CN102566154B - 感测模块 - Google Patents

Abstract

提供一种感测模块，其包含：第一主体；光发射器，其插入第一主体中以发射光；第二主体，其面向第一主体；以及光接收器，其插入第二主体中以面向光发射器且接收来自光发射器的光。光接收器的面向光发射器的一端可从第二主体的面向第一主体的表面向内间隔开。因此，从光发射器发射的光的扩展角比相关技术中小，且因此，从衬底向光接收器反射的光的量比相关技术中小。另外，即使由衬底反射的光指向光接收器，入射到光接收器的光的量也比相关技术中小。因此，因从衬底反射的光而导致的感测错误可最小化。

Description

感测模块

相关申请案的交叉参考

本申请案主张2010年12月30日申请的第10-2010-0138465号韩国专利申请案的优先权，所述韩国专利申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明涉及一种感测模块，且更明确地说，涉及一种经配置以高效地感测源材料的滴落的感测模块。

背景技术

一般来说，通过接合一对平板衬底来制造平板显示器面板。举例来说，当制造液晶显示器面板时，制造下部衬底和上部衬底，下部衬底具备薄膜晶体管和像素电极，且上部衬底具备彩色滤光片和共用电极。接着，将液晶分配在下部衬底上，且接合并密封上部衬底与下部衬底，以制造液晶显示面板。

在此情况下，使用液晶分配设备来将液晶分配在衬底上。此液晶分配设备包含：台，将衬底放置于所述台上；门架(gantry)，其安置于所述台上方；喷嘴，其安置于所述门架上以分配液晶；以及排放单元，其包含感测模块，所述感测模块经配置以感测液晶从喷嘴的排放和滴落。排放单元包含喷嘴支撑部件，其安置在感测模块的上侧以接纳喷嘴的至少一部分，从而支撑并固定喷嘴。喷嘴支撑部件具有板状形状，且包含孔以接纳喷嘴。将感测模块安置在喷嘴支撑部件下方。当将液晶分配在衬底上时，喷嘴、喷嘴支撑部件和感测模块一起移动。感测模块包含：第一主体；光发射器，其插入所述第一主体中以发射光；第二主体，其面向所述第一主体；以及光接收器，其插入所述第二主体中以面向所述光发射器且接收来自光发射器的光。插入第一主体中的光发射器具有面向光接收器且暴露于第一主体之外的部分。插入第二主体中的光接收器具有面向光发射器且暴露于第二主体之外的部分。感测模块将从光发射器发射的光的量与入射到光接收器的光的量进行比较，以感测液晶的排放和滴落。

当从光发射器发射光时，光的一部分在平行于光发射器的方向上移动，且其另一部分朝光发射器的上侧和下侧倾斜地移动。就是说，从光发射器发射的光展开。因此，从光发射器发射的光的一部分可朝滴落的液晶移动，且其另一部分可在其它方向上移动。就是说，从光发射器发射的光的一部分可指向喷嘴支撑部件或衬底。接着，指向喷嘴支撑部件或衬底的光可由喷嘴支撑部件或衬底反射，且入射到光接收器。在此情况下，由于喷嘴支撑部件与喷嘴和感测模块一起移动，因此从喷嘴支撑部件反射到光接收器的光的量是恒定的。因此，可忽略从喷嘴支撑部件反射到光接收器的光的量，因为其为恒定的。就是说，当计算从光发射器发射的光的量与入射到光接收器的光的量之间的差异以感测液晶的滴落时，仅减去从喷嘴支撑部件反射到光接收器的光的恒定量。然而，衬底不与喷嘴支撑部件、喷嘴和感测模块一起移动，且从衬底反射到光接收器的光的量根据衬底的局部表面条件或层质量而变化。因此，仅减去恒定值的方法，例如仅减去从喷嘴支撑部件反射到光接收器的光的量的方法，无法用于从衬底反射到光接收器的光的量。这使得难以准确地感测液晶的分配。因此，在液晶排放过程期间，可能发生错误，这可能损坏产品。

发明内容

本发明提供一种感测模块，其可准确地感测源材料是否滴落。

本发明还提供一种感测模块，其最小化从衬底反射到光接收器的光的量，以容易地感测源材料是否滴落。

根据示范性实施例，用于感测源材料的分配的感测模块包含：第一主体；光发射器，其插入所述第一主体中以发射光；第二主体，其面向所述第一主体；以及光接收器，其插入所述第二主体中以面向光发射器且接收来自光发射器的光，其中光接收器的面向光发射器的一端从第二主体的面向第一主体的表面向内间隔开(spaced inward)。

