CN102576506A - 显示器用玻璃基板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于提供一种能够减少涂敷不良的显示器用玻璃基板及其制造方法。本发明提供一种显示器用玻璃基板(20)，用于在由两个主面和四个端面构成的平板显示器中，其中，在将一个主面水平载置的情况下，至少在一侧的主面的从基板端(E0)朝向内周的1～30mm的基板端部区域(21)上，高低差为15μm以下。

Description

显示器用玻璃基板及其制造方法
技术领域
本发明涉及显示器用玻璃基板及其制造方法，尤其是涉及在经由成膜工序而制造的平板显示器中使用的显示器用玻璃基板及其制造方法。
背景技术
一直以来，已知有一种在使用狭缝喷嘴向载置于工作台上的玻璃基板上形成涂膜时特定附着在工作台表面及玻璃基板背面上的异物的异物检测方法(例如，参照专利文献1)。在上述专利文献1所记载的异物的检测方法中，在狭缝喷嘴设置玻璃基板表面检测传感器和工作台面检测传感器，测定狭缝喷嘴前端与玻璃基板表面之间的间隙量L1、及狭缝喷嘴前端与工作台间的间隙量L2，获得两者的间隙的差量(L2-L1)，将该间隙量的差量(L2-L1)与所投入的玻璃基板厚度进行比较，检测是否存在因附着于工作台表面及玻璃基板背面的异物引起的玻璃基板的变形，从而进行附着于工作台表面及玻璃基板背面上的异物的特定。
另外，在实施上述玻璃基板的异物的检测方法时，设置于狭缝喷嘴的工作台面检测传感器通过玻璃基板而能够监视工作台的状态，也能够监视工作台的平面度，因此能够维持狭缝喷嘴与工作台的平行度，从而也能够进行均匀的膜的形成。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本国特开2007-301495号公报
发明内容
然而，在上述的专利文献1所记载的结构中，虽然能够检测基板上的异物，但存在无法检测基板的形状引起的涂敷不良等这样的问题。例如，由于基板的端部的高低差变大，工作台面检测传感器无法正常地发挥功能而发生了涂敷不良时，存在不能采用任何救济措施这样的问题。另外，存在并未对改善基板的形状而减少涂敷不良作出任何考虑这样的问题。
因此，本发明的目的在于提供一种能够减少涂敷不良的显示器用玻璃基板及其制造方法。
第一发明提供一种显示器用玻璃基板，用于由两个主面和四个端面构成的平板显示器中，其中，在将一个主面水平载置的情况下，至少在一侧的主面的从基板端朝向内侧的1～30mm的基板端部区域上，高低差为15μm以下。
由此，能够提供一种在除去倒角部分的基板端部的区域的高低差小的显示器用玻璃基板，在平板显示器制造时，能够使包含成膜工序的各种工序中的加工容易。
第二发明以第一发明的显示器用玻璃基板为基础，提供一种所述基板端部区域是成膜面侧的基板端部区域的显示器用玻璃基板。
由此，在从显示器用玻璃基板制造平板显示器的过程中所需的成膜工序中，能够减少基板端的带圆角的形状的高低差引起的涂敷不良。
第三发明提供一种显示器用玻璃基板的制造方法，该显示器用玻璃基板用于平板显示器，所述显示器用玻璃基板的制造方法包括：第一加热工序，向熔融金属的浴面连续地供给熔融玻璃，成形在该浴面上前进的玻璃带，并以使该玻璃带的横宽方向的端部的温度比中央部的温度高的方式对所述玻璃带进行加热；第二加热工序，使所述玻璃带沿前进方向前进，并以使所述玻璃带的中央部的温度比端部的温度高的方式对所述玻璃带进行加热；及将冷却后的所述玻璃带在所述横宽方向上切断的工序。
由此，能够将玻璃带在横宽方向上成形为端部充分变厚的形状，从而能够成形为适合于包含涂敷工序的显示器用玻璃基板的形状。
第四发明以第三发明的显示器用玻璃基板的制造方法为基础，提供一种在所述熔融玻璃的粘性处于104.5～106.4泊的范围时，从所述第一加热工序切换到所述第二加热工序的显示器用玻璃基板的制造方法。
由此，能够在适当的时间切换加热模式，从而能够可靠地较厚地成形端部。
第五发明提供一种显示器用玻璃基板的制造方法，该显示器用玻璃基板用于平板显示器，所述显示器用玻璃基板的制造方法包括：向熔融金属的浴面连续地供给熔融玻璃，并成形在该浴面上前进的玻璃带的工序；测定所述玻璃带的横宽方向的板厚分布的工序；及基于所述板厚分布，以板厚变厚的部分成为端部的方式沿着前进方向将所述玻璃带切断的工序。
由此，能够考虑板厚分布，而将玻璃带切断成适合于显示器用玻璃基板的形状。
第六发明以第五发明的显示器用玻璃基板的制造方法为基础，提供一种测定所述板厚分布的工序在所述玻璃带在所述浴面上前进的期间使用激光位移计来进行测定的显示器用玻璃基板的制造方法。
