优选地，第二封闭部件50的材料可以为橡胶。

本实施例中，第二封闭部件的数量可以为一个或者多个。而第二凹槽的数量与第二封闭部件的数量相同。

本实施例中，在第一凹槽内部设置第二凹槽，当晶片上方的大气对晶片产生向下的压力造成晶片产生向下弯折时，第二凹槽在吸附晶片的同时可以对晶片弯折的部分起到向上支撑的作用，从而避免了晶片产生弯折变形甚至于破碎的问题。

图12为本发明实施例四提供了一种执行装置的结构示意图，如图12所示，本实施例中的执行装置与实施例二的区别在于：本实施例中第一吸附通孔45的数量为五个，第一吸附通孔45的排布方式为：一个第一吸附通孔45位于中间，其余第一吸附通孔45围绕该第一吸附通孔45排布；并且本实施例第二部件的结构与背景技术附图6中第二部件的结构相同，第二部件上的气路通道的结构与背景技术附图6中的气路通道34相同，具体描述可参见背景技术中的描述，此处不再赘述。

本发明实施例五还提供了一种机械手，该机械手包括：手臂、执行装置和驱动装置，执行装置固定于手臂上，驱动装置用于驱动手臂运动，其中，执行装置可采用上述实施例一、实施例二、实施例三或实施例四所述的执行装置。

进一步地，该机械手还可以包括吸片气路，吸片气路分别与真空源和执行装置连接。具体地，执行装置中的抽气口通过吸片气路和真空源连通。

本实施例中，对机械手中除执行装置之外的其它部件的描述可参见背景技术中的描述，此处不再赘述。

本实施例提供的机械手包括执行装置，该执行装置通过凸出于第一部件上的第一封闭部件吸附晶片，晶片无需与第一部件直接接触，避免了由于晶片和第一部件之间产生缝隙造成的真空度达不到设定的真空度，从而避免了机械手吸取晶片失败。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (17)

1.一种执行装置，其特征在于，包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。

2.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，还包括第一部件和第二部件，所述第一部件设置于所述第二部件上；

所述第二部件上设置有气路通道和抽气口，所述气路通道连通所述抽气口，所述第一部件上设置有第一吸附通孔，且所述第一吸附通孔、气路通道和抽气口形成抽气通道；

所述第一部件上设置有第一凹槽，所述第一凹槽围绕所述第一吸附通孔设置，所述第一封闭部件与所述第一凹槽形状相匹配地设置于所述第一凹槽内，所述第一封闭部件凸出于所述第一部件，且所述第一封闭部件用于在对所述抽气通道抽真空的过程中，密封接触被吸附晶片以使所述第一凹槽与所述被吸附晶片之间形成真空空间。

3.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述第一封闭部件的底面粘接于所述第一凹槽的底面。

4.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述气路通道为设置于所述第二部件上的凹槽。

5.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述气路通道为设置于所述第二部件内部的通道。

6.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述第一凹槽为环状凹槽，且所述第一封闭部件为与所述环状凹槽形状相匹配的环状部件。

7.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述第一封闭部件的材料为橡胶。

8.根据权利要求1所述的执行装置，其特征在于，所述第一吸附通孔的数量为一个或者多个。

9.根据权利要求8所述的执行装置，其特征在于，多个所述第一吸附通孔在所述第一凹槽所围绕的范围内均匀分布。

10.根据权利要求1至9任一所述的执行装置，其特征在于，所述第一封闭部件凸出于所述第一部件的高度差小于或者等于0.5mm。

11.根据权利要求1至9任一所述的执行装置，其特征在于，所述第一部件上还设置有第二凹槽，且所述第二凹槽位于所述第一凹槽所围绕的范围内，所述第二凹槽中设置有与所述第二凹槽形状相匹配的第二封闭部件，所述第二封闭部件凸出于所述第一部件。

12.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第一部件上还设置有第二吸附通孔，且所述第二吸附通孔和所述抽气通道连通，所述第二吸附通孔位于所述第二凹槽所围绕的范围内。

13.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第二封闭部件的顶面平行于所述第一封闭部件的顶面。

14.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第二封闭部件的底面粘接于所述第二凹槽的底面。

15.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第二封闭部件的材料为橡胶。

16.根据权利要求11所述的执行装置，其特征在于，所述第二凹槽为环状凹槽，且所述第二封闭部件为与所述环状凹槽形状相匹配的环状部件。

17.一种机械手，包括：手臂、执行装置和驱动装置，所述执行装置固定于所述手臂上，所述驱动装置用于驱动所述手臂运动，其特征在于，所述执行装置采用权利要求1至16任一所述的执行装置。

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