光接收器的所述端与第二主体的表面之间的距离的范围可从大约0.5mm到大约2mm。

光发射器的面向光接收器的一端可从第一主体的面向第二主体的表面向内间隔开。

光发射器的所述端与第一主体的表面之间的距离的范围可从大约0.5mm到大约2mm。

源材料可包含液晶和密封剂中的一者。

附图说明

可从结合附图进行的以下描述更详细地理解示范性实施例，其中：

图1是说明根据示范性实施例的衬底处理设备的透视图；

图2是说明根据示范性实施例的排放单元的正视图；

图3是说明根据示范性实施例的感测模块的横截面图；

图4和图5是说明借助于根据示范性实施例的感测模块来感测液晶是否滴落的方法的示意图；以及

图6和图7是说明借助于相关技术的感测模块来感测液晶是否滴落的方法的示意图。

具体实施方式

在下文中，将参看附图详细描述特定实施例。然而，本发明可以不同方式体现，且不应被解释为限于本文所陈述的实施例。相反，提供这些实施例是为了使本发明将全面且完整，且将向所属领域的技术人员完全传达本发明的范围。

图1是说明根据示范性实施例的衬底处理设备的透视图。图2是说明根据本实施例的排放单元的正视图。图3是说明根据本实施例的感测模块的横截面图。

参看图1和图2，根据本实施例的衬底处理设备包含：台100，衬底S放置于台100上；门架200，其安置于台100上方；多个排放单元400，其固定到门架200上且彼此间隔开并排列在布置方向上；以及多个排放单元移动部件700，其安置在门架200上，且在排放单元400的布置方向上延伸，并水平移动排放单元400。衬底处理设备进一步包含门架移动部件300，其安置在台100上且水平移动门架200。在本实施例中，将液晶用作源材料以分配在衬底S上，且衬底处理设备可为液晶分配设备。然而，本发明不限于此，且因此，可将各种液体用作源材料。举例来说，源材料可为施加在一对衬底S之间以接合所述衬底的密封剂或膏状物。

台100具有对应于衬底S的形状，使得衬底S可放置于台100上。由于将四角形玻璃衬底用作衬底S，因此台100为四角形的。然而，台100的形状不限于此，且因此可随着衬底S的形状而变化。台100可包含用于支撑和固定衬底S的单独固定部件(未图示)。可将使用静电力的静电夹或使用真空吸力的真空固定装置用作固定部件。当使用真空固定装置时，台100可具备与真空泵连通的孔。

门架移动部件300可在与排放单元400的水平移动方向交叉的方向上移动门架200。门架移动部件300包含：一对导轨310，其在台100上彼此平行且彼此间隔开；以及一对门架驱动部件320，其分别安置在导轨310上且沿导轨310滑动。导轨310在垂直于排放单元400的水平移动方向的方向上延伸。门架驱动部件320的上部部分耦合到门架200的下部部分。因此，当门架驱动部件320沿导轨310移动时，耦合到门架驱动部件320的门架200水平移动。举例来说，门架驱动部件320可为经配置以线性移动的线性电动机与使滚珠滚珠螺杆(ball screw)旋转的电动机的组合。然而，本发明不限于此，且因此，门架驱动部件320可为在导轨310上滑动的任何部件。

排放单元400中的每一者包含：耦合部件410，其耦合到安置在门架200上的排放单元移动部件700，且由排放单元移动部件700水平移动；源材料储存部420，其安置于耦合部件410的上部部分上，且储存液晶；注射器430，其接纳来自源材料储存部420的液晶并排放所述液晶；排放零件450，其接纳来自注射器430的液晶，且将液晶排放在衬底S上；以及感测模块500，其安置在排放零件450下方以感测从排放零件450分配的液晶。另外，排放单元400中的每一者包含：第一供应管480，其一端连接到源材料储存部420，且另一端连接到注射器430；第二供应管490，其一端连接到注射器430，且另一端连接到排放零件450的喷嘴452；第一阀460，其安装在第一供应管480上以控制注射器430与源材料储存部420之间的连通；第二阀470，其安装在第二供应管490上以控制注射器430与排放零件450之间的连通；源材料储存部支撑部件420-1，其安装在耦合部件410上以支撑源材料储存部420；以及注射器支撑部件430-1，其支撑注射器430。第一供应管480和第二供应管490具有带内部空间的管状形状。源材料储存部支撑部件420-1具有板状形状，其面积大于源材料储存部420的面积，且安装在耦合部件410上在源材料储存部420下方以支撑源材料储存部420。注射器支撑部件430-1具有带开放孔的板状形状，且安装在耦合部件410上。注射器430的下部部分的至少一部分插入并固定在注射器支撑部件430-1的开放孔中。然而，源材料储存部支撑部件420-1和注射器支撑部件430-1的形状和安装位置不限于此，且因此可变化，前提是源材料储存部420和注射器430被支撑并固定。排放单元400的耦合部件410的后表面耦合到安装在门架200上的排放单元移动部件700。耦合部件410具有板状形状，其前表面具备源材料储存部420、注射器430以及排放零件450，且其后表面连接到排放单元移动部件700。因此，排放单元400可借助于排放单元移动部件700而水平移动，以将液晶分配在衬底S上。