由此，在玻璃带成形工艺中能够获得板厚分布，能够制造出没有用于测定的时间损失且减少涂敷不良的显示器用玻璃基板。
发明效果
根据本发明，能够提供一种可减少涂敷不良的显示器用玻璃基板。
附图说明
图1是表示实施方式1的显示器用玻璃基板20的形状的一例的图。图1(a)是实施方式1的一例的显示器用玻璃基板20的立体图。图1(b)是实施方式1的一例的显示器用玻璃基板20的侧视图。图1(c)是实施方式1的显示器用玻璃基板20的基板端部区域21的放大图。
图2是表示以往的显示器用玻璃基板220的成膜工序后的状态的图。图2(a)是成膜后的以往的显示器用玻璃基板220的立体图。图2(b)是成膜后的以往的显示器用玻璃基板220的侧视图。图2(c)是成膜后的以往的显示器用玻璃基板220的基板端部的部分放大侧视图。图2(d)是栅极膜230的缺失缺陷240的局部放大图。
图3是用于说明栅极膜230的缺失缺陷240的发生主要原因的图。图3(a)是表示栅极膜形成用的抗蚀剂涂敷工序的一例的图。图3(b)是表示喷嘴40与以往的显示器用玻璃基板220的关系的剖视图。图3(c)是从前进方向的相反侧的正面观察喷嘴40的主视图。图3(d)是表示喷嘴40到达显示器用玻璃基板220的平坦部的状态的主视图。
图4是表示实施方式1的实施例的显示器用玻璃基板20a的基板端部区域21的剖视结构例的图。
图5是表示实施方式2的显示器用玻璃基板20b的基板端部区域21的剖视结构例的图。
图6是表示在本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法中使用的玻璃板制造装置150的一例的侧视图。
图7是玻璃板制造装置150的金属浴80及层130的俯视图。
图8是用于说明本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法的加热处理的一例的图。图8(a)是表示加热器100的区划例的图。图8(b)是用于说明玻璃带11的厚度控制的一例的图。
图9是示意性地表示本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法的图。图9(a)是表示玻璃带11的成形工序的图。图9(b)是表示板玻璃12的切断工序的一例的图。
图10是用于说明本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法的一例的图。
图11是表示测定与玻璃带11a的表面的距离的状态的图。
图12是表示玻璃带11a的表面形状的横宽方向的剖视结构例的图。
图13是表示使选取的板玻璃的尺寸变小时的切断部位的一例的图。
具体实施方式
以下，参照附图，进行用于实施本发明的方式的说明。
〔实施方式1〕
图1是表示本发明的实施方式1的显示器用玻璃基板20的形状的一例的图。图1(a)是实施方式1的显示器用玻璃基板20的立体图的一例，图1(b)是实施方式1的显示器用玻璃基板20的侧视图的一例。
如图1(a)、(b)所示，实施方式1的显示器用玻璃基板20是具有四角形的平面形状的板状的玻璃基板。需要说明的是，显示器用玻璃基板20的材质根据用途可以选择适当的玻璃材料。
图1(c)是将图1(b)的实施方式1的显示器用玻璃基板20的基板端部区域21放大表示的图。在图1(c)中，实施方式1的显示器用玻璃基板20中，从基板端E0向内侧进入1mm且距基板端E0为1～30mm的范围成为基板端部区域21。基板端部区域21是由外侧端E1和内侧端E2夹着的基板端部的区域，外侧端E1处于从基板端E0向内侧进入1mm的位置，内侧端E2处于从基板端E0向内侧进30mm的位置。在基板端E0形成有对角进行了圆角加工的倒角部22。倒角部22通常形成在距基板端E0横宽1mm以内的范围，具有例如0.5mm左右的横宽。并且，实施方式1的显示器用玻璃基板20在除了倒角部22之外的基板端部区域21中，基板面的高低差V成为15μm以下。如此，实施方式1的显示器用玻璃基板20在距基板端E0为1～30mm的内侧的范围内，具有将基板面的高低差V形成为15μm以下的形状。另外，在图1(c)中，从基板端部区域21的内侧端E2朝向外侧端E1成为基板表面的倾斜下降那样的侧面形状。需要说明的是，倒角部22的高低差为数百μm左右，例如具有0.4mm(＝400μm)的高低差。倒角部22是将显示器用玻璃基板20的边缘的尖锐的部分进行圆角除去的部分，虽然是加工上需要的部分，但由于在成膜工序所需的抗蚀剂涂敷工序中未成为抗蚀剂涂敷的对象区域，因此将除去了包含倒角部22的距基板端E01mm的边缘部分的区域作为基板端部区域21。
