CN102534767A - Na掺杂生长p型ZnO单晶薄膜的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开的Na掺杂生长p型ZnO单晶薄膜的方法,采用的是等离子体辅助分子束外延方法。将清洗处理后的衬底放入分子束外延设备中,衬底温度加热至400~600℃,将纯O2经过射频活化形成的氧等离子体作为O源,调节生长室压力为1×10-5~6×10-5Torr,以金属Zn源为反应源,固体NaF粉末为Na掺杂源,在衬底上生长p型ZnO单晶薄膜。采用本发明方法Na掺杂浓度易控,能有效保证薄膜的晶体质量,制备的p-ZnO薄膜为单晶薄膜,具有优异的电学性能、重复性和稳定性。
Description
技术领域
本发明涉及p型ZnO薄膜的生长方法,尤其是Na掺杂生长p型ZnO单晶薄膜的方法。
背景技术
制备性能优异的n型和p型ZnO单晶薄膜是实现ZnO在光电领域广泛应用的关键。目前,n型ZnO的研究已经比较充分,通过掺杂Al、Ga、In等施主元素,已经获得具有优异性能的n型ZnO单晶薄膜。然而,ZnO的p型掺杂却遇到诸多困难,这主要是由于受主掺杂元素在ZnO中的固溶度低,受主能级一般较深,而且ZnO本身存在着诸多本征施主缺陷(如锌间隙Zni和氧空位VO),对受主产生高度的自补偿效应。如何获得具有优异性能的p型ZnO单晶薄膜已成为目前制约ZnO基光电器件发展的一个瓶颈。
目前国际上报道p-ZnO的掺杂元素主要有V族元素N、P、As、Sb和I族元素Li、Na。其中V族元素掺杂存在的主要问题是:受主固溶度低,受主能级较深,p型传导的可重复性和稳定性较差。而I族元素相对V族元素,受主能级较浅。关于I族元素掺杂,目前采用的制备方法主要是磁控溅射和脉冲激光沉积。这两种方法制备的ZnO薄膜,均为多晶膜,晶体质量相对较差,本底电子浓度较高,严重影响了ZnO薄膜的p型转变和p型稳定性、重复性。考虑到金属有机化学气相沉积和分子束外延容易获得高质量ZnO薄膜,但金属有机化学气相沉积需采用高纯的有机源,目前市场上没有高纯的Na有机源,因此该技术无法生长Na掺杂ZnO薄膜;而分子束外延技术,是制备高纯度、高性能外延薄膜的优选,但目前还没有用这种技术进行过Na掺杂p型ZnO薄膜生长。本发明利用等离子体辅助分子束外延技术,采用高纯固体NaF粉末作为Na掺杂源,生长Na掺杂p型ZnO单晶薄膜。
发明内容
本发明的目的是克服目前p型ZnO掺杂所存在的问题,提供Na掺杂生长p型ZnO单晶薄膜的方法。
Na掺杂生长p型ZnO单晶薄膜的方法,采用的是等离子体辅助分子束外延方法,包括以下步骤:
将清洗处理后的衬底放入分子束外延设备中,衬底温度加热至400~600 ℃,将纯O2经过射频活化形成的氧等离子体作为O源,调节生长室压力为1×10-5~6×10-5 Torr;以金属Zn源为反应源,固体NaF粉末为Na掺杂源,调节Zn源温度260~350 ℃,调节Na源温度400~600 ℃;在衬底上生长Na掺杂p型ZnO单晶薄膜,生长结束后将薄膜在氧气氛下以小于等于5 ℃/min 的速率降温冷却至室温。
上述氧的纯度为99.9999 %以上,Zn的纯度为99.9998 %以上,NaF的纯度为 99.995 %以上。所说的衬底可以是ZnO体单晶或a面蓝宝石或c面蓝宝石。
本发明以经过射频活化的纯O2为O源,生长过程,Zn原子束流、Na离子束流与O等离子体发生反应,在衬底上沉积生成Na掺杂p型ZnO薄膜。
薄膜中Na掺杂浓度由Na源温度调节,生长时间由所需膜厚决定。
本发明的有益效果在于:
Na掺杂p型ZnO薄膜采用等离子体辅助分子束外延方法制备,有效保证了薄膜的晶体质量,p型掺杂浓度易控,制备的p-ZnO薄膜为单晶薄膜,具有优异的电学性能、重复性和稳定性。
附图说明
图1是Na掺杂p型ZnO单晶薄膜的x射线衍射(XRD)图谱。
图2是Na掺杂p型ZnO单晶薄膜的光致发光(PL)谱。
具体实施方式
实施例1
