CN102667961A - 铝浆及其在钝化发射极以及背面接触硅太阳能电池生产中的用途 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种铝浆，所述铝浆包含粒状铝、有机载体和玻璃料，所述玻璃料选自：(i)无铅玻璃料，其具有550-611℃范围内的软化点温度，并包含11-33重量%的SiO2、>0-7重量%的Al2O3和2-10重量%的B2O3，和(ii)含铅玻璃料，其具有571-636℃范围内的软化点温度，并包含53-57重量%的PbO、25-29重量%的SiO2、2-6重量%的Al2O3和6-9重量%的B2O3，所述铝浆可用于PERC硅太阳能电池的铝背面电极的生产中。
Description
发明领域
本发明涉及铝浆及其在PERC（钝化发射极以及背面接触）硅太阳能电池生产中的用途，即在PERC电池型硅太阳能电池的铝背面电极以及相应的硅太阳能电池生产中的用途。
发明背景
通常，硅太阳能电池兼具正面和背面金属喷镀（正面电极和背面电极）。常规的具有p型基板的硅太阳能电池结构使用负极来接触电池正面或光照面、以及位于背面上的正极。众所周知，在半导体的p-n结上入射的合适波长的辐射充当在该半导体中产生电子-空穴对的外部能源。存在于p-n结处的电势差会导致空穴和电子以相反的方向跨过该结而移动，从而产生能够向外部电路输送功率的电流。大部分太阳能电池呈金属喷镀的硅片形式，即具有导电的金属触点。
当前生产的大部分太阳能电池均基于结晶硅。一种流行的用于电极沉积的方法是丝网印刷金属浆料。
PERC硅太阳能电池对技术人员而言是熟知的；参见（例如）：P.Choulat等人，“Above 17% industrial type PERC Solar Cell on thin Multi-Crystalline Silicon Substrate”，22nd European Photovoltaic Solar EnergyConference（第22届欧洲太阳能光伏展览会），2007年9月3日-7日(Milan,Italy)。PERC硅太阳能电池代表了常规硅太阳能电池的一种特殊类型；它们以其正面和背面上具有介电钝化层为特征。正面上的钝化层作为ARC层（抗反射涂层），正如常规的硅太阳能电池一样。背面上的介电钝化层被穿孔；其用于延长载流子寿命并因此改善光转换效率。理想的是，尽可能避免损坏穿孔的介电背面钝化层。
与生产常规的硅太阳能电池相似，生产PERC硅太阳能电池通常以硅片形式的p型硅基板开始，在其上通过磷(P)等的热扩散形成逆向导通式n型扩散层（n型发射极）。通常将三氯氧化磷(POCl3)用作气态磷扩散源，其它液体源为磷酸等。在不进行任何特定改性的情况下，在硅基板的整个表面上形成n型扩散层。在p型掺杂剂的浓度等于n型掺杂剂的浓度的部位形成p-n结。具有靠近光照面的p-n结的电池具有介于0.05μm和0.5μm之间的结深度。
在形成该扩散层之后，通过酸例如氢氟酸进行蚀刻而将过量的表面玻璃从表面的其余部分除去。
接着，在正面n型扩散层上形成例如TiOx、SiOx、TiOx/SiOx、SiNx的介电层，或具体地讲SiNx/SiOx的介电膜。作为PERC硅太阳能电池的一个特征，也在硅片的背面上沉积介电层，得到例如介于0.05μm和0.1μm之间的厚度。例如，可使用如氢存在下的等离子CVD（化学气相沉积）或溅射等方法进行介电层的沉积。这样的层既用作正面的ARC层和钝化层，也用作PERC硅太阳能电池背面的介电钝化层。然后对PERC硅太阳能电池背面上的钝化层进行穿孔。通常通过酸蚀刻或激光钻孔形成穿孔，如此形成的孔的直径为例如50μm-300μm。它们的深度与钝化层的厚度一致，或者甚至可以比其略深。穿孔的数量在例如每平方厘米100个至500个的范围内。
