CN102468157A - 一种高k栅介质的刻蚀方法 - Google Patents
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Abstract
一种高K栅介质的刻蚀方法:1)在硅衬底上依次形成界面SiO2/高K栅介质/金属栅/多晶硅/硬掩膜叠层栅结构,对于后栅工艺,栅结构中没有金属栅这一层,其余同先栅工艺;2)光刻形成胶图形。3)刻蚀硬掩膜,终止在多晶硅上;4)去胶后刻蚀多晶硅,对于前极工艺终止在金属栅上,对后栅工艺,刻蚀终止在高K栅介质上;5)对于先栅工艺,刻蚀金属栅终止在高K栅介质上;6)刻蚀高K栅介质,终止在硅衬底上。本发明采用BCl3反应离子刻蚀辅以Ar离子轰击,不仅可以获得陡直的刻蚀剖面,不留残余,而且对硅衬底具有优良的刻蚀选择比,不产生损伤。与CMOS工艺兼容性好,成本低。
Description
技术领域
本发明属于纳米半导体技术领域,特别是指一种在先栅工艺金属栅/高K(高介电常数)栅介质叠层结构中高K栅介质的刻蚀去除方法,以及在后栅工艺高K栅介质在先的工艺中,高K栅介质的刻蚀去除方法。本发明适合在45nm及以下技术代互补型金属氧化物半导体(CMOS)器件和电路中应用。
背景技术
当CMOS特征尺寸缩小到45nm及以下时,由于常规超薄的SiON栅介质严重的直接隧穿漏电流已无法应用,采用高K栅介质已势在必行,因为高K栅介质在同样的等效氧化物厚度(EOT)下有较厚的物理厚度,所以可以大幅度降低栅极漏电流。但常规的多晶硅栅极与高K不兼容,所以必须采用金属栅极,以消除费米钉扎和多晶硅耗尽效应,减小栅电阻。金属栅/高K结构应用到器件制备中去,刻蚀难度较大,特别是高K介质的刻蚀,不仅要各向异性剖面好,要刻干净、无残留,而且对衬底Si要求有很高的刻蚀选择比,对硅衬底不产生损伤。Cl2和F基气体都不能满足要求,我们采用BCl3反应离子刻蚀辅以Ar离子轰击,获得成功。这是由于BCl3等离子体可刻蚀金属氧化物,其中的氧可以通过形成挥发性的BOCl反应产物而除去,同时在硅衬底表面形成起钝化作用的B-Si键,提高了对硅衬底的刻蚀选择比。
发明内容
本发明目的在于提供一种高K栅介质的的高选择比刻蚀方法,以改进公知技术中存在的缺陷。
为实现上述目的,本发明提供的高K栅介质的刻蚀方法,对于后栅工艺,主要步骤为:
步骤1)在器件隔离形成后,在硅衬底上依次形成界面SiO2/Hf基高K栅介质/多晶硅/硬掩膜的叠层栅结构;
步骤2)光刻形成胶图形;
步骤3)刻蚀硬掩膜,终止在多晶硅上;
步骤4)去胶后刻蚀多晶硅,刻蚀终止在Hf基高K栅介质上;
步骤5)采用BCl3/Ar的混合气体反应离子刻蚀Hf基高K栅介质,终止在硅衬底上。
本发明提供的高K栅介质的刻蚀方法,对于先栅工艺,主要步骤为:
步骤1)在器件隔离形成后,在硅衬底上依次形成界面SiO2/Hf基高K栅介质/金属栅/多晶硅/硬掩膜的叠层栅结构;
步骤2)光刻形成胶图形;
步骤3)刻蚀硬掩膜,终止在多晶硅上;
步骤4)去胶后刻蚀多晶硅,终止在金属栅上;
步骤5)刻蚀金属栅,终止在Hf基高K栅介质上;
步骤6)采用BCl3/Ar的混合气体反应离子刻蚀Hf基高K栅介质,终止在硅衬底上。
所述的刻蚀方法,其中的金属栅是金属氮化物或掺杂的难熔金属,如:TaN、TiN、TaC、TaCN、TiAlN、TiGaN或MoAlN等。