通常，显示器用玻璃基板20在平板显示器的制造工序中，大多包含成膜工序。例如在液晶显示器的情况下，在成为前面侧的滤色用玻璃基板形成有黑底及滤色的膜。另外，在成为背面侧的TFT用玻璃基板形成有作为TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)的非晶硅膜。另外，例如在等离子体显示器的情况下，形成有透明电极形成用的ITO(Indium Tin Oxide，铟锡氧化物)膜或电介质膜。此种成膜工序大多是如下情况，即在利用膜覆盖显示器用玻璃基板20的整面之后，使用抗蚀剂进行图案形成，然后通过蚀刻形成具有所希望的图案形状的膜。在此种成膜工序中，如图1(c)所示，基板端部区域21的基板面呈现出从内侧端E2朝向外侧端E1下降的形状，已知有当该高低差V成为例如20μm以上的尺寸时，容易发生抗蚀剂的涂敷不良的情况。详细情况后述，如实施方式1的显示器用玻璃基板20那样，在基板端部区域21中，由于具有高低差V小的形状，因此在成膜工序的抗蚀剂涂敷工序中，能够减少抗蚀剂涂敷不良。
接下来，使用图2，作为现有例，说明以往的显示器用玻璃基板220的形状的一例。图2是表示以往的显示器用玻璃基板220的成膜工序后的状态的图。
图2(a)是成膜后的以往的显示器用玻璃基板220的立体图。在图2(a)中，在显示器用玻璃基板220的表面形成有TFT的栅极膜230，但在栅极膜230的表面形成有缺失缺陷240。栅极膜230的缺失缺陷240平面上呈现出直线状的形状。
图2(b)是成膜后的以往的显示器用玻璃基板220的侧视图，图2(c)是将成膜后的以往的显示器用玻璃基板220的基板端部放大的侧视图。在图2(c)中，基板端部区域21是除去了基板端E0附近的倒角部22的距基板端E0为1～30mm的内侧的区域，这一方面与图1相同，但基板端部区域21的外侧端E1与内侧端E2的高低差V为20μm以上的方面与本实施方式的显示器用玻璃基板20不同。如此，在距基板端E0为1～30mm的基板端部区域21具有20μm以上的高低差V时，容易发生图2(a)所示那样的栅极膜230的缺失缺陷240。
图2(d)是栅极膜230的缺失缺陷240的放大图。在图2(d)中，产生3～5mm的宽度且深度d为25μm以下的槽那样的缺失缺陷240。如此，在基板端部区域21中，当基板表面的高低差V为20μm以上时，在栅极膜工序中，在栅极膜230多产生缺陷。
图3是用于说明栅极膜230的缺失缺陷240的发生主要原因的图。图3(a)是表示栅极膜形成用的抗蚀剂涂敷工序的一例的图。在图3(a)中，在工作台30上载置有以往的显示器用玻璃基板220。在显示器用玻璃基板220的左侧的基板端部设有用于涂敷抗蚀剂的喷嘴40和用于测定与基板表面的距离的传感器50。在抗蚀剂涂敷工序中，管理项目是抗蚀剂的喷出液量、及喷嘴40与基板表面的距离L。其中，对于喷嘴40与基板表面的距离L，利用传感器50来测定与基板表面的距离L，调整喷嘴40的高度以使距离L适当。并且，喷嘴40沿横向移动并将抗蚀剂向显示器用玻璃基板220供给，将抗蚀剂涂敷在基板表面上。在此，利用传感器50进行喷嘴40的高度调整的仅是基板端部的30～50mm的区域。另外，喷嘴40是狭缝喷嘴，构成为能够向横向整体供给抗蚀剂。
图3(b)是表示喷嘴40与以往的显示器用玻璃基板220的关系的喷嘴前进方向的剖视图。在图3(b)中，传感器50设置在比喷嘴40靠前进方向的前方，测定显示器用玻璃基板220接近平坦的位置的高度距离。另一方面，喷嘴40配置在比基板端E0附近的倒角部22靠内侧，直接从喷嘴40供给抗蚀剂60时，在以往的显示器用玻璃基板的情况下，会变成向距传感器50测定到的基板表面的位置低20μm以上的位置供给抗蚀剂60的情况。在此种状态下，当从喷嘴40供给抗蚀剂60时，容易发生未将抗蚀剂60适当地向显示器用玻璃基板220涂敷而产生缺失缺陷这样的现象。
图3(c)是从前进方向相反侧的正面观察喷嘴40的主视图。如图3(c)所示，对于喷嘴40，成为供给口的中央部高度比两端部高的形状，成为中央部与基板表面的距离比两端部与基板表面的距离远的状态。由此，在图3(b)中说明的基板端部的高低差V的影响在中央部容易发生。在图3(c)中，抗蚀剂60是从喷嘴40的横向整体供给，但在中央部产生缺失部61。
图3(d)是表示喷嘴40移动且到达显示器用玻璃基板220的平坦部的状态的主视图。如图3(c)所示，一旦在基板端部产生缺失部61时，即使喷嘴40到达基板的平坦部(中央部)、喷嘴40与基板表面的距离L减小，缺失部61也残留。由于此种现象，因此在抗蚀剂膜产生缺失部61。