正如具有p型基板和正面n型发射极的常规太阳能电池结构一样，PERC硅太阳能电池通常在其正面上具有负极，并且在其背面上具有正极。通常通过在电池正面的ARC层上丝网印刷正面银浆（正面电极形成银浆）并进行干燥来施加作为栅极的负极。正面栅电极通常以所谓的H图案进行丝网印刷，该图案包括细平行指状线（收集器线）和以直角与指状线相交的两条母线。此外，在p型硅基板背面的穿孔钝化层上，通常通过丝网印刷来施加背面银或银/铝浆和铝浆，并依次干燥。一般地，首先将背面银或银/铝浆施加到背面穿孔钝化层上，形成阳极背面触点，例如以两条平行母线的形式或以矩形或条的形式，从而为焊接互连带（预焊接的铜带）做准备。然后将铝浆施加到裸露区域中，其与背面银或银/铝略微重叠。在一些情况下，在施加了铝浆之后施加银或银/铝浆。然后通常在带式炉中焙烧1-5分钟，从而使硅片达到700-900℃范围内的峰值温度。正面电极和背面电极可依次焙烧或共同焙烧。
通常在硅片背面的穿孔的介电钝化层上丝网印刷并干燥铝浆。在铝熔点以上的温度下焙烧硅片以在铝和硅之间的局部触点形成铝-硅熔体，即在硅片背面未被介电钝化层覆盖的那些部分，或换句话讲，在穿孔的位置。如此形成的局部p+触点通常称为局部BSF（背表面场）触点。通过从干燥状态焙烧成铝背面电极进行铝浆的转化，而背面银或银/铝浆则在焙烧时变成银或银/铝背面电极。通常，对铝浆和背面银或银/铝浆共同焙烧，但也可依次焙烧。在焙烧期间，背面铝与背面银或银/铝之间的边界呈现合金状态，并且也实现了电连接。铝电极占据背面电极的大部分区域。在背面的各部分上形成银或银/铝背面电极以作为用于通过预焊接的铜带等来互连太阳能电池的阳极。此外，在焙烧过程中，作为正面阴极而印刷的正面银浆会蚀刻并穿透ARC层，从而能够与n型层进行电接触。这类方法通常被称为“烧透”。
发明概述
本发明涉及可用于形成PERC硅太阳能电池的铝背面电极的铝浆（铝厚膜组合物）。还涉及形成铝浆的方法和铝浆在PERC硅太阳能电池生产中的用途以及PERC硅太阳能电池本身。
本发明涉及铝浆，其包含粒状铝、有机载体和至少一种玻璃料，该玻璃料选自：(i)无铅玻璃料，其具有550-611℃范围内的软化点温度，并包含11-33重量%的SiO2、>0-7重量%，具体地讲5-6重量%的Al2O3和2-10重量%的B2O3，和(ii)含铅玻璃料，其具有571-636℃范围内的软化点温度，并包含53-57重量%的PbO、25-29重量%的SiO2、2-6重量%的Al2O3和6-9重量%的B2O3。
在说明书及权利要求书中，使用了术语“软化点温度”。它是指在10K/min的加热速率下通过差热分析(DTA)测得的玻璃化转变温度。
本发明还涉及形成PERC硅太阳能电池的方法和PERC硅太阳能电池本身，所述电池利用具有p型和n型区域、p-n结的硅片、正面ARC层和背面穿孔的介电钝化层，所述方法包括在背面穿孔的介电钝化层上施加（例如印刷，具体地讲丝网印刷）本发明的铝浆，然后焙烧如此施加的铝浆，从而使硅片达到700-900℃的峰值温度。
发明详述
已发现，本发明的铝浆能用于生产具有改善电效率的PERC硅太阳能电池。焙烧后的铝浆与背面穿孔钝化层粘附良好，并因此使通过本发明的铝浆生产的PERC硅太阳能电池具有更长的耐久性或使用寿命。
