CN102535584A - 洗净水供应系统及其供应方法 - Google Patents

Abstract

一种洗净水供应系统及其供应方法，应用于洗净输送带上所承载的目标物，该洗净水供应系统包括：第一废水储存槽可用以储存第一废水。第二废水储存槽可用以储存第二废水，并通过第一管路接收第一水源。第二废水储存槽还通过第二管路使用第二水源，且第二废水储存槽的第二废水可溢流至第一废水储存槽。第一水洗处理室，通过第三管路使用第一废水对目标物进行第一水洗处理。第二水洗处理室，通过第四管路使用第二废水或通过第五管路使用第二水源，以在第一水洗处理后对所述的目标物进行第二水洗处理。本发明所提出的洗净水供应方式具有较佳的灵活度，相较于现有技术采用洗净水作为洗净程序的主要供水来源的方式，本发明亦可大幅提升省水效率。

Description

洗净水供应系统及其供应方法

技术领域

本发明涉及一种水供应系统及其供应方法，尤其涉及一种洗净水供应系统及其供应方法。

背景技术

近年来，由于液晶显示器具有重量轻、体积小与低耗电等优点，因此液晶显示器被广泛地使用在各种电子产品(例如：电视、手机、笔记型计算机或卫星导航装置等)上。

液晶显示器的制程主要可区分为薄膜晶体管数组(TFT Array)制程、彩色滤光(color filter)制程、液晶面板组装(LC Cell Assembly)与液晶面板模块组装(module Assembly)，其中在彩色滤光制程中又包括了清洗、成模、微影与剥膜(光阻去除)等步骤。为了确保彩色滤光片的质量，在彩色滤光片制程中常使用洗净系统进行清洗处理，以去除基板上附着的杂质、粒子或光阻等物质。

然而，在所述的洗净系统中往往需要使用大量的洗净水(例如，去离子水)进行所述的清洗处理。以目前现有的洗净系统为例，绝大部分的洗净水仍由水源供应器的去离子水提供，致使废水的使用率无法提升，无法达到较高省水效率。

发明内容

本发明提出一种洗净水供应系统及其供应方法，通过管路的配置与控制阀的调配，以切换不同的供水来源从而响应洗净水的使用需求，并提升省水效率。

本发明的洗净水供应系统，应用于洗净输送带上所承载的目标物，该洗净水供应系统包括有第一废水储存槽、第二废水储存槽、第一水洗处理室与第二水洗处理室。第一废水储存槽可用以储存第一废水。第二废水储存槽可用以储存第二废水。所述的第二废水储存槽通过第一管路接收来自第一水源供应器的第一水源。所述的第二废水储存槽还通过第二管路使用来自第二水源供应器的第二水源，其中第二废水储存槽的第二废水可溢流至第一废水储存槽。第一水洗处理室通过第三管路使用来自第一废水储存槽的第一废水对目标物进行第一水洗处理。第二水洗处理室通过第四管路使用来自第二废水储存槽的第二废水，或者第二水洗处理室通过第五管路使用来自第二水源供应器的第二水源，以在第一水洗处理后对所述的目标物进行第二水洗处理。

在该洗净水供应系统中，该第一水洗处理室通过一第一排放管路排出该第一水洗处理后的废水，而该第二水洗处理室通过一第二排放管路排出该第二水洗处理后的废水至该第二废水储存槽。

在该洗净水供应系统中，还包括：一第六管路，用以连接该第一水源供应器至该第一废水储存槽；一第一控制阀，设置于该第六管路中；一第二控制阀，设置于该第一管路中；一第三控制阀，设置于该第二管路中；一第四控制阀，设置于该第五管路中；及一第五控制阀，设置于该第四管路中。

在该洗净水供应系统中，在该第一控制阀为关闭、该第二控制阀为关闭、该第三控制阀为关闭、该第四控制阀为开启、该第五控制阀为关闭时，该第一水源的水源需求量小于该第二水源的水源需求量。

在该洗净水供应系统中，在该第二水源的水源供给量不足供应该第二水源的水源需求量时，该第一控制阀变更为开启，以将该第一水源补充于该第一废水储存槽。

在该洗净水供应系统中，在该第一控制阀为关闭、该第二控制阀为开启、该第三控制阀为关闭、该第四控制阀为关闭与该第五控制阀为开启时，该第一水源的水源需求量大于该第二水源的水源需求量。

