KR20150049322A - 디스펜싱 유닛 - Google Patents

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KR20150049322A
KR20150049322A KR1020130129719A KR20130129719A KR20150049322A KR 20150049322 A KR20150049322 A KR 20150049322A KR 1020130129719 A KR1020130129719 A KR 1020130129719A KR 20130129719 A KR20130129719 A KR 20130129719A KR 20150049322 A KR20150049322 A KR 20150049322A
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장철희
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에이피시스템 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 디스펜싱 유닛은 원료 물질을 저장하는 내부 공간을 가지며, 내부로 공급되는 가스에 의해 상기 원료 물질을 외부로 배출하는 시린지, 시린지의 일측에 설치되어 상기 시린지로부터 제공된 원료 물질을 기판 상에 도포하는 노즐 및 다른 방향으로 교대로 동작하여, 상기 시린지로부터 제공된 원료 물질을 교대로 상기 노즐로 사출하는 복수의 원료 사출부를 구비하며, 상기 시린지와 노즐 사이를 연결하도록 설치되는 아답터를 포함한다.
따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면, 시린지와 노즐 사이에 복수의 원료 사출부를 구비하는 아답터를 마련하여, 시린지로부터 사출되는 원압의 실런트를 분배하고, 상기 실런트를 종래에 비해 작은 압력 즉, 미세압으로 제어하여 노즐로 사출할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 디스펜서는 시린지와 노즐 사이에 실런트를 분배 사출 및 미세압 조정 가능한 아답터를 마련함으로써, 종래와 같이 시린지에 노즐이 바로 연결되는 구조에 비해, 실런트를 미세압을 조정하여 미량으로 도포할 수 있다.

Description

디스펜싱 유닛{Dispensing unit}
본 발명은 디스펜싱 유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 시린지로부터 제공되는 원료 물질을 분배하고, 미세압으로 사출 제어할 수 있는 디스펜싱 유닛에 관한 것이다.
액정표시장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel) 및 유기발광표시장치(Organic Light Emitting Device)와 같은 평판 표시 장치(Flat Panel Display)의 경우, 상부 기판과 하부 기판을 상호 접합시켜 제작된다. 이때, 상부 기판과 하부 기판을 상호 접합시키기 위해서는 접합 재료인 실런트(sealant)를 상기 상부 기판 또는 하부 기판에 도포하고, 이를 경화시킨다.
기판 상에 실런트를 도포하는 디스펜싱 장치는 상부에 기판이 안치되는 스테이지, 스테이지 상측에 배치된 겐트리, 겐트리 상에 장착 고정되어 수평 방향으로 이동하면서 기판 상에 실런트를 도포하는 디스펜서를 포함한다. 디스펜서는 한국공개특허 10-2006-0083703에도 개시된 바와 같이, 내부에 실런트가 충진되는 시린지(10) 및 일단이 시린지(10)에 연결되도록 설치되어, 기판으로 실런트를 도포하는 노즐(20)을 포함한다. 이러한 디스펜서에서는 시린지(10) 내로 불활성 가스, 즉 질소 가스를 공급하여 상기 시린지(10) 내에 충진되어 있는 예컨대, 70cc 및 200cc의 실런트를 한번에 노즐(20)로 밀어내는 방식을 취하고 있다.(도 6 참조)
그런데, 시린지(10) 내에 충진된 실런트를 한번에 사출하기에는 상기 시린지(10) 내 압력이 부족하여, 상기 시린지(10) 내로 가스를 추가로 공급하여 하는 번거로움이 있었다. 또한, 시린지(10) 내 가스를 배기시켜 압력을 제거하여, 실런트의 도포 공정이 종료시키더라도, 상기 시린지(10) 내 잔류 응력에 의해 노즐(20) 끝단에 실런트가 맺혀 뭉치는 문제가 발생되었다.
한국공개특허 10-2006-0083703
본 발명은 미세 압력으로 원료 물질의 사출 제어하여, 목표 단면적으로 도포할 수 있는 디스펜싱 유닛을 제공한다.
또한, 본 발명은 시린지로부터 제공되는 원료 물질을 분배하고, 미세압으로 사출 제어할 수 있는 디스펜싱 유닛을 제공한다.
본 발명에 따른 디스펜싱 유닛은 원료 물질을 저장하는 내부 공간을 가지며, 내부로 공급되는 가스에 의해 상기 원료 물질을 외부로 배출하는 시린지; 상기 시린지의 일측에 설치되어 상기 시린지로부터 제공된 원료 물질을 기판 상에 도포하는 노즐; 및 다른 방향으로 교대로 동작하여, 상기 시린지로부터 제공된 원료 물질을 교대로 상기 노즐로 사출하는 복수의 원료 사출부를 구비하며, 상기 시린지와 노즐 사이를 연결하도록 설치되는 아답터를 포함한다.
상기 아답터는, 상기 일단이 상기 시린지와 연결되고 타단이 상기 노즐과 연결되도록 설치된 본체; 및 상기 본체 내부에서 병렬 설치되어 교대로 승하강 동작하여, 상기 노즐로 원료 물질을 사출하거나, 내부로 원료 물질을 충진하는 동작을 교대로 수행하는 복수의 원료 사출부를 포함한다.
상기 복수의 원료 사출부 각각은, 상기 본체 내부에 마련되는 공간으로서, 내부로 가스가 공급되는 가스 공간; 상기 본체 내부에서 상기 가스 공간의 하측에 마련되며, 내부로 상기 시린지로부터 제공되는 원료 물질이 공급되는 원료 공간; 및 적어도 일단이 상기 가스 공간 내에 위치하고, 적어도 타단이 상기 가스 공간에 위치하도록 상기 가스 공간과 원료 공간으로 연장 설치되며, 상기 가스 공간과 원료 공간 사이에서 상하 이동 가능한 사출 구동 부재;를 포함한다.
상기 사출 구동 부재는, 상기 가스 공간 내에 위치하며, 상기 가스 공간 내에서 상하 방향으로 이동 가능한 상부 블록; 상기 원료 공간 내에 위치하여 상기 상부 블록의 하측에 이격 배치되며, 상기 원료 공간 내에서 상하 방향으로 이동 가능한 하부 블록; 일단이 상기 상부 블록과 연결되고, 타단이 상기 하부 블록과 연결되어, 상기 상부 블록과 연결되도록 연장 형성되며, 상기 가스 공간과 상기 원료 공간 사이에서 상하 이동하는 연결 블록; 및 상기 하부 블록의 하부로부터 하측 방향으로 돌출 형성된 돌출 블록을 포함한다.
상기 아답터는, 상기 본체에서 상기 가스 공간의 상부에 연결되도록 마련되어, 상기 가스 공간으로 가스를 공급하여, 상기 사출 구동 부재를 하측으로 이동시키는 사출 동력 공급 포트; 및 상기 본체에서 상기 가스 공간의 하부와 연통되도록 마련되어, 상기 가스 공간으로 가스를 공급하여, 상기 사출 구동 부재를 상측으로 이동하여 복귀시키는 복귀 동력 공급 포트를 포함한다.
상기 아답터는, 상기 본체에서 상기 원료 공간과 연통되도록 마련되어, 상기 원료 물질을 상기 원료 공간으로 공급하는 원료 공급 포트부; 및 상기 본체에서, 일단이 상기 시린지에 연결되고, 타단이 상기 원료 공급 포트부에 연결되도록 마련되어, 상기 원료 공급 포트부로 원료 물질을 공급하는 원료 공급 라인;을 포함한다.
상기 아답터는, 상기 본체에서 상기 원료 공간과 노즐 사이에 위치하도록 마련되어, 상기 원료 공간의 원료 물질을 사출 공간으로 사출하는 원료 사출 포트부를 포함하고, 상기 사출 동력 부재의 돌출 블록은 상기 사출 포트부의 상측에 대향 위치한다.
상기 복귀 동력 공급 포트는 상기 가스 공간의 하부 영역과 연통되도록 마련되어, 상기 사출 동력 부재의 상부 블록의 하측으로 가스를 공급하며, 상기 원료 공급 포트부는 상기 원료 공간의 하부 영역과 연통되도록 마련되어, 상기 사출 동력 부재의 하부 블록의 하측으로 원료를 공급한다.
상기 원료 공급 포트부에 설치되어, 상기 사출 구동 부재가 하강 동작하여 노즐로 원료 물질을 사출하는 구동 시에, 상기 원료 공급 라인으로 원료 물질이 역류하는 것을 방지하는 공급측 역류 방지 밸브를 포함한다.
상기 원료 사출 포트부에 설치되어, 상기 사출 구동 부재가 하강 동작하여 노즐로 원료 물질을 사출하는 구동 시에, 상기 원료 공간으로 원료 물질이 역류하는 것을 방지하는 사출측 역류 방지 밸브를 포함하한다.
상기 시린지의 타측과 연결되어 상기 시린지 내로 가스를 공급하는 메인 가스 공급부; 상기 사출 동력 공급 포트 및 복귀 동력 공급 포트와 연결되어, 상기 사출 동력 공급 포트 및 복귀 동력 공급 포트 각각에 가스를 공급함으로써, 상기 복수의 원료 사출부에 원료 물질을 노즐 방향으로 사출하는 사출 동력과, 원래 위치로 복귀하는 복귀 동력을 제공하는 보조 가스 공급부;를 포함한다.
상기 본체 내부에서 상기 원료 공간과 노즐 사이에 마련되어, 상기 원료 공간으로부터 사출된 원료 물질을 상기 노즐로 공급하는 도포부를 포함한다.
일단이 상기 원료 공급 라인과 연결되어, 상기 원료 공간이 위치한 상기 본체의 좌우 방향으로 연장 형성된 제 1 공급 포트; 상기 본체 내에서 상기 제 1 공급 포트에 비해 내측에 위치하여, 상기 원료 공간과 연결된 제 2 공급 포트; 및 상기 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 사이에 마련되어 상기 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 사이를 연결하며, 상기 본체의 상하 방향으로 연장 형성된 제 3 공급 포트;를 포함한다.
상기 제 3 공급 포트 내부의 상하 방향의 높이는 상기 제 1 및 제 2 공급 포트 내부의 상하 방향 높이에 비해 크다.
상기 원료 공급 포트부는, 일단이 상기 원료 공급 라인과 연결되어, 상기 원료 공간이 위치한 상기 본체의 좌우 방향으로 연장 형성되며, 상기 원료 공간이 위치한 방향으로 상향 경사진 제 1 공급 포트; 및 일단이 상기 제 1 공급 포트와 연결되고 타단이 상기 원료 공간과 연결되며, 적어도 하부 바닥면이 상향 경사지고, 상기 제 1 공급 포트에 비해 큰 내경을 가지는 제 2 공급 포트;를 포함한다.
