CN102460938B - 压电致动器和音频部件 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种压电致动器和音频部件。本发明的一个目的是增加压电致动器的振幅和/或使压电致动器的振幅与频率的相关性平坦化。压电致动器(100)具有第一压电振动器(102)、第二压电振动器(104)和振动膜(106)。第一压电振动器(102)包括第一基座(116)和连接到第一基座(116)的第一压电元件(112)。第二压电振动器(104)包括第二基座(118)和连接到第二基座(118)的第二压电元件(114)。振动膜(106)具有开口(108)。第一压电振动器(102)横跨振动膜(106)的开口(108)并连接到振动膜(106)的一个表面。第二压电振动器(104)横跨振动膜(106)的开口(108)并连接到振动膜(106)的另一个表面。

Description

压电致动器和音频部件

技术领域

本发明涉及一种包括两个压电振动器的压电致动器和音频部件。

背景技术

近年来，需要一种比电磁致动器小并且更省电的致动器，并且已经研制了一种包括作为振动源的压电元件的压电致动器。压电致动器通过压电元件的移动产生机械振动。压电致动器可以被用作音频部件，例如用于移动装置的振动器和扬声器。

然而，具有压电元件的刚度通常较高并且压电致动器的振幅小于电磁致动器的振幅的问题。为了解决此问题，在以下专利文献1-5中公开了用于增加压电致动器的振幅的技术。

专利文献2公开了一种包括通过连接弹性体和压电元件形成的振动体(基座)的压电致动器。在这种压电致动器中，弹性体的周边由具有接近压电元件的共振频率的共振频率的弹簧结构支撑。在专利文献3中所述的压电致动器中，缝隙形成在与压电元件连接的弹性体(基座)中，因此，弹性体的振幅被放大。

在专利文献4中，已经公开了一种包括压电致动器的音频装置。在这种压电致动器中，通过连接压电元件和振动膜片(基座)形成的压电振动器的周边固定到环形支撑构件的内周边。另外，支撑构件的外周边固定到壳体。支撑构件的内周边与外周边之间的部分被弯曲。压电致动器可以通过借助弯曲的支撑构件将基座连接到壳体而在垂直于振动膜片的板表面的方向和平行于振动膜片的板表面的方向上振动。

在专利文献5中所述的压电致动器中，压电元件连接到一个限制构件(基座)的两个表面。压电元件受到限制构件的限制。多个梁状构件形成在限制构件的外周边上，并且这些梁状构件固定到支撑构件。

另外，压电致动器的压电振动器被分类成双压电晶片型振动器和单压电晶片型振动器，在所述双压电晶片型振动器中，压电元件连接到一个基座的两个表面，在所述单压电晶片型振动器，压电元件仅连接到一个基座的一个表面。在专利文献1、2、4和5中，已经公开了双压电晶片型压电振动器。通常，双压电晶片型压电振动器相对于单压电晶片型压电振动器具有较高的驱动力和较大的振幅。

图1是典型的双压电晶片型压电致动器的示意性分解立体图。压电致动器3200具有由压电陶瓷构成的压电元件3212、与压电元件3212连接的基座3216和支撑基座3216的框架形支撑主体3210。基座3216为板状形状，并且基座的外周边由支撑主体3210支撑。

图2是示意性地显示压电致动器3200的振动状态的示意图。当AC(交流)电压施加到压电元件3212时，所述压电元件执行膨胀和收缩运动。由于压电元件3212连接到基座3216，因此基座3216根据压电元件3212的膨胀和收缩运动在垂直于所述基座的主表面的方向R上弯曲，如图2所示。以上述方式，基座3216在与支撑主体3210的连接部被设定为固定端而基座3216的中央部分被设定为隆腹形(belly)的状态下在垂直于基座的板表面的方向R上振动。

假设专利文献1-3中所述的压电致动器主要被用作振动器。即，在专利文献1-3中所述的压电致动器中，没有改进诸如音频部件的特征。

在压电致动器用作振动器的情况下，压电致动器的振幅可能仅在特定的频率下较大。然而，在使用压电致动器作为音频部件的情况中，压电致动器的频率特性是重要的。对于音频部件理想的是不仅具有高声压级，而且还具有声压级的平坦的频率相关性以如实地再现原声。理想的是声压级的频率相关性在声频区(尤其在100Hz到10kHz的频带中)变平。

在包括压电振动器的音频部件中，双压电晶片型压电振动器广泛地用于确保压电振动器的驱动力并提高声压级。然而，双压电晶片型压电振动器具有高于单压电晶片型压电振动器的刚度，而由于此，压电致动器的振幅的频率在共振频率附近会极大地变化。

在专利文献4中所述的压电致动器中，由于压电振动器没有牢固地固定到壳体，因此压电致动器的振幅的频率变化是平坦的。然而，由于在压电致动器的振动膜片中在振动膜片的径向方向上使用能量进行振动，因此振动膜片的厚度方向上的振幅变低。因此，具有当该压电致动器被用作音频部件时声压级下降的问题。

专利文献5中的发明旨在提供一种其中振幅较大并且可以调节共振频率同时避免外形尺寸增加的压电致动器。然而，为了更高的性能，理想的是在低频带中提高声压级并使振幅的频率特性平坦化。