在该洗净水供应系统中，在该第一水源的水源供给量不足供应该第一水源的水源需求量时，该第三控制阀变更为开启，以将该第二水源补充于该第二废水储存槽。

在该洗净水供应系统中，在该第一水源的水源供给量不足供应该第一水源的水源需求量时，该第二控制阀变更为关闭、该第四控制阀变更为开启与该第五控制阀变更为关闭。

在该洗净水供应系统中，该第一水源的纯净度低于该第二水源的纯净度，且该第一废水的纯净度低于该第二废水的纯净度。

在该洗净水供应系统中，该第一废水储存槽中设置有一第一传感器、低于该第一传感器的设置位置的一第二传感器、低于该第二传感器的设置位置的一第三传感器与低于该第三传感器的设置位置的一第四传感器，并在该第一废水储存槽的该第一废水液位低于该第三传感器时，使该第一水源供应至该第一废水储存槽。

在该洗净水供应系统中，该第一废水储存槽中设置有一第一传感器、低于该第一传感器的设置位置的一第二传感器、低于该第二传感器的设置位置的一第三传感器与低于该第三传感器的设置位置的一第四传感器，并在该第一废水储存槽的第一废水液位低于该第三传感器时，使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽。

在该洗净水供应系统中，使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽包括使该第一水源供应至该第二废水储存槽。

在该洗净水供应系统中，使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽包括使该第二水源供应至该第二废水储存槽。

另外，本发明的洗净水供应方法，包括下列步骤：首先，设置第一废水储存槽以储存第一废水，以及设置第二废水储存槽以储存第二废水，其中第二废水可溢流至第一废水储存槽。接着，设置第一管路以提供第一水源供应器的第一水源至第二废水储存槽，并设置第二管路以提供第二水源供应器的第二水源至第二废水储存槽，且设置第三管路以提供第一废水储存槽的第一废水至第一水洗处理室，且设置第四管路以提供第二废水储存槽的第二废水至第二水洗处理室。

接下来，利用输送带承载目标物至第一水洗处理室，通过第三管路使用来自第一废水储存槽的第一废水对所述的目标物进行第一水洗处理。然后，利用所述的输送带承载目标物至第二水洗处理室，通过第四管路使用来自第二废水储存槽的第二废水或者通过第五管路使用来自第二水源供应器的第二水源，以对目标物进行第二水洗处理。

在该洗净水供应方法中，该第一水洗处理后的废水通过一第一排放管路排出该第一水洗处理室，该第二水洗处理后的废水通过一第二排放管路排出该第二水洗处理室至该第二废水储存槽。

在该洗净水供应方法中，还包括：设置一第六管路，用以连接该第一水源供应器至该第一废水储存槽；设置一第一控制阀于该第六管路中；设置一第二控制阀于该第一管路中；设置一第三控制阀于该第二管路中；设置一第四控制阀于该第五管路中；及设置一第五控制阀于该第四管路中。

在该洗净水供应方法中，在该第一水源的水源需求量小于该第二水源的水源需求量时，关闭该第一控制阀、关闭该第二控制阀、关闭该第三控制阀、开启该第四控制阀与关闭该第五控制阀。

在该洗净水供应方法中，在该第二水源的水源供给量不足供应该第二水源的水源需求量时，变更开启该第一控制阀，以将该第一水源补充于该第一废水储存槽。

在该洗净水供应方法中，该第一水源的水源需求量大于该第二水源的水源需求量时，关闭该第一控制阀、开启该第二控制阀、关闭该第三控制阀、关闭该第四控制阀与开启该第五控制阀。

在该洗净水供应方法中，在该第一水源的水源供给量不足供应该第一水源的水源需求量时，变更开启该第三控制阀，以将第二水源补充于第二废水储存槽。

在该洗净水供应方法中，该第一水源的水源供给量不足供应该第一水源的水源需求量时，变更关闭该第二控制阀、变更开启该第四控制阀与变更关闭该第五控制阀。

在该洗净水供应方法中，该第一水源的纯净度低于该第二水源的纯净度，且该第一废水的纯净度低于该第二废水的纯净度。

在该洗净水供应方法中，在该第一废水储存槽的第一废水的液位低于一允许液位时，使该第一水源供应至该第一废水储存槽。

在该洗净水供应方法中，在该第一废水储存槽的第一废水的液位低于一允许液位时，使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽。