接下来，说明栅极膜230的缺失缺陷240的推定的发生主要原因。如图3(a)～(d)中说明那样，认为栅极膜230的缺失不良由抗蚀剂膜的涂敷不良引起。并且，发现抗蚀剂膜的涂敷不良在喷嘴40与基板表面的距离L的最大值L2与最小值L1之差大于20μm时容易发生。
试着考虑其发生原因时，作为显示器用玻璃基板220侧的主要原因，考虑有凹陷、板厚分布、端部形状。另外，作为抗蚀剂涂敷装置侧的主要原因，考虑有网眼堵塞、喷嘴弯曲等。这些主要原因中，如图3(a)～(d)中说明那样，显示器用玻璃基板220的端部形状会成为较大的主要原因。实际上发现在距基板端E0为1～30mm的范围内，当存在20μm以上的高低差V时，容易产生图3(a)～(d)中说明的抗蚀剂60的缺失部61。显示器用玻璃基板220的形状中，距基板端E0为1～30mm的范围的形状尤其重要。这是因为，若在距基板端E0为1～30mm的范围内未产生抗蚀剂60的缺失部61，则在玻璃中央部涂敷抗蚀剂的工序中不会发生抗蚀剂膜的涂敷不良。
由此，在本实施方式的显示器用玻璃基板20中，在距基板端E0为1～30mm的范围的基板端部区域21，使基板表面的高低差V为15μm以下，从而防止在抗蚀剂膜产生缺失的现象。
图4是表示实施方式1的实施例的显示器用玻璃基板20a的基板端部区域21的剖视结构例的图。图4表示在基板端部区域21，基板内侧端E2的外侧的基板表面的高度全部比基板内侧端E2高或低的任一种的形态的各种实施例。在图4中，表示了实施方式1的实施例的显示器用玻璃基板20a的基板端部区域21，但基板端部区域21是除去了倒角部22的距基板端E0为1～30mm的范围的情况与图1相同。需要说明的是，倒角部22的形状与本发明没有直接的关系，因此在图4中，省略倒角部22，而将左端表示为基板端部区域21的外侧端E1。在图4中，示出了P～T这五形态的基板端部区域的截面形状的例子。另外，将基板端部区域21的内侧端E2作为0级的水平基准F时，在外侧端E1，比内侧端E2低15μm的点由D表示，比内侧端E2高15μm的点由H表示。
与图1中说明的情况同样地，P所示的基板表面的截面形状是从基板端部区域21的内侧端E2朝向外侧端E1而基板表面下降的形状。P所示的截面形状的基板端部区域21的下降量由于在外侧端E1处于比D点高的位置，因此是比15μm小的下降量。同样地，Q所示的截面形状也是在外侧端E1比内侧端E2下降，但其下降量比曲线P低，成为进而平坦度变高的形状。
R所示的基板表面的截面形状表示外侧端E1和内侧端E2均成为水平基准F的情况。显示器用玻璃基板20a的表面是平坦成作为平板显示器用的玻璃基板没有问题的水平，但以微米级放大时，如图4所示，有时存在若干的起伏。由此，如R所示的基板表面的截面形状那样，即使外侧端E1与内侧端E2为相同高度，也有时存在若干的高低差。在图4中，基板端部区域21作为整体，成为比水平基准F稍高的截面形状。
S所示的基板表面的截面形状成为外侧端E1的基板表面的高度比基板端部区域21的内侧端E2高的截面形状。如此，基板端部区域21的截面形状不仅有外侧端E1比内侧端E2低的情况，而且也有外侧端E1比内侧端E2高的情况。T所示的基板表面的截面形状也与S同样地，成为基板端部区域21的外侧端E1的基板表面比内侧端E2的基板表面高的截面形状。T所示的截面形状整体比S所示的截面形状高。然而，T所示的截面形状也比H点低，因此基板端部区域21的高低差比15μm小。
如此，本实施方式的显示器用玻璃基板20a在基板端部区域21的高低差若为15μm以下，则能够采用各种截面形状。并且，在哪一种的形状下，均使抗蚀剂涂敷工序的缺失不良减少，在之后的栅极膜230等的成膜工序中，能够进行没有缺失不良的成膜。
〔实施方式2〕
图5是表示实施方式2的显示器用玻璃基板20b的基板端部区域21的剖视结构例的图。图5表示在基板端部区域21具有包含比水平基准F高的部分和低的部分这双方在内的截面形状的显示器用玻璃基板20b的例子。在图5中，U所示的基板表面的截面形状是从基板端部区域21的内侧端E2朝向外侧端E1，倾斜暂时上升而后下降，最终在外侧端E1成为比水平基准F低的形状。这种情况下，基板端部区域21的高低差成为最高点与最低点之差的V1，但若V1为15μm以下，则包含在本实施方式的显示器用玻璃基板20b中。
另外，W所示的基板表面的截面形状从基板端部区域21的内侧端E1暂时倾斜下降，并再次上升，在外侧端E1，高于水平基准F。这种情况下，最高点与最低点之差V2也为15μm以下，因此包含在本实施方式的显示器用玻璃基板20b中。