另外，当压电致动器用作音频部件时，如上所述，期望进一步改进压电致动器以实现声压级的提高并使声压级的频率特性平坦化。

另外需要一种压电致动器，所述压电致动器易于调节振动特性并且具有高度设计自由度使得压电致动器可以提供各种应用，例如被用作振动器，而不是仅用作音频部件。

引用列表

专利文献：

专利文献1：JP61-168971A

专利文献2：JP2000-140759A

专利文献3：JP2001-17917A

专利文献4：JP2001-339791A

专利文献5：WO2008/084806

发明内容

本发明的目的是提供一种可以解决背景技术中的上述问题中的至少一个的压电致动器和音频部件。所述目的的一个示例实现了振幅的增加和/或振幅的频率相关性的平坦化。

本发明的一个方面的压电致动器具有第一压电振动器、第二压电振动器和振动膜。第一压电振动器包括第一基座和连接到第一基座的第一压电元件。第二压电振动器包括第二基座和连接到第二基座的第二压电元件。振动膜具有开口。第一压电振动器横跨振动膜的开口连接到振动膜的一个表面。第二压电振动器横跨振动膜的开口连接到振动膜的另一个表面。

另外，本发明的一个方面的音频部件具有上述压电致动器，并且通过压电致动器的弯曲振动发出声音。

根据本发明，可以获得压电致动器的振幅的增加并使振幅的频率相关性平坦化。

附图说明

本发明的上述及其它目的、特征和优点将从以下参照附图的例示本发明的说明中变得清楚：

图1是作为关于本发明的比较示例的压电致动器的示意性分解立体图；

图2是用于显示图1的压电致动器的振动状态的示意图；

图3是根据示例性实施例1的压电致动器的示意性分解立体图；

图4是根据示例性实施例1的压电致动器的示意性横截面图；

图5是显示压电致动器的压电元件的一个示例的示意图；

图6是显示压电致动器的压电元件的另一个示例的示意图；

图7是显示用于独立控制第一压电振动器和第二压电振动器的结构的示意图；

图8是根据压电致动器的一个修改示例的示意性横截面图；

图9是根据压电致动器的另一个修改示例的示意性横截面图；

图10是根据压电致动器的另一个修改示例的示意性横截面图；

图11是根据压电致动器的又一个修改示例的示意性横截面图；

图12是显示压电致动器的基座的一个修改示例的示意性平面图；

图13是显示压电致动器的基座的另一个修改示例的示意性平面图；

图14是显示压电致动器的基座的另一个修改示例的示意性平面图；

图15是显示压电致动器的基座的又一个修改示例的示意性平面图；

图16是显示压电振动器的一个修改示例的示意性立体图；

图17是根据示例性实施例2的压电致动器的示意性横截面图；

图18是根据示例性实施例3的压电致动器的示意性横截面图；

图19是根据示例性实施例4的压电致动器的示意性横截面图；

图20是根据示例性实施例5的压电致动器的示意性横截面图；

图21是根据示例性实施例6的压电致动器的示意性横截面图；

图22是根据示例性实施例7的压电致动器的示意性分解立体图；

图23是用于显示根据示例性实施例7的压电致动器的第一基座的形状的示意图；

图24是根据示例性实施例8的压电致动器的示意性分解立体图；

图25是用于显示根据示例性实施例8的压电致动器的第一基座的形状的示意图；

图26是根据示例性实施例9的压电致动器的示意性分解立体图；

图27是根据示例性实施例10的压电致动器的示意性分解立体图；

图28是根据示例性实施例11的压电致动器的示意性分解立体图；

图29是根据示例性实施例12的压电致动器的示意性分解立体图；

图30是根据示例性实施例13的压电致动器的示意性分解立体图；

图31是根据示例性实施例14的压电致动器的示意性分解立体图；

图32是根据示例性实施例15的压电致动器的示意性分解立体图；以及

图33是根据示例性实施例17的压电致动器的示意性分解立体图。

具体实施方式

以下，参照附图说明示例性实施例。本发明的压电致动器可以适当地例如用于振动器、音频部件等。

图3是根据第一示例性实施例的压电致动器的示意性分解立体图，而图4是该压电致动器的示意性剖横截面图。

压电致动器100具有第一压电振动器102、第二压电振动器104、振动膜106和支撑振动膜106的支撑主体110。第一压电振动器102包括第一基座116和连接到第一基座116的第一压电元件112。第二压电振动器104包括第二基座118和连接到第二基座118的第二压电元件114。第一压电元件112和第二压电元件114用作压电振动器102和104的振动源。

第一压电振动器102的第一基座116横跨振动膜106的开口108连接到振动膜106的一个表面。第二压电振动器104的第二基座118横跨振动膜106的开口108连接到振动膜106的另一个表面。应当注意在本示例性实施例中，连接到第一基座116和第二基座118的第一压电元件112和第二压电元件114指向振动膜106的相对侧。

第一压电振动器102和第二压电振动器104没有直接相互连接，而是第一压电振动器102和第二压电振动器104通过振动膜106彼此相对。由于第一压电振动器102和第二压电振动器104横跨振动膜106的开口108，因此限制第一压电振动器和第二压电振动器的力较弱。因此，与其中压电振动器连接到一个基座的两个表面的双压电晶片型压电致动器(参照图1)相比较，第一压电振动器102和第二压电振动器104的机械约束力受到抑制，并且压电致动器的整个结构的刚度下降。因此，压电致动器的振幅提高，并且振幅的频率相关性可以被平坦化。