在该洗净水供应方法中，使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽包括使该第一水源供应至该第二废水储存槽。

在该洗净水供应方法中，使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽包括使该第二水源供应至该第二废水储存槽。

在该洗净水供应方法中，该第一废水储存槽设置有一第一传感器、低于该第一传感器的设置位置的一第二传感器、低于该第二传感器的设置位置的一第三传感器与低于该第三传感器的设置位置的一第四传感器，并在该第一废水储存槽的第一废水液位低于该第三传感器时为低于该允许液位。

综上所述，本发明的洗净水供应系统及其供应方法，可以利用回收废水作为洗净程序的主要供水来源，一旦回收废水不足供应洗净程序的水源需求量时，则可通过调整预先设置于各管路中的控制阀的状态(例如，开启或关闭)，以切换由洗净水作为洗净程序的主要供水来源，因此，本发明所提出的洗净水供应方式具有较佳的灵活度，相较于现有技术采用洗净水作为洗净程序的主要供水来源的方式，本发明亦可大幅提升省水效率。

为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

图1为示出本发明实施例的洗净水供应系统的示意图。

图2为示出本发明实施例的第一废水储存槽与第二废水储存槽的示意图。

图3为示出本发明实施例的洗净水供应方法的步骤流程图。

其中，附图标记说明如下：

10第一废水储存槽

10a第一传感器

10b第二传感器

10c第三传感器

10d第四传感器

11第三管路

13过滤装置

15溢流管

101第一废水

20第二废水储存槽

21第四管路

28过滤装置

200洗净水供应系统

201第二废水

210输送带

220目标物

30第一水洗处理室

31第一排放管路

32喷嘴

34喷嘴

40第二水洗处理室

41第二排放管路

42喷嘴

44喷嘴

70第一水源供应器

71第一管路

73第六管路

75过滤装置

701第一水源

80第二水源供应器

81第五管路

83第二管路

88过滤装置

801第二水源

90第一控制阀

91第二控制阀

92第三控制阀

93第四控制阀

94第五控制阀

S401～S405步骤流程说明

具体实施方式

请参照图1，图1为本发明实施例的洗净水供应系统的示意图。如图1所示，本发明实施例的洗净水供应系统200包括有：第一废水储存槽10、第二废水储存槽20、第一水洗处理室30与第二水洗处理室40。

以下先说明洗净水供应系统200的组成构件。第一废水储存槽10可用以储存第一废水101。所述的第一废水101例如包含洗净处理后的回收水或其它相似性质的水。另外，第一废水储存槽10还可通过第六管路73连接至第一水源供应器70，第一废水储存槽10可接收来自第一水源供应器70的第一水源701。

如上所述，在第六管路73中设置有第一控制阀90。所述的第一控制阀90可例如是由手动阀或自动阀构成。举例来说，在第一控制阀90开启时，可对应让第一水源供应器70的第一水源701流入至第一废水储存槽10。在第一控制阀90关闭时，可让第一水源供应器70的第一水源701停止流入至第一废水储存槽10。值得一提的是，所述的第一水源供应器70可收集与/或处理来自其它机台(图中未示)的废水，以作为第一水源701的来源。

在第一废水储存槽10旁(如图1中第一废水储存槽10的右侧)设置有第二废水储存槽20。所述的第二废水储存槽20可用以储存第二废水201。所述的第二废水201也可例如包含洗净后的回收水或其它相似性质的水。

第二废水储存槽20可通过第一管路71连接至第一水源供应器70，第二废水储存槽20可接收来自第一水源供应器70的第一水源701。另外，在另一实施例中，在第一水源供应器70与第一管路71之间与第一水源供应器70与第六管路73之间，可设置一个或多个过滤装置75，以提升第一水源701供应至第一废水储存槽10与第二废水储存槽20的纯净度。过滤装置的数目与位置在此不设限，可视实际需求调整。

如上所述，在第一管路71中可设置有第二控制阀91。所述的第二控制阀91可例如是由手动阀或自动阀构成。举例来说，在第二控制阀91开启时，可对应让第一水源供应器70的第一水源701流入至第二废水储存槽20。在第二控制阀91关闭时，可让第一水源供应器70的第一水源701停止流入至第二废水储存槽20。

