CN102586864A - 单晶炉引晶温度寻找和控制方法 - Google Patents
单晶炉引晶温度寻找和控制方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102586864A CN102586864A CN2012100777529A CN201210077752A CN102586864A CN 102586864 A CN102586864 A CN 102586864A CN 2012100777529 A CN2012100777529 A CN 2012100777529A CN 201210077752 A CN201210077752 A CN 201210077752A CN 102586864 A CN102586864 A CN 102586864A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- temperature
- seeding
- power
- time
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210077752.9A CN102586864B (zh) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | 单晶炉引晶温度寻找和控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210077752.9A CN102586864B (zh) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | 单晶炉引晶温度寻找和控制方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102586864A true CN102586864A (zh) | 2012-07-18 |
CN102586864B CN102586864B (zh) | 2014-09-24 |
Family
ID=46476074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210077752.9A Active CN102586864B (zh) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | 单晶炉引晶温度寻找和控制方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102586864B (zh) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105603512A (zh) * | 2016-01-26 | 2016-05-25 | 中山大学 | 一种提拉法晶体生长的下晶温度捕获方法及自动捕获设备 |
CN105648521A (zh) * | 2016-01-26 | 2016-06-08 | 中山大学 | 一种晶体生长方法和设备 |
CN109023511A (zh) * | 2018-08-29 | 2018-12-18 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种直拉单晶大尺寸热场快速稳温的工艺方法 |
CN110184647A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-08-30 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种自动稳温工艺 |
CN110359083A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-10-22 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种自动记录引晶功率工艺 |
CN110396716A (zh) * | 2019-09-04 | 2019-11-01 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种引晶引断后自动稳温工艺 |
CN110528069A (zh) * | 2018-05-25 | 2019-12-03 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种直拉硅单晶的自动调温方法 |
CN110983439A (zh) * | 2018-10-03 | 2020-04-10 | 胜高股份有限公司 | 原料供给方法和单晶硅的制造方法 |
CN111235626A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-06-05 | 弘元新材料(包头)有限公司 | 一种提高cz单晶炉调温效率的调温方法 |
CN112301419A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种多向测温大尺寸单晶硅稳温熔接方法 |
CN112981521A (zh) * | 2021-02-08 | 2021-06-18 | 西门子工厂自动化工程有限公司 | 引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质 |
CN113913923A (zh) * | 2021-09-08 | 2022-01-11 | 包头美科硅能源有限公司 | 一种单晶炉自动调温方法 |
CN114411243A (zh) * | 2021-12-01 | 2022-04-29 | 银川隆基硅材料有限公司 | 温度控制方法和设备、计算机存储介质以及单晶炉 |
CN116026487A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-04-28 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 液面温度测量方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004149368A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 単結晶の直径測定方法及び直径測定装置 |
CN101565851A (zh) * | 2009-05-11 | 2009-10-28 | 浙江金西园科技有限公司 | 一种太阳能硅单晶的制作方法 |
CN201962418U (zh) * | 2011-02-24 | 2011-09-07 | 浙江昀丰新能源科技有限公司 | 一种蓝宝石单晶炉 |
-
2012
- 2012-03-22 CN CN201210077752.9A patent/CN102586864B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004149368A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 単結晶の直径測定方法及び直径測定装置 |
CN101565851A (zh) * | 2009-05-11 | 2009-10-28 | 浙江金西园科技有限公司 | 一种太阳能硅单晶的制作方法 |
CN201962418U (zh) * | 2011-02-24 | 2011-09-07 | 浙江昀丰新能源科技有限公司 | 一种蓝宝石单晶炉 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105648521A (zh) * | 2016-01-26 | 2016-06-08 | 中山大学 | 一种晶体生长方法和设备 |
CN105603512B (zh) * | 2016-01-26 | 2018-10-16 | 中山大学 | 一种提拉法晶体生长的下晶温度捕获方法及自动捕获设备 |
CN105648521B (zh) * | 2016-01-26 | 2018-10-30 | 中山大学 | 一种晶体生长方法和设备 |
CN105603512A (zh) * | 2016-01-26 | 2016-05-25 | 中山大学 | 一种提拉法晶体生长的下晶温度捕获方法及自动捕获设备 |
CN110528069A (zh) * | 2018-05-25 | 2019-12-03 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种直拉硅单晶的自动调温方法 |
CN110528069B (zh) * | 2018-05-25 | 2021-07-06 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种直拉硅单晶的自动调温方法 |
CN109023511A (zh) * | 2018-08-29 | 2018-12-18 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种直拉单晶大尺寸热场快速稳温的工艺方法 |