源材料储存部420储存液晶以供应到注射器430，且具有带内部空间的圆柱形形状。然而，源材料储存部420的形状不限于此，且因此可从具有内部空间的各种形状中选择以接纳液晶。可将消泡器(未图示)安装在源材料储存部420上以将泡沫从液晶去除。举例来说，消泡器可包含真空部件以将空气从源材料排出。

注射器430接纳来自源材料储存部420的液晶，并将液晶的某一部分供应到排放零件450。注射器430包含：注射器主体431，其具有储存液晶的内部空间；注射入口432，其连接到注射器主体431的侧部部分以注入液晶；排放出口433，其连接到注射器主体431的下部部分以将液晶从注射器主体431排出；以及调整器434，其连接到注射器主体431的上部部分，以调整注射器主体431的内部压力，从而控制液晶的引入和排放。注射器主体431具有桶形形状，其具有储存液晶的内部空间，且注射器主体431可由例如金属、塑料或玻璃等材料形成。注射入口432的一端连接到注射器主体431，且其另一端连接到第一供应管480。排放出口433的一端连接到注射器主体431，且其另一端连接到第二供应管490。调整器434控制液晶经由注射入口432向注射器主体431中的注入，以及液晶经由排放出口433从注射器主体431的排放。举例来说，调整器434可调整注射器主体431的内部压力，以控制液晶的注入和排放。就是说，调整器434可为活塞，其至少一个部分在注射器主体431内垂直移动。然而，调整器434不限于此，且因此可从用于调整注射器主体431的内部压力或控制液晶的注入(或引入)和排放的各种部件中选择。

排放零件450安装在耦合部件410上在注射器430下方以将液晶分配在放置于台100上的衬底S上。排放零件450包含：喷嘴452，其将液晶分配在衬底S上；以及喷嘴支撑部件451，喷嘴452安装并固定在喷嘴支撑部件451上。喷嘴支撑部件451可具有带开放孔的板状形状，喷嘴452的至少一个部分插入并固定在开放孔中。喷嘴支撑部件451安装并固定到耦合部件410上。喷嘴452连接到第二供应管490的一端，且经由第二供应管490接纳来自注射器430的液晶，以将液晶分配到衬底S。

参看图3，感测模块500包含：光发射零件510，其包含用于发射光的光发射器513；以及光接收零件520，其面向光发射零件510以接收从光发射零件510发射的光，光接收零件520与光发射零件510之间具有一空间。喷嘴452安置在光发射零件510与光接收零件520之间的空间上方。

光发射零件510包含：第一主体511；以及光发射器513，其插入第一主体511中以发射光。第一主体511具有四角形横截面，但不限于此。第一主体511的一端连接到喷嘴支撑部件451。在下文中，第一主体511的面向第二主体521的表面称为第一表面。第一主体511具备接纳光发射器513的第一凹进部分512。第一凹进部分512至少朝光接收零件520开放，使得安置在第一凹进部分512中的光发射器513可朝光接收零件520发射光。

发射光以感测液晶的排放的光发射器513插入第一主体511中。为此，光发射器513包含接收和发射光的光纤。然而，光发射器513不限于此，且因此可包含用于发射光的任何部件。光发射器513插入第一主体511的第一凹进部分512中。光发射器513的一端从第二主体521的面向第一主体511的表面向内间隔开。在下文中，光发射器513的在光接收零件520附近的端被称为第一端，且光发射器513的与光接收零件520相对的端被称为第二端。光发射器513的第一端为用于从光发射器513将光发射出第一主体511的表面，且安置在第一凹进部分512内。就是说，光发射器513的第一端从第一主体511的面向第二主体521的第一表面向内凹进。因此，可减小从光发射器513发射的光的扩展角(检视角)。第一主体511的第一表面与光发射器513的第一端之间的距离在大约0.5mm到大约2mm的范围内。因此，从光发射器513发射的光的扩展角可减小。因此，在感测模块500的上侧和下侧发射到喷嘴支撑部件451和衬底S的光的量可减少。因此，由喷嘴支撑部件451和衬底S反射且入射到光接收器523的光的量可减少，使得因由衬底S反射的光而导致的感测错误可最小化。然而，例如，如果第一主体511的第一表面与光发射器513的第一端之间的距离小于大约0.5mm，或大于大约2mm，那么从光发射器513发射的光的扩展角(检视角)增加。就是说，从光发射器513向喷嘴支撑部件451和衬底S发射的光的量增加。因此，由衬底S反射且入射到光接收器523的光的量增加，且因此可能难以准确地感测工艺期间液晶的滴落。为了解决此限制，将光发射器513安置在第一凹进部分512内，使得第一主体511的第一表面与光发射器513的第一端之间的距离在从大约0.5mm到大约2mm的范围内，从而减小从光发射器513发射的光的扩展角。因此，因从衬底S反射的光而导致的感测错误可最小化。