不受理论的约束，据信，本发明的铝浆不会损坏或不会明显损坏硅片背面上的穿孔的介电钝化层和/或表现出无或仅有少量的铝-硅合金在焙烧过程中通过硅片背面钝化层中的穿孔而逸出。
本发明的铝浆不具有或仅具有较差的烧透能力。它们包含粒状铝、有机载体和至少一种玻璃料，该玻璃料选自：(i)无铅玻璃料，其具有550-611℃范围内的软化点温度，并包含11-33重量%的SiO2、>0-7重量%，具体地讲5-6重量%的Al2O3和2-10重量%的B2O3，和(ii)含铅玻璃料，其具有571-636℃范围内的软化点温度，并包含53-57重量%的PbO、25-29重量%的SiO2、2-6重量%的Al2O3和6-9重量%的B2O3。
在本发明说明书和权利要求书中使用了术语“烧透能力”。它是指焙烧过程中金属浆料蚀刻并穿透（烧透）钝化层或ARC层的能力。换句话讲，具有烧透能力的金属浆料是可烧透钝化层或ARC层使得与硅基板表面电接触的浆料。相应地，具有较差烧透能力或甚至无烧透能力的金属浆料在焙烧时与硅基板无电接触。为了避免误解，在此背景下，术语“无电接触”不应理解为绝对的；而是应指介于焙烧金属浆料和硅表面之间的接触电阻率超过1Ω·cm2，而就电接触而言，介于焙烧金属浆料和硅表面之间的接触电阻率在1-10mΩ·cm2的范围内。
接触电阻率可通过TLM（传输长度法）测量。为此，可使用以下样本制备和测量程序：在具有背面钝化层的硅片的钝化层上丝网印刷待测试的铝浆，印刷图案为平行的100μm宽20μm厚的线，线之间的间距为2.05mm；然后焙烧硅片，达到730℃的峰值温度。优选的是，对于样本制备，使用的硅片具有与本发明方法中（即，使用本发明的铝浆形成PERC硅太阳能电池的方法中）所用的相同类型的但未穿孔的背面钝化层。将焙烧后的硅片用激光切割成8mm×42mm长的条，其中平行的线不相互接触，并包含至少6条线。然后让这些条在20℃下和暗处进行常规TLM测量。可使用得自GP Solar的装置GP 4-Test Pro进行TLM测量。
粒状铝可由铝或铝合金构成，所述铝合金具有一种或多种其它金属，例如锌、锡、银和镁。就铝合金而言，铝含量为例如99.7重量%至小于100重量%。粒状铝可包括各种形状的铝颗粒，例如铝薄片、球形铝粉、结节形（不规则形）铝粉或它们的任何组合。在一个实施方案中，粒状铝为铝粉。铝粉表现出例如4-12μm的平均粒度。粒状铝可按如下比例存在于铝浆中：基于总铝浆组合物计，所述比例为50-80重量%，或者在一个实施方案中为70-75重量%。
在本说明书及权利要求书中使用了术语“平均粒度”。该术语是指通过激光散射方法测定的平均粒度（平均粒径，d50）。
本说明书和权利要求书中关于平均粒度所作的所有陈述均涉及如存在于铝浆组合物中的相关材料的平均粒度。
存在于铝浆中的粒状铝可伴随有一种或多种其它粒状金属，例如银或银合金粉。基于粒状铝加上其它粒状金属的总量计，此类其它粒状金属的比例为例如0-10重量%。
本发明的铝浆包含有机载体。可将各种惰性粘稠材料用作有机载体。有机载体可为粒状成分（粒状铝、任选存在的其它粒状金属、玻璃料、进一步任选存在的无机粒状成分）并能够以足够的稳定度分散于其中的载体。有机载体的特性，具体地讲流变性可使得其能赋予铝浆料组合物良好的施加特性，包括：不溶性固体的稳定分散性、对于施加具体地讲丝网印刷的适当粘度和触变性、硅片背面穿孔钝化层和浆料固体的适当可润湿性、良好的干燥速率、以及良好的焙烧特性。用于本发明铝浆的有机载体可为非水性惰性液体。有机载体可为有机溶剂或有机溶剂混合物；在一个实施方案中，有机载体可为一种或多种有机聚合物在一种或多种有机溶剂中的溶液。