将a面蓝宝石衬底进行清洗处理后放入分子束外延设备,衬底温度加热至600 ℃,调节生长室压力为1×10-5 Torr,以经过射频活化的纯O2(纯度99.9999 %)为O源,活化O2的射频功率为350 W;金属Zn(纯度99.9998 %)源为反应源,调节Zn源加热温度300 ℃;固体NaF粉末(纯度99.995 %)为Na源,调节Na源加热温度450 ℃,在a面蓝宝石上生长Na掺杂p型ZnO单晶薄膜,生长时间为4 h,薄膜厚约为350 nm。生长结束后将薄膜在1×10-5 Torr的氧压下以5 ℃/min 的速率降温,冷却至室温。
制得的Na掺杂p型ZnO单晶薄膜具有优异的室温电学性能,电阻率为33.4 Ωcm, 空穴浓度达3.55×1016 cm-3,霍尔迁移率为5.27 cm2/V.s。并且放置数个月后电学性能无明显变化。
图1显示了上述薄膜的XRD图谱,从图中看出,除a面蓝宝石衬底的衍射峰外,只有ZnO的(002)和(004)衍射峰出现,且半高宽很小,表明薄膜具有优异的结晶性能。
图2所示是上述薄膜的室温PL谱。由图可见,ZnO带边峰很强、峰型对称,且观测不到缺陷峰,表明薄膜具有很好的光学性能。
实施例2
将ZnO体单晶衬底进行清洗处理后放入分子束外延设备,衬底温度加热至550 ℃,调节生长室压力为3×10-5 Torr,以经过射频活化的纯O2(纯度99.9999%)为O源,活化O2的射频功率为300 W;金属Zn(纯度99.9998 %)源为反应源,调节Zn源加热温度285 ℃;固体NaF粉末(纯度99.995 %)为Na源,调节Na源加热温度400 ℃,在ZnO体单晶上生长Na掺杂p型ZnO单晶薄膜,生长时间为6 h,薄膜厚约为450 nm。生长结束后将薄膜在3×10-5 Torr的氧压下以3 ℃/min 的速率降温,冷却至室温。
制得的Na掺杂p型ZnO单晶薄膜具有优异的室温电学性能,电阻率为52.8 Ωcm, 空穴浓度达1.55×1016 cm-3,霍尔迁移率为7.6 cm2/V.s。并且放置数个月后电学性能无明显变化。
实施例3
将c面蓝宝石衬底进行清洗处理后放入分子束外延设备,衬底温度加热至400 ℃,调节生长室压力为6×10-5 Torr,以经过射频活化的纯O2(纯度99.9999%)为O源,活化O2的射频功率为350 W;金属Zn(纯度99.9998 %)源为反应源,调节Zn源加热温度290 ℃;固体NaF粉末(纯度99.995 %)为Na源,调节Na源加热温度500 ℃,在c面蓝宝石上生长Na掺杂p型ZnO单晶薄膜,生长时间为2 h,薄膜厚约为160 nm。生长结束后将薄膜在6×10-5 Torr的氧压下以5 ℃/min 的速率降温,冷却至室温。
制得的Na掺杂p型ZnO单晶薄膜具有优异的室温电学性能,电阻率为45.4 Ωcm, 空穴浓度达1.29×1017 cm-3,霍尔迁移率为1.07 cm2/V.s。并且放置数个月后电学性能无明显变化。
Claims (3)
1. Na掺杂生长p型ZnO单晶薄膜的方法,其步骤如下:
将清洗处理后的衬底放入分子束外延设备中,衬底温度加热至400~600 ℃,将纯O2经过射频活化形成的氧等离子体作为O源,调节生长室压力为1×10-5~6×10-5 Torr;以金属Zn源为反应源,固体NaF粉末为Na掺杂源,调节Zn源温度260~350 ℃,调节Na源温度400~600 ℃;在衬底上生长Na掺杂p型ZnO单晶薄膜,生长结束后将薄膜在氧气氛下以小于等于5 ℃/min 的速率降温冷却至室温。
2. 根据权利要求1所述的Na掺杂生长p型ZnO单晶薄膜的方法,其特征是氧的纯度为99.9999 %以上,Zn的纯度为99.9998 %以上,NaF的纯度为 99.995 %以上。
3. 根据权利要求1所述的Na掺杂生长p型ZnO单晶薄膜的方法,其特征是所说的衬底是ZnO体单晶或a面蓝宝石或c面蓝宝石。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104332540A (zh) * | 2014-11-06 | 2015-02-04 | 浙江大学 | 一种制备高发光性能p型ZnO薄膜的方法 |