另外，第二废水储存槽20还可通过第二管路83连接至第二水源供应器80，第二废水储存槽20可接收来自第二水源供应器80的第二水源801。所述的第二水源801可例如是去离子水或纯水。值得一提的是，所述的第一水源701的纯净度低于或等于第二水源80的纯净度，且第一废水101的纯净度低于或等于第二废水201的纯净度。

如上所述，在第二管路83中设置有第三控制阀92。所述的第三控制阀92可开启或关闭，以对应让第二水源供应器80的第二水源801流入至第二废水储存槽20，或者让第二水源供应器80的第二水源801停止流入至第二废水储存槽20。值得一提的是，所述的第二水源供应器80可例如是由厂务提供纯水或去离子水的供应器，以提供纯水或去离子水作为第二水源801的来源。另外，第三控制阀92可例如是由手动阀或自动阀构成，但较佳者为一个自动阀，并可根据设定的流体压力值对应开启或关闭。

如图1所示，第二废水储存槽20具有高于第一废水储存槽10的液体储存高度，因此，第二废水储存槽20的第二废水201可溢流至第一废水储存槽10。另外，第二废水储存槽20可具有通过溢流管或溢流口(图中未示)辅助使第二废水201溢流至第一废水储存槽10。

在第一废水储存槽10与第二废水储存槽20的上方处分别设置有第一水洗处理室30与第二水洗处理室40。另外，第一水洗处理室30与第二水洗处理室40的设置位置仅为举例说明，并非用以作为限制。

输送带210分别通过第一水洗处理室30与第二水洗处理室40。所述的输送带210可通过驱动器(例如，马达)、滚轮等构件形成传动。因此，输送带210可用以承载目标物220朝图1中标示的运送方向传动。所述的目标物220可例如是玻璃基板、电路基板等对象，或者是清洗、显影、剥膜等制程后需要进行水洗处理的对象，但不以此为限。若有其它洗净需求时，在本发明的另一个实施例中，还可在第一水洗处理室30前设置一个水洗处理室(图中未示)，或者在第一水洗处理室30与第二水洗处理室40之间设置一个水洗处理室(图中未示)，用以清洁目标物220。

第一水洗处理室30可通过第三管路11连接至第一废水储存槽10。第一水洗处理室30可使用来自第一废水储存槽10的第一废水101对目标物220进行第一水洗处理。更进一步说，在第一水洗处理室30中的输送带210的上方可设置有一个或多个喷嘴32。通过第三管路11连接第一废水储存槽10与喷嘴32，以使喷嘴32喷出水柱或水雾至目标物220的上表面，进而可去除目标物220的上表面的杂质或粒子等物质。另外，第一水洗处理室30还可通过第一排放管路31排出第一水洗处理后的废水至废水处理站(图中未示)，进行相关的废水处理程序。

另一方面，在第一水洗处理室30中的输送带210的下方可设置有一个或多个喷嘴34。喷嘴34可喷出水柱或水雾至目标物220的下表面，进而可去除目标物220的下表面的杂质或粒子等物质。所述的喷嘴32与34可同时或不同时喷水至目标物220，以对目标物220进行所述的第一水洗处理。另外，在第三管路11中较佳者可设置一个或多个过滤装置13，以提升第一废水101供应至第一水洗处理室30的纯净度。过滤装置的数目与位置在此不设限，可视实际需求调整。

接着，第二水洗处理室40可通过第五管路81连接至第二水源供应器80。另外，在第五管路81中较佳者可设置一个或多个过滤装置88，以提升第二水源801供应至第二水洗处理室40的纯净度。过滤装置的数目与位置在此不设限，可视实际需求调整。第二水洗处理室40可接收与使用来自第二水源供应器80的第二水源801。在第五管路81中设置有第四控制阀93。所述的第四控制阀93可例如是由手动阀或自动阀构成。举例来说，在第四控制阀93开启时，可对应让第二水源供应器80的第二水源801流入至第二水洗处理室40。在第四控制阀93关闭时，可让第二水源供应器80的第二水源801停止流入至第二水洗处理室40。

第二水洗处理室40可通过第四管路21连接至第二废水储存槽20。第二水洗处理室40可使用来自第二废水储存槽20的第二废水201，以在第一水洗处理后对所述的目标物220进行第二水洗处理。另外，第二水洗处理室40还可通过第二排放管路41排出第二水洗处理后的废水至第二废水储存槽20。

