CN102615820A - 金属玻璃基塑料热压印微成型模具及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种金属玻璃基塑料热压印微成型模具，是以金属玻璃为基体，其上具有微结构的塑料热压印微成型模具。本发明还提供一种制备金属玻璃基塑料热压印微成型模具的方法。本发明的金属玻璃基塑料热压印微成型模具具有高强度、高硬度、高韧性，良好的导热性能，及其优良的表面质量以及良好的耐腐蚀性能等特点，本发明提供的金属玻璃基塑料热压印微成型模具的制备方法具有精度高，制备方便，制备效率高等特点。

Description

金属玻璃基塑料热压印微成型模具及其制备方法

技术领域

本发明属于凝聚态物理和材料科学领域，具体来说是涉及一种金属玻璃基塑料热压印微成型模具，及以热压印的方法制备该金属玻璃基塑料热压印微成型模具的方法。

背景技术

随着现代科学技术的发展，人们对于不导电微纳米器件的要求越来越高，而热塑性塑料由于其价格便宜，种类众多，可加工范围宽以及微成型性能优良等优点而备受关注。此外，由于这类材料通常具有很独特的光学性能，所以在未来光学微器件的制备中也会发挥越来越重要的作用。虽然人们对热塑性塑料的微成型技术有了一定的认识，但是用什么材料以及如何精确地制备塑料微成型模具一直以来都是人们迫切想要解决的问题。

热压印塑料微成型模具对材料具有一些要求，包括以下几个方面：

1、具有高强度，高硬度。成型的过程中往往需要施加压力，如果材料的强度不够，模具就会发生变形甚至损坏；

2、具有高韧性。为了提高生产效率，成型的周期便要缩短，材料需要承受成型力的冲击，如果韧性不够，便会发生断裂。

3、具有优良的热导率。材料在成型以及脱模的过程中需要对模具进行升温和降温，优良的热导率可以缩短升降温时间，提高生产效率。

4、具有耐腐蚀性。模具材料不能和需要成型的材料进行反应，同时为了便于脱模，在成型时，模具往往需要涂脱模剂，模具材料还不能和脱模剂反应。

5、具有良好的表面质量。为了便于脱模，模具表面质量要求良好，粗糙度要低。

现有的制备塑料微成型模具的材料有金属，例如钢材，黄铜，镍等，还有聚合物，陶瓷，以及半导体材料如硅等，这些材料有的是强度不足，比如最常用的镍，它的强度随着温度升高下降的很快，有些材料则由于太脆而不能满足使用要求，例如硅，陶瓷等。

除了材料的不足，制备方法也存在一些问题。现有的制备塑料微成型的模具的方法包括几大类，分别是：直接成型，包括机加工、激光烧蚀、电火花放电成型等；光刻成型，包括紫外光刻，X射线光刻以及电子束曝光等。但是光刻成型通常要经过电镀才能加以使用。以上制备塑料微成型模具的方法存在一些缺点，例如机加工的方法能成型的最小尺寸有限制，大概在几十到一百微米之间，不能加工更小的尺寸。激光烧蚀和电火花制备的模具表面质量不好，粗糙度较高，而光刻技术虽然具有较高的精度，但是光刻工艺复杂，成本高，并且光刻之后的电镀过程是一个很慢的过程，使模具生产的效率非常低，而且电镀对工艺要求较严格，还会造成环境的污染。所以，如何高效而准确的制备塑料微成型的模具成为制约塑料微器件生产的一道难题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型的塑料热压印微成型模具及其制备方法，以克服现有材料制备的模具及制备方法的缺陷。

为实现上述目的，本发明提出一种塑料热压印微成型模具，包括金属玻璃基体，所述金属玻璃基体上具有微结构。

其中，所述金属玻璃基体为Pd基、La基、Ce基、Zr基、Mg基、Au基、Pt基、Sc基、Dy基、Er基、Ho基、Nd基、Ni基、NiNb基、Pr基、Sm基、Tb基的金属玻璃基体。

其中，所述金属玻璃基体为Pd₄₀Cu₃₀P₂₀Ni₁₀、La_57.5Al_17.5Cu_12.5Ni_12.5、Ce₆₉Al₂₀Cu₁₀Co₁、Mg₆₅Cu₂₅Gd₁₀、Zr₆₅Cu₁₅Al₁₀Ni₁₀、或Au₄₉Ag_5.5Pd_2.3Cu_26.95i_16.3。