상기 공급측 역류 방지 밸브는, 상하 방향으로 연장 형성되어, 일부가 상기 제 3 공급 포트에 수용되고, 나머지가 상기 제 3 공급 포트 외측 영역의 본체에 고정 설치되며, 상기 제 3 공급 포트에 수용된 영역이 상기 제 3 공급 포트 내에서 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 방향으로 휨 동작이 가능한 탄성 부재; 상기 제 3 공급 포트에 수용된 탄성 부재의 양 측면 중, 상기 제 1 공급 포트를 향하는 측면에 장착되어, 상기 탄성 부재의 휨 동작에 의해 상기 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 방향으로 이동하여, 상기 제 1 공급 포트와 제 3 공급 포트 간의 연결 부위를 오픈하거나, 차폐하는 차폐 부재;를 포함한다.
상기 차폐 부재의 직경은 상기 제 3 공급 포트의 내경에 비해 작고, 상기 제 1 공급 포트의 내경에 비해 크거나 같다.
상기 공급측 역류 방지 밸브는 상기 제 2 공급 포트 내에 위치하며, 상기 제 1 공급 포트의 내경에 비해 큰 직경을 가지는 탄성 부재를 포함한다.
상기 원료 사출 포트부는, 상하 방향으로 연장 형성되어, 일단이 상기 원료 공간의 하부에 연결된 제 1 사출 포트; 상기 제 1 사출 포트와 도포부 사이에 위치하여, 상기 도포부와 연결된 제 2 사출 포트; 제 1 사출 포트와 제 2 사출 포트 사이에 마련되며, 상기 본체의 좌우 방향으로 연장 형성된 제 3 사출 포트;를 포함한다.
상기 제 3 사출 포트의 좌우 방향의 길이는 상기 제 1 및 제 2 방향의 길이에 비해 크다.
상기 사출측 역류 방지 밸브는, 좌우 방향으로 연장 형성되어, 일부가 상기 제 3 공급 포트에 수용되고, 나머지가 상기 제 3 공급 포트 외측 영역의 본체에 고정 설치되며, 상기 제 3 공급 포트에 수용된 영역이 상기 제 3 공급 포트 내에서 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 방향으로 휨 동작이 가능한 탄성 부재; 상기 제 3 공급 포트에 수용된 탄성 부재의 상부면에 장착되어, 상기 탄성 부재의 휨 동작에 의해 상기 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 방향으로 이동하여, 상기 제 1 공급 포트와 제 3 공급 포트 간의 연결 부위를 오픈하거나, 차폐하는 차폐 부재;를 포함한다.
본 발명의 실시형태들에 의하면, 시린지와 노즐 사이에 복수의 원료 사출부를 구비하는 아답터를 마련하여, 시린지로부터 사출되는 원압의 실런트를 분배하고, 상기 실런트를 종래에 비해 작은 압력 즉, 미세압으로 제어하여 노즐로 사출할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 디스펜서는 시린지와 노즐 사이에 실런트를 분배 사출 및 미세압 조정 가능한 아답터를 마련함으로써, 종래와 같이 시린지에 노즐이 바로 연결되는 구조에 비해, 실런트를 미세압을 조정하여 미량으로 도포할 수 있다. 따라서, 기판 상에 동일 면적으로 실런트를 도포할 때, 본 발명에서는 종래에 비해 작은 압력으로 실런트를 도포할 수 있으며, 종래와 같이 시린지 내부를 추가로 승압할 필요가 없다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 유닛이 장착된 디스펜싱 장치를 도시한 블록도
도 2 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 유닛을 도시한 입체 도면
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 아답터를 확대 도시한 사시도
도 4는 실시예에 따른 역류 방지 밸브가 설치된 아답터의 동작을 나타내는 도
도 5는 변형예에 다른 역류 방지 밸브가 설치된 아답터의 동작을 나타내는 도면
도 6은 종래의 디스펜서를 도시한 단면도
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 유닛이 장착된 디스펜싱 장치를 도시한 블록도이다. 도 2 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 유닛을 도시한 입체 도면이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 아답터를 확대 도시한 사시도이다. 도 4는 실시예에 따른 역류 방지 밸브가 설치된 아답터의 동작을 나타내는 도면이다. 도 5는 변형예에 다른 역류 방지 밸브가 설치된 아답터의 동작을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 디스펜싱 장치는 상부에 기판(S)이 안치되는 스테이지(200), 스테이지(200) 상측으로 이격 배치된 겐트리(300), 겐트리(300) 상에 장착 고정되며, 기판(S) 상에 원료 물질을 도포 또는 드로윙(drawing)하는 디스펜싱 유닛(40), 겐트리(300) 상에 설치되어 디스펜싱 유닛(40)을 수평 이동시키는 수평 이동 수단(500), 스테이지(200)의 하부에 배치되어 상기 스테이지(200)를 지지하는 스테이지 지지부(210), 일단이 겐트리(300)의 하부에 연결되고 타단이 스테이지 지지부(210) 상부에 연결되어, 상기 겐트리(300)를 지지하는 겐트리 지지 부재(310)를 포함한다. 실시예에 따른 디스펜싱 장치의 디스펜싱 유닛(40)으로부터 도포 또는 드로윙(drawing)되는 원료 물질은 예컨대, 상하부 기판(S)을 상호 접합하는 접합 재료인 실런트(sealant)일 수 있다. 물론 디스펜싱 유닛(40)으로부터 사출되는 원료 물질은 실런트에 한정되지 않고, 액정 또는 금속 페이스트 등의 다양한 재료를 원료 물질로 이용할 수 있다.
스테이지(200)는 상부에 기판(S)을 지지하고, 상기 기판(S)을 이동시킨다. 이러한 스테이지(200)는 기판(S)과 대응되는 형상으로 제작되는 것이 바람직하다. 실시예에서는 기판(S)으로 사각형 형태의 유리를 사용하므로, 스테이지(200)도 사각형 형태의 것을 사용한다. 물론 이에 한정되지 않고 기판(S)의 형상에 따라 스테이지(200)의 형상이 다양하게 변경될 수 있다. 그리고 도시되지는 않았지만, 스테이지(200)에는 기판(S)을 이동시키는 기판 이동 수단(미도시)이 설치된다. 여기서 기판 이동 수단(미도시)은 스테이지(200)에 안치된 기판(S)을 디스펜싱 유닛(40)의 이동 방향과 교차하는 방향으로 이동시키도록 제작되는 것이 바람직하다. 또한, 도시되지는 않았지만, 스테이지(200)는 기판(S)을 지지 고정시키기 위한 별도의 고정 부재(미도시)를 구비할 수 있다. 이때, 고정 부재(미도시)로 정전기력을 이용하는 정전척 또는 진공 흡입력을 이용하는 진공 고정 장치를 사용할 수 있다. 여기서, 진공 고정 장치를 고정 부재(미도시)로 사용하는 경우, 스테이지(200) 상에 진공 펌프(631)와 연통된 복수의 홀이 마련될 수 있다.
상기에서는 겐트리(300)를 고정한 상태로, 스테이지(200)를 이용하여 기판(S)을 디스펜싱 유닛(40)과 교차하는 방향으로 이동하는 것으로 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 겐트리(300)를 이동하는 별도의 겐트리 이동 수단(미도시)을 구비할 수 있다. 이때, 겐트리 이동 수단(미도시)은 겐트리(300)를 디스펜싱 유닛(40)과 교차하는 방향으로 이동할 수 있도록 제작되는 것이 바람직하다.
디스펜싱 유닛(40)은 기판(S) 상에 실런트를 도포하는 수단으로서, 겐트리(300) 상에 장착된 수평 이동 수단(500)과 결합되어, 상기 수평 이동 수단(500)에 의해 수평 이동하는 결합 부재(400), 결합 부재(400)에 결합되어 수평 이동하면서 스테이지(200) 상에 안착된 기판(S) 상에 실런트를 도포하는 디스펜서(4000)를 포함한다. 여기서 실시예에 따른 결합 부재(400)는 판 형상으로 제작되어 전면에 디스펜서(4000)가 장착되고, 후면에 수평 이동 수단(500)이 결합되며, 결합 부재(400)의 후면에는 상기 수평 이동 수단(500)을 따라 슬라이딩되는 별도의 이동 블록(미도시)이 설치될 수 있다.
도 2를 참조하면, 디스펜싱 유닛(40)은 실런트를 저장하는 내부 공간을 가지며, 내부로 공급되는 가스에 의해 실런트를 외부로 사출하는 시린지(4100), 시린지(4100)의 일측, 보다 구체적으로는 시린지(4100)의 하측에 위치하여 실런트를 사출하여 기판(S) 상에 도포하는 노즐(4600), 시린지(4100)와 노즐(4600) 사이를 연결하도록 설치되어, 상기 시린지(4100)로부터 실런트를 공급받아 노즐(4600)로 사출 공급하는 수단으로서, 다축 실린더 형태로 교대로 동작하는 복수의 원료 사출부(4320a, 4320b)를 구비하는 아답터(4300), 시린지(4100)의 타측, 보다 구체적으로는 상측에 연결되어, 상기 시린지(4100)로 가스를 공급하는 메인 가스 공급부(4200), 복수의 원료 사출부(4320a, 4320b)와 각기 연결되어, 각각에 가스를 공급함으로써, 사출 동력과 복귀 동력을 제공하는 복수의 보조 가스 공급부(4400a, 4400b)를 포함한다.
시린지(4100)는 실런트를 제공받아 일시 저장하여, 아답터(4300)로 실런트를 사출 공급한다. 이러한 시린지(4100)는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 상단의 개구는 메인 가스 공급부(4200)와 연결되고, 타단의 개구는 아답터(4300)와 연결된다. 그리고 아답터(4300)와 연결되는 적어도 하부는 아답터(4300)가 위치한 방향으로 갈수록 그 내경이 작아지는 형상 예컨대, 깔대기 형상일 수 있다.
메인 가스 공급부(4200)는 시린지(4100) 내부로 불활성 가스를 공급하여, 상기 시린지(4100) 내부에 저장된 실런트를 아답터(4300) 방향으로 밀어내어 사출한다. 이러한 메인 가스 공급부(4200)는 불활성 가스 예컨대, 질소(N2) 가스가 저장된 메인 가스 저장 탱크(4210 및 일단이 메인 가스 저장 탱크(4210)에 연결되고 타단이 시린지(4100)의 상측에 연결되어, 상기 시린지 내로 가스를 공급하는 메인 가스 공급 라인(4220)을 포함한다. 이러한 메인 가스 공급부(4200)의 구성에 의해, 메인 가스 저장 탱크(4210)의 질소 가스가 메인 가스 공급 라인(4220)을 통해 시린지(4100) 내로 공급되면, 시린지(4100) 내 공압에 의해 시린지(4100) 내의 실런트가 밀려나가 아답터(4300)로 사출된다.