以下，其中图1所示的压电振动器连接到一个基座的两个表面的双压电晶片型压电致动器被作为比较示例的压电致动器。

优选的是振动膜106的刚度低于第一基座116和第二基座118的刚度。因此，振动膜106具有进一步增加压电致动器100的振幅的功能。进一步地，当振动膜106的刚度低时，压电振动器102和104的振动在宽频率范围内被有效地传递到振动膜106。因此，振幅的水平也在共振频率附近的频带中增加，因此，压电致动器100的振幅的频率变化被平坦化。

进一步地，由于两个压电振动器102和104连接到一个振动膜106，因此大的驱动力被供应给振动膜106。因此，所述示例性实施例的压电致动器可以在宽频带中获得足够大的振幅。

振动膜106的开口108的直径小于基座116和118的直径，以便连接振动膜106以及基座116和118。另外，优选的是振动膜106的开口108的尺寸不小于基座116和118的尺寸的一半，以便减小其中基座116和118以及振动膜106相互直接连接的区域的面积的大小。因此，可以进一步减小第一压电振动器102与第二压电振动器104之间的机械约束力。

在示例性实施例1中，压电元件102和104以及基座116和118为圆盘形状。振动膜106是圆形膜，并且圆形开口108形成在所述圆形膜的中央。压电元件112和114、基座116和118以及振动膜106被布置成同心图案，从而使得所述压电元件112和114、基座116和118以及振动膜106的中心彼此相对应。振动膜106的外周边连接到形成为圆形框架形状的支撑主体110并受到所述支撑主体110的支撑。在该示例性实施例中，振动膜106的外周边由两个框架形支撑主体110夹在中间，因此振动膜106被支撑主体110支撑。

接下来，参照图5说明压电元件112和114的结构的一个示例。压电元件112和114由板状压电主体130和形成在压电主体130的两个表面上的电极层132构成。施加AC电压的电源136与电极层132电连结，因此AC电场被施加到压电主体130。压电主体130具有当施加电场时变形(膨胀和收缩以及切变)的特性。

对可以用于压电主体130的材料没有特定限制，并且所述材料可以是诸如锆钛酸铅陶瓷和钛酸钡陶瓷的陶瓷或诸如聚偏二氟乙烯的聚合物材料。优选的是，压电主体130由上述材料中的具有高能量转换效率的锆钛酸铅陶瓷构成。

虽然对压电元件112和114的形状没有特定限制，但是优选的是压电元件112和114为板状形状，且具有不小于20μm且不超过200μm的厚度。优选的是压电元件112和114在压电元件112和114与基座116和118之间的连接表面中的面积不超过基座116和118的面积，使得压电元件112和114的整个一个表面都连接到基座。

虽然对压电主体130的极化方向P没有特定限制，但是在该示例性实施例中，极化方向P是板状压电主体130的厚度方向。当将AC电压施加到电极层132时，AC电场被施加到压电元件112和114。当压电元件112和114没有连接到基座116和118时，压电元件112和114由于AC电场在径向方向上反复膨胀和收缩。换句话说，压电元件112和114重复其中主表面膨胀的第一变形模式和其中主表面收缩的第二变形模式。

基座116和118由板状弹性体构成，其中所述板状弹性体即使施加电场也几乎不变形。因此，基座116和118限制压电元件112和114。因此，压电元件112和114的膨胀和收缩被转换成垂直于板状压电元件112和114的板表面的方向Q的弯曲(变形)动作。即，当施加电场时，压电振动器102和104由于压电元件112和114与基座116和118之间的变形量的差而在垂直于板表面的方向Q上弯曲(还参照图4)。因此，AC电场被施加到压电主体130，因此压电振动器102和104在垂直于振动膜106的膜表面的方向Q上振动。

压电元件不限于图5中所示的结构，而是可以具有任意结构。例如，压电元件可以是通过如图6所示使压电主体130和电极层132交替堆叠而形成的元件。在这种情况下，优选的是彼此相邻的压电主体130的极化方向P1和P2被构造成相互相反。

第一压电元件102和第二压电元件104可以具有相同的结构，或者可以具有不同的结构。压电元件112和114以及基座116和118在该示例性实施例中为圆盘形状。虽然支撑主体110在图3中具有圆形框架形状，但是支撑主体的形状没有特定限制，而是支撑主体可以例如为方形、矩形或椭圆框架形状。

形成基座116和118的材料根据期望的刚度选自金属材料或树脂材料等。对于金属材料，例如，使用铝合金、铜合金、铁、铁合金、钛或钛合金。对于树脂材料，例如，使用环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯或氨基甲酸乙酯。

应当注意对于用于连接压电致动器100的每一个部件的连接材料，例如，可以使用环氧树脂粘合剂。对粘合层的厚度没有特定限制。然而，当粘合层太厚时，压电致动器100的刚度和被粘合层吸收的振动能量的量增加，因此可能会降低振幅。因此，优选的是粘合层的厚度例如不超过20μm。

形成振动膜106的材料可以是树脂材料或金属材料。对于用于振动膜106的树脂材料，包括例如环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯或氨基甲酸乙酯。对于用于振动膜106的金属材料，包括例如铝合金、铜合金、铁、铁合金、钛或钛合金。