CN104451867B (zh) * | 2014-11-19 | 2017-11-24 | 浙江大学 | 一种制备高质量ZnMgBeO薄膜的方法 |
CN111334856A (zh) * | 2020-02-18 | 2020-06-26 | 浙江大学 | 用等离子体辅助分子束外延以准范德华外延生长高质量ZnO单晶薄膜的方法 |
CN114717657A (zh) * | 2022-03-18 | 2022-07-08 | 南京大学 | 基于等离子体辅助激光分子束外延生长氧化镍单晶薄膜的方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102185049A (zh) * | 2011-04-22 | 2011-09-14 | 浙江大学 | ZnO基发光器件的制备方法 |
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102185049A (zh) * | 2011-04-22 | 2011-09-14 | 浙江大学 | ZnO基发光器件的制备方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
PING DING ET AL: "Growth of p-type a-plane ZnO thin films on r-plane sapphire substrates by plasma-assisted molecular beam epitaxy", 《MATERIALS LETTERS》 * |
R.SAKDANUPHAB ET AL: "Growth characteristics of Cu(In,Ga)Se2 thin films using 3-stage deposition process with a NaF precursor", 《JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH》 * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104332540A (zh) * | 2014-11-06 | 2015-02-04 | 浙江大学 | 一种制备高发光性能p型ZnO薄膜的方法 |
CN104332540B (zh) * | 2014-11-06 | 2017-06-23 | 浙江大学 | 一种制备高发光性能p型ZnO薄膜的方法 |
CN104451867B (zh) * | 2014-11-19 | 2017-11-24 | 浙江大学 | 一种制备高质量ZnMgBeO薄膜的方法 |
CN111334856A (zh) * | 2020-02-18 | 2020-06-26 | 浙江大学 | 用等离子体辅助分子束外延以准范德华外延生长高质量ZnO单晶薄膜的方法 |
CN111334856B (zh) * | 2020-02-18 | 2021-08-06 | 浙江大学 | 用等离子体辅助分子束外延以准范德华外延生长高质量ZnO单晶薄膜的方法 |
CN114717657A (zh) * | 2022-03-18 | 2022-07-08 | 南京大学 | 基于等离子体辅助激光分子束外延生长氧化镍单晶薄膜的方法 |
CN114717657B (zh) * | 2022-03-18 | 2023-08-22 | 南京大学 | 基于等离子体辅助激光分子束外延生长氧化镍单晶薄膜的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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