所述的刻蚀方法,其中的Hf基高K栅介质是Hf基掺杂氧化物,如:HfO2、HfSiON、HfLaO、HfLaON、HfAlON或HfAlSiON。
所述的刻蚀方法,其中的硬掩膜是SiO2、Si3N4或其叠层构成。
所述的刻蚀方法,其中刻蚀硬掩膜是采用氟基反应离子刻蚀,如:CF4、CHF3或及其组合。
所述的刻蚀方法,其中刻蚀多晶硅是采用Cl2/HBr的反应离子刻蚀。
所述的刻蚀方法,其中刻蚀金属栅是采用Cl基反应离子刻蚀,如BCl3/Cl2/Ar、BCl3/Cl2/SF6/Ar等混合气氛的反应离子刻蚀。
所述的刻蚀方法,其中Hf基高K栅介质的刻蚀条件为:BCl3流量20-120sccm,Ar流量10-60sccm;刻蚀功率上电极功率120-400W,下电极功率40-250W;腔体压力3-10mτ;腔体温度60-200℃。
本发明不仅可以获得陡直的刻蚀剖面,不留残余,而且对硅衬底具有优良的刻蚀选择比,不产生损伤。与CMOS工艺兼容性好,成本低。
附图说明
图1为硬掩膜/多晶硅/TaN金属栅/HfSiON高K栅介质/界面SiO2结构中HfSiON高K栅介质刻蚀后的SEM剖面照片。其中主要标号是:
1-SiO2硬掩模,2-多晶硅,3-TaN金属栅/HfSiON高K栅介质/界面SiO2,4-硅衬底。
图2为上述叠层栅结构刻蚀后的X光电子能谱(XPS)分析图,其中主要标号是:
A为刻蚀TaN金属栅后的XPS分析图;
B为刻蚀TaN金属栅后紧接着进行HfSiON高K栅介质刻蚀(即为过刻程序)后的XPS分析图。
具体实施方式
本发明的高K栅介质的高选择比刻蚀方法,其主要的步骤为:
步骤1)在器件隔离形成后,对于后栅工艺,在硅衬底上依次形成:界面SiO2/Hf基高K栅介质/多晶硅/硬掩模的叠层栅结构。对于先栅工艺,在硅衬底上依次形成:界面SiO2/Hf基高K栅介质/金属栅/多晶硅/硬掩模的叠层栅结构。
其中Hf基高K栅介质为Hf基掺杂氧化物,如HfO2、HfSiON、HfLaO、HfLaON、HfAlON或HfAlSiON等;金属栅为金属氮化物或掺杂的难熔金属,如TaN、TiN、TaC、TaCN、TiAlN、TiGaN或MoAlN等;硬掩膜为SiO2、Si3N4或其组合。
步骤2)光刻形成胶图形。
步骤3)刻蚀硬掩膜,采用氟基反应离子刻蚀,如CF4、CHF3或及其组合,终止在多晶硅上。
步骤4)去胶后,刻蚀多晶硅,采用(Cl2/HBr)混合气体中的反应离子刻蚀,对于先栅工艺刻蚀终止在金属栅上,对于后栅工艺,刻蚀终止在Hf基高K栅介质上。
步骤5)对于先栅工艺需刻蚀金属栅,采用Cl基反应离子刻蚀,如BCl3/Cl2/Ar、BCl3/Cl2/SF6/Ar等混合气体中的反应离子刻蚀,终止在Hf基高K栅介质上。
步骤6)Hf基高K栅介质的刻蚀:采用BCl3/Ar混合气体的反应离子刻蚀,BCl3流量20-100sccm,Ar流量10-60sccm;刻蚀功率上电极功率120-400W,下电极功率40-250W;腔体压力3-10mτ;腔体温度60-200℃。
以下所举实例只用于解释本发明,并非限定本发明的范围。
步骤1)在器件隔离形成后,对于后栅工艺,在硅衬底上依次形成:界面SiO2/HfSiON高K栅介质/多晶硅/SiO2硬掩模的叠层栅结构;对于先栅工艺,在硅衬底上依次形成:界面SiO2/HfSiON高K栅介质/TaN金属栅/多晶硅/SiO2硬掩模的叠层栅结构。
步骤2)光刻形成胶图形
步骤3)刻蚀硬掩膜,采用CF4/CHF3混合气体的反应离子刻蚀,终止在多晶硅上。