各种组合可以被视为基座116和118的材料和振动膜106的材料的组合。例如，基座116和118可以由金属材料构成，而振动膜106可以由树脂材料构成，基座116和118以及振动膜106都可以由树脂材料或金属材料构成。可选地，基座116和118以及振动膜106可以由相同的材料构成，并且振动膜106的膜厚度可以比基座116和118的膜厚度薄。在这种情况下，振动膜106的刚度可以变得低于基座116和118的刚度。

当振动膜106由树脂材料构成时，优选的是振动膜106的厚度例如不小于5μm且不超过500μm。具体地，当振动膜106为平坦薄片形状时，优选的是振动膜106的厚度不小于5μm且不超过180μm。

在比较示例的压电致动器的情况下(参照图1)，两个压电元件3212通过基座机械地相互限制。因此，通常，两个压电元件3212被相同的电压驱动。然而，由于在示例性实施例中用于限制第一压电振动器102和第二压电振动器104的力较弱，因此施加到第一压电元件112的AC电压和施加到第二压电元件114的AC电压的幅度、频率等可以彼此不同。根据压电致动器100的应用适当地选择AC电压的调节。

图7是被构造成使得第一压电振动器102和第二压电振动器104可以独立控制的压电致动器的示意图。该压电致动器包括作为驱动第一压电振动器102的第一驱动装置的第一电源502、和作为驱动第二压电振动器104的第二驱动装置的第二电源504。因此，第一压电振动器102和第二压电振动器104可以被独立驱动，并且还可以设置具有复合振动特性的压电致动器。

如上所述，可以通过独立地驱动两个压电振动器来提供具有高度设计自由度的压电致动器。另外，优选的是压电致动器还具有根据期望特性独立控制第一电源502和第二电源504的电源的控制装置506，例如，CPU。

此外，当为脆性材料的陶瓷用作压电主体时，压电元件由于诸如掉落的撞击而可能被损坏。由于使用者通常在使用时可能会偶然掉落移动电子装置，因此要考虑的是使用陶瓷材料的压电致动器不适于移动电子装置。

在本示例性实施例的压电致动器中，第一基座116和第二基座118通过具有低于基座116和118的刚度的刚度的振动膜106由支撑主体110进行支撑。因此，即使压电致动器100受到撞击，由于冲击力被振动膜106吸收，因此也能够降低压电元件112和114损坏的可能性。因此，本示例性实施例的压电致动器100还可以适当地用于移动电子装置。

根据上述示例性实施例的压电致动器100还可以适当地用作安装在诸如移动电话、笔记本个人电脑和小型游戏机的电子装置上的音频部件。

当压电致动器用作发出声音的音频部件时，传统地，有机膜等连接到压电致动器通常弯曲和振动的诸如基座的部分。该有机膜用作发出声音的表面。

在根据本示例性实施例的压电致动器中，振动膜106可以形成为用作发出声音的表面。即，在本示例性实施例的压电致动器100中，振动膜106具有增加压电致动器100的振幅的功能和用作发出音频部件的声音的表面的功能。因此，不需要安装另一个膜以产生声音，从而能够减小音频部件的尺寸。

接下来，说明压电致动器的频率特性。通常，认为在使用压电主体作为驱动源的音频部件中在小于基本共振频率的频带中难以发出足够大的声压级。因此，音频部件可以通常仅产生大于基本共振频率的频带的声音。例如，当压电致动器的基本共振频率为2kHz时，对于音频部件来说难以使用压电致动器产生小于2kHz的频带的声音。

音频部件需要发出具有1kHz到10kHz的频带的声音以再现诸如移动电话的移动装置中的音乐。因此，如果压电致动器的基本共振频率大约为1kHz，则压电致动器适当地用于移动装置。进一步地，还具有能够减小尺寸和厚度的优点的致动器对于移动装置是有用的。

然而，由于在比较示例的压电致动器中，压电元件3212连接到一个基座3216的两个表面，并且进一步地，基座3216直接连接到支撑主体3210，因此压电致动器3200的整个结构的刚度高。因此，压电致动器3200的基本共振频率变高，因此难以产生具有低频率的声音。

与比较示例的压电致动器相比，由于在宽频带中可以获得足够大的振幅，因此本示例性实施例的压电致动器更加合适。

第一压电振动器102的共振频率和第二压电振动器104的共振频率可以基本上彼此相同。在这种情况下，当第一压电振动器102和第二压电振动器104使振动膜106以相同的振动周期振动时，压电致动器100的振幅尤其在共振频率附近增加。

同时，第一压电振动器102的共振频率和第二压电振动器104的共振频率可以彼此不同。在这种情况下，第一压电振动器102和第二压电振动器104使振动膜106以彼此不同的频带显著地振动。因此，其中压电致动器显著振动的频带加宽，因此压电致动器的声压级的频率相关性进一步被平坦化。如上所述，能够实现具有高度设计自由度的音频部件，其中在宽频带上可以以所述高度设计自由度获得期望的振幅。