其中，所述微结构为圆柱结构，所述圆柱结构的直径为5-10μm，深度为5-10μm，所述微结构的周期为8-20μm。

其中，所述金属玻璃基体宽度为5-10mm，厚度为1-2mm，长度为5-10mm。

而且，为实现上述目的，本发明提出一种制备塑料热压印微成型模具的方法，包括：

步骤1：制备金属玻璃的薄板：将金属玻璃的熔体冷却，得到金属玻璃的薄板；

步骤2：对金属玻璃的薄板进行表面处理：将步骤1中所制得的金属玻璃的薄板截成所需长度；将该金属玻璃的薄板的两面依次打磨光滑以得到平整的表面，然后取其较光滑的一面进行抛光，得到金属玻璃基体；

步骤3：制备硅模：利用光刻技术制备硅模，在硅模表面，刻蚀出所设计的图案作为塑料热压印微成型模具的微结构，以用来做金属玻璃热压印的模具；

步骤4：热压印：将步骤2中抛光后的金属玻璃基体加热至其玻璃化转变温度以上并进行恒温；将步骤3中硅模有微结构的一面与所述金属玻璃的薄板的光滑的一面相对，对叠合在一起的二者施压；

步骤5：卸载，取下硅模与金属玻璃基体，所述金属玻璃基体的表面形成与所述硅模相吻合的微结构；将该具有所设计微结构的金属玻璃基体冷却，得到金属玻璃基塑料热压印微成型模具。

其中，所述金属玻璃基体为Pd基、La基、Ce基、Zr基、Mg基、Au基、Pt基、Sc基、Dy基、Er基、Ho基、Nd基、Ni基、NiNb基、Pr基、Sm基、Tb基的金属玻璃基体。

其中，所述步骤1中的金属玻璃的薄板的宽度为5-10mm左右，厚度为1-2mm左右，长度为4-70mm。

其中，所述步骤2中金属玻璃基体的宽度为5-10mm，厚度为1-2mm，长度为5-10mm。

其中，所述步骤3中的硅模的尺寸为10mm×10mm，厚度为0.5mm。

其中，所述微结构为圆柱结构，圆柱直径为5-10μm，深度为5-10μm，所述微结构的周期为8-20μm。

其中，所述步骤4的热压印步骤包括将抛光后的金属玻璃基体加热至其玻璃化转变温度以上约40摄氏度并进行恒温；将叠合在一起的硅模和金属玻璃的薄板在10-30Mpa压力下保持10-30秒。

本发明的优点在于：

1)本发明的金属玻璃基塑料热压印微成型模具具有以下优点：

a)强度高，硬度高。金属玻璃由于是无序态结构，没有晶体结构中存在的位错，空位以及晶界等变形缺陷，所以具有很高的强度，通常是普通的金属材料的10倍左右；

b)韧性高。金属玻璃不但具有很高的强度，还有很高的韧性，其断裂韧性值为几十到几百，而陶瓷，硅等的断裂韧性值仅为不到1，所以在塑料成型的时候，金属玻璃模具不容易发生断裂。

c)热膨胀系数低。金属玻璃的典型的线膨胀系数为5×10^-6左右，相对于铜(16.5×10^-6)，镍(13×10^-6)钢(13×10^-6)来说都低。小的热膨胀系数更能保证模具在加工和使用过程中的精度。