CN110983439A (zh) * | 2018-10-03 | 2020-04-10 | 胜高股份有限公司 | 原料供给方法和单晶硅的制造方法 |
CN110359083A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-10-22 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种自动记录引晶功率工艺 |
CN110184647A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-08-30 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种自动稳温工艺 |
CN110184647B (zh) * | 2019-06-24 | 2021-04-02 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种自动稳温工艺 |
CN112301419A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种多向测温大尺寸单晶硅稳温熔接方法 |
CN110396716A (zh) * | 2019-09-04 | 2019-11-01 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种引晶引断后自动稳温工艺 |
CN111235626A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-06-05 | 弘元新材料(包头)有限公司 | 一种提高cz单晶炉调温效率的调温方法 |
CN112981521A (zh) * | 2021-02-08 | 2021-06-18 | 西门子工厂自动化工程有限公司 | 引晶功率确定方法、装置和计算机可读介质 |
CN113913923A (zh) * | 2021-09-08 | 2022-01-11 | 包头美科硅能源有限公司 | 一种单晶炉自动调温方法 |
CN114411243A (zh) * | 2021-12-01 | 2022-04-29 | 银川隆基硅材料有限公司 | 温度控制方法和设备、计算机存储介质以及单晶炉 |
CN114411243B (zh) * | 2021-12-01 | 2024-05-10 | 银川隆基硅材料有限公司 | 温度控制方法和设备、计算机存储介质以及单晶炉 |
CN116026487A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-04-28 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 液面温度测量方法、装置、计算机设备和存储介质 |
CN116026487B (zh) * | 2023-03-31 | 2023-08-08 | 内蒙古晶环电子材料有限公司 | 液面温度测量方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102586864B (zh) | 2014-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102586864B (zh) | 单晶炉引晶温度寻找和控制方法 | |
CN102162130B (zh) | 一种蓝宝石单晶的制备方法 | |
CN102877117B (zh) | 基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法 | |
CN101319366B (zh) | 多晶硅铸锭炉自动控制系统及方法 | |
CN101724899B (zh) | 少子寿命大于等于1000微秒的n型太阳能硅单晶生长工艺 | |
CN102776555B (zh) | 一种多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片 | |
CN103103604B (zh) | 大尺寸c向蓝宝石晶体制造方法 | |
CN103710745A (zh) | 85kg至120kg蓝宝石晶体生长自动化控制方法 | |
CN102877120B (zh) | 泡生法生长蓝宝石晶体的自动引晶方法 | |
CN103060913B (zh) | 一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法 | |
CN110184647A (zh) | 一种自动稳温工艺 | |
CN202989351U (zh) | 基于多加热器的铸锭炉热场结构 | |
CN110359084A (zh) | 一种自动调温工艺 | |
CN102260900A (zh) | 提高单晶硅纵向电阻率一致性的装置及其处理工艺 | |
CN103834991A (zh) | 无温度信号处理开环式功率自控晶体生长控制方法 | |
CN102703964B (zh) | 铸锭单晶生产方法 | |
CN205893453U (zh) | 一种用于单晶炉的导流筒 | |
CN202744653U (zh) | 一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨坩埚 | |
CN105502936A (zh) | 基于盐浴淬火方法制备大尺寸硫系红外玻璃的制备方法 | |
CN105177711A (zh) | 蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺 | |
CN201962418U (zh) | 一种蓝宝石单晶炉 | |
CN208419812U (zh) | 一种单晶硅棒生产用长度测量装置 | |
CN103993355B (zh) | CuInS2单晶体的制备方法和CuInS2单晶体制备装置 | |
CN105648521B (zh) | 一种晶体生长方法和设备 | |
CN202187089U (zh) | 快速反馈硅液溢流监控装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: JIANGSU BAIERTE OPTOELECTRONIC DEVICE CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: CHANGZHOU BAYER OPTOELECTRONIC DEVICE CO., LTD. Effective date: 20131031 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 213163 CHANGZHOU, JIANGSU PROVINCE TO: 214264 WUXI, JIANGSU PROVINCE |
|
TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20131031 Address after: 214264, Wuxi City, Jiangsu province Yixing Town Industrial Zone Fang Zhen Applicant after: JIANGSU BAIERTE OPTOELECTRONIC DEVICES CO., LTD. Address before: 213163 No. 1 Changhong West Road, Jiangsu, Changzhou Applicant before: Changzhou Baier Photoelectric Equipment Co., Ltd. |
|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: JIANGSU HENGHE TECHNOLOGY CO., LTD. Effective date: 20141030 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20141030 Address after: 214264, Wuxi City, Jiangsu province Yixing Town Industrial Zone Fang Zhen Patentee after: JIANGSU BAIERTE OPTOELECTRONIC DEVICES CO., LTD. Patentee after: Jiangsu union Technology Co., Ltd. Address before: 214264, Wuxi City, Jiangsu province Yixing Town Industrial Zone Fang Zhen Patentee before: JIANGSU BAIERTE OPTOELECTRONIC DEVICES CO., LTD. |