在第四管路21中可设置有第五控制阀94。所述的第五控制阀94可例如是由手动阀或自动阀构成。举例来说，在第五控制阀94开启时，可对应让第二废水储存槽20的第二废水201流入至第二水洗处理室40。在第五控制阀94关闭时，可让第二废水储存槽20的第二废水201停止流入至第二水洗处理室40。

同样的，在第二水洗处理室40中的输送带210的上方可设置有一个或多个喷嘴42。通过第四管路21连接第二废水储存槽20与喷嘴42，以使喷嘴42喷出水柱或水雾至目标物220的上表面，进而可去除目标物220的上表面的杂质或粒子等物质。

另一方面，在第二水洗处理室40中的输送带210的下方可设置有一个或多个喷嘴44。喷嘴44可喷出水柱或水雾至目标物220的下表面，进而可去除目标物220的下表面的杂质或粒子等物质。所述的喷嘴42与44可同时或不同时喷水至目标物220，以对目标物220进行所述的第二水洗处理。另外，在第四管路21中较佳者可设置一个或多个过滤装置28，以提升第二废水201供应至第二水洗处理室40的纯净度。过滤装置的数目与位置在此不设限，可视实际需求调整。

附带一提的是，上述的各个管路中还可设置流量计(图中未示)，并通过计算机系统(图中未示)监控或记录各个管路的流量值、压力值等数据，以进一步远程调整各个控制阀的状态。

以下说明洗净水供应系统200的供水模式的调整状态。如图1所示，当洗净水供应系统200对于第一水源701的水源需求量小于第二水源801的水源需求量时，可通过调整第一控制阀90为关闭、第二控制阀91为关闭、第三控制阀92为关闭、第四控制阀93为开启与第五控制阀94为关闭来实现第二水源801为主要供给来源，第一水源701供给为辅的供水模式。举例来说，此供水模式可以纯水或去离子水作为主要供应来源，可适用于需要特别清洁要求的目标物上或配合调配水源的弹性应用。在上述供水模式时，当第二水源801的水源供给量不足供应该第二水源801的水源需求量时，第一控制阀90变更为开启，以将第一水源701补充在第一废水储存槽10。较佳的，上述的各个控制阀可通过计算机系统调整为开启或关闭的状态。

另外，若欲使洗净水供应系统200对于第一水源701的水源需求量大于第二水源801的水源需求量时，可通过调整第一控制阀90为关闭、第二控制阀91为开启、第三控制阀92为关闭、第四控制阀93为关闭与第五控制阀94为开启来实现第一水源701为主要供给来源，第二水源801供给为辅的供水模式。举例来说，此供水模式可以回收已使用过的水作为主要供应来源，可适用于提高省水效率的洗净情况或配合调配水源的弹性应用。在此供水模式中，当第一水源701的水源供给量不足供应第一水源701的水源需求量时，可变更第三控制阀92为开启，以将第二水源801补充至第二废水储存槽20，进而使第二废水储存槽20的第二废水201溢流至第一废水储存槽10。

另外，在上述供水模式下，本发明的另一实施例中，当第一水源701的水源供给量不足供应第一水源701的水源需求量时，还可将第二控制阀91变更为关闭、第四控制阀93变更为开启与第五控制阀94变更为关闭，即调整第一控制阀90为关闭、第二控制阀91为关闭、第三控制阀92为关闭、第四控制阀93为开启与第五控制阀94为关闭来实现所需的供水模式。也就是说，可依弹性切换所需要的模式。

接下来，请参照图2，图2为本发明的第一废水储存槽与第二废水储存槽的示意图。如图2所示，第一废水储存槽10中设置有对应于不同液位高度的第一传感器10a、第二传感器10b、第三传感器10c与第四传感器10d。所述的第一传感器10a的设置位置为最高，更进一步说，第一传感器10a的设置位置最远离第二废水储存槽20的底部。第二传感器10b的设置位置低于第一传感器10a。第三传感器10c的设置位置低于第二传感器10b。第四传感器10d的设置位置低于第三传感器10c。所述的各传感器可用以提供液位警告信息。