본 발명에 따른 아답터(4300)는 그 내부에 실런트를 사출 제어할 수 있는 다축 실린더 수단을 구비하여, 하나의 공급 포트 즉, 시린지(4100)로부터 공급된 실런트를 다축 실린더 수단으로 분배함으로써, 미세압으로 실런트를 도포한다. 다른 말로 설명하면, 아답터(4300)의 다축 실린더는 실런트의 사출을 위해 시린지(4100)으로 공급되는 가스의 압력 즉, 원압을 분배하여 미세압으로 조정한다. 이에, 시린지(4100) 내에 수용된 대용량의 실런트를 미량 제어하여 기판(S) 상에 도포 또는 드로윙할 수 있다.
아답터(4300)는 일단이 시린지(4100)와 연결되고 타단이 노즐(4600)과 연결되도록 설치된 본체(4310), 본체(4310) 내부에서 병렬로 설치되며, 보조 가스 공급부(4400a, 4400b)에 의해 교대로 동작하여 노즐(4600)로 실런트를 사출하는 복수의 원료 사출부(4320a, 4320b), 본체(4310) 내부에서 복수의 원료 사출부(4320a, 4320b)와 노즐(4600) 사이에 마련된 공간으로서, 상기 복수의 원료 사출부(4320a, 4320b) 중 어느 하나로부터 제공되는 실런트를 노즐(4600)로 사출 공급하는 공간인 도포부(4330)를 포함한다. 여기서, 복수의 원료 사출부(4320a, 43230b) 각각은, 본체(4310) 내부에 마련되는 공간으로 내부로 가스가 공급되어 수용될 수 있는 가스 공간(4321a, 4321b), 본체(4310) 내부에서 가스 공간(4321a, 4321b)의 하측에 마련되며, 시린지(4100)로부터 제공되는 실런트가 공급되어 수용되는 원료 공간(4322a, 4322b), 적어도 일단이 가스 공간(4321a, 4321b) 내에 위치하고, 적어도 타단이 원료 공간(4322a, 4322b)에 위치하도록 연장 설치되어, 가스 공간(4321a, 4321b)과 원료 공간(4322a, 4322b) 사이에서 상하 이동 가능하여, 노즐(4600)로 실런트를 사출하는 동력을 제공하는 사출 구동 부재(4323a, 4323b)를 포함한다.
또한, 아답터(4300)는 본체(4310) 내에서 가스 공간(4321a, 4321b)의 상부에 연결되도록 마련되어, 상기 가스 공간(4321a, 4321b)으로 가스를 공급하여, 사출 구동 부재(4323a, 4323b)를 하측으로 이동시키는 사출 동력 공급 포트(4340a, 4340b)와, 본체(4310) 내에서 가스 공간(4321a, 4321b)의 하부와 연통되도록 마련되어, 가스 공간(4321a, 4321b)으로 가스를 공급하여, 사출 구동 부재(4323a, 4323b)를 상측으로 이동하여 복귀시키는 복귀 동력 공급 포트(4350a, 4350b)와, 본체(4310) 내에서 원료 공간(4322a, 4322b)과 연통되도록 마련되어, 실런트를 상기 원료 공간(4322a, 4322b)으로 공급하는 원료 공급 포트부(4360a, 4360b)와, 본체(4310) 내에서, 일단이 상기 시린지(4100)에 연결되고, 타단이 원료 공급 포트부(4360a, 4360b)에 연결되도록 마련되어, 상기 원료 공급 포트부(4360a, 4360b)로 실런트를 공급하는 원료 공급 라인(4370a, 4370b)과, 본체(4310) 내에서 원료 공간(4322a, 4322b)과 노즐(4600) 사이에 위치하도록 마련되어, 상기 원료 공간(4322, 4322b)의 실런트를 도포부(4330)로 사출하는 원료 사출 포트부(4380a, 4380b)와, 원료 공급 포트부(4360a, 4360b)에 설치되어, 원료 공간(4322a, 4322b)으로 실런트를 공급하는 구동 시에, 상기 원료 공급 라인(4370a, 4360b)으로 실런트가 역류하는 것을 방지하는 공급측 역류 방지 밸브(4390a, 4390b), 사출 포트에 설치되어, 노즐(4600)로 실런트를 사출하는 구동 시에, 실런트가 원료 공간(4322a, 4322b)으로 역류하는 것을 방지하는 사출측 역류 방지 밸브(4390c, 4390d)를 포함한다.
본 발명의 실시예에 의하면, 본체(4310) 내부에 2개의 원료 사출부(이하, 제 1 원료 사출부(4320a), 제 2 원료 사출부(4320b))가 마련된다. 그리고, 사출 동력 공급 포트(4340a, 4340b), 복귀 동력 공급 포트(4360a, 4350b), 원료 공급 포트부(4360a, 4360b), 원료 공급 라인(4370a, 4373b), 원료 사출 포트부(4380a, 4380b) 및 보조 가스 공급부(4500a, 4500b) 각각은 원료 사출부(4320a, 4320b)와 대응하는 개수로 마련된다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 디스펜싱 유닛(40)은 제 1 및 제 2 보조 가스 공급부(4500a, 4500b)를 포함하고, 상기 디스펜싱 유닛(40)의 아답터(4300)는 제 1 및 제 2 원료 사출부(4320a, 4320b)와, 제 1 및 제 2 사출 동력 공급 포트(4340a, 4340b)과, 제 1 및 제 2 복귀 동력 공급 포트(4360a, 4350b)와, 제 1 및 제 2 원료 공급 포트부(4360a, 4360b)와, 제 1 및 제 2 원료 공급 라인(4370a, 4370b)과, 제 1 및 제 2 사출 포트부(4380a, 4380b)를 포함한다.
또한, 2개의 원료 공급 포트부(4360a, 4360b)와 대응하도록 2개의 공급측 역류 방지 밸브가 마련되며, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 원료 공급 포트부(4360a)에 설치되는 공급측 역류 방지 밸브를 제 1 역류 방지 밸브(4390a), 제 2 원료 공급 포트부(4360b)에 설치되는 공급측 역류 방지 밸브를 제 2 역류 방지 밸브(4390b)라 명명한다. 그리고 2개의 원료 사출 포트부(4380a, 4380b)와 대응하도록 2개의 사출측 역류 방지 밸브가 마련되며, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 원료 사출 포트부(4380a)에 설치되는 사출측 역류 방지 밸브를 제 1 역류 방지 밸브(4390c), 제 2 원료 사출 포트부(4360b)에 설치되는 사출측 역류 방지 밸브를 제 4 역류 방지 밸브(4390d)라 명명한다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 아답터(4300)를 보다 구체적으로 설명한다. 이때, 제 1 원료 사출부(4320a)와, 제 2 원료 사출부(4320b)는 그 구성 및 형상이 유사하므로, 제 1 원료 사출부(4320a)에 대해서 상세히 설명하고, 제 2 원료 사출부(4320a)에 대한 구체적인 설명은 생략한다. 또한, 본체(4310)에 마련되는 제 1 사출 동력 공급 포트(4340a)와 제 2 사출 동력 공급 포트(4340b), 제 1 복귀 동력 공급 포트(4350a)와 제 2 복귀 동력 공급 포트(4350b), 제 1 원료 공급 포트부(4360a)와 제 2 원료 공급 포트부(4360b), 제 1 원료 공급 라인(4370a)과 제 2 원료 공급 라인(4373b), 제 1 원료 사출 포트부(4380a)와 제 2 사출 포트(4380b) 각각은 그 구성 및 형상이 유사하므로, 제 1 사출 동력 공급 포트(4340a), 제 1 복귀 동력 공급 포트(4350a), 제 1 원료 공급 포트부(4360a), 제 1 원료 공급 라인(4370a), 제 1 원료 사출 포트부(4380a)를 대표로 하여 설명한다. 그리고, 제 2 사출 동력 공급 포트(4340b), 제 2 복귀 동력 공급 포트(4350b), 제 2 원료 공급 포트부(4360b), 제 2 원료 공급 라인(4370b), 제 2 원료 사출 포트부(4380b)에 대한 상세한 설명은 생략한다.
제 1 원료 사출부(4320a)는, 본체(4310) 내부에 마련되는 공간으로서, 내부로 가스가 공급되어 수용될 수 있는 제 1 가스 공간(4321a), 본체(4310) 내부에서 제 1 가스 공간(4321a)의 하측에 마련되며, 시린지(4100)로부터 제공되어 도포하고자 하는 원료 물질 예컨대, 실런트가 공급되어 수용되는 제 1 원료 공간(4322a), 적어도 일단이 제 1 가스 공간(4321a) 내에 위치하고, 적어도 타단이 제 1 원료 공간(4322a)에 위치하도록 연장 설치되어, 제 1 가스 공간(4321a)과 제 1 원료 공간(4322a) 사이에서 상하 이동 가능하여, 노즐(4600)로 실런트를 사출하는 동력을 제공하는 제 1 사출 구동 부재(4323a)를 포함한다.
제 1 가스 공간(4321a)은 제 1 사출 구동 부재(4323a)를 하강 이동시키거나, 상측 이동시키기 위한(복귀) 가스가 공급되는 공간이며, 제 1 원료 공간(4322a)의 상측에 위치한다. 그리고, 제 1 원료 공간(4322a)은 시린지(4100)로부터 제공되는 실런트를 일시 저장하여, 제 1 사출 구동 부재(4323a)의 하강 동작에 따른 압력 변화에 따라, 실런트를 도포부(4330)로 사출 공급하는 공간이며, 제 1 가스 공간(4321a)의 하측에 위치한다. 실시예에 따른 제 1 가스 공간(4321a) 및 제 1 원료 공간(4322a) 각각은 그 횡단면의 형상이 원형인 원통형의 형상일 수 있다. 물론 제 1 가스 공간(4321a) 및 제 1 원료 공간(4322a) 각각의 형상은 원통형에 한정되지 않으며, 제 1 가스 공간(4321a)은 그 내부에 가스가 공급, 수용될 수 있는 다양한 형상, 제 1 원료 공간(4322a)은 그 내부로 실런트가 공급, 수용될 수 있으며, 각각에 제 1 사출 구동 부재(4323a)의 일단 및 타단이 수용되어 승하강할 수 있는 다양한 형상으로 변경 가능하다.
그리고, 제 1 가스 공간(4321a)과 제 1 원료 공간(4322a) 사이에는 후술되는 제 1 사출 구동 부재(4323a)의 제 1 연결 블록이 관통하도록 설치되어 상하 이동하는 제 1 통로가 마련된다.