d)热导率高。金属玻璃是一种金属合金，比聚合物，陶瓷和半导体材料的导热性能好，高导热率可以缩短塑料制品的生产周期，提高生产效率。

e)表面质量非常高。金属玻璃由于没有晶界等缺陷，其表面很容易可以达到硅片的纳米级光滑程度。

f)耐腐蚀性好。金属玻璃的玻璃态无序结构使金属玻璃具有很好的耐腐蚀性，可以抵抗脱模剂等化学物质的腐蚀。

2)本发明的制备金属玻璃基塑料热压印微成型模具的方法具有成型效率高，成型力小，成型精度高等特点，且成型过程可人为控制；同时，该方法简单、方便、高效。

附图说明

图1是根据本发明一实施方式的金属玻璃基塑料热压印微成型模具装置的结构示意图；

图2是根据本发明一实施方式的制备金属玻璃基塑料热压印微成型模具流程示意图；

图3是实施例1的硅模的表面形貌的扫描电镜照片；

图4是实施例1制得的金属玻璃基塑料热压印微成型模具的扫描电镜照片；

图5a是使用实施例1制得的金属玻璃热压印模具压印高密度聚乙烯HDPE(High Density Polyethylene)的显微镜照片；

图5b是使用实施例1制得的金属玻璃热压印模具压印聚丙烯PP(Polypropylene)的显微镜照片；

图5c是使用实施例1制得的金属玻璃热压印模具压印聚碳酸酯PC(Polycarbonate)的显微镜照片；

其中：附图标记：

1：压缩机上压头      2：压缩机下压头

3：不锈钢承压台      4：电阻加热炉

5：硅模              6：金属玻璃样品

具体实施方式

下面将结合附图和实施例来具体说明本发明。

本发明提供的金属玻璃基塑料热压印微成型模具，是以金属玻璃为基体，其上具有微结构的用以热压印热塑性塑料的模具。

图1是根据本发明一实施方式的金属玻璃基塑料热压印微成型模具装置的结构示意图；如图1所示，本发明使用的制备金属玻璃基塑料热压印微成型模具的装置，包括：一对相对设置的压缩机上压头1和压缩机下压头2，可通过上下移动对其间的样品进行加压并在某一应力下保压，使样品在一定应变速率下进行变形；一不锈钢承压台3，设置于所述压缩机下压头之上；所述不锈钢承压台3的上方放置待加工的样品，例如有微结构的硅模5和已抛光的金属玻璃6；所述不锈钢承压台的外围还设有一可控电阻加热系统4(例如电阻加热炉)，以加热该不锈钢承压台及其上放置的样品，例如使金属玻璃样品6进入粘性流动状态。

其中，所述金属玻璃基体为Pd基、La基、Ce基、Zr基、Mg基、Au基、Pt基、Sc基、Dy基、Er基、Ho基、Nd基、Ni基、NiNb基、Pr基、Sm基、Tb基的金属玻璃基体。

其中，所述金属玻璃基体为Pd₄₀Cu₃₀P₂₀Ni₁₀、La_57.5Al_17.5Cu_12.5Ni_12.5、Ce₆₉Al₂₀Cu₁₀Co₁、Mg₆₅Cu₂₅Gd₁₀、Zr₆₅Cu₁₅Al₁₀Ni₁₀、或Au₄₉Ag_5.5Pd_2.3Cu_26.95i_16.3。

其中，所述微结构为圆柱结构，所述圆柱结构的直径为5-10μm，深度为5-10μm，所述微结构的周期为8-20μm。

较佳地，所述圆柱结构的直径为10μm，深度为10μm，所述微结构的周期为16.5μm。

其中，所述金属玻璃基体宽度为5-10mm，厚度为1-2mm，长度为5-10mm。

较佳地，所述金属玻璃基体的宽度为8mm，厚度为1mm，长度为5mm。

本发明提供一种制备金属玻璃基塑料热压印微成型模具的方法，流程如图2所示，包括：

步骤1：制备金属玻璃的薄板：利用铜模水冷方法将金属玻璃的熔体快速冷却，得到所需形状的金属玻璃的薄板；

其中，所述步骤1)中的金属玻璃的薄板的宽度为5-10mm左右，厚度为1-2mm左右，长度为4-70mm。

较佳地，金属玻璃的薄板的宽度为8mm，厚度为1mm，长度为20mm；

步骤2：对金属玻璃的薄板进行表面处理：将步骤1中所制得的金属玻璃的薄板截成所需长度(例如5mm)；为了保证压印时金属玻璃的薄板两面平行，将该金属玻璃的薄板的两面依次用400号、800号、1200号的砂纸进行打磨光滑以得到平整的表面，然后取其较光滑的一面用一定粒度(如1.5μm)的金刚石抛光膏在抛光机上进行抛光，得到金属玻璃基体；

其中，所述金属玻璃基体宽度为5-10mm，厚度为1-2mm，长度为5-10mm。

较佳地，所述金属玻璃基体的宽度为8mm，厚度为1mm，长度为5mm。

步骤3：制备硅模：利用光刻技术制备硅模，在硅模表面，根据所设计图案，刻蚀出所需尺寸的微结构(如深度，周期等)，以用来做金属玻璃热压印的模具；所述硅模的尺寸为10mm×10mm，厚度为0.5mm左右；