由于在本示例性实施例的压电致动器100中第一压电振动器102和第二压电振动器104彼此不约束，因此易于适当地改变压电元件112和114的材料和形状、基座116和118的材料和形状以及振动膜106的材料和形状。可以通过选择这种材料和形状容易地调节压电致动器100的特性。具体地，由于可以在不改变支撑主体110的尺寸的情况下改变基座116和118的形状和改变振动膜106的厚度，因此支撑主体110可以用作通用部件。因此，具有降低制造成本的优点。

虽然在上述示例性实施例中压电振动器102和104的基座116和118连接到振动膜106，但是压电振动器102和104的压电元件112和114也可以连接到振动膜106。另外，还能够想到的是第一压电振动器102和第二压电振动器104连接到振动膜106的相同表面。进一步地，连接到振动膜106的压电振动器的数量可以不限于两个，而是可以为三个或更多个。同样在这些情况中，如果每一个压电振动器都被布置成以低刚度横跨振动膜106的开口，则可以提高振幅。

图8-10是显示压电致动器的修改示例的示意性横截面图，并且示出了振动膜的各种示例。在图8-10中，与图3和图4中所示的压电致动器相比较，仅振动膜不同。因此，将省略除了振动膜之外的部件的结构。

图8中显示了厚度不均匀的振动膜106a。具体地，振动膜106a靠近振动膜106a的开口108的厚度大，而振动膜106a的靠近支撑主体110的部分的厚度小。另外，为了改变振动膜106a的厚度，在远离振动膜106a的开口108的外周边设置台阶部分601。因此，与具有均匀厚度的振动膜相比较，振动膜106a的外周边的刚度变得较低。降低振动膜106a的外缘部分的刚度会降低作为压电致动器的整个结构的外观上的刚度。因此，压电致动器的基本共振频率被降低，振动膜的振幅增加，并且振幅的频率相关性被平坦化。

因此，当图8中所示的压电致动器用作音频部件时，具有声压级增加并且声压级的频率相关性被平坦化的优点。

优选的是振动膜106a的靠近支撑主体110的部分的厚度基本上为振动膜106a的靠近振动膜106a的开口108的厚度的一半。另外，虽然台阶部分601的位置没有特别地受到限制，但是鉴于易于制造，所述台阶部分601优选地设置在基座116和118的外缘部分与支撑主体110的内壁中间。

图9中所示的振动膜106b的厚度从振动膜106b的开口108朝向振动膜106b的外缘部分逐渐变小。在这种情况下，同样，由于振动膜106b的外缘部分的刚度降低，因此可以获得类似于图8所示的振动膜106a的情况的效果。

另外，由于图9中所示的振动膜106b的厚度逐渐变化，因此还具有压电振动器102和104的驱动力被平稳地传送给振动膜106b的优点。因此，压电致动器的振幅增加。虽然振动膜106b的厚度的比率的变化没有特别地受到限制，但是优选的是振动膜106b的外缘部分的厚度基本上为靠近振动膜106b的开口108的厚度的一半。

另外，虽然图10中所示的振动膜106c的厚度是均匀的，但是所述振动膜由彼此具有不同刚度的两种材料构成。具体地，振动膜106c由通过支撑主体110支撑的第一膜部分801和连接到基座116和118的第二膜部分802构成。另外，第一膜部分801由具有低于第二膜部分802的刚度的材料构成。同样在这种情况下，由于振动膜106c的外缘部分的刚度变低，因此类似于图8中所示的振动膜106a的情况，可以获得振幅的增加。进一步地，可以通过使用具有高减振效应的材料用于第一膜部分801而使振幅的频率相关性平坦化。虽然第一膜部分801和第二膜部分802相互连接的位置没有特别地受到限制，但是鉴于易于制造，优选的是所述位置设置在基座116和118的外缘部分与支撑主体110的内壁的中间位置附近。

虽然在图10中所示的示例中振动膜106c由两种材料构成，但是振动膜也可以由每一个具有不同刚度的三种或更多种材料构成。

接下来，参照图11说明压电致动器的另一个修改示例。在图11中所示的压电致动器中，具有低于振动膜106的刚度的低刚度构件901形成在振动膜106与支撑主体110之间。因此，振动膜106的外缘部分可以容易地变形，因此整个压电致动器的刚度降低。另外，振动膜106的振幅增加，并且振幅的振动频率相关性被平坦化。

对于包括在低刚度构件901中的材料，例如，可以考虑氨基甲酸乙酯、异丁烯-异戊二烯橡胶、丁腈橡胶和硅橡胶。根据压电致动器的期望特性适当选择这些材料。

图12-15显示了用于本发明的压电致动器的基座的各种示例。图12中所示的基座122a是板状形状。在从基座122a的中心朝向外部的方向上突出的突出部1001形成在基座122a的周边中。该基座122a被布置成横跨振动膜的开口并连接到振动膜。此时，基座122a的突出部1001连接到振动膜。

当使用这种基座112a时，基座112a的刚度在基座112a和振动膜的连接部中变低。进一步地，在振动时应力集中在基座112a的突出部1001上。压电致动器的整个结构的外观刚度由于该应力集中并由于刚度降低而降低。因此，压电致动器的基本共振频率变小，并且振动膜显著弯曲和变形，藉此压电致动器的振幅增加。