在一个实施方案中，用于该目的的聚合物可为乙基纤维素。可单独使用或以组合方式使用的聚合物的其它实例包括乙基羟乙基纤维素、木松香、酚醛树脂和低级醇的聚(甲基)丙烯酸酯。合适的有机溶剂的实例包括醇酯和萜烯诸如α-或β-萜品醇或它们与其它溶剂诸如煤油、邻苯二甲酸二丁酯、二甘醇丁基醚、二甘醇丁醚乙酸酯、己二醇和高沸点醇的混合物。此外，在有机载体中还可包含挥发性有机溶剂以用于促进在将铝浆施加到背面穿孔钝化层上后的快速硬化。可配制这些溶剂和其它溶剂的各种组合以达到所期望的粘度和挥发性要求。
本发明的铝浆中的有机载体含量可取决于施用浆料的方法和所用有机载体的种类，并且其可变化。在一个实施方案中，基于总铝浆组合物计，其可为20-45重量%，或者在一个实施方案中，其可在22-35重量%的范围内。该数目20-45重量%包括一种或多种有机溶剂、可能的一种或多种有机聚合物和可能的一种或多种有机添加剂。
基于总铝浆组合物计，本发明铝浆中的有机溶剂含量可在5-25重量%，或在一个实施方案中在10-20重量%的范围内。
一种或多种有机聚合物可按如下比例存在于有机载体中：基于总铝浆组合物计，所述比例在0-20重量%，或者在一个实施方案中在5-10重量%的范围内。
本发明的铝浆包含作为无机粘合剂的至少一种玻璃料。所述至少一种玻璃料选自：(i)无铅玻璃料，其具有550-611℃范围内的软化点温度，并包含11-33重量%的SiO2、>0-7重量%具体地讲5-6重量%的Al2O3和2-10重量%的B2O3，和(ii)含铅玻璃料，其具有571-636℃范围内的软化点温度，并包含53-57重量%的PbO、25-29重量%的SiO2、2-6重量%的Al2O3和6-9重量%的B2O3。
对于(i)型无铅玻璃料，SiO2、Al2O3和B2O3的重量百分比总和不为100重量%，其余的重量%具体由一种或多种其它氧化物构成，例如碱金属氧化物如Na2O、碱土金属氧化物如MgO以及金属氧化物如Bi2O3、TiO2和ZnO。
(i)型无铅玻璃料可包含40-73重量%具体地讲48-73重量%的Bi2O3。Bi2O3、SiO2、Al2O3和B2O3的重量百分比总和可为或可不为100重量%。在总和不为100重量%的情况下，其余的重量%可具体由一种或多种其它氧化物构成，例如碱金属氧化物如Na2O、碱土金属氧化物如MgO以及金属氧化物如TiO2和ZnO。
对于(ii)型含铅玻璃料，PbO、SiO2、Al2O3和B2O3的重量百分比总和可为或可不为100重量%。在总和不为100重量%的情况下，其余的重量%可具体由一种或多种其它氧化物构成，例如碱金属氧化物如Na2O、碱土金属氧化物如MgO以及金属氧化物如TiO2和ZnO。
对于包含(i)型无铅玻璃料和(ii)型含铅玻璃料的本发明的铝浆，两种玻璃料之间的比率可为任何值，或换句话讲在>0至无限大的范围内。一般来讲，铝浆不包含选自(i)型和(ii)型玻璃料之外的其它玻璃料。
玻璃料的平均粒度在例如0.5-4μm的范围内。在本发明的铝浆中，选自(i)型和(ii)型的玻璃料的总含量为例如0.25-8重量%，或在一个实施方案中，为0.8-3.5重量%。
玻璃料的制备是熟知的，并包括例如将玻璃的组分熔融在一起，具体地讲以组分氧化物的形式，然后将此类熔融组合物注入水中以形成玻璃料。如本领域所熟知，可加热到例如1050-1250℃范围内的峰值温度并持续通常为0.5-1.5小时的时间，使得熔体变为完全液态且均相的。