제 1 사출 구동 부재(4323a)는 제 1 가스 공간(4321a) 내에 위치하도록 설치되는 제 1 상부 블록(431a), 제 1 원료 공간(4322a) 내에 위치하도록 설치되는 제 1 하부 블록(432a), 일단이 제 1 상부 블록(431a)과 연결되고, 타단이 제 1 하부 블록(432a)과 연결되도록 연장 형성된 제 1 연결 블록(433a) 및 일단이 제 1 하부 블록(432a)과 연결되어 상기 제 1 하부 블록(432a)으로부터 제 1 원료 사출 포트부(4380a) 방향으로 돌출 형성된 제 1 돌출 블록(434d)을 포함한다.
제 1 상부 블록(431a)은 제 1 가스 공간(4321a)과 대응하는 형상인 것이 바람직하며, 이에 실시예에 따른 제 1 상부 블록(431a)은 그 횡단면의 형상이 원형이 되도록 제작된다. 물론, 제 1 상부 블록(431a)의 형상은 제 1 가스 공간(4321a)과 대응되는 다양한 형상으로 변경 가능하다. 이러한 제 1 상부 블록(431a)은 그 외측면이 제 1 가스 공간(4321a)의 내측면과 접촉되도록 하는 내경을 가지고, 제 1 가스 공간(4321a)의 상하 방향 높이에 비해 작은 높이를 가진다. 제 1 상부 블록(431a)의 상하 방향 높이를 제 1 가스 공간(4321a)의 상하 방향 높이에 비해 작게 하는 것은, 제 1 가스 공간(4321a) 내로 가스가 수용될 수 있고, 이로 인해 제 1 상부 블록(431a) 및 제 1 연결 블록(433a)이 상하 이동할 수 있도록 하는 공간을 마련하기 위함이다. 또한, 제 1 상부 블록(431a)의 상단부에는 홈(이하, 제 1 홈(435a))이 마련되는데, 상기 제 1 홈(435a)은 제 1 사출 동력 공급 포트(4340a)의 하측에 대응 위치하도록 마련된다. 보다 바람직하게 제 1 홈(435a)은 제 1 상부 블록(431a) 상단부의 중앙 영역에 마련된다. 이에 따라 제 1 상부 블록(431a) 상단부는 가장자리 영역이 제 1 홈(435a)에 비해 상측으로 돌출된 형상이 되며, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 상승하여 복귀하는 동작시에, 제 1 홈(435a) 주위 영역인 제 1 상부 블록(431a) 가장자리 영역은 제 1 가스 공간(4321a)의 상부벽과 접촉되며, 제 1 홈(432a)의 바닥면은 제 1 가스 공간(4321a)의 상부벽과 이격된다. 따라서, 제 1 사출 동력 공급 포트(4340a)으로부터 연속적으로 공급되는 가스는 제 1 상부 블록(431a)에 마련된 제 1 홈(432a)을 채우도록 연속하여 공급되며, 이에 따라 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 하측으로 이동한다.
제 1 하부 블록(432a)은 제 1 원료 공간(4322a)과 대응하는 형상인 것이 바람직하며, 이에 실시예에 따른 제 1 하부 블록(432a)은 그 횡단면의 형상이 원형이다. 물론, 제 1 하부 블록(432a)의 형상은 제 1 원료 공간(4322a)의 형상 변화에 따라 다양한 형상으로 변경 가능하다. 이러한 제 1 하부 블록(432a)은 그 외측면이 제 1 원료 공간(4322a)의 내측면과 접촉되도록 하는 내경을 가지며, 제 1 돌출 블록(434a)은 제 1 원료 공간(4322a) 내에서 일단이 제 1 하부 블록(432a)의 하부에 연결되고, 타단이 제 1 원료 사출 포트부(4380a)의 상측에 대응 위치하도록 연장 형성된다. 제 1 돌출 블록(434a)의 폭(즉, 좌우 방향 길이)은 제 1 하부 블록(432a)에 비해 작고, 제 1 원료 사출 포트부(4380a)에 비해 크며, 제 1 하부 블록(432a)의 상하 방향의 높이와 제 1 돌출 블록(434a)의 높이의 합이 제 1 원료 공간(4322a)에 비해 작도록 한다. 이는 제 1 원료 공간(4322a) 내로 가스가 수용될 수 있고, 이로 인해 제 1 하부 블록(435a) 및 제 1 연결 블록(434a)이 상하 이동할 수 있도록 하는 공간을 마련하기 위함이다. 또한 제 1 하부 블록(432a) 하부에 제 1 돌출 블록(434a)을 마련하는 것은, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 최하단까지 하강하여 제 1 돌출 블록(434a)의 하부면과 제 1 원료 공간(4322a) 바닥면과 접촉하더라도, 제 1 하부 블록(432a)과 제 1 원료 공간(4322a) 바닥면 사이의 소정의 공간이 마련되어, 상기 공간으로 실런트가 공급될 수 있도록 공간을 마련하기 위함이다.
제 1 연결 블록(434a)은 상하 방향으로 연장 형성되어, 일단이 제 1 상부 블록(431a)의 하부와 연결되고, 타단이 제 1 하부 블록(432a)의 상부와 연결된다. 이러한 제 1 연결 블록(433a)은 제 1 가스 공간(4321a)과 제 1 원료 공간(4322a) 사이에 마련된 통로를 관통하도록 삽입 설치되며, 외주면이 통로의 내측면과 접촉되도록 설치된다. 이러한 제 1 연결 블록(433a)의 설치 구조에 의해 제 1 가스 공간(4321a)과 제 1 원료 공간(4322a)은 분리 구획된다.
제 1 사출 동력 공급 포트(4340a)는 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 하강하도록 제 1 상부 블록(431a) 상측으로 가스를 공급한다. 이러한 제 1 사출 동력 공급 포트(4340a)는 가스가 통과할 수 있는 배관 형상으로서, 본체(4310)에 마련되어, 일단이 제 1 보조 가스 공급부(4400a)에 연결되고, 타단이 제 1 사출 구동 부재(4323a)의 제 1 상부 블록(431a) 상측에 대응 위치하도록 마련된다.
제 1 복귀 동력 공급 포트(4350a)는 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 상승 이동하도록 제 1 상부 블록(431a)의 하측 방향으로 가스를 공급한다. 이러한 제 1 복귀 동력 공급 포트(4350a)는 가스가 통과할 수 있는 배관의 형상으로서, 본체(4310)에 마련되며, 일단이 제 1 보조 가스 공급부(4400a)에 연결되고, 타단이 제 1 가스 공간(4321a)의 하측 영역과 연통되도록 마련된다. 이때, 실시예에 따른 제 1 복귀 동력 공급 포트(4360a)의 타단이 제 1 가스 공간(4321a)을 구획하는 측벽을 관통하도록 마련되었으나, 이에 한정되지 않고, 제 1 가스 공간(4321a)의 하측 영역과 연통되도록 상기 제 1 가스 공간(4321a)을 구획하는 하부벽의 일부를 관통하도록 마련될 수도 있다.
제 1 원료 공급 포트부(4360a)는 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 상승하는 복귀 동작 후에, 제 1 원료 공간(4322a)에서 제 1 하부 블록(435a) 및 제 1 돌출 블록(436a)의 하측 영역에 실런트를 충진 또는 공급한다. 이러한 제 1 원료 공급 포트부(4360a)는 실런트가 통과할 수 있는 배관의 형상으로, 본체(4310)에 마련되는데, 일단이 제 1 원료 공급 라인(4370a)과 연결되고 타단이 제 1 원료 공간(4322a)의 하측 영역과 연통되도록 마련된다. 실시예에 따른 제 1 원료 공급 포트부(4360a)는 타단이 제 1 원료 공간(4322a)을 구획하는 측벽을 관통하도록 마련되었으나, 이에 한정되지 않고, 제 1 원료 공간(4322a)의 하측 영역과 연통되도록 상기 제 1 원료 공간(4322a)을 구획하는 하부벽의 일부를 관통하도록 마련될 수도 있다.
실시예에 따른 제 1 원료 공급 포트부(4360a)에 대해 보다 구체적으로 설명하면, 일단이 제 1 원료 공급 라인(4370a)과 연결되어, 제 1 원료 공간(4322a)이 위치한 방향 즉, 본체(4310)의 폭 방향으로 연장 형성된 제 1 공급 포트(4361a), 본체(4310) 내에서 제 1 공급 포트(4361a)에 비해 내측에 위치하여 제 1 원료 공간(4322a)와 연통되도록 마련된 제 2 공급 포트(4362a), 제 1 공급 포트(4361a)와 제 2 공급 포트(4362a) 사이에 마련되며, 본체(4310)의 상하 방향으로 연장 형성된 제 3 공급 포트(4363a)를 포함한다. 즉, 실시예에 따른 제 1 원료 공급 포트부(4360a)는 본체(4310)의 외측으로부터 내측 방향으로 제 1 공급 포트(4361a), 제 3 공급 포트(4363a), 제 2 공급 포트(4362a) 순으로 마련된다. 그리고 제 1 공급 포트(4361a)의 일단은 제 1 원료 공급 라인(4370a)과 연결되고, 타단은 제 3 공급 포트(4363a)와 연결되며, 제 2 공급 포트(4362a)의 일단은 제 3 공급 포트(4363a)와 연결되고, 타단은 제 1 원료 공간(4322a)과 연결된다. 이에 제 1 공급 포트(4361a)를 통해 공급된 실런트는 제 3 공급 포트(4363a) 및 제 2 공급 포트(4362a)를 거쳐 제 1 원료 공간(4322a)으로 공급된다.
또한, 제 3 공급 포트(4363a) 내부의 상하 방향의 높이는 제 1 및 제 2 공급 포트(4361, 4362) 내부의 상하 방향의 높이(또는 내경)에 비해 크다. 이에, 제 1 공급 포트(4361a)는 제 3 공급 포트(4363a)의 일측(즉, 실런트 인입측)의 일부와 연결되고, 제 2 공급 포트(4362a)는 제 3 공급 포트(4363a)의 타측(즉, 실런트가 제 1 원료 공간으로 배출되는 방향) 일부와 연결된다.
상술한 바와 같은 제 1 내지 제 3 공급 포트(4361 내지 4363)를 구비하는 제 1 원료 공급 포트부(4360a)의 형상 및 구조는 후술될 실시예에 따른 제 1 역류 방지 밸브(4390a)의 설치 구성을 위함이다.
제 1 원료 공급 라인(4370a)은 상술한 제 1 원료 공급 포트부(4360a)로 실런트를 공급하는 수단으로, 일단이 시린지(4100)에 연결되고, 타단이 제 1 원료 공급 포트부(4360a)에 연결되도록, 본체(4310) 내에 마련되며, 배관 형상이다.
