CN102543643A - 一种用于离子源的固体物质气化装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于离子源的固体物质气化装置,其结构包括:热电偶(1),热电偶支撑架结构(2),灯管引线座(3),通水座(4),安装法兰(5),灯管座(6),加热灯管(7),支承座(8),小弹片(9),送气管(10),石墨坩埚帽(11),石墨坩埚桶(12),绝缘柱(13)、(15),氮化硼垫片(14)。该装置用于给装有固体物质的坩埚加热,其中坩埚由石墨坩埚桶(11)和石墨坩埚帽(12)组成,使用和坩埚相连接的热电偶(1)检测坩埚的温度,根据要气化的物质不同,调节不同的温度以达到气化的目的,气化后的气体分子通过送气管(10)送出该气化装置。并安装一个通水座(4),用于冷却。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于离子源的固体物质气化装置,是一种简单可靠的气化装置。本发明涉及离子注入机,属于半导体装备制造领域。
背景技术
随着科技的发展,离子注入技术得到越来越广泛的应用,用于离子注入的材料也是越来越多样化。这就对离子源的结构提出了更高的要求。
在离子源的制造和改进中,对于需要注入的材料为固体物质的情况,需要将其气化为气体状态才能进行电离,以得到所需要的离子。
本发明提供了一种固体物质气化装置,结构简单可靠,可用于离子源结构。
发明内容
本发明公开了一种用于离子源的固体物质气化装置。
本发明通过以下技术方案来实现:
一种固体物质气化装置,具有和电源连接并固定在支承座上的的加热灯管,用于给装有固体物质的坩埚加热,其中坩埚由石墨坩埚桶(11)和石墨坩埚帽(12)组成,使用和坩埚相连接的热电偶(1)检测坩埚的温度,根据要气化的物质不同,调节不同的温度以达到气化的目的,气化后的气体分子通过送气管(10)送出该气化装置。并安装一个通水座(4),用于冷却。
本发明具有如下显著优点:
1.结构稳定,拆装方便,便于维护。
2.采用灯丝加热,内置温度传感器监控,有利于监控坩埚内部温度,便于温度调节。
附图说明
图1是固体物质气化装置的主视图。
图2是固体物质气化装置的侧视图。
具体实施方式:
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍,但不作为对本发明专利的限定。
参考图1,一种用于离子源的固体物质气化的装置,其结构包括:热电偶(1),热电偶支撑架结构(2),灯管引线座(3),通水座(4),安装法兰(5),灯管座(6),加热灯管(7),支承座(8),小弹片(9),送气管(10),石墨坩埚帽(11),石墨坩埚桶(12),绝缘柱(13)、(15),氮化硼垫片(14)。加热灯管(7)通过灯管座(6)连接在支承座(8)上,其中绝缘柱(13)、(15),以及氮化硼垫片(14)安装于灯管座(6)上,以起到绝缘作用。通过固定在安装法兰(4)上的灯管引线座(3)为加热灯管(9)通电,以达到加热的作用。
石墨坩埚桶(12)固定在安装法兰(5)上,热电偶1将温度探针伸入石墨坩埚桶(12)内,用以测试石墨坩埚桶(12)内的温度。当坩埚内的固体物质不同时,控制不同的温度以使固体物质气化。其中热电偶(1)通过热电偶支撑架结构(2)固定在安装法兰(5)上,其高度可做微调。石墨坩埚桶(12)和石墨坩埚帽(11)连接,并密封,再和将气化后的气体分子送出气化装置的送气管(10)相连。通水座4通入去离子水起到冷却的作用。
参考图2,本发明所涉及的实施例,除了通水座(4)和安装法兰(5)外,其他部分均为关于支承座(8)对称的相同的两组零件,其中两个加热灯管通过小弹片(9)在支承座(8)上连接在一起。这样可以同时在两个坩埚桶里加热固体物质,也可以根据具体情况,将该装置的结构稍作修改,使用不同数量的加热灯管和坩埚桶。该装置除上述部分,还可以在整个装置外面安装一个保护罩,起到保护作用。
本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言,在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动,都构成对本发明专利的侵犯,将承担相应的法律责任。
Claims (2)
1.一种用于离子源的固体物质气化装置,其特征在于:热电偶(1)、热电偶支撑架结构(2)、灯管引线座(3)、通水座(4)、安装法兰(5)、灯管座(6)、加热灯管(7)、支承座(8)、小弹片(9)、送气管(10)、石墨坩埚帽(11)、石墨坩埚桶(12)、绝缘柱(13)、(15)和氮化硼垫片(14)。
2.如权利要求1所述的一种用于离子源的固体物质气化装置,其特征在于:坩埚由石墨坩埚桶(11)和石墨坩埚帽(12)组成;加热灯管(7)可以给坩埚加热;热电偶(1)处于坩埚内部,可以检测坩埚内部的温度;支承座(8)靠近加热灯管(7)的部分抛光,可以更好的反射热量。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN (1) | CN102543643A (zh) |
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