步骤4)去胶后,刻蚀多晶硅,采用(Cl2/HBr)混合气体中的反应离子刻蚀,对于先栅工艺刻蚀终止在TaN金属栅上,对于后栅工艺,刻蚀终止在Hf基高K栅介质上。
步骤5)对于先栅工艺需刻蚀金属栅,采用Cl基反应离子刻蚀,如BCl3/Cl2/Ar、BCl3/Cl2/SF6/Ar等混合气体中的反应离子刻蚀,终止在Hf基高K栅介质上。
步骤6)Hf基高K栅介质的刻蚀:采用BCl3/Ar混合气体的反应离子刻蚀,BCl3流量20-100sccm,Ar流量10-60sccm;刻蚀功率上电极功率120-400W,下电极功率40-250W;腔体压力3-10mτ;腔体温度60-200℃。
图1所示是硬掩膜/多晶硅/TaN金属栅/HfSiON高K栅介质/界面SiO2结构中HfSiON高K栅介质采用BCl3/Ar混合气体的反应离子刻蚀后的SEM剖面照片。由图1可见,其剖面陡直,没有硅衬底的损伤发生,这是因为反应生成的B-Si键的钝化作用,提高了刻蚀选择比所致。
图2中A为刻蚀TaN金属栅后的XPS分析图,可见很强的Hf4f特征峰;B为刻蚀TaN金属栅后紧接着进行HfSiON高K栅介质刻蚀(即为过刻程序)后的XPS分析图,Hf4f元素已不存在,表明HfSiON高K栅介质已刻干净了。
Claims (10)
1.一种高K栅介质的刻蚀方法,主要步骤为:
步骤1)在器件隔离形成后,在硅衬底上依次形成界面SiO2/Hf基高K栅介质/多晶硅/SiO2硬掩膜的叠层栅结构;
步骤2)光刻形成胶图形;
步骤3)刻蚀硬掩膜,终止在多晶硅上;
步骤4)去胶后刻蚀多晶硅,刻蚀终止在Hf基高K栅介质上;
步骤5)采用BCl3/Ar的混合气体反应离子刻蚀Hf基高K栅介质,终止在硅衬底上。
2.一种高K栅介质的刻蚀方法,主要步骤为:
步骤1)在器件隔离形成后,在硅衬底上依次形成界面SiO2/Hf基高K栅介质/金属栅/多晶硅/硬掩膜的叠层栅结构;
步骤2)光刻形成胶图形;
步骤3)刻蚀硬掩膜,终止在多晶硅上;
步骤4)去胶后刻蚀多晶硅,终止在金属栅上;
步骤5)刻蚀金属栅,终止在Hf基高K栅介质上;
步骤6)采用BCl3/Ar的混合气体反应离子刻蚀Hf基高K栅介质,终止在硅衬底上。
3.根据权利要求2所述的刻蚀方法,其中,步骤1)中的金属栅是金属氮化物或掺杂的难熔金属。
4.根据权利要求1或2所述的刻蚀方法,其中,步骤1)中Hf基高K栅介质是Hf基掺杂氧化物。
5.根据权利要求1或2所述的刻蚀方法,其中,步骤1)中的硬掩膜是SiO2、Si3N4或其叠层构成。
6.根据权利要求1或2所述的刻蚀方法,其中,步骤3)中刻蚀硬掩膜是采用氟基反应离子刻蚀。
7.根据权利要求1或2所述的刻蚀方法,其中,步骤4)中刻蚀多晶硅是采用Cl2/HBr的反应离子刻蚀。
8.根据权利要求2所述的刻蚀方法,其中,步骤5)中刻蚀金属栅是采用Cl基反应离子刻蚀。
9.根据权利要求8所述的刻蚀方法,其中,Cl基反应离子刻蚀是BCl3/Cl2/Ar或BCl3/Cl2/SF6/Ar混合气氛的反应离子刻蚀。
10.根据权利要求1或2所述的刻蚀方法,其中,Hf基高K栅介质的刻蚀条件为:BCl3流量20-120sccm,Ar流量10-60sccm;刻蚀功率上电极功率120-400W,下电极功率40-250W;腔体压力3-10mτ;腔体温度60-200℃。
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