如此，本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b若在距外侧端E1为30mm的基板端部区域21，高低差为15μm，则能够获得各种形状。另外，在哪一种形状中，都能够使抗蚀剂的涂敷不良的发生减少，能够减少之后的成膜工序的成膜不良。
接下来，使用图6～图9，说明本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法的一例。
图6是表示本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法中使用的玻璃板制造装置150的一例的侧视图。在图6中，玻璃板制造装置150具备槽窑70、金属浴80、层130。槽窑70积存熔融玻璃10。另外，金属浴80积存熔融金属的熔融锡90，且在上部的空间具备加热器100。层130具备辊式输送机140。
积存在槽窑70中的熔融玻璃10流入金属浴80，在熔融锡90上扩展，大致达到平衡厚度。在熔融锡90上扩展的熔融玻璃10沿层130的方向被拉伸，一边稍拉伸一边朝向金属浴80的下游方向成为一定宽度的带状的玻璃带11而在熔融锡90的浴面上前进。
图7是图6所示的玻璃板制造装置150的金属浴80及层130的俯视图。在图7中，在金属浴80的两侧具备多个立辊120。立辊120通过旋转轴121沿箭头的方向旋转，以使玻璃带11沿横宽方向扩展。玻璃带11在立辊120的作用下，沿横宽方向扩展，被加热器100(参照图6)加热并向下游方向前进，在到达金属浴80的出口部81为止的期间，被冷却至即使与辊式输送机140接触也不会变形的程度的温度。
到达金属浴80的出口部81的玻璃带11在出口部81附近被提升若干量，进入层130内(参照图6)。并且，板玻璃12在由多个辊式输送机140传送的过程中被冷却，最终被冷却至室温，从而制造出板玻璃12。
以上是到板玻璃12的制造为止的整体的工序，接下来，通过将板玻璃12切断，来制造显示器用玻璃基板20、20a、20b。在此，在本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法中，玻璃带11通过立辊120沿横宽方向扩大并在金属浴80上前进时，在玻璃带11的横宽方向上进行两端变厚的处理。
图8是用于说明本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法的金属浴80中的加热处理的一例的图。图8(a)是表示在金属浴80的上方设置的加热器100的区划例的图。在图8(a)中，加热器100以沿前进方向及横宽方向覆盖金属浴80的区域的方式格子状地区划、分配。按区划施加不同的加热温度，由此能够进行按照区划区域而使玻璃带11的厚度不同的控制。另外，在层130中能够将玻璃带11冷却至具有某种程度的硬度的状态。
图8(b)是用于说明基于加热器100的温度的玻璃带11的厚度控制的一例的图。在图8(b)中，表示各区划中的加热器100的输出的电能(单位：kW/m2)的密度(以下，记载为输出密度)。金属浴80大体分为上游侧82和下游侧83。在上游侧82，横宽方向的两端部的加热器100的输出成为比中央部的输出大的值。即，在前进方向第三个的横宽方向的加热器列，中央部的输出密度为13kW/m2，相对于此，两端部的输出密度成为35kW/m2，两端部的输出密度大于中央部。同样地，关于前进方向第四个的横宽方向的加热器列，中央部的输出密度为17kW/m2，相对于此，两端部为33kW/m2，关于前进方向第五个的加热器列，中央部为15kW/m2，相对于此，两端部成为33kW/m2。前进方向第一个及第二个的横宽方向的加热器列的输出密度也同样。
反之，在下游侧83，横宽方向的中央部的加热器100的输出成为比两端部的输出大的值。即，在沿前进方向第六个的横宽方向的加热器列中，两端部的输出密度为11kW/m2，相对于此，中央部的输出密度为26kW/m2，中央部的加热器100的输出密度高于两端部的加热器100的输出密度。同样地，在前进方向第七个的横宽方向的加热器列中，两端部的输出密度为8kW/m2，相对于此，中央部的输出密度为21kW/m2，中央部的加热器100的输出密度大于两端部的加热器100的输出密度。
如此，在上游侧82的第一加热工序中，使端部的加热器100的加热温度比中央部的加热器100高，在下游侧83的第二加热工序中，使端部的加热器100的加热温度比中央部的加热器100低，由此，能够成形出玻璃带11的两侧比中央部厚的形状的玻璃带11。