当使用该基座112a的压电致动器用作音频部件时，可以获得声压级的提高和频率特性的提高。

图13中所示的基座122b是板状形状。基座122b的周边形成为锯齿形，并且基座122b为大致花瓣形状。同样在这种情况下，基座122b的周边的刚度降低，并且类似于图12中所示的基座，应力集中在基座122b的周边上。因此，基本共振频率降低，并且振幅增加。如上所述，通过减小基座的周边的刚度来改进压电致动器的振动特性。

图14中所示的基座122c是圆盘形形状，并且一个开口1201形成在所述基座的中心。因此，具有基座122的刚度降低的优点。另外，图15中所示的基座122是具有多个开口1301的圆盘形形状。开口1301绕着除了基座122d的中心部之外的区域散布。因此，降低了基座122d的刚度。

虽然形成在基座中的开口的尺寸和数量没有特别地受到限制，但是所述开口被设计成实现基座的刚度的降低和/或基座上的应力集中。

包括在压电振动器102和104中的基座116、118中的一个可以是圆盘形形状，而基座116、118中的另一个可以是图12-15中所示的形状。另外，第一基座116和第二基座118都可以为图12-15中所示的形状。根据压电致动器的期望特性适当选择第一基座116和第二基座118的组合。

图16中显示了包括在第一压电振动器102和第二压电振动器104中的压电元件的另一个示例。图16中所示的压电元件124是圆盘形形状，并且开口1401形成在所述压电元件的中心。在这种情况下，与其中没有形成开口的压电元件相比较，压电元件124的刚度降低。因此，具有整个压电致动器的刚度降低的优点。

接下来，实际制造以下示例性实施例1-18的压电致动器，并且与比较示例的压电致动器(参照图1)相比来评价以下压电致动器的特性。在以下表1中显示了这些结果。压电致动器的特性的评价项是以下三项。

[评价项1：基本共振频率]

其有效电压为1V的交流电流施加到包括在压电致动器中的两个压电元件，并且测量压电致动器的基本共振频率。基本共振频率被测量为声压级的频率相关性中的声压级的峰值。在表1中，示出了相对于比较示例的压电致动器以作为参考值的测量结果标准化的共振频率。这里，施加到两个压电元件的交流电流的频率和幅度被设定成彼此相同。

[评价项2：声压]

当施加其有效电压为1V的交流电流时，测量基本共振频率中的声压级。在表1中示出了根据比较示例的压电致动器中的声压级标准化的声压级。应当注意通过被布置成与压电致动器分开10cm的扩音器测量声压级。

[评价项3：声压的频率相关性的平坦性]

当施加其有效电压为1V的交流电流时，测量声压级的频率相关性。随后，由基本共振频率中的声压级计算声压级的波动范围，并且评价波动范围的大小。在表1中，“A”表示在100Hz到10kHz的频带内声压级的波动范围在10dB内，“B”表示在100Hz到10kHz的频带内波动范围大于10dB且在15dB内，而“C”表示在100Hz到10kHz的频带内波动范围大于15dB。这意味着声压级的波动范围越小，声压级的频率相关性的平坦性越高。

[评价项4：抗冲击性]

通过从50cm的高度自然地掉落五次其中安装本示例性实施例或比较示例的压电致动器的移动电话来执行抗冲击试验。具体地，测量在还没有给出撞击的压电致动器的基本共振频率中的声压级和已经给出撞击的压电致动器的基本共振频率中的声压级，并且计算所述声压级之间的差值(以下简称为“声压级差”)。因此，这意味着声压级差越小，抗冲击性越高。在表1中，“A”表示声压级差在3dB内，而“B”表示声压级差大于3dB。

[表1]

接下来，说明比较示例和每一个示例性实施例的详细结构。

(比较示例)

图1中显示了比较示例的压电致动器。应当注意的是压电元件3212、基座3216和支撑主体3210由与示例性实施例1的压电元件、基座和支撑主体相同的材料构成，下文中将进行说明。

比较示例的压电元件3212为圆盘形形状，并且所述压电元件的直径为17毫米。压电元件3212的压电主体的厚度为40μm。具有8μm厚度的电极层8分别形成在压电主体的两个表面上。基座3216由圆盘形磷青铜构成，所述基座的直径为19毫米，并且所述基座的厚度为50μm。支撑主体3210具有由不锈钢(SUS304)构成的圆形框架形状。支撑主体3210的外径为21毫米，而支撑主体3210的内径为20毫米。另外，支撑主体3210的厚度为0.5毫米。

压电元件3212、基座3216和支撑主体3210被布置成同心图案。压电元件3212的压电主体由钛锆酸铅陶瓷构成，并且压电元件3212的电极层由银/钯合金(重量比7∶3)构成。该压电元件3212通过生片法(green sheetmethod)制造而成，并且在大气中在1100℃的温度下燃烧所述压电元件超过两个小时。然后，对压电主体执行极化处理。使用环氧树脂粘合剂执行压电元件3212与基座3216之间的粘结和支撑主体3210与基座3216之间的粘结。应当注意的是比较示例的压电致动器3200的基本共振频率为1800Hz。

(示例性实施例1)

示例性实施例1的压电致动器具有与图3和图5中所示的压电致动器相同的结构。该压电致动器的每一个部分的具体结构如下。

第一压电元件112和第二压电元件114是圆盘形形状，并且所述圆盘形形状的直径为17毫米。另外，包括在压电元件112和114中的压电主体的厚度为40μm，并且具有8μm厚度的电极层形成在压电主体的两个表面上。