제 1 역류 방지 밸브(4390a)는 제 1 원료 공급 포트부(4360a)에 설치되어, 제 1 원료 공간(4322a)으로 실런트를 공급할 때, 제 1 공급 포트(4361a)와 제 3 공급 포트(4363a) 간을 연통 또는 오픈하고, 노즐(4600)로 실런트를 사출하여 드로윙하는 구동 시에, 제 1 공급 포트(4361a)와 제 3 공급 포트(4363a) 간의 연통을 차폐시킨다. 즉, 제 1 역류 방지 밸브(4390a)는 노즐(4600)로 실런트를 사출하여 드로윙하는 구동 시에 제 1 원료 공급 라인(4370a)으로 역류하는 것을 방지한다. 이러한 제 1 역류 방지 밸브(4390a)는 제 1 공급 포트(4361a)와 제 3 공급 포트(4363a) 사이에서 이동 가능하여, 상기 제 1 공급 포트(4361a)와 제 3 공급 포트(4363a) 간을 연통시키거나, 연통을 차폐하는 제 1 차폐 부재(4391a), 상하 방향으로 연장 형성되어 일부가 제 3 공급 포트(4363a)에 수용되고, 나머지가 제 3 공급 포트(4363a)의 외측 영역에 해당하는 본체(4310)에 고정 설치되는 제 1 탄성 부재(4392a)를 포함한다.
실시예에 따른 제 1 차폐 부재(4391a)는 반구 형상이며, 적어도 일부가 제 1 공급 포트(4361a)의 내벽과 접촉되도록 설치되어, 제 1 공급 포트(4361a)와 제 3 공급 포트(4363a) 간의 차폐가 가능하도록 구비된다. 이를 위해 제 1 차폐 부재(4391a)의 직경은 제 1 공급 포트(4361a) 내부의 상하 방향의 높이(또는 직경)와 같고, 제 3 공급 포트(4363a)의 내경(또는 좌우 방향의 길이)에 비해 작도록 마련된다. 그리고, 반구 형상의 제 1 차폐 부재(4391)의 설치 방향에 있어서, 볼록한 면이 제 1 공급 포트(4361a)를 향하고, 평탄한 면이 제 1 탄성 부재(4392a)의 일측면에 고정되도록 설치된다.
제 1 탄성 부재(4392a)는 작용점을 기준으로 제 1 원료 공간(4322a)이 위치한 방향으로 휘어지거나, 또는 반대 방향으로 휘어짐이 가능한 재료 예컨대, 고무 또는 플라스틱 등 다양한 재료로 마련될 수 있다. 이러한 제 1 탄성 부재(4392a)는 상하 방향으로 연장 형성되며, 그 상하 방향의 높이가 제 3 공급 포트(4363a)의 상하 방향 방향의 높이에 비해 크도록 제작된다. 그리고 제 1 탄성 부재(4392a)의 일부 예컨대, 상부는 제 3 공급 포트(4363a) 내에 수용되고, 나머지 영역인 하부는 제 3 공급 포트(4363a) 하측 영역에 해당하는 본체(4310)에 고정 설치된다. 또한, 적어도 제 3 공급 포트(4363a) 내에 수용되도록 설치되는 제 1 탄성 부재(4392a)의 폭은 제 3 공급 포트(4363a)의 폭에 비해 작도록 제작된다. 이에 제 3 공급 포트(4363a) 내에 수용되는 제 1 탄성 부재(4392a)는 상기 제 3 공급 포트(4363a) 내에서 제 1 공급 포트(4361a)가 위치한 방향 또는 제 2 공급 포트(4362a)가 위치한 방향으로 휨 동작이 가능하다. 이때, 제 1 탄성 부재(4391a)의 영역 중, 제 3 공급 포트(4363a) 내에 수용되는 영역과 제 3 공급 포트(4363a)의 외측 영역인 본체(4310)에 고정되는 영역 사이의 영역이 휨 동작이 발생되는 작용점이다. 즉, 제 1 탄성 부재(1392a)는 제 1 공급 포트(4361a)로부터 실런트가 공급될 때, 상기 실런트가 미는 힘에 의해 제 2 공급 포트(4362a)가 위치한 방향으로 휘어지며, 이때 상술한 작용점을 기준으로 휘어진다. 반대로, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 하강할 때, 제 1 탄성 부재(4392a)는 작용점을 기준으로 제 1 공급 포트(4361a)가 위치한 방향으로 휘어지고, 이때 제 1 탄성 부재(4392a)의 일측에 설치된 제 1 차폐 부재(4391a)가 제 1 공급 포트(4361a)와 제 3 공급 포트(4363a) 간의 연결 부위를 차폐함으로써, 실런트가 제 1 원료 공급 라인(4370a)로 흐르는 역류를 방지할 수 있다.
제 2 역류 방지 밸브(4390b)는 제 2 원료 공급 포트(4362a)에 설치되며, 제 1 역류 방지 밸브(4390a)와 동일한 구성 및 구조를 가지므로, 제 2 역류 방지 밸브(4390b)에 대한 설명은 생략한다.
제 1 및 제 2 원료 공급 포트부(4360a, 4360b) 각각에 설치되는 역류 방지 밸브(4390a, 4390b)는 상술한 구성에 한정되지 않고, 상기 제 1 및 제 2 원료 공급 포트부(4360a, 4360b) 각각에서의 역류를 방지할 수 있는 다양한 구조 또는 수단으로 변경 가능하다. 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 역류 방지 밸브(4390a, 4390b)는 구 형상의 차폐 부재(4390a-1, 4390b-1)의 단독 구성일 수 있다.
이를 위해, 변형예에 따른 제 1 원료 공급 포트부(4380a)의 형상은 실시예와 다르게 가변되는데, 본체(4310) 내에서 제 1 원료 공간(4322a)이 위치한 방향으로 상향 경사지도록 마련된 배관 형상의 포트(4361a)와, 일단이 상기 상향 경사진 포트(4361a)와 연결되고 타단이 상기 제 1 원료 공간(4322a)과 연결된 포트(4362a)로 구성된다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여, 변형예에 따른 제 1 원료 공급 포트부(4360a)에서 제 1 원료 공간(4322a)이 위치한 방향으로 상향 경사진 포트(4361a)를 제 1 공급 포트(4361a), 일단이 상기 상향 경사진 포트(즉, 제 1 포트(4361a))와 연결되고 타단이 상기 제 1 원료 공간(4322a)과 연결된 포트(4362a)를 제 2 공급 포트(4362a)라 명명한다.
변형예에 따른 제 1 원료 공급 포트부(4360a)에 대해 다시 설명하면, 본체(4310) 내에 마련되며 일단이 제 1 원료 공급 라인(4370a)과 연결되고, 제 1 원료 공간(4322a)이 위치한 방향으로 상향 경사진 제 1 공급 포트(4361a), 일단이 제 1 공급 포트(4361a)에 연결되고 타단이 제 1 원료 공간(4322a)과 연결된 제 2 공급 포트(4361a)를 포함한다. 그리고 제 1 공급 포트(4361a)의 내경은 제 2 공급 포트(4362a)의 내경에 비해 작으며, 변형예에 따른 제 1 차폐 부재(4391a)의 직경은 제 1 공급 포트(4361a)의 내경에 비해 크고, 제 2 공급 포트(4362a)의 내경에 비해 작다. 이에, 제 1 공급 포트(4361a)로 실런트가 공급되면, 상기 실런트의 미는 힘에 의해 제 1 차폐 부재(4391a)가 뒤로 밀려, 제 1 공급 포트(4361a)와 제 2 공급 포트(4362a) 간이 연통된다. 반대로 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 하강하면, 그 힘에 의해 제 1 차폐 부재(4391a)가 제 1 공급 포트(4361a)가 위치한 방향으로 이동하고, 이때 제 1 차폐 부재(4391a)의 직경이 제 1 공급 포트(4361a)의 내경에 비해 크기 때문에, 상기 제 1 차폐 부재(4391a)가 제 1 공급 포트(4361a)의 타단과 제 2 공급 포트(4362a) 간의 연통을 차폐한다.
변형예에 따른 제 2 역류 방지 밸브(4390b)는 상술한 변형예의 제 1 역류 방지 밸브(4390a)와 동일하고, 변형예에 따른 제 2 원료 공급 포트부(4360b)는 상술한 변형예에 따른 제 1 원료 공급 포트부(4360a)와 동일하므로, 제 2 역류 방지 밸브(4390b) 및 제 2 원료 공급 포트부(4360b)에 대한 설명은 생략한다.
제 1 원료 사출 포트부(4380a)는 제 1 원료 공간(4322a)과 도포부(4330) 사이에 위치하도록 마련되어, 일단이 제 1 원료 공간(4322a)과 연결되고, 타단이 도포부(4330)와 연결되어 제 1 사출 구동 부재(4323a)의 동작에 의해 제 1 원료 공간(4322a)으로부터 배출되는 실런트를 도포부(4330)로 사출 공급한다.
실시예에 따른 제 1 원료 사출 포트부(4380a)에 대해 보다 구체적으로 설명하면, 상하 방향으로 연장 형성되어 일단이 제 1 원료 공간(4322a)의 하부에 연결된 제 1 사출 포트(4381a), 제 1 사출 포트(4381a)와 도포부(4330) 사이에 위치하여 상기 도포부(4330)와 연결된 제 2 사출 포트(4382a), 제 1 사출 포트(4381a)와 제 2 사출 포트(4382a) 사이에 마련되며, 본체(4310)의 폭 방향으로 연장 형성된 제 3 사출 포트(4383a)를 포함한다. 즉, 실시예에 따른 제 1 원료 사출 포트부(4380a)는 제 1 원료 공간(4322a)으로부터 하측 방향으로, 제 1 사출 포트(4381a), 제 3 사출 포트(4382a), 제 2 사출 포트(4382a) 순으로 마련된다. 그리고, 제 1 사출 포트(4381a)의 일단은 제 1 원료 공간(4322a)과 연결되고, 타단은 제 3 사출 포트(4383a)에 연결되며, 제 2 사출 포트(4382a)의 일단은 제 3 사출 포트(4383a)와 연결되고, 타단은 도포부(4330)와 연결된다. 이에 제 1 사출 포트(4381a)로 사출된 실런트는 제 3 사출 포트(4383a) 및 제 2 사출 포트(4382a)를 거쳐 도포부(4330)로 공급된다.
또한, 제 3 사출 포트(4383a)의 폭 방향(또는 좌우 방향)의 길이는 제 1 및 제 2 사출 포트(4381a, 4382a) 내의 폭 방향의 길이(또는 내경)에 비해 크다. 이에, 제 1 사출 포트(4381a)는 제 3 사출 포트(4383a)의 상측 일부 영역과 연결되고, 제 2 사출 포트(4382a)는 제 3 사출 포트(4383a)의 하측 일부 영역과 연결된다.