需要说明的是，上游侧82和下游侧83在图8(b)中，上游侧82在前进方向上成为加热器100的5区划量，下游侧83在前进方向上成为加热器100的2区划量，但这些可以根据玻璃带11的性质、制造的板玻璃12的性质进行适当变更。例如，也可以将上游侧82形成为沿前进方向4区划量，将下游侧83形成为沿前进方向3区划量。
另外，上游侧82的第一加热工序与下游侧83的第二加热工序的边界也可以根据玻璃带11的粘性来决定。例如，可以在玻璃带11的粘度成为104.5～106.4泊的范围时，对上游侧82与下游侧83进行切换，形成为使加热器分布的端部与中央部反转的设定。例如，在液晶用的无碱玻璃的情况下，当粘度成为105.3～106.4泊时，玻璃带11的温度成为1170℃左右。如此，在与粘度对应的玻璃带11的温度为已知时，也可以以玻璃带11的温度为基准而设定金属浴80中的加热器100的上游侧82和下游侧83。
然后，如使用图6及图7说明那样，若沿横宽方向切断，则能够制造出如下所述的显示器用玻璃基板：两端部变厚，在基板端部区域21的高低差小，尤其是不包含下降那样的截面形状，能够适当地进行抗蚀剂涂敷。
图9是示意性地表示本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法的图。图9(a)是表示金属浴80中的玻璃带11的成形工序的图。如图9(a)所示，向金属浴80流入的玻璃带11使用立辊120沿横宽方向扩展并在金属浴80上前进。
图9(b)是表示飞翅除去前的板玻璃12的切断工序的一例的图。在图9(b)中，表示飞翅除去前的板玻璃12的截面结构的一例，但对于板玻璃12的横宽方向的端部，作为飞翅13被切断削除。并且，中央部分被利用作为飞翅除去后的板玻璃14，最终，被利用作为显示器用玻璃基板20、20a、20b。在此，如图8中说明那样，根据本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法，飞翅除去前的板玻璃12的两端部具有充分的厚度而成形，因此即使将飞翅13切断削除，切断而残留的飞翅除去后的板玻璃14的端部也能够确保充分的厚度。由此，如在实施方式1中说明那样，适当地进行抗蚀剂60的涂敷，能够制造出能可靠地进行成膜的显示器用玻璃基板20、20a、20b。
如此，根据本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法，通过将最初成形的飞翅除去前的板玻璃12成形为两端部厚的形状，能够制造出能可靠地进行成膜工序的显示器用玻璃基板20、20a、20b。
图10是与图6～图9不同的用于说明本发明的实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法的一例的图。
在本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法中，也可以适用通常的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法。然而，在本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法中，利用激光位移计160、161、162来识别板玻璃12a、14a的表面形状，以两端变厚的方式将板玻璃12a、14a切断，由此制造出在基板端部区域21高低差为15μm以下的显示器用玻璃基板20、20a、20b。
以下，具体说明其内容。在图10中，在玻璃露出层130而大致成为室温的位置设置激光位移计160。另外，在比激光位移计160靠下游处设有切割器170。另外，在露出层130后的主线下游设有分支84、85。也可以在各分支84、85分别设置激光位移计161、162。需要说明的是，露出层130后的玻璃带11沿着与玻璃流动方向垂直的方向被切断，成为飞翅除去前的板玻璃12a，但在图10中，省略了该工序，根据飞翅除去前的板玻璃12a在主线上流动的状态来说明内容。
激光位移计160是测定飞翅除去前的板玻璃12a的厚度的计测单元。在本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法中，从飞翅除去前的板玻璃12来制造显示器用玻璃基板20、20a、20b，因此执行通常的基于浮法的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法，并使用激光位移计160进行飞翅除去前的板玻璃12a的位移测定。在图10中，当飞翅除去前的板玻璃12a通过X-X′截面时，激光位移计160沿横宽方向移动，测定飞翅除去前的板玻璃12a的厚度。