喷嘴支撑部件451与喷嘴452和感测模块500一起移动，且由喷嘴支撑部件451反射且入射到光接收器523的光的量是恒定的。因此，当计算从光发射器513发射的光的量与入射到光接收器523的光的量之间的差异以感测液晶的滴落时，将由喷嘴支撑部件451反射且入射到光接收器523的光的量从自光发射器513发射的光的量减去。就是说，由喷嘴支撑部件451反射且入射到光接收器523的光的量是恒定的，且因此可忽略。因此，为便于描述，将省略对由喷嘴支撑部件451反射且入射到光接收器523的光的描述。

在相关技术中，光发射器513的一端从第一主体511暴露，如图6和图7中所说明。在此情况下，从光发射器513发射的光的扩展角较大，且因此，发射到衬底S的光的量大于本发明的量。因此，从衬底S反射且入射到光接收器523的光的量增加，且因此可能难以准确地感测液晶的滴落，且可能频繁发生感测错误。

然而，根据以上实施例，光发射器513的第一端不暴露出第一主体511，而是从第一主体511凹进，且因此从光发射器513向衬底S发射的光的量减少。因此，从衬底S反射到光接收器523的光的量可最小化，且因此，可比相关技术中高效地感测液晶的滴落。

光接收零件520面向光发射零件510，且包含第二主体521和光接收器523，其插入第二主体521中以接收来自光发射器513的光。第二主体521具有四角形横截面，但不限于此。在下文中，第二主体521的面向第一主体511的表面被称为第一表面。第二主体521具备接纳光接收器523的第二凹进部分522。第二凹进部分522至少朝光发射零件510开放，使得安置在第二凹进部分522中的光接收器523可接收光。

光接收器523插入第二主体521的第二凹进部分522中，以根据从光发射器513发射的光是否入射到光接收器523来感测液晶的排放或滴落。在下文中，光接收器523的在光发射零件510附近的端被称为第一端，且光接收器523的与光发射零件510相对的端被称为第二端。光接收器523插入第二主体521的第二凹进部分522中，且光接收器523的第二段安置在第二凹进部分522内。就是说，光接收器523的面向光发射器513的第一端从第二主体521的面向第一主体511的第一表面向内凹进。因此，从衬底S向光接收器523反射的光的量可最小化。第二主体521的第一表面与光接收器523的第一端之间的距离在大约0.5mm到大约2mm的范围内。虽然从衬底S反射的光指向光接收器523，但由于光接收器523的第一端不暴露出第二主体521，且安置在第二凹进部分522内，因此从衬底S向光接收器523反射的光的量小于相关技术的量。然而，例如，如果第二主体521的第一表面与光接收器523的第一端之间的距离小于大约0.5mm或大于大约2mm，那么从衬底S向光接收器523反射的光的量增加。明确地说，当从衬底S反射到光接收器523的光的量增加时，对液晶的滴落的感测错误可能发生，且因此，可能难以准确地感测工艺期间液晶的滴落。为了解决此限制，将光接收器523安置在第二凹进部分522内，使得第二主体521的第一表面与光接收器523的第一端之间的距离在从大约0.5mm到大约2mm的范围内，从而最小化因从衬底S反射的光而导致的感测错误。

在相关技术中，光接收器523的一端从第二主体521暴露，如图6和图7中所说明。在此情况下，从衬底S朝光接收器523反射的光可容易地入射到光接收器523的所述端。这导致对液晶的滴落的感测错误。

然而，根据以上实施例，光接收器523的第一端不暴露出第二主体521，而是从第二主体521凹进，且因此从衬底S向光发射器523发射的光的量减少。因此，与相关技术中相比，可较准确地感测液晶的滴落。