可在球磨机中用水或惰性的低粘度低沸点有机液体来研磨玻璃，以减小玻璃料的粒度并且获得基本上大小均匀的玻璃料。然后可将其沉降在水或所述有机液体中以分离出细料，并且可除去包含细料的上清液。也可使用其它分类方法。
本发明的铝浆可包含耐火无机化合物和/或金属有机化合物。“耐火无机化合物”是指耐焙烧过程中经历的热条件的无机化合物。例如，它们的熔点高于焙烧期间经历的温度。实例包括固体无机氧化物，例如无定形二氧化硅。金属有机化合物的实例包括锡有机化合物和锌有机化合物，例如新癸酸锌和2-乙基己酸亚锡。
考虑到焙烧后的铝浆与背面穿孔钝化层的粘附性，可能有利的是铝浆包含少量的至少一种氧化锑。因此，在一个实施方案中，本发明的铝浆可包含至少一种氧化锑。基于总的铝浆组合物计，铝浆中所含的所述至少一种氧化锑的总比例可为例如0.05-1.5重量%，其中所述至少一种氧化锑可作为单独的粒状组分和/或玻璃料组分存在。合适的氧化锑的实例包括Sb2O3和Sb2O5，其中Sb2O3为优选的氧化锑。
本发明的铝浆可包含一种或多种有机添加剂，例如表面活性剂、增稠剂、流变改性剂和稳定剂。所述一种或多种有机添加剂可为有机载体的一部分。然而，也可在制备铝浆时单独加入一种或多种有机添加剂。所述一种或多种有机添加剂可按如下的总比例存在于本发明的铝浆中：基于总铝浆组合物计，所述总比例为例如0-10重量%。
本发明的铝浆为粘稠组合物，它们可通过将粒状铝和玻璃料与有机载体进行机械混合来制备。在一个实施方案中，可使用粉末混合生产方法，这是一种相当于传统辊磨的分散技术；还可使用辊磨或其它混合技术。
本发明的铝浆可原样使用，或可例如通过加入附加的有机溶剂稀释后使用；相应地，可降低铝浆的所有其它组分的重量百分比。
本发明的铝浆可用于生产PERC硅太阳能电池的铝背面电极或相应地用于生产PERC硅太阳能电池。可通过以下方法进行生产：将铝浆施加到具有正面ARC层和背面穿孔的介电钝化层的硅片的背面上，即施加到硅片未被或将来也不会被其它背面金属浆料（具体地讲如背面银或银/铝浆）覆盖的那些背面部分。施加铝浆后，对其进行焙烧以形成铝背面电极。
因此，本发明也涉及生产PERC硅太阳能电池铝背面电极的方法，相应地还涉及生产PERC硅太阳能电池的方法，其包括以下步骤：
(1)提供硅片，所述硅片在其正面上具有ARC层并且在其背面上具有穿孔的介电钝化层，
(2)在硅片背面上，在穿孔的介电钝化层上施加并干燥本发明的铝浆，以及
(3)焙烧干燥的铝浆，从而使硅片达到700-900℃的峰值温度。
在本发明方法的步骤(1)中提供硅片，所述硅片在其正面上具有ARC层并且在其背面上具有穿孔的介电钝化层。该硅片是常规用于生产硅太阳能电池的单晶或多晶硅片；它具有p-型区域、n-型区域和p-n结。硅片在其正面上具有ARC层并且在其背面上具有穿孔的介电钝化层，两种层均为例如TiOx、SiOx、TiOx/SiOx、SiNx或具体地讲SiNx/SiOx的介电膜。此类硅片为技术人员所熟知；为简明起见，在“发明背景”部分中清楚地给出了参考。硅片可已具有常规的正面金属喷镀，即具有如上“发明背景”部分中所述的正面银浆。正面金属喷镀的施加可在完成铝背面电极之前或之后进行。
在本发明方法的步骤(2)中，在硅片背面上穿孔的介电钝化层上施加本发明的铝浆，即覆盖介电层和穿孔。
以例如15-60μm的干膜厚度施加本发明的铝浆。通常，它们作为单层来施加。铝浆的施加方法可为印刷，例如硅氧烷移印；或在一个实施方案中为丝网印刷。当通过使用Brookfield HBT粘度计和14号转子的效用杯以10rpm的转子速度并在25℃下测量时，本发明铝浆的施加粘度可为20-200Pa·s。
