CN2922114Y - 一种灯丝引出杆绝缘结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种离子注入机的离子源，特别涉及一种长寿命离子源的灯丝引出杆绝缘结构，属于半导体器件制造领域；针对现有长寿命离子源技术中灯丝引出杆电位高、绝缘体容易受高温离子溅射而污染的问题，提出了一种灯丝引出杆绝缘结构，满足离子源的高可靠性及长使用寿命要求，在一绝缘块3上固定连接有一灯丝引线铜杆1，其间设有密封圈2，在灯丝引线铜杆1四周设有通入冷却水的灯杆水冷套4，结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗高温腐蚀性能好特点；结构连接操作方便；绝缘及防污染爬电性能优越，可靠性高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种离子注入机的离子源，特别涉及一种长寿命离子源的灯丝引出杆绝缘结构，属于半导体器件制造领域。
背景技术
现有半导体集成电路制造技术中，要求离子注入机具有整机可靠，稳定性好、生产效率高、低尘粒污染等功能和特征，而离子注入机这些性能与离子源使用寿命及可靠稳定性密切相关。在最新研制的长寿命离子源中，最主要特征是采用间热式阴极代替传统的热灯丝阴极发射电子；此种间热式阴极长寿命离子源相对于以往的氟里曼源、贝纳斯源等热灯丝发射电子型离子源，在结构上相对复杂，供电耐压上除了保留在阴极与弧室之间加150V的阳极电压之外，还需要在加热灯丝与阴极之间加500V的偏置电压，因此在灯丝杆与离子源壳体之间的耐压达到700V以上，这样原有的一般贝纳斯源灯丝引出杆绝缘结构难以满足高耐压要求，离子源工作一段时间后引起爬电及短路等问题；同时，在最新研制的长寿命离子源中使用一种新型的灯丝引出杆绝缘结构，此结构要充分考虑灯丝引出杆的绝缘耐压性，在设计上要求综合考虑结构紧凑性和尽量增加绝缘体爬电距离，同时考虑灯杆高温工作时热传导问题，解决各部件工作一段时间后由于高温热膨胀效应及离子溅射污染导致的耐压问题，以满足离子源的高可靠性及长使用寿命要求。
发明内容
本实用新型是针对现有长寿命离子源技术中灯丝引出杆电位高、绝缘体容易受高温离子溅射而污染的问题，采用一种灯丝引出杆绝缘结构，满足离子源的高可靠性及长使用寿命要求。
本实用新型通过以下技术方案实现：
一种灯丝引出杆绝缘结构，在一绝缘块上固定连接有一灯丝引线铜杆，其间设有密封圈，在灯丝引线铜杆四周设有通入冷却水的灯杆水冷套。
本实用新型一种灯丝引出杆绝缘结构还可以是：所述灯丝引线铜杆为高热导率的紫铜材料，所述绝缘块与所述灯丝引线铜杆的固定连接采用在所述灯丝引线铜杆上设置带有螺钉绝缘套的固定螺钉与绝缘块固定连接。
本实用新型具有如下显著优点：
1、结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗高温腐蚀性能好特点；
2、结构连接操作方便；
3、绝缘及防污染爬电性能优越，可靠性高。
附图说明：
图1：表示本实用新型一种灯丝引出杆绝缘结构示意图。
具体实施方式：
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型的限定。
如图1所示，一种灯丝引出杆绝缘结构，在一绝缘块3上固定连接有一灯丝引线铜杆1，所述灯丝引线铜杆1为高热导率的紫铜材料。连接灯丝固定杆，并将灯丝电压及偏置电压引入；在所述灯丝引线铜杆1和绝缘块3之间设有密封圈2以维持离子源真空，在灯丝引线铜杆1四周设有通入冷却水的灯杆水冷套4，灯杆水冷套4通水强迫冷却灯丝引线铜杆1，保持灯丝引线铜杆1正常工作温度；绝缘块3一方面耐压绝缘，另一方面固定连接灯丝引线铜杆1；所述绝缘块3与所述灯丝引线铜杆1的固定连接采用在所述灯丝引线铜杆1上设置带有螺钉绝缘套6的固定螺钉5与绝缘块3固定连接，螺钉绝缘套6隔离灯丝引线铜杆1与固定螺钉5间电位。
本实用新型所述灯丝引出杆绝缘结构的结构连接稳定可靠，具有抗热变形、抗高温耐腐蚀性能好的特点，同时结构连接操作方便，绝缘及防污染爬电性能优越，可靠性好，保证离子源长期工作的稳定可靠性。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (3)
1.一种灯丝引出杆绝缘结构，其特征在于：在一绝缘块(3)上固定连接有一灯丝引线铜杆(1)，其间设有密封圈(2)，在灯丝引线铜杆(1)四周设有通入冷却水的灯杆水冷套(4)。
2、根据权利要求1所述灯丝引出杆绝缘结构，其特征在于：所述灯丝引线铜杆(1)为高热导率的紫铜材料。
3.根据权利要求2所述灯丝引出杆绝缘结构，其特征在于：所述绝缘块(3)与所述灯丝引线铜杆(1)的固定连接采用在所述灯丝引线铜杆(1)上设置带有螺钉绝缘套(6)的固定螺钉(5)与绝缘块(3)固定连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 200620113059 CN2922114Y (zh) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | 一种灯丝引出杆绝缘结构 |
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| CN 200620113059 CN2922114Y (zh) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | 一种灯丝引出杆绝缘结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2922114Y true CN2922114Y (zh) | 2007-07-11 |
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| CN 200620113059 Expired - Fee Related CN2922114Y (zh) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | 一种灯丝引出杆绝缘结构 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102543643A (zh) * | 2010-12-27 | 2012-07-04 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种用于离子源的固体物质气化装置 |
| CN104134600A (zh) * | 2014-08-13 | 2014-11-05 | 苏州普京真空技术有限公司 | 一种离子源灯丝机构 |
| CN113589356A (zh) * | 2021-08-05 | 2021-11-02 | 兰州科近泰基新技术有限责任公司 | 一种用于同位素二极磁铁装置中的法拉第筒 |
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2006
- 2006-04-24 CN CN 200620113059 patent/CN2922114Y/zh not_active Expired - Fee Related
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