另外，在第一废水储存槽10的侧边位于第一传感器10a与第二传感器10b之间的位置处还可设置溢流管15，以排放多余的第一废水101，进而避免第一废水101溢出第一废水储存槽10。

在第一废水储存槽10中的第一废水101的液位低于第三传感器10c(或者允许液位)时，即第一废水101将不够第一水洗处理使用时，可通过调整各个控制阀的开启或关闭，以使第一水源701供应至第一废水储存槽10。举例来说，变更第一控制阀90的状态为开启，以使第一水源供应器70的第一水源701供应至第一废水储存槽10。

另外，在本发明的另一个实施例中，在第一废水储存槽10中的第一废水101的液位低于第三传感器25时，即第一废水101将不够第一水洗处理使用时，可通过调整各个控制阀的开启或关闭，以使第二废水储存槽20的第二废水201溢流至第一废水储存槽10。因此，可避免第一废水储存槽10中的液位过低而导致洗净水供应系统200产生当机(机器停止)的问题。举例来说，可变更第三控制阀92的状态为开启，以使第二水源供应器80的第二水源801供应至第二废水储存槽20，进而使第二废水储存槽20的第二废水101溢流至第一废水储存槽10。

如上所述，在使第二废水储存槽20的第二废水201溢流至第一废水储存槽10的过程中，还可通过使第一水源供应器70的第一水源701供应至第二废水储存槽20的方式实现。举例来说，当第二控制阀91的状态为开启时，可使第一水源供应器70的第一水源701供应至第二废水储存槽20。

请参照图3，图3为本发明实施例的洗净水供应方法的步骤流程图。为了说明方便，可一并参阅图1与图3，首先，在步骤S401中，设置第一废水储存槽10以储存第一废水101，以及设置第二废水储存槽20以储存第二废水201，其中第二废水201可溢流至第一废水储存槽10。值得一提的是，其中第一水源701的纯净度低于第二水源801的纯净度，第一废水101的纯净度亦低于第二废水201的纯净度。

设置第一管路71以提供第一水源供应器70的第一水源701至第二废水储存槽20，并设置第二管路83以提供第二水源供应器80的第二水源801至第二废水储存槽20，设置第三管路11以提供第一废水储存槽10的第一废水101至第一水洗处理室30，设置第四管路21以提供第二废水储存槽20的第二废水201至第二水洗处理室40，并设置第五管路81以连接第二水源供应器80至第二水洗处理室40。此外，设置第六管路73以连接第一水源供应器70至第一废水储存槽10。可设置第一控制阀90在第六管路73中，以控制第一水源701是否输送至第一废水储存槽10。设置第二控制阀91在第一管路71中，以控制第一水源701是否输送至第二废水储存槽20。设置第三控制阀92在第二管路83中，以控制第二水源801是否输送至第二废水储存槽20。设置第四控制阀93在第五管路81中，以控制第二水源801是否输送至第二水洗处理室40。设置第五控制阀94在第四管路21中，以控制第二废水201是否输送至第二水洗处理室40。

在步骤S403中，利用输送带承载目标物至第一水洗处理室30，并通过第三管路11使用来自第一废水储存槽10的第一废水101对目标物进行第一水洗处理。

接下来，在步骤S405中，利用所述的输送带承载目标物至第二水洗处理室40，可通过第四管路21使用来自第二废水储存槽20的第二废水201对目标物进行第二水洗处理，并且亦可通过第五管路81使用来自该第二水源供应器80的第二水源801对目标物进行第二水洗处理，其中第一水洗处理后的废水可通过设置第一排放管路31排出第一水洗处理室30至废水处理站(图中未示)，进行相关的废水处理程序，而第二水洗处理后的废水可通过设置第二排放管路41排出第二水洗处理室40至第二废水储存槽20，以再次回收使用并提升省水效率。

虽然本发明的实施例之一是以第一水源701为主要供给来源，第二水源801供给为辅的供水模式，也就是说以回收已使用过的水源作为洗净水供应系统200的主要供水来源，但是通过颗粒计数器(Particle Counter)检验水质可确保符合目前目标物制程(例如彩色滤光制程)的使用标准。举例来说，所述的颗粒计数器(图中未示)分别连接于过滤装置28(如图1所示)的两端，以分别取得过滤前的数据与过滤后的数据。取样时间为50分钟，并取样20次，符合目前彩色滤光片制程对于洗净水纯净度的要求(0.2μm的颗粒数量在5颗或以下)的标准。