施加铝浆后使其干燥例如1-100分钟，从而使硅片达到100-300℃范围内的峰值温度。可利用例如带式、旋转式或静止式干燥机，具体地讲IR（红外线）带式干燥机来进行干燥。
在本发明方法的步骤(3)中，焙烧干燥的铝浆以形成铝背面电极。步骤(3)的焙烧可进行例如1-5分钟，从而使硅片达到700-900℃范围内的峰值温度。可利用例如单区段或多区段带式炉，具体地讲多区段IR带式炉来进行焙烧。可在惰性气氛中或在氧气的存在下例如在空气的存在下进行焙烧。在焙烧期间，可除去（即烧尽和/或碳化，具体地讲烧尽）包括非挥发性有机材料的有机物质和在干燥期间未蒸发的有机部分。在焙烧期间所除去的有机物质包括有机溶剂、任选存在的有机聚合物、任选存在的有机添加剂以及任选存在的金属有机化合物的有机部分。在焙烧期间还发生了另一过程，即玻璃料与粒状铝的烧结。在焙烧过程中，铝浆不会烧透背面穿孔钝化层，但在钝化层中的穿孔处与硅基板背面发生局部接触，并形成局部BSF触点，即至少基本上在焙烧铝浆和硅基板之间，钝化层得以保留。
可将焙烧执行为所谓与已施加到PERC太阳能电池硅片上的其它金属浆料即正面和/或背面金属浆料共焙烧在一起，在焙烧过程期间，所述金属浆料已被施加以形成硅片表面上的正面电极和/或背面电极。一个实施方案包括正面银浆和背面银或背面银/铝浆。在一个实施方案中，这种背面银或背面银/铝浆为不具有烧透能力或仅具有较差烧透能力的银或银/铝浆。不具有烧透能力或仅具有较差烧透能力的背面银或背面银/铝浆在焙烧过程中不会蚀刻穿背面穿孔钝化层；因此它只在钝化层中的穿孔处与硅片的硅背面形成局部物理接触。
实施例
(1)生产试验样本：
(i)实施例铝浆
实施例铝浆包含72重量%的空气雾化铝粉(d50=6μm)、26.5重量%的聚合物树脂与有机溶剂的有机载体、0.5重量%的Sb2O3和1重量%的玻璃料。玻璃料组合物为：28重量%的SiO2、4.7重量%的Al2O3、8.1重量%的B2O3、55.9重量%的PbO和3.3重量%的TiO2；玻璃具有573℃的软化点温度。
(ii)形成TLM样本
在面积为80cm2、厚度为160μm、具有n型扩散POCl3发射极以及正面SiNx ARC和未穿孔100nm厚SiO2/SiNx背面介电膜的p型多晶硅片的背面上丝网印刷实施例铝浆的平行线。以100μm的标称线宽和2.05mm的线间距（节距）使铝浆图案化；干燥的铝浆膜厚度为20μm。
然后在Despatch提供的6区段红外炉中焙烧印刷后的硅片。使用580cm/min的带速，其中区段温度被限定为区段1=500℃、区段2=525℃、区段3=550℃、区段4=600℃、区段5=900℃，最后区段设定为865℃。使用DataPaq热数据记录器，发现峰值硅片温度达到了730℃。
焙烧后的硅片随后进行激光划片并分割成8mm×42mm的TLM样本，其中平行的铝金属喷镀线彼此不相接触。使用由Optek提供的1064nm红外线激光器进行激光划片。
(iii)形成粘附试验样本
提供面积为243cm2、厚度为160μm、具有n型扩散POCl3发射极以及正面SiNx ARC和未穿孔SiO2/SiNx背面介电膜的p型多晶硅片。使用1064nm波长激光器处理介电膜，形成多个100μm直径的圆孔，间距（节距）为600μm。激光烧蚀后，将硅片的整个平面用实施例铝浆进行丝网印刷，然后进行干燥。铝浆具有30μm的干燥层厚。
然后在Despatch提供的6区段红外炉中焙烧印刷并干燥后的硅片。使用580cm/min的带速，其中区段温度被限定为区段1=500℃、区段2=525℃、区段3=550℃、区段4=600℃、区段5=900℃，最后区段设定为865℃。使用DataPaq热数据记录器，发现峰值硅片温度达到了730℃。