第一基座116和第二基座118是圆盘形形状，并且所述第一基座116和所述第二基座118由磷青铜构成。第一基座116和第二基座118的直径为19毫米，并且所述第一基座116和第二基座118的厚度为50μm。

振动膜106为由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)构成的圆形膜，并且圆形开口108形成在所述圆形膜的中心。振动膜106的直径为21毫米，振动膜的开口108的直径为17毫米，并且振动膜106的厚度为25μm。

支撑主体110具有由不锈钢(SUS304)构成的圆形框架形状。支撑主体110的外径为21毫米，支撑主体110的内径为20毫米，并且支撑主体110的厚度为0.5毫米。这里，支撑主体110的厚度表示支撑主体110在垂直于振动膜106的膜表面的方向Q上的宽度。

压电元件112和114的压电主体由钛锆酸铅陶瓷构成。压电振动器112和114的电极层由银/钯合金(重量比7∶3)构成。压电元件112和114通过生片法制造而成，并且压电元件112和114在大气中在1100℃的温度下燃烧超过两个小时，随后对压电主体执行极化处理。

环氧树脂粘合剂用作用于连接压电致动器的每一个部件的连接材料。每一个部件的形状、材料等在随后的示例性实施例中也是类似的，除非所述形状、材料等被清楚地说明之外。

参照表1，在示例性实施例1的压电致动器中标准化的共振频率为0.69，并且该共振频率低于比较示例的压电致动器的共振频率。进一步地，与比较示例相比，声压级较高，并且声压级的频率相关性变得更加平坦。另外，证实了对于示例性实施例1的压电致动器的撞击的稳定性也高。另外，压电致动器的厚度(包括支撑主体、振动膜和粘合材料的厚度)大约为1.1毫米，因此所述压电致动器足够薄。

(示例性实施例2)

图17中所示的压电致动器作为示例性实施例2被制造而成。在示例性实施例2的压电致动器中，与示例性实施例1的第二压电元件的尺寸相比较，第二压电元件114a的尺寸不同。具体地，第二压电元件114a为圆盘形形状，并且所述第二压电元件的直径为10毫米。另外，第二压电元件114a的压电主体的厚度为40μm，并且具有8μm厚度的电极层形成在压电主体的两个表面上。其它结构与第一实施例相同。

与示例性实施例1相比较，示例性实施例2的压电致动器的基本共振频率进一步降低。因此，在低频带中压电致动器的声压级增加。进一步地，由于具有不同振动频率特性的压电振动器102和104a连接到同一振动膜106，因此声压级的频率相关性的平坦性提高。另外，类似于示例性实施例1，相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例3)

图18中示出了压电致动器作为示例性实施例3被制造而成。在示例性实施例3的压电致动器中，第二基座118a的直径小于第一基座116的直径。具体地，第二基座118a为圆盘形形状，所述第二基座的直径为18毫米，并且所述第二基座的厚度为50μm。其它结构与第一实施例的相同。

根据示例性实施例2的压电致动器，与示例性实施例1相比较，声压级的频率相关性被平坦化。这是因为使用了具有不同振动频率特性的两个基座116和118a。

(示例性实施例4)

图19中所示的压电致动器作为示例性实施例4被制造而成。在示例性实施例4的压电致动器中，第二压电元件114b的厚度小于第一压电元件112的厚度。具体地，第二压电元件114b为圆盘形形状，并且所述第二压电元件的外径为17毫米。第二压电元件114b的压电主体的厚度为30μm，并且具有8μm厚度的电极层形成在压电主体的两个表面上。其它结构与第一实施例相同。

根据示例性实施例4的压电致动器，相对于比较示例1的压电致动器，所述压电致动器的声压级被提高得更多。这是因为共振频率由于压电主体的减小的厚度而变小，并且进一步地施加到第二压电元件114b的电场变得高于施加到第一压电元件112的电场。另外，声压级的频率相关性被平坦化，并且相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例5)

图20中示出的压电致动器作为示例性实施例5被制造而成。在示例性实施例5的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第二基座118b的厚度小于第一基座116的厚度。第一基座116与示例性实施例1相同。第二基座118b为圆盘形形状，所述第二基座的直径为19毫米，并且所述第二基座的厚度为20μm。其它结构与第一实施例的相同。

根据示例性实施例5的压电致动器，第二基座118b的厚度小，并且第二压电振动器的刚度变小。因此，压电致动器的共振频率变得小于示例性实施例1中的压电致动器的共振频率。因此，在低频带中可以获得高声压级。进一步地，声压级的频率相关性的平坦性提高，并且相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例6)

图8中所示的上述压电致动器作为示例性实施例6被制造而成。在示例性实施例6的压电致动器中，振动膜106a不同于示例性实施例1的振动膜。具体地，振动膜106a的厚度不是均匀的。

图21是用于显示包括在示例性实施例6的压电致动器中的振动膜106a的形状的示意图。如图21所示，振动膜106a的开口108的直径L1为17毫米。振动膜106a的台阶部分601成形为大致圆形，并且所述台阶部分的直径L2为19.5毫米。另外，振动膜106a的直径L3为20毫米。进一步地，靠近振动膜的开口108的厚度L4为25μm，并且振动膜106a的由支撑主体110支撑的部分的厚度L5为16μm。除了振动膜106a之外的部件的结构与第一实施例中的相同。