图11是表示利用激光位移计160测定飞翅除去前的板玻璃12a的板厚的状态的图。在图11中，在飞翅除去前的板玻璃12a上设置激光位移计160。激光位移计160只要是能够测定飞翅除去前的板玻璃12a的厚度且能够识别飞翅除去前的板玻璃12a的厚度分布的单元即可，可以使用各种结构的装置。如图11所示，激光位移计160将激光向飞翅除去前的板玻璃12a照射，检测其反射光，由此来测定飞翅除去前的板玻璃12a的板厚。并且，激光位移计160通过沿飞翅除去前的板玻璃12a的横宽方向移动，而能够测定横宽方向上的板厚，且能够识别横宽方向的飞翅除去前的板玻璃12a的表面的高低差。
图12是表示由激光位移计160计测到的飞翅除去前的板玻璃12a的表面形状的横宽方向上的剖视结构的一例的图。在图12中，飞翅除去前的板玻璃12a在表面具有微米级的凹凸。在此，若以飞翅除去前的板玻璃12a的表面变高的部分即变厚的部分成为两端的方式将飞翅除去前的板玻璃12a切断，则在基板端部区域21中，能够形成高低差为15μm以下那样的形状。在图12中，利用X0、X0′将飞翅除去前的板玻璃12a切断，将飞翅13a切断削除，从而制造出飞翅除去后的板玻璃14a。在X0、X0′中，将从飞翅除去前的板玻璃12a自身的横宽方向截面形状的两端的、较大下降而倾斜的部分进入内侧，且上升的倾斜的顶点附近选择作为切断位置。如此，最终能够制造出本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b。
也可以首先利用切割器170在切断部位形成切口，然后，利用形成的切口将飞翅除去前的板玻璃12a折弯，由此进行飞翅除去前的板玻璃12a的切断。
另外，在图12中，在中央部的X1处，也进行基于切割器170的切断。这是因为，为了沿横宽方向制造两张显示器用玻璃基板20、20a、20b，而在中央部的X1处将飞翅除去后的板玻璃14a切断。这种情况下，也如图12所示，选择飞翅除去后的板玻璃14a的表面形状的隆起的高的位置X1而切断。如此，能够使切断产生的两张显示器用玻璃基板20、20a、20b的基板端部区域21平坦，能够使高低差为15μm以下。需要说明的是，中央部的X1的切断不在主线而在分支84、85进行。后面叙述这一点。
当中央线的X1不在适当的位置而无法选取出所希望的尺寸的显示器用玻璃基板20、20a、20b时，减小选取的显示器用玻璃基板20、20a、20b的尺寸，如图13那样，选择能够对这些显示器用玻璃基板20、20a、20b进行选取的飞翅除去前的板玻璃12a的表面变高的部分X0、X0′、X2及X2′。接下来利用X0、X0′、X2及X2′将飞翅除去前的板玻璃12a切断。如此，能够使切断产生的三张显示器用玻璃基板20、20a、20b的基板端部区域21平坦，能够使高低差为15μm以下。
如此，若使用激光位移计160，识别飞翅除去前的板玻璃12a的横宽方向上的表面形状，为了使基板端部区域21的高低差减小，在飞翅除去前的板玻璃12a的隆起的位置以将两端切掉的方式进行切断加工，则能够制造出本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b。
返回图10。利用主线的切割器170将两飞翅13a切断后的玻璃带11a被导向分支84，通过位移计161在飞翅除去后的板玻璃14a的中央部X1附近，再次沿Y-Y′的方向测定板厚。由此，能够测定飞翅除去后的板玻璃14a的中央部X1附近的板厚。测定后，如图12中说明那样，在板厚充分厚的部分，将飞翅除去后的板玻璃14a切断成两张。
另外，有效地进行飞翅除去后的板玻璃14a的两张的切断时，进而设置分支85，将切断了两飞翅13a的飞翅除去后的板玻璃14a与分支84并行地切断成两张。需要说明的是，分支84、85的设定是任意的，将飞翅除去后的板玻璃14a切断成两张时，可以根据需要来设置。另外，即使在将飞翅除去后的板玻璃14a切断成两张时，若生产能力不成为问题，则分支84、85可以仅设置任一方。另外，反之，也可以设置更多的分支84、85，而进一步提高生产能力。
如此，根据本实施方式的显示器用玻璃基板20、20a、20b的制造方法，能够不进行温度控制等，而利用激光位移计160容易地制造出实施方式1的显示器用玻璃基板20、20a、20b。