图4和图5是说明借助于根据示范性实施例的感测模块来感测液晶是否滴落的方法的示意图。图6和图7是说明借助于相关技术中的感测模块来感测液晶是否滴落的方法的示意图。

参看图4，当液晶不从喷嘴452排放时，从光发射器513发射的大部分光入射到光接收器523。此时，从光发射器513发射的光的量实质上与入射到光接收器523的光的量相同。因此，总结出液晶未被分配。如上文所述，第一主体511的第一表面与光发射器513的第一端之间的距离在大约0.5mm到大约2mm的范围内。在此情况下，从光发射器513反射的光的扩展角比相关技术中小，且因此发射到衬底S的光的量比相关技术中小。

参看图5，当液晶从喷嘴452排放时，从光发射器513发射的光不入射到光接收器523。因此，总结出液晶滴落。此时，从光发射器513水平发射的光的至少一部分被滴落的液晶阻挡，且被阻止入射到面向光发射器513的光接收器523。从光发射器513发射的光的一部分扩展且传播到衬底S，且接着由衬底S反射。在此情况下，虽然由衬底S反射的光指向光接收器523，但入射到光接收器523的光的量比相关技术中小。这是因为光接收器523从第二主体521的第二凹进部分522向内凹进，且不暴露出第二主体521。就是说，第二主体521的第一表面与光接收器523的第一端之间的距离在大约0.5mm到大约2.0mm的范围内。因此，从衬底S向光接收器523反射的光的量可最小化，且因此可防止其中即使液晶滴落也总结出液晶未滴落的感测错误。

在相关技术中，光发射器513的一端从第一主体511暴露，且光接收器523的一端从第二主体521暴露，如图6和图7中所说明。因此，从衬底S向光接收器523反射的光的量较大。因此，参看图7，可发生其中即使液晶滴落也总结出液晶未滴落的感测错误。就是说，即使液晶滴落，但由于从衬底S向光接收器513反射的光的量较大，因此从光发射器513发射的光的量与入射到光接收器523的光的量之间的差异也较小。因此，即使液晶滴落，也可能总结出液晶未滴落。

然而，根据以上实施例，光发射器513的第一端不从第一主体511暴露，而是从其向内凹进。因此，从光发射器513发射的光的扩展角比相关技术中小，使得由衬底S反射的光的量可减少。另外，光接收器523的第一端不从第二主体521暴露，而是从其向内凹进。因此，即使从衬底S反射的光指向光接收器523，但由于光接收器523的第一端不直接暴露出第二主体521，因此入射到光接收器523的光的量也比相关技术中的量小。

因此，由于由衬底S反射的光较相关技术来得少，可较高效地感测液晶的滴落。

尽管本文示范用于分配液晶的设备，但本发明不限于此，且因此可示范用于分配源材料的各种设备(例如膏状物分配器和油墨分配器)。

根据实施例，光发射器的面向光接收器的第一端不暴露出第一主体，而是从其向内凹进。因此，从光发射器发射的光的扩展角比相关技术中小，且因此，从衬底向光接收器反射的光的量比相关技术中小。另外，光接收器的第一端不从第二主体暴露，而是从其向内凹进。因此，即使由衬底反射的光指向光接收器，入射到光接收器的光的量也比相关技术中小。因此，因从衬底反射的光而导致的感测错误可最小化。因此，可较可靠地感测源材料的滴落，且可最小化有缺陷产品的数目。

尽管已参考特定示范性实施例描述了感测模块，但不限于此。因此，所属领域的技术人员将容易理解，可在不脱离权利要求书界定的本发明的精神和范围的情况下，对本发明作出各种修改和改变。

Claims (4)

1.一种用于感测源材料的分配的感测模块，其包括：

第一主体；

光发射器，其插入所述第一主体中以发射光；

第二主体，其面向所述第一主体且具备凹进部分；以及

光接收器，其插入所述凹进部分中以面向所述光发射器，且接收来自所述光发射器的所述光，

其特征在于所述光接收器的面向所述光发射器的一端从所述第二主体的面向所述第一主体的表面向内间隔开，

所述光接收器的所述端与所述第二主体的所述表面之间的距离在0.5mm到2mm的范围内。

2.根据权利要求1所述的感测模块，其特征在于所述光发射器的面向所述光接收器的一端从所述第一主体的面向所述第二主体的表面向内间隔开。

3.根据权利要求2所述的感测模块，其特征在于所述光发射器的所述端与所述第一主体的所述表面之间的距离在0.5mm到2mm的范围内。

4.根据权利要求1所述的感测模块，其特征在于所述源材料包括液晶和密封剂中的一者。