상술한 바와 같은 제 1 내지 제 3 사출 포트(4381a 내지 4383a)를 구비하는 제 1 원료 사출 포트부(4380a)의 형상 및 구조는 후술될 실시예에 따른 제 3 역류 방지 밸브(4390c)의 설치 구성을 위함이다.
제 3 역류 방지 밸브(4390c)는 제 1 원료 사출 포트부(4380a)에 설치되어, 제 1 사출 포트(4381a)와 제 3 사출 포트(4383a) 간을 연통 또는 오픈시켜, 실런트를 제 2 사출 포트(4382a) 및 노즐(4600)로 사출하고, 실런트를 도포부(4330)로 사출하여 노즐(4600)을 통해 상기 실런트를 도포하는 구동 시에, 실런트가 제 1 원료 공간(4322a)으로 역류하는 것을 방지한다.
제 3 역류 방지 밸브(4390c)는 제 1 사출 포트(4381a)와 제 3 사출 포트(4383a) 사이에서 이동 가능하여, 제 1 사출 포트(438a)와 제 3 사출 포트(4383a) 간을 연통시키거나, 연통을 차폐하는 제 3 차폐 부재(4391c), 본체(4310)의 폭 방향(또는 좌우 방향)으로 연장 형성되어 일부가 제 3 사출 포트(4383a)에 수용되고, 나머지가 제 3 사출 포트(4383a)의 외측 영역에 해당하는 본체(4310)에 고정 설치되는 제 3 탄성 부재(4382c)를 포함한다.
실시예에 따른 제 3 차폐 부재(4391c)는 반구 형상이며, 적어도 일부가 제 1 사출 포트(4381a)의 내벽과 접촉되도록 설치되어, 제 1 사출 포트(4381a)와 제 3 사출 포트(4383a) 간의 차폐가 가능하도록 구비된다. 이를 위해 제 3 차폐 부재(4381a)의 직경은 제 1 사출 포트(4381a)의 내경 (또는, 좌우 방향 길이)과 같고, 제 3 사출 포트(4383a)의 상하 방향의 길이(또는 높이)에 비해 작도록 마련된다. 그리고, 반구 형상의 제 3 차폐 부재(4391c)의 설치 방향에 있어서, 볼록한 면이 제 1 사출 포트(4383a)를 향하고, 평탄한 면이 제 3 탄성 부재(4392c)의 일측면에 고정되도록 설치된다.
제 3 탄성 부재(4392c)는 작용점을 기준으로 제 1 사출 포트(4381a)가 위치한 방향으로 휘어지거나, 또는 반대 방향으로 휘어짐이 가능한 재료 예컨대, 고무 또는 플라스틱 등 다양한 재료로 마련될 수 있다. 이러한 제 3 탄성 부재(4392c)는 좌우 방향으로 연장 형성되며, 그 좌우 방향의 길이가 제 1 사출 포트(4381a)의 상하 방향의 높이에 비해 크도록 제작된다. 그리고 제 3 탄성 부재(4382c)의 일부는 제 3 사출 포트(4383a) 내에 수용되고, 나머지 영역은 제 3 사출 포트(4383a)의 일측에 해당하는 본체(4310)에 고정 설치된다. 또한, 적어도 제 3 사출 포트(4383a) 내에 수용되도록 설치되는 제 3 탄성 부재(4392c)의 상하 방향의 길이는 제 1 사출 포트(4381a)의 상하 방향 길이에 비해 작도록 제작된다. 이에 제 1 사출 포트(4381a) 내에 수용되는 제 3 탄성 부재(4392c)는 상기 제 3 사출 포트(4383a) 내에서 제 1 사출 포트(4381a)가 위치한 방향 또는 제 2 사출 포트(4382a)가 위치한 방향으로 휨 동작이 가능하다. 이때, 제 3 탄성 부재(4392c)의 영역 중, 제 3 사출 포트(4383a) 내에 수용되는 영역과 제 3 사출 포트(4383a)의 외측 영역인 본체(4310)에 고정되는 영역 사이의 영역이 휨 동작이 발생되는 작용점이다. 즉, 제 3 탄성 부재(4392c)는 제 1 사출 포트(4381a)로부터 실런트가 사출될 때, 상기 실런트가 미는 힘에 의해 제 2 사출 포트(4382a)가 위치한 방향으로 휘어지며(하측으로 휨), 이때 상술한 작용점을 기준으로 휘어진다. 반대로, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 하강할 때 발생하는 힘에 의해 제 3 탄성 부재(4392c)는 작용점을 기준으로 제 1 사출 포트(4381a)가 위치한 방향 즉, 상측 방향으로 휘어지고, 이때 제 3 탄성 부재(4392c)의 일측에 설치된 제 3 차폐 부재(4391c)가 제 1 사출 포트(4381a)와 제 3 사출 포트(4383a) 간의 연결 부위를 차폐함으로써, 실런트의 역류를 방지할 수 있다.
제 4 역류 방지 밸브(4390d)는 제 2 원료 사출 포트부(4380b)에 설치되며, 제 3 역류 방지 밸브(4390c)와 동일한 구성 및 구조를 가지므로, 제 4 역류 방지 밸브(4390d)에 대한 설명은 생략한다.
제 1 보조 가스 공급부(4400a)는 불활성 가스 예컨대, 질소(N2) 가스가 저장된 제 1 보조 가스 탱크(4410a), 일단이 제 1 보조 가스 탱크(4410a)에 연결되고 타단이 제 1 사출 동력 공급 포트(4340a)에 연결된 제 1 사출 동력 가스 공급 라인(4420a), 일단이 제 1 보조 가스 탱크(4410a)에 연결되고 타단이 제 1 복귀 동력 공급 포트(4350a)에 연결된 제 1 복귀 동력 가스 공급 라인(4430a)을 포함한다.
또한, 제 2 보조 가스 공급부(4400b)는 질소(N2) 가스가 저장된 제 2 보조 가스 탱크(4400b), 일단이 제 2 보조 가스 탱크(4410b)에 연결되고 타단이 제 2 사출 동력 공급 포트(4340b)에 연결된 제 2 사출 동력 가스 공급 라인(4420b), 일단이 제 2 보조 가스 탱크(4410b)에 연결되고 타단이 제 2 복귀 동력 공급 포트(4350b)에 연결된 제 2 복귀 동력 가스 공급 라인(4430b)을 포함한다.
상기에서는 아답터(4300)에 다축 실린더로서 2개의 원료 사출부(4320a, 4320b)가 마련되는 것을 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고 2개 이상의 다양한 개수로 원료 사출부(4320a, 4320b)가 마련될 수 있다.
이하에서는 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 디스펜싱 장치의 동작을 설명한다. 이때, 기판(S) 상에 도포하는 원료 물질로 실런트를 예를 들어 설명한다.
먼저, 실런트를 도포할 기판(S)을 스테이지(200) 상에 안착시킨다. 그리고, 수평 이동 수단(500)을 디스펜싱 유닛(40)을 수평 이동시키면서 기판(S) 상에 실런트를 도포한다.
이를 위해, 시린지(4100) 내에 실런트를 채우고, 메인 가스 공급부(4200)를 통해 시린지(4100) 내로 질소 가스를 공급한다. 따라서, 시린지(4100) 내로 공급되는 질소 가스의 공압에 의해 실런트가 아답터(4300) 방향으로 밀려 사출된다.
이후, 아답터(4300)에서는 시린지(4100)로부터 제공받은 실런트를 미세압으로 분배하여 노즐(4600)로 토출시킨다. 즉, 제 1 원료 사출부(4320a) 및 제 2 원료 사출부(4320b)를 교대로 다른 방향으로 구동시켜, 교대로 실런트를 도포부(4330)으로 사출한다.
예컨대, 먼저 도 4a에 도시된 바와 같이, 제 1 원료 사출부(4320a)를 통해 도포부(4330)로 실런트를 사출 공급한다. 이때, 제 1 원료 사출부(4320)의 제 1 원료 공간(4322a)에 실런트가 채워져 있는 상태인 것으로 가정한다.
먼저, 제 1 보조 가스 공급부(4400a)를 통해 제 1 사출 동력 공급 포트(4340a)로 질소 가스를 공급한다. 이에, 질소 가스가 제 1 가스 공간(4321a)으로 주입된다. 이때, 제 1 사출 동력 공급 포트(4340a)로부터 공급되는 질소 가스는 제 1 가스 공간(4321a)의 상측, 즉 제 1 상부 블록(431a)의 상측 방향에 마련된 제 1 홈(435a)에 채워지듯이 분사되며, 이에 따라, 제 1 상부 블록(431a)을 향해 분사되는 질소 가스 압에 의해 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 하강 이동한다. 그리고 이때 발생되는 제 1 가스 공간(4321a) 및 제 1 원료 공간(4322a) 내의 압력 변화와, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 미는 힘에 의해, 제 1 원료 공간(4322a)에 충진된 실런트가 제 1 원료 사출 포트부(4380a)로부터 배출되어 도포부(4330)로 사출된다. 보다 구체적으로 설명하면, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 하강하여 제 1 원료 공간(4322a) 내 실런트가 밀려 나오는 힘에 의해, 제 3 역류 방지 밸브(4390c)의 제 3 차폐 부재(4391c)에 미는 힘이 작용한다. 따라서, 제 3 차폐 부재(4391c)와 연결된 제 3 탄성 부재(4392c)가 도포부(4330)가 위치한 방향으로 휘어짐에 따라, 제 1 원료 사출 포트부(4380a)의 제 1 사출 포트(4381a)와 제 3 사출 포트(4383a) 간이 오픈된다. 따라서, 제 1 사출 포트(4381a) 내 실런트가 제 3 사출 포트(4383a) 및 제 2 사출 포트(4382a)를 거쳐 도포부(4330)로 공급된다. 그리고 도포부(4330)로 공급된 실런트는 노즐(4600)을 통해 외측으로 사출되어 기판(S) 상에 도포된다.