需要说明的是，如图1中说明那样，也可以根据需要而在显示器用玻璃基板20、20a、20b形成倒角部22。
另外，也可以对切断后的显示器用玻璃基板进行研磨处理，去除显示器用玻璃基板表面的微细的缺陷。
研磨处理通常是指如下工序，即将被称为研磨垫的发泡聚氨酯材料按压于玻璃并利用显示器用玻璃基板与研磨垫的相对运动，由此使用料浆状的氧化铈来研磨玻璃的表面。
研磨垫与显示器用玻璃基板相比柔软且容易变形，因此显示器用玻璃基板的边缘部分比中央部容易研磨，从而有时在基板端部区域21产生高低差。
为了减少高低差，而以中央部相对于外周部成为凸形状的方式对研磨垫进行修整，或加压时使研磨垫的中央部的压力比垫的外周部高，或使玻璃基板与研磨垫的相对运动量在玻璃的外周部比中央部小。
在切断后的基板端部区域21高低差未成为15μm以下时，也可以对玻璃基板实施抛光处理来改善高低差。抛光处理通常是指如下所述的工序，即以比较低的压力将玻璃基板向实施了槽加工的平坦的铸铁的平台按压，使玻璃基板与平台进行相对运动，由此使用料浆状的氧化铁、氧化铝等来加工玻璃基板表面。
与研磨处理不同，在抛光处理中，平台比玻璃基板硬，因此平台的平坦度向玻璃基板转印。因此能够改善基板端部区域21的高低差。但是，与研磨相比，会对玻璃基板的表面造成伤痕，因此在抛光处理后需要进行研磨处理。
以上，详细地说明了本发明的优选的实施方式，但本发明并不局限于上述的实施方式，在不脱离本发明的范围内，能够对上述的实施方式施加各种变形及置换。
详细而且参照确定的实施方式说明了本发明，但对于本领域技术人员而言，不脱离本发明的精神和范围而能够施加各种变更、修正的情况不言自明。
本申请基于2009年10月26日提出申请的日本专利申请(特愿2009-245938)以及2010年3月1日提出申请的日本专利申请(特愿2010-044515)，并将其内容作为参照而包含于此。
工业实用性
本发明能够利用于在液晶面板、等离子体显示面板等的平板显示器中使用的显示器用玻璃基板中。
标号说明：
10...熔融玻璃
11、11a...玻璃带
12...板玻璃
20、20a、20b...显示器用玻璃基板
21...基板端部区域
22...倒角部
30...工作台
40...喷嘴
50...传感器
60...抗蚀剂
70...槽窑
80...金属浴
81...出口部
82...上游侧
83...下游侧
84、85...分支
90...熔融锡
100...加热器
120...立辊
121...旋转轴
130...层
140...辊式输送机
150...玻璃板制造装置
160、161、162...激光位移计
170...切割器

Claims (6)

1.一种显示器用玻璃基板，用于由两个主面和四个端面构成的平板显示器中，其特征在于，
在将一个主面水平载置的情况下，至少在一侧的主面的从基板端朝向内侧的1～30mm的基板端部区域上，高低差为15μm以下。
2.根据权利要求1所述的显示器用玻璃基板，其特征在于，
所述基板端部区域是成膜面侧的基板端部区域。
3.一种显示器用玻璃基板的制造方法，该显示器用玻璃基板用于平板显示器，所述显示器用玻璃基板的制造方法的特征在于，包括：
第一加热工序，向熔融金属的浴面连续地供给熔融玻璃，成形在该浴面上前进的玻璃带，并以使该玻璃带的横宽方向的端部的温度比中央部的温度高的方式对所述玻璃带进行加热；
第二加热工序，使所述玻璃带沿前进方向前进，并以使所述玻璃带的中央部的温度比端部的温度高的方式对所述玻璃带进行加热；及
将冷却后的所述玻璃带在所述横宽方向上切断的工序。
4.根据权利要求3所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其特征在于，
在所述熔融玻璃的粘性处于104.5～106.4泊的范围时，从所述第一加热工序切换到所述第二加热工序。
5.一种显示器用玻璃基板的制造方法，该显示器用玻璃基板用于平板显示器，所述显示器用玻璃基板的制造方法的特征在于，包括：
向熔融金属的浴面连续地供给熔融玻璃，并成形在该浴面上前进的玻璃带的工序；
测定所述玻璃带的横宽方向的板厚分布的工序；及
基于所述板厚分布，以板厚变厚的部分成为端部的方式沿着前进方向将所述玻璃带切断的工序。
6.根据权利要求5所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其特征在于，
测定所述板厚分布的工序在所述玻璃带的前进中使用激光位移计来进行测定。
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