其中，所述微结构的深度为5-10μm，所述微结构的周期为8-20μm。

较佳地，所述微结构为圆柱结构，所述圆柱结构的直径为5-10μm，深度为5-10μm，所述微结构的周期为8-20μm。

更佳地，所述圆柱结构的直径为10μm，深度为5μm，所述微结构的周期为20μm。

步骤4：热压印：将步骤2中抛光后的金属玻璃基体加热至其玻璃化转变温度以上(优选为玻璃转化温度以上约40摄氏度左右)并进行恒温；将步骤3中的硅模有微结构的一面与所述金属玻璃的薄板的光滑的一面相对，对叠合在一起的二者施压，在10-30Mpa压力下保持10-30秒；

步骤5：卸载，取下步骤4中的硅模与金属玻璃基体，所述金属玻璃的薄板的表面形成与所述硅模的微结构相吻合的微结构；将该具有所设计图案的微结构的金属玻璃薄板冷却，得到一金属玻璃基塑料热压印微成型模具。

本发明提供的金属玻璃基塑料热压印微成型模具是以金属玻璃为基体，其上具有微结构的塑料微成型模具。所述金属玻璃包括Pd基、La基、Ce基、Zr基、Mg基、Au基、Pt基、Sc基、Dy基、Er基、Ho基、Nd基、Ni基、NiNb基、Pr基、Sm基、Tb基的金属玻璃。

实施例1、Pd₄₀Cu₃₀P₂₀Ni₁₀金属玻璃基塑料热压印微成型模具的制备

利用传统的铜模水冷方法将成分为Pd₄₀Cu₃₀P₂₀Ni₁₀(原子百分比)合金熔体快速冷却，得到宽度为8mm，厚度为1mm，长度为20mm的金属玻璃薄板。

在尺寸为10mm×10mm，厚度为0.5mm左右的硅模表面，利用光刻技术刻蚀出深度为10μm，圆柱直径为10μm，周期为16.5μm的硅柱结构作为微结构(如图3所示)，以用来做金属玻璃热压印的模具。

将前述Pd₄₀Cu₃₀P₂₀Ni₁₀金属玻璃的薄板用切割锯截成5mm一段的长度，保存待用。将每段金属玻璃的薄板的两面依次用400号、800号、1200号的砂纸进行打磨光滑得到平整的表面，然后取其较光滑的一面用1.5μm粒度的金刚石抛光膏在抛光机上进行抛光。

将电阻炉4放在万能材料试验机上，然后以10摄氏度/min的升温速度加热到340摄氏度左右，并进行恒温。将硅模5放在电阻炉内的不锈钢承压台3上，有微结构的一面朝上，然后将抛光后的金属玻璃的薄板6光滑的一面朝下放在硅模的正中间，通过万能材料试验机的压缩机上压头1和压缩机下压头2的上下移动进行施压，压缩速率为0.7mm/min，当压力增加到20MPa时进行保压10秒，然后卸载，取下硅模与金属玻璃的薄板，该金属玻璃的薄板的表面即形成与所述硅模的微结构相吻合的微结构(如图4所示)；将该具有周期性微结构的金属玻璃薄板冷却，得到一Pd₄₀Cu₃₀P₂₀Ni₁₀金属玻璃基塑料热压印模具。

另外，采用上述实施例1所制得的金属玻璃热压印模具压印高密度聚乙烯HDPE(High Density Polyethylene)、聚丙烯PP(Polypropylene)及聚碳酸酯PC(Polycarbonate)，所得到的显微镜照片分别如图5a、5b、5c所示。

实施例2、La_57.5Al_17.5Cu_12.5Ni_12.5金属玻璃基塑料热压印微成型模具的制备

与实施例1中的方法相同，只是制备金属玻璃的薄板时，合金熔体的成分为La_57.5Al_17.5Cu_12.5Ni_12.5(原子百分比)，所形成的金属玻璃薄板的宽度为8mm，厚度为1mm，长度为50mm。

准备硅模时，形成的微结构的周期、深度及圆柱直径分别为10μm、5μm、5μm。

热压印时，电阻炉以10摄氏度/min的升温速度加热到180摄氏度左右，并进行恒温；万能材料试验机(Instron 3384)的压缩机的压缩速率为0.3mm/min，当压力增加到15MPa时进行保压10s。

制得La₅₇₅Al₁₇₅Cu₁₂₅Ni₁₂₅金属玻璃基塑料热压印微成型模具。

实施例3、Ce₆₉Al₂₀Cu₁₀Co₁金属玻璃基塑料热压印微成型模具的制备

与实施例1中的方法相同，只是制备金属玻璃的薄板时，合金熔体的成分为Ce₆₉Al₂₀Cu₁₀Co₁(原子百分比)，所形成的金属玻璃薄板的宽度为8mm，厚度为1mm，长度为30mm。