그리고, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 하강하는 동작 시에, 제 1 원료 공간 내 실런트의 일부가 제 1 원료 공급 포트부(4360a) 방향으로 밀려 이송될 수 있다. 그러나, 제 1 원료 공간(4322a)의 실런트가 제 1 원료 공급 포트부(4360a)로 이동되어 미는 힘에 의해, 상기 제 1 원료 공급 포트부(4360a)에 설치된 제 1 역류 방지 밸브(4390a)에 의해 그 이동이 차단되어, 제 1 원료 공급 라인(4370a)으로 이동하는 역류를 방지할 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 제 1 원료 공간(4322a)으로부터 제 2 공급 포트(4362a)를 거쳐 제 3 공급 포트(4363a)로 이송된 실런트는 제 1 탄성 부재(4392a)를 제 1 공급 포트(4361a) 방향으로 미는 힘으로 작용한다. 따라서, 제 1 탄성 부재(4392a)가 제 1 공급 포트(4361a)가 위치한 방향으로 휘어지게 되고, 이때 제 1 탄성 부재(4392a)에 설치된 제 1 차폐 부재(4391a)가 제 1 공급 포트(4361a)를 차폐한다. 따라서, 제 1 사출 구동 부재(4323a)의 하강 동작시에, 실런트가 제 1 원료 공급 라인(4370a)으로 역류하는 것을 방지할 수 있다.(도 4a 참조)
이와 같이, 제 1 원료 사출부(4320a)를 통해 노즐(4600)로 실런트를 사출하여, 기판(S) 상에 상기 실런트를 도포하는 동안, 제 2 원료 사출부(4320b)의 제 2 원료 공간(4322b)으로는 실런트를 공급, 충진한다. 이를 위해, 제 2 보조 가스 공급부(4400b)를 통해 제 2 복귀 동력 공급 포트(4350b)로 질소 가스를 공급한다. 이에, 제 2 복귀 동력 공급 포트(4350b)의 질소 가스는 제 2 가스 공간(4321b)으로 공급되는데, 제 2 사출 구동 부재(4323b)의 제 2 상부 블록(431b) 하측 방향으로 가스가 공급된다. 제 2 복귀 동력 공급 포트(4350b)를 통해 제 2 가스 공간(4321b)으로 질소 가스를 연속하여 공급하면, 제 2 가스 공간(4321b) 내에서 제 2 상부 블록(431b) 하측 방향으로 채워지는 가스에 의해, 제 2 사출 구동 부재(4323b)가 상측으로 이동한다(복귀). 이와 같은 동작에 의해 제 2 사출 구동 부재(4232a)의 제 2 돌출 블록(434d)의 하부면이 제 2 원료 공간(4322b)의 바닥면과 이격되도록 상승되어, 제 2 하부 블록(435b) 하측 공간에 실런트가 충진될 수 있는 공간이 마련된다.
그리고, 상술한 바와 같이 제 2 사출 구동 부재(4323b)를 상승시키는 동작에 따른 제 2 원료 공간(4322b) 및 제 2 원료 공급 포트부(4360b) 내의 압력 변화에 의해, 상기 제 2 원료 공급 포트부(4360b)에 설치된 제 2 역류 방지 밸브(4390b)에 제 2 원료 공간(4322b)으로 당기는 힘이 발생된다. 이에, 제 2 사출 구동 부재(4323b)가 상승하면, 제 2 원료 공급 포트부(4360b)의 제 3 공급 포트(4363b)에 설치된 제 2 탄성 부재(4391b)가 제 2 공급 포트(4362b)가 위치한 방향으로 휘게되고, 이에 따라 상기 제 2 탄성 부재(4392b)에 설치된 제 2 차폐 부재(4391b)도 함께 제 2 공급 포트(4362b)가 위치한 방향으로 이동된다. 따라서, 제 1 공급 포트(4361b)와 제 3 공급 포트(4363b) 간의 연통이 오픈된다. 이에, 제 2 원료 공급 라인(4370b)을 통해 시린지(4100) 내 실런트를 제 2 원료 공급 포트부(4360b)로 공급하면, 상기 실런트가 제 2 원료 공간(4322b)에서 제 2 하부 블록(432b) 하측 영역으로 채워진다.
그리고 제 1 사출 구동 부재(4323a)에 의한 실런트의 사출이 종료되고, 제 2 원료 공간(4322b) 내로 실런트의 충진이 종료되면, 제 2 원료 사출부(4320b)를 통해 실런트를 도포부(4330)로 사출하고, 제 1 원료 사출부(4320a)의 제 1 원료 공간(4322a)로 실런트를 충진한다.
즉, 제 2 보조 가스 공급부(4400b)를 통해 제 2 사출 동력 공급 포트(4340b)로 질소 가스를 공급한다. 이에, 질소 가스가 제 2 가스 공간(4321b)으로 주입된다. 이때, 제 2 사출 동력 공급 포트(4340b)로부터 공급되는 질소 가스는 제 1 가스 공간(4321b)의 상측, 즉 제 2 상부 블록(431b)의 상측 방향에 마련된 제 2 홈(435b)에 채워지듯이 분사되며, 이에 따라, 제 2 상부 블록(431b)을 향해 분사되는 질소 가스 압에 의해 제 2 사출 구동 부재(4323b)가 하강 이동한다. 그리고 이때 발생되는 제 2 가스 공간(4321b) 및 제 2 원료 공간(4322b) 내의 압력 변화와, 제 2 사출 구동 부재(4323b)가 미는 힘에 의해, 제 2 원료 공간(4322a)에 충진된 실런트가 제 1 원료 사출 포트부(4380b)로부터 배출되어 도포부(4330)로 사출된다. 그리고 도포부(4330)로 공급된 실런트는 노즐(4600)을 통해 외측으로 사출되어 기판(S) 상에 도포된다. 보다 구체적으로 설명하면, 제 2 사출 구동 부재(4323b)가 하강하여 제 2 원료 공간(4322b) 내 실런트가 밀려 나오는 힘에 의해, 제 4 역류 방지 밸브(4390d)의 제 4 차폐 부재(4391d)에 미는 힘이 작용한다. 따라서, 제 4 차폐 부재(4391d)와 연결된 제 4 탄성 부재(4392d)가 도포부(4330)가 위치한 방향으로 휘어짐에 따라, 제 2 원료 사출 포트부(4380b)의 제 1 사출 포트(4381b)와 제 3 사출 포트(4383b) 간이 오픈된다. 따라서, 제 1 사출 포트(4381b) 내 실런트가 제 3 사출 포트(4383b) 및 제 2 사출 포트(4382b)를 거쳐 도포부(4330)로 공급된다. 그리고 도포부(4330)로 공급된 실런트는 노즐(4600)을 통해 외측으로 사출되어 기판(S) 상에 도포된다.
그리고, 제 2 사출 구동 부재(4323b)가 하강하는 동작 시에, 제 2 원료 공간 내 실런트의 일부가 제 2 원료 공급 포트부(4360b) 방향으로 밀려 이송될 수 있다. 그러나, 제 2 원료 공간(4322b)의 실런트가 제 2 원료 공급 포트부(4360b)로 이동되어 미는 힘에 의해, 상기 제 2 원료 공급 포트부(4360b)에 설치된 제 2 역류 방지 밸브(4390b)에 의해 그 이동이 차단되어, 제 2 원료 공급 라인(4370b)으로 이동하는 역류를 방지할 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 제 2 원료 공간(4322b)으로부터 제 2 공급 포트(4362b)를 거쳐 제 3 공급 포트(4363b)로 이송된 실런트는 제 2 탄성 부재(4392b)를 제 1 공급 포트(4361b) 방향으로 미는 힘으로 작용한다. 따라서, 제 2 탄성 부재(4392b)가 제 1 공급 포트(4361b)가 위치한 방향으로 휘어지게 되고, 이때 제 2 탄성 부재(4392b)에 설치된 제 2 차폐 부재(4391b)가 제 1 공급 포트(4361b)를 차폐한다. 따라서, 제 2 사출 구동 부재(4323b)의 하강 동작시에, 실런트가 제 2 원료 공급 라인(4370b)으로 역류하는 것을 방지할 수 있다.(도 4b 참조)
제 2 원료 사출부(4320b)를 통해 노즐(4600)로 실런트를 사출하여, 기판(S) 상에 상기 실런트를 도포하는 동안, 제 1 원료 사출부(4320a)의 제 1 원료 공간(4322a)으로는 실런트를 공급, 충진한다. 이를 위해, 제 1 보조 가스 공급부(4400a)를 통해 제 1 복귀 동력 공급 포트(4350a)로 질소 가스를 공급한다. 이에, 제 1 복귀 동력 공급 포트(4350a)의 질소 가스는 제 2 가스 공간(4321a)으로 공급되는데, 제 1 사출 구동 부재(4323a)의 제 1 상부 블록(431a) 하측 방향으로 가스가 공급된다. 제 1 복귀 동력 공급 포트(4350a)를 통해 제 1 가스 공간(4321a)으로 질소 가스를 연속하여 공급하면, 제 1 가스 공간(4321a) 내에서 제 1 상부 블록(431a) 하측 방향으로 채워지는 가스에 의해, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 상측으로 이동한다(복귀). 이와 같은 동작에 의해 제 1 사출 구동 부재(4232a)의 제 1 돌출 블록(434a)의 하부면이 제 1 원료 공간(4322a)의 바닥면과 이격되도록 상승되어, 제 1 하부 블록(435a) 하측 공간에 실런트가 충진될 수 있는 공간이 마련된다.
그리고, 상술한 바와 같이 제 1 사출 구동 부재(4323a)를 상승시키는 동작에 따른 제 1 원료 공간(4322a) 및 제 1 원료 공급 포트부(4360a) 내의 압력 변화에 의해, 상기 제 1 원료 공급 포트부(4360a)에 설치된 제 1 역류 방지 밸브(4390a)에 제 1 원료 공간(4322a)으로 당기는 힘이 발생된다. 이에, 제 1 사출 구동 부재(4323a)가 상승하면, 제 1 원료 공급 포트부(4360a)의 제 3 공급 포트(4363a)에 설치된 제 1 탄성 부재(4391a)가 제 2 공급 포트(4362a)가 위치한 방향으로 휘게되고, 이에 따라 상기 제 1 탄성 부재(4392a)에 설치된 제 1 차폐 부재(4391a)도 함께 제 1 공급 포트(4362a)가 위치한 방향으로 이동된다. 따라서, 제 1 공급 포트(4361a)와 제 3 공급 포트(4363a) 간의 연통이 오픈된다. 이에, 제 1 원료 공급 라인(4370a)을 통해 시린지(4100) 내 실런트를 제 1 원료 공급 포트부(4360a)로 공급하면, 상기 실런트가 제 1 원료 공간(4322b)에서 제 1 하부 블록(432a) 하측 영역으로 채워진다.