综上所述，本发明的洗净水供应系统及其供应方法，可利用第一水源与第二水源其中之一作为洗净程序的主要供水来源，一但主要水源不足供应洗净程序的水源需求量时，则可通过调整预先设置于各管路中的控制阀的状态(例如，开启或关闭)，以切换第一水源与第二水源其中另一作为洗净程序的辅助供水来源，因此，本发明所提出的洗净水供应方式具有较佳的灵活度，相较于现有技术采用洗净水作为洗净程序的主要供水来源的方式，本发明亦可大幅提升省水效率。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可对本发明做出多种变化与修改，因此本发明的保护范围当以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (27)

1.一种洗净水供应系统，应用于洗净一输送带上所承载的一目标物，该洗净水供应系统包括：

一第一废水储存槽，用以储存一第一废水；

一第二废水储存槽，用以储存一第二废水，该第二废水储存槽通过一第一管路接收来自一第一水源供应器的一第一水源，以及该第二废水储存槽通过一第二管路使用来自一第二水源供应器的一第二水源，其中该第二废水储存槽的该第二废水可溢流至该第一废水储存槽；

一第一水洗处理室，通过一第三管路使用来自该第一废水储存槽的该第一废水对该目标物进行第一水洗处理；及

一第二水洗处理室，通过一第四管路使用来自该第二废水储存槽的该第二废水，该第二水洗处理室通过一第五管路使用来自该第二水源供应器的该第二水源，该第二水洗处理室在该第一水洗处理后对该目标物进行第二水洗处理。

2.如权利要求1所述的洗净水供应系统，其中该第一水洗处理室，通过一第一排放管路排出该第一水洗处理后的废水，而该第二水洗处理室，通过一第二排放管路排出该第二水洗处理后的废水至该第二废水储存槽。

3.如权利要求1所述的洗净水供应系统，其中还包括：

一第六管路，用以连接该第一水源供应器至该第一废水储存槽；

一第一控制阀，设置于该第六管路中；

一第二控制阀，设置于该第一管路中；

一第三控制阀，设置于该第二管路中；

一第四控制阀，设置于该第五管路中；及

一第五控制阀，设置于该第四管路中。

4.如权利要求3所述的洗净水供应系统，其中在该第一控制阀为关闭、该第二控制阀为关闭、该第三控制阀为关闭、该第四控制阀为开启、该第五控制阀为关闭时，该第一水源的水源需求量小于该第二水源的水源需求量。

5.如权利要求4所述的洗净水供应系统，其中在该第二水源的水源供给量不足供应该第二水源的水源需求量时，该第一控制阀变更为开启，以将该第一水源补充于该第一废水储存槽。

6.如权利要求3所述的洗净水供应系统，其中在该第一控制阀为关闭、该第二控制阀为开启、该第三控制阀为关闭、该第四控制阀为关闭与该第五控制阀为开启时，该第一水源的水源需求量大于该第二水源的水源需求量。

7.如权利要求6所述的洗净水供应系统，其中在该第一水源的水源供给量不足供应该第一水源的水源需求量时，该第三控制阀变更为开启，以将该第二水源补充于该第二废水储存槽。

8.如权利要求6所述的洗净水供应系统，其中在该第一水源的水源供给量不足供应该第一水源的水源需求量时，该第二控制阀变更为关闭、该第四控制阀变更为开启以及该第五控制阀变更为关闭。

9.如权利要求1所述的洗净水供应系统，其中该第一水源的纯净度低于该第二水源的纯净度，且该第一废水的纯净度低于该第二废水的纯净度。

10.如权利要求1所述的洗净水供应系统，其中该第一废水储存槽中设置有一第一传感器、低于该第一传感器的设置位置的一第二传感器、低于该第二传感器的设置位置的一第三传感器与低于该第三传感器的设置位置的一第四传感器，并且在该第一废水储存槽的第一废水液位低于该第三传感器时，使该第一水源供应至该第一废水储存槽。

11.如权利要求1所述的洗净水供应系统，其中该第一废水储存槽中设置有一第一传感器、低于该第一传感器的设置位置的一第二传感器、低于该第二传感器的设置位置的一第三传感器与低于该第三传感器的设置位置的一第四传感器，并且在该第一废水储存槽的第一废水的液位低于该第三传感器时，使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽。