(2)测试程序：
(i)TLM测量
通过将TLM样本放入用于测量接触电阻率的得自GP Solar的GP 4-Test Pro仪对其进行测量。样本的测量在20℃下和暗处进行。设备的测试探头与TLM样本的6个相邻细线铝电极接触，记录接触电阻率(pc)。
(ii)焙烧后的粘附性
为了测量铝金属喷镀的粘合强度，利用剥离试验测定从焙烧硅片的背面除去的材料量。为此，牢固地贴上透明的胶带层（3M Scotch Magic胶带，810级），然后通过以45度的角度剥离而除去。通过计算胶带上残留的面积与硅片上留下的材料面积的比值，可以对粘附性作出定性评估。
实施例铝浆得出了以下结果：
粘附性（无粘附损失的面积%）=100%，剥离试验后胶带上无残留。
接触电阻率超过了GP 4-Test Pro设备的可测量上限(>364Ω·cm2)。
Claims (13)
1.铝浆，包含粒状铝、有机载体和至少一种玻璃料，所述玻璃料选自：(i)无铅玻璃料，其具有550-611℃范围内的软化点温度，并包含11-33重量%的SiO2、>0-7重量%的Al2O3和2-10重量%的B2O3，和(ii)含铅玻璃料，其具有571-636℃范围内的软化点温度，并包含53-57重量%的PbO、25-29重量%的SiO2、2-6重量%的Al2O3和6-9重量%的B2O3。
2.权利要求1的铝浆，其中基于总铝浆组合物计，所述粒状铝以50-80重量%的比例存在。
3.权利要求1或2的铝浆，其中基于总铝浆组合物计，所述有机载体含量为20-45重量%。
4.权利要求1、2或3的铝浆，其中所述一种或多种无铅玻璃料包含40-73重量%的Bi2O3。
5.任一项前述权利要求的铝浆，其中在所述铝浆中，选自(i)型和(ii)型的玻璃料的总含量为0.25-8重量%。
6.任一项前述权利要求的铝浆，基于总铝浆组合物计，所述铝浆包含0.05-1.5重量%的至少一种氧化锑，其中所述至少一种氧化锑(i)作为一种或多种单独的粒状组分，(ii)作为一种或多种玻璃料组分或(iii)作为一种或多种单独的粒状组分和作为一种或多种玻璃料组分存在。
7.用于生产PERC硅太阳能电池的方法，包括以下步骤：
(1)提供硅片，所述硅片在其正面上具有ARC层并且在其背面上具有穿孔的介电钝化层，
(2)在所述硅片的背面上，在穿孔的介电钝化层上施加权利要求1-6中任一项的铝浆并干燥，以及
(3)焙烧所述干燥的铝浆，从而使所述晶片达到700-900℃的峰值温度。
8.权利要求7的方法，其中所述铝浆通过印刷被施加。
9.权利要求7或8的方法，其中焙烧以共同焙烧进行，在焙烧期间，所述共同焙烧连同已被施加到所述硅片的正面和/或背面金属浆料一起以在所述硅片上形成正面和/或背面电极。
10.权利要求9的方法，其中所述一种或多种其它背面金属浆料选自不具有烧透能力或仅具有较差烧透能力的银浆和不具有烧透能力或仅具有较差烧透能力的银/铝浆。
11.由权利要求7-10中任一项的方法所制得的PERC硅太阳能电池。
12.包含铝背面电极的PERC硅太阳能电池，其中所述铝背面电极利用权利要求1-6中任一项的铝浆制成。
13.权利要求12的PERC硅太阳能电池，还包含硅片。
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| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120912 |