이와 같이, 본 발명의 실시형태들에 의하면, 시린지(4100)와 노즐(4600) 사이에 복수의 원료 사출부(4320a, 4320b)를 구비하는 아답터(4300)를 마련하여, 시린지(4100)로부터 사출되는 원압의 실런트를 분배하고, 상기 실런트를 종래에 비해 작은 압력 즉, 미세압으로 제어하여 노즐(4600)로 사출할 수 있다. 다시 말하면, 본 발명에 따른 디스펜서(4000)는 시린지(4100)와 노즐(4600) 사이에 실런트를 분배 사출 및 미세압 조정 가능한 아답터(4300)를 마련함으로써, 종래와 같이(도 4 참조) 시린지(10)에 노즐(20)이 바로 연결되는 구조에 비해, 실런트를 미세압을 조정하여 미량으로 도포할 수 있다. 따라서, 기판(S) 상에 동일 면적으로 실런트를 도포할 때, 본 발명에서는 종래에 비해 작은 압력으로 실런트를 도포할 수 있으며, 종래와 같이 시린지 내부를 추가로 승압할 필요가 없다.
4100: 시린지 4600: 노즐
4300: 아답터 4310: 본체
4320a, 4320b: 원료 사출부 4340a, 4340b: 사출 동력 공급 포트
4350a, 47350b: 복귀 동력 공급 포트
4360a, 4360b: 원료 공급 포트부
4380a, 4380b: 원료 사출 포트부
4390a, 4390b, 4390c, 4390d: 역류 방지 밸브

Claims (21)

  1. 원료 물질을 저장하는 내부 공간을 가지며, 내부로 공급되는 가스에 의해 상기 원료 물질을 외부로 배출하는 시린지;
    상기 시린지의 일측에 설치되어 상기 시린지로부터 제공된 원료 물질을 기판 상에 도포하는 노즐; 및
    다른 방향으로 교대로 동작하여, 상기 시린지로부터 제공된 원료 물질을 교대로 상기 노즐로 사출하는 복수의 원료 사출부를 구비하며, 상기 시린지와 노즐 사이를 연결하도록 설치되는 아답터;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 아답터는,
    상기 일단이 상기 시린지와 연결되고 타단이 상기 노즐과 연결되도록 설치된 본체; 및
    상기 본체 내부에서 병렬 설치되어 교대로 승하강 동작하여, 상기 노즐로 원료 물질을 사출하거나, 내부로 원료 물질을 충진하는 동작을 교대로 수행하는 복수의 원료 사출부;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 복수의 원료 사출부 각각은,
    상기 본체 내부에 마련되는 공간으로서, 내부로 가스가 공급되는 가스 공간;
    상기 본체 내부에서 상기 가스 공간의 하측에 마련되며, 내부로 상기 시린지로부터 제공되는 원료 물질이 공급되는 원료 공간; 및
    적어도 일단이 상기 가스 공간 내에 위치하고, 적어도 타단이 상기 가스 공간에 위치하도록 상기 가스 공간과 원료 공간으로 연장 설치되며, 상기 가스 공간과 원료 공간 사이에서 상하 이동 가능한 사출 구동 부재;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 사출 구동 부재는,
    상기 가스 공간 내에 위치하며, 상기 가스 공간 내에서 상하 방향으로 이동 가능한 상부 블록;
    상기 원료 공간 내에 위치하여 상기 상부 블록의 하측에 이격 배치되며, 상기 원료 공간 내에서 상하 방향으로 이동 가능한 하부 블록;
    일단이 상기 상부 블록과 연결되고, 타단이 상기 하부 블록과 연결되어, 상기 상부 블록과 연결되도록 연장 형성되며, 상기 가스 공간과 상기 원료 공간 사이에서 상하 이동하는 연결 블록; 및
    상기 하부 블록의 하부로부터 하측 방향으로 돌출 형성된 돌출 블록을 포함하는 디스펜싱 유닛.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 아답터는,
    상기 본체에서 상기 가스 공간의 상부에 연결되도록 마련되어, 상기 가스 공간으로 가스를 공급하여, 상기 사출 구동 부재를 하측으로 이동시키는 사출 동력 공급 포트; 및
    상기 본체에서 상기 가스 공간의 하부와 연통되도록 마련되어, 상기 가스 공간으로 가스를 공급하여, 상기 사출 구동 부재를 상측으로 이동하여 복귀시키는 복귀 동력 공급 포트;
    을 포함하는 디스펜싱 유닛.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 아답터는,
    상기 본체에서 상기 원료 공간과 연통되도록 마련되어, 상기 원료 물질을 상기 원료 공간으로 공급하는 원료 공급 포트부; 및
    상기 본체에서, 일단이 상기 시린지에 연결되고, 타단이 상기 원료 공급 포트부에 연결되도록 마련되어, 상기 원료 공급 포트부로 원료 물질을 공급하는 원료 공급 라인;
    을 포함하는 디스펜싱 유닛.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 아답터는,
    상기 본체에서 상기 원료 공간과 노즐 사이에 위치하도록 마련되어, 상기 원료 공간의 원료 물질을 사출 공간으로 사출하는 원료 사출 포트부를 포함하고,
    상기 사출 동력 부재의 돌출 블록은 상기 사출 포트부의 상측에 대향 위치하는 디스펜싱 유닛.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 복귀 동력 공급 포트는 상기 가스 공간의 하부 영역과 연통되도록 마련되어, 상기 사출 동력 부재의 상부 블록의 하측으로 가스를 공급하며,
    상기 원료 공급 포트부는 상기 원료 공간의 하부 영역과 연통되도록 마련되어, 상기 사출 동력 부재의 하부 블록의 하측으로 원료를 공급하는 디스펜싱 유닛.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 원료 공급 포트부에 설치되어, 상기 사출 구동 부재가 하강 동작하여 노즐로 원료 물질을 사출하는 구동 시에, 상기 원료 공급 라인으로 원료 물질이 역류하는 것을 방지하는 공급측 역류 방지 밸브를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 원료 사출 포트부에 설치되어, 상기 사출 구동 부재가 하강 동작하여 노즐로 원료 물질을 사출하는 구동 시에, 상기 원료 공간으로 원료 물질이 역류하는 것을 방지하는 사출측 역류 방지 밸브를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  11. 청구항 5에 있어서,
    상기 시린지의 타측과 연결되어 상기 시린지 내로 가스를 공급하는 메인 가스 공급부;
    상기 사출 동력 공급 포트 및 복귀 동력 공급 포트와 연결되어, 상기 사출 동력 공급 포트 및 복귀 동력 공급 포트 각각에 가스를 공급함으로써, 상기 복수의 원료 사출부에 원료 물질을 노즐 방향으로 사출하는 사출 동력과, 원래 위치로 복귀하는 복귀 동력을 제공하는 보조 가스 공급부;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  12. 청구항 10에 있어서,
    상기 본체 내부에서 상기 원료 공간과 노즐 사이에 마련되어, 상기 원료 공간으로부터 사출된 원료 물질을 상기 노즐로 공급하는 도포부를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  13. 청구항 6에 있어서,
    상기 원료 공급 포트부는,
    일단이 상기 원료 공급 라인과 연결되어, 상기 원료 공간이 위치한 상기 본체의 좌우 방향으로 연장 형성된 제 1 공급 포트;
    상기 본체 내에서 상기 제 1 공급 포트에 비해 내측에 위치하여, 상기 원료 공간과 연결된 제 2 공급 포트; 및
    상기 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 사이에 마련되어 상기 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 사이를 연결하며, 상기 본체의 상하 방향으로 연장 형성된 제 3 공급 포트;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 제 3 공급 포트 내부의 상하 방향의 높이는 상기 제 1 및 제 2 공급 포트 내부의 상하 방향 높이에 비해 큰 디스펜싱 유닛.
  15. 청구항 6에 있어서,
    상기 원료 공급 포트부는,
    일단이 상기 원료 공급 라인과 연결되어, 상기 원료 공간이 위치한 상기 본체의 좌우 방향으로 연장 형성되며, 상기 원료 공간이 위치한 방향으로 상향 경사진 제 1 공급 포트; 및
    일단이 상기 제 1 공급 포트와 연결되고 타단이 상기 원료 공간과 연결되며, 적어도 하부 바닥면이 상향 경사지고, 상기 제 1 공급 포트에 비해 큰 내경을 가지는 제 2 공급 포트;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  16. 청구항 13 또는 청구항 14에 있어서,
    상기 공급측 역류 방지 밸브는,
    상하 방향으로 연장 형성되어, 일부가 상기 제 3 공급 포트에 수용되고, 나머지가 상기 제 3 공급 포트 외측 영역의 본체에 고정 설치되며, 상기 제 3 공급 포트에 수용된 영역이 상기 제 3 공급 포트 내에서 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 방향으로 휨 동작이 가능한 탄성 부재;
    상기 제 3 공급 포트에 수용된 탄성 부재의 양 측면 중, 상기 제 1 공급 포트를 향하는 측면에 장착되어, 상기 탄성 부재의 휨 동작에 의해 상기 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 방향으로 이동하여, 상기 제 1 공급 포트와 제 3 공급 포트 간의 연결 부위를 오픈하거나, 차폐하는 차폐 부재;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 차폐 부재의 직경은 상기 제 3 공급 포트의 내경에 비해 작고, 상기 제 1 공급 포트의 내경에 비해 크거나 같은 디스펜싱 유닛.
  18. 청구항 15에 있어서,
    상기 공급측 역류 방지 밸브는 상기 제 2 공급 포트 내에 위치하며, 상기 제 1 공급 포트의 내경에 비해 큰 직경을 가지는 탄성 부재를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  19. 청구항 12에 있어서,
    상기 원료 사출 포트부는,
    상하 방향으로 연장 형성되어, 일단이 상기 원료 공간의 하부에 연결된 제 1 사출 포트;
    상기 제 1 사출 포트와 도포부 사이에 위치하여, 상기 도포부와 연결된 제 2 사출 포트;
    제 1 사출 포트와 제 2 사출 포트 사이에 마련되며, 상기 본체의 좌우 방향으로 연장 형성된 제 3 사출 포트;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
  20. 청구항 19에 있어서,
    상기 제 3 사출 포트의 좌우 방향의 길이는 상기 제 1 및 제 2 방향의 길이에 비해 큰 디스펜싱 유닛.
  21. 청구항 19 또는 청구항 20에 있어서,
    상기 사출측 역류 방지 밸브는,
    좌우 방향으로 연장 형성되어, 일부가 상기 제 3 공급 포트에 수용되고, 나머지가 상기 제 3 공급 포트 외측 영역의 본체에 고정 설치되며, 상기 제 3 공급 포트에 수용된 영역이 상기 제 3 공급 포트 내에서 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 방향으로 휨 동작이 가능한 탄성 부재;
    상기 제 3 공급 포트에 수용된 탄성 부재의 상부면에 장착되어, 상기 탄성 부재의 휨 동작에 의해 상기 제 1 공급 포트와 제 2 공급 포트 방향으로 이동하여, 상기 제 1 공급 포트와 제 3 공급 포트 간의 연결 부위를 오픈하거나, 차폐하는 차폐 부재;
    를 포함하는 디스펜싱 유닛.
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