准备硅模时，形成的微结构的周期和深度各为20μm和5μm。

热压印时，电阻炉以10摄氏度/min的升温速度加热到115摄氏度左右，并进行恒温；万能材料试验机的压缩机的压缩速率为0.5mm/min，当压力增加到15MPa时进行保压10s。

制得Ce₆₉Al₂₀Cu₁₀Co₁金属玻璃基塑料热压印微成型模具。

实施例4、Mg₆₅Cu₂₅Gd₁₀金属玻璃基塑料热压印微成型模具的制备

与实施例1中的方法相同，只是制备金属玻璃的薄板时，合金熔体的成分为Mg₆₅Cu₂₅Gd₁₀(原子百分比)，所形成的金属玻璃薄板的宽度为8mm，厚度为1mm，长度为20mm。

准备硅模时，形成的微结构的周期和深度各为8μm和5μm。

热压印时，电阻炉以15摄氏度/min的升温速度加热到165摄氏度左右，并进行恒温；万能材料试验机的压缩机的压缩速率为0.5mm/min，当压力增加到20MPa时进行保压15s。

制得Mg₆₅Cu₂₅Gd₁₀金属玻璃基塑料热压印微成型模具。

实施例5、Zr₆₅Cu₁₅Al₁₀Ni₁₀金属玻璃基塑料热压印微成型模具的制备

与实施例1中的方法相同，只是制备金属玻璃的薄板时，合金熔体的成分为Zr₆₅Cu₁₅Al₁₀Ni₁₀(原子百分比)，所形成的金属玻璃薄板的宽度为8mm，厚度为1mm，长度为70mm。

准备硅模时，形成的微结构的周期和深度各为8μm和10μm。

热压印时，电阻炉以20摄氏度/min的升温速度加热到420摄氏度左右，并进行恒温；万能材料试验机的压缩机的压缩速率为0.3mm/min，当压力增加到25MPa时进行保压15s。

制得Zr₆₅Cu₁₅Al₁₀Ni₁₀金属玻璃基塑料热压印微成型模具。

实施例6、Au₄₉Ag₅₅Pd₂₃Cu₂₆₉5i₁₆₃金属玻璃基塑料热压印微成型模具的制备

与实施例1中的方法相同，只是制备金属玻璃的薄板时，合金熔体的成分为Au₄₉Ag₅₅Pd₂₃Cu₂₆₉5i₁₆₃(原子百分比)，所形成的金属玻璃薄板的宽度为8mm，厚度为1mm，长度为4mm。

准备硅模时，形成的微结构的周期和深度各为8μm和5μm。

热压印时，电阻炉以15摄氏度/min的升温速度加热到150摄氏度左右，并进行恒温；万能材料试验机的压缩机的压缩速率为0.7mm/min，当压力增加到15MPa时进行保压15s。

制得Au₄₉Ag₅₅Pd₂₃Cu₂₆₉5i₁₆₃金属玻璃基塑料热压印微成型模具。

本发明的优点在于：

1)本发明的金属玻璃基塑料热压印微成型模具具有以下优点：

a)强度高，硬度高。金属玻璃由于是无序态结构，没有晶体结构中存在的位错，空位以及晶界等变形缺陷，所以具有很高的强度，通常是普通的金属材料的10倍左右；

b)韧性高。金属玻璃不但具有很高的强度，还有很高的韧性，其断裂韧性值为几十到几百，而陶瓷，硅等的断裂韧性值仅为不到1，所以在塑料成型的时候，金属玻璃模具不容易发生断裂。

c)热膨胀系数低。金属玻璃的典型的线膨胀系数为5×10^-6左右，相对于铜(16.5×10^-6)，镍(13×10^-6)钢(13×10^-6)来说都低。小的热膨胀系数更能保证模具在加工和使用过程中的精度。

d)热导率高。金属玻璃是一种金属合金，比聚合物，陶瓷和半导体材料的导热性能好，高导热率可以缩短塑料制品的生产周期，提高生产效率。

e)表面质量非常高。金属玻璃由于没有晶界等缺陷，其表面很容易可以达到硅片的纳米级光滑程度。

f)耐腐蚀性好。金属玻璃的玻璃态无序结构使金属玻璃具有很好的耐腐蚀性，可以抵抗脱模剂等化学物质的腐蚀。

2)本发明的制备金属玻璃基塑料热压印微成型模具的方法具有成型效率高，成型力小，成型精度高等特点，且成型过程可人为控制。

Claims (12)