12.如权利要求11所述的洗净水供应系统，其中使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽包括使该第一水源供应至该第二废水储存槽。

13.如权利要求11所述的洗净水供应系统，其中使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽包括使该第二水源供应至该第二废水储存槽。

14.一种洗净水供应方法，包括下列步骤：

设置一第一废水储存槽以储存一第一废水，以及设置一第二废水储存槽以储存一第二废水，其中该第二废水可溢流至该第一废水储存槽，设置一第一管路以提供一第一水源供应器的一第一水源至该第二废水储存槽，设置一第二管路以提供一第二水源供应器的一第二水源至该第二废水储存槽，设置一第三管路以提供该第一废水储存槽的该第一废水至一第一水洗处理室，设置一第四管路以提供该第二废水储存槽的该第二废水至一第二水洗处理室，设置一第五管路以提供该第二水源供应器的该第二水源至该第二水洗处理室；

利用一输送带承载一目标物至该第一水洗处理室，通过该第三管路使用来自该第一废水储存槽的该第一废水对该目标物进行第一水洗处理；及

利用该输送带承载该目标物至该第二水洗处理室，通过该第四管路使用来自该第二废水储存槽的该第二废水或通过该第五管路使用来自该第二水源供应器的该第二水源，以对该目标物进行第二水洗处理。

15.如权利要求14所述的洗净水供应方法，其中该第一水洗处理后的废水通过一第一排放管路排出该第一水洗处理室，该第二水洗处理后的废水通过一第二排放管路排出该第二水洗处理室至该第二废水储存槽。

16.如权利要求14所述的洗净水供应方法，其中还包括：

设置一第六管路，用以连接该第一水源供应器至该第一废水储存槽；

设置一第一控制阀于该第六管路中；

设置一第二控制阀于该第一管路中；

设置一第三控制阀于该第二管路中；

设置一第四控制阀于该第五管路中；及

设置一第五控制阀于该第四管路中。

17.如权利要求16所述的洗净水供应方法，其中在该第一水源的水源需求量小于该第二水源的水源需求量时，关闭该第一控制阀、关闭该第二控制阀、关闭该第三控制阀、开启该第四控制阀与关闭该第五控制阀。

18.如权利要求17所述的洗净水供应方法，其中在该第二水源的水源供给量不足供应该第二水源的水源需求量时，变更开启该第一控制阀，以将该第一水源补充于该第一废水储存槽。

19.如权利要求16所述的洗净水供应方法，其中该第一水源的水源需求量大于该第二水源的水源需求量时，关闭该第一控制阀、开启该第二控制阀、关闭该第三控制阀、关闭该第四控制阀以及开启该第五控制阀。

20.如权利要求19所述的洗净水供应方法，其中在该第一水源的水源供给量不足供应该第一水源的水源需求量时，变更开启该第三控制阀，以将第二水源补充于第二废水储存槽。

21.如权利要求19所述的洗净水供应方法，其中该第一水源的水源供给量不足供应该第一水源的水源需求量时，变更关闭该第二控制阀、变更开启该第四控制阀以及变更关闭该第五控制阀。

22.如权利要求14所述的洗净水供应方法，其中该第一水源的纯净度低于该第二水源的纯净度，且该第一废水的纯净度低于该第二废水的纯净度。

23.如权利要求14所述的洗净水供应方法，其中在该第一废水储存槽的第一废水的液位低于一允许液位时，使该第一水源供应至该第一废水储存槽。

24.如权利要求14所述的洗净水供应方法，其中在该第一废水储存槽的第一废水的液位低于一允许液位时，使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽。

25.如权利要求24所述的洗净水供应方法，其中使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽包括使该第一水源供应至该第二废水储存槽。

26.如权利要求24所述的洗净水供应方法，其中使该第二废水储存槽的该第二废水溢流至该第一废水储存槽包括使该第二水源供应至该第二废水储存槽。

27.如权利要求23或24所述的洗净水供应方法，其中该第一废水储存槽设置有一第一传感器、低于该第一传感器的设置位置的一第二传感器、低于该第二传感器的设置位置的一第三传感器与低于该第三传感器的设置位置的一第四传感器，并在该第一废水储存槽的第一废水的液位低于该第三传感器时为低于该允许液位。

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