1.一种塑料热压印微成型模具，其特征在于，包括金属玻璃基体，所述金属玻璃基体上具有微结构。

2.根据权利要求1所述的塑料热压印微成型模具，其特征在于，所述金属玻璃基体为Pd基、La基、Ce基、Zr基、Mg基、Au基、Pt基、Sc基、Dy基、Er基、Ho基、Nd基、Ni基、NiNb基、Pr基、Sm基、Tb基的金属玻璃基体。

3.根据权利要求1所述的塑料热压印微成型模具，其特征在于，所述金属玻璃基体为Pd₄₀Cu₃₀P₂₀Ni₁₀、La₅₇₅Al₁₇₅Cu₁₂₅Ni₁₂₅、Ce₆₉Al₂₀Cu₁₀Co₁、Mg₆₅Cu₂₅Gd₁₀、Zr₆₅Cu₁₅Al₁₀Ni₁₀、或Au₄₉Ag₅₅Pd₂₃Cu₂₆₉8i₁₆₃。

4.根据权利要求1所述的塑料热压印微成型模具，其特征在于，所述微结构为圆柱结构，所述圆柱结构的直径为5-10μm，深度为5-10μm，所述微结构的周期为8-20μm。

5.根据权利要求1所述的塑料热压印微成型模具，其特征在于，所述金属玻璃基体宽度为5-10mm，厚度为1-2mm，长度为5-10mm。

6.一种制备塑料热压印微成型模具的方法，其特征在于，包括：

步骤1：制备金属玻璃的薄板：将金属玻璃的熔体冷却，得到金属玻璃的薄板；

步骤2：对金属玻璃的薄板进行表面处理：将步骤1中所制得的金属玻璃的薄板截成所需长度；将该金属玻璃的薄板的两面依次打磨光滑以得到平整的表面，然后取其较光滑的一面进行抛光，得到金属玻璃基体；

步骤3：制备硅模：利用光刻技术制备硅模，在硅模表面，刻蚀出所设计的图案作为塑料热压印微成型模具的微结构，以用来做金属玻璃热压印的模具；

步骤4：热压印：将步骤2中抛光后的金属玻璃基体加热至其玻璃化转变温度以上并进行恒温；将步骤3中硅模有微结构的一面与所述金属玻璃的薄板的光滑的一面相对，对叠合在一起的二者施压；

步骤5：卸载，取下硅模与金属玻璃基体，所述金属玻璃基体的表面形成与所述硅模相吻合的微结构；将该具有所设计微结构的金属玻璃基体冷却，得到金属玻璃基塑料热压印微成型模具。

7.根据权利要求6所述的制备塑料热压印微成型模具的方法，其特征在于，所述金属玻璃基体为Pd基、La基、Ce基、Zr基、Mg基、Au基、Pt基、Sc基、Dy基、Er基、Ho基、Nd基、Ni基、NiNb基、Pr基、Sm基、Tb基的金属玻璃基体。

8.根据权利要求6所述的制备塑料热压印微成型模具的方法，其特征在于，所述步骤1中的金属玻璃的薄板的宽度为5-10mm左右，厚度为1-2mm左右，长度为4-70mm。

9.根据权利要求6所述的制备塑料热压印微成型模具的方法，其特征在于，所述步骤2中金属玻璃基体的宽度为5-10mm，厚度为1-2mm，长度为5-10mm。

10.根据权利要求6所述的制备塑料热压印微成型模具的方法，其特征在于，所述步骤3中的硅模的尺寸为10mm×10mm，厚度为0.5mm。

11.根据权利要求6所述的制备塑料热压印微成型模具的方法，其特征在于，所述微结构为圆柱结构，圆柱直径为5-10μm，深度为5-10μm，所述微结构的周期为8-20μm。

12.根据权利要求6所述的制备塑料热压印微成型模具的方法，其特征在于，所述步骤4的热压印步骤包括将抛光后的金属玻璃基体加热至其玻璃化转变温度以上约40摄氏度并进行恒温；将叠合在一起的硅模和金属玻璃的薄板在10-30Mpa压力下保持10-30秒。

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