根据示例性实施例6的压电致动器，与示例性实施例1-5相比，基本共振频率变小，并且在低频带中可以获得高声压级。这是因为振动膜106a的外周边的厚度小，并且因为振动膜106a对于弯曲变形具有低刚度。进一步地，类似于示例性实施例1，声压级的频率相关性基本上被平坦化，并且相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例7)

图22中所示的压电致动器作为示例性实施例7被制造而成。在示例性实施例7的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第一基座不同。具体地，图12中所示的基座用作第一基座122a。其它结构与示例性实施例1中的相同。

图23是用于显示示例性实施例7的第一基座122a的尺寸的示意图。第一基座122a为大致圆盘形形状，并且突出部1001成形在所述第一基座的周边上。圆盘的直径L6为18毫米，并且包括突出部1001的第一基座122a的尺寸L7为19毫米。

根据示例性实施例7的压电致动器，基本共振频率变得小于示例性实施例1，并且在低频带中可以获得高声压级。这是因为第一基座122a的外缘部分的刚度降低，并且应力集中在突出部1001上。进一步地，由于第一基座122a和第二基座118彼此不同，因此两个压电振动器的频率特性彼此不同。由于此，压电致动器的声压级的频率相关性被平坦化。另外，类似于比较示例1，相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例8)

图24中所示的压电致动器作为示例性实施例8被制造而成。在示例性实施例8的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第一基座的形状不同。具体地，图13中所示的基座用作第一基座122b。其它结构与示例性实施例1中的相同。

图25是用于显示示例性实施例8的第一基座122b的尺寸的示意图。所述附图中的长度L8为18毫米，并且所述附图中的长度L9为19毫米。另外，成形在第一基座122b中的开口1101是圆形，并且所述第一基座的直径为1毫米。

根据示例性实施例8的压电致动器，第一基座122b的外缘部分的刚度降低，并且进一步地应力集中。因此，共振频率变得小于示例性实施例1中的共振频率。此外，与示例性实施例1相比较，在低频带中可以获得高声压级。进一步地，声压级的频率相关性被平坦化，并且相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例9)

图26中所示的压电致动器作为示例性实施例9被制造而成。在示例性实施例9的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第一基座不同。第一基座122c与图14中所示的上述基座相同。第一基座122c的开口1201的直径为5毫米。其它结构与第一实施例中的相同。

根据示例性实施例9的压电致动器，共振频率变得低于示例性实施例1中的共振频率，并且提高了低频带中的声压级。这是因为开口1201成形在第一基座122c中，并且第一基座122c的刚度降低。进一步地，类似于示例性实施例1，声压级的频率相关性基本上被平坦化，并且相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例10)

图27中所示的压电致动器作为示例性实施例10被制造而成。在该示例性实施例的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第一基座不同。第一基座122d与图15中所示的基座相同，并且第一基座122d具有多个开口1301。第一基座122d的每一个开口1301的直径都为1毫米。其它结构与第一实施例中的相同。

根据示例性实施例10的压电致动器，开口1301成形在第一基座122d中，藉此第一基座122d的刚度降低，并且压电致动器的基本共振频率变得低于示例性实施例1中的压电致动器的基本共振频率。另外，与示例性实施例1相比较，在低频带中可以获得高声压级。这证实了声压级的频率特性的平坦性以及相对于撞击的稳定性也极好。

(示例性实施例11)

图28中所示的压电致动器作为示例性实施例11被制造而成。在示例性实施例11的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第一基座和第二基座不同。具体地，第一和第二基座122a与图12中所示的基座相同。其它结构与第一实施例中的相同。

根据示例性实施例11的压电致动器，由于基座122a的外缘部分的刚度降低并且应力集中在突出部1001上，因此基本共振频率变得小于示例性实施例1。进一步地，与示例性实施例1相比较，可以在低频带中获得高声压级。另外，可以获得基本上类似于示例性实施例1的声压级的频率特性的平坦性和相对于撞击的稳定性。

(示例性实施例12)

图29中所示的压电致动器作为示例性实施例12被制造而成。在示例性实施例27的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第一基座和第二基座的形状不同。具体地，第一和第二基座122b的形状与图13中所示的基座相同。其它结构与第一实施例中的相同。

根据示例性实施例12的压电致动器，第一和第二基座122b的外缘部分的刚度降低，并且应力集中在第一和第二基座122b的周边上。因此，基本共振频率变得小于示例性实施例1。进一步地，与示例性实施例1相比较，可以在低频带中获得高声压级。另外，可以获得基本上类似于示例性实施例1的声压级的频率特性的平坦性，并且类似于示例性实施例1，相对于撞击的稳定性基本上较高。

(示例性实施例13)

图30中所示的压电致动器作为示例性实施例13被制造而成。在示例性实施例12的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第一基座和第二基座不同。具体地，第一和第二基座122d的形状与图15中所示的基座相同。其它结构与示例性实施例1中的相同。

根据示例性实施例13的压电致动器，多个开口1301形成在第一和第二基座122d中，因此第一和第二基座122d的刚度降低。因此，共振频率变得低于示例性实施例1中的共振频率，并且可以在低频带中获得高声压级。另外，类似于示例性实施例1，声压级的频率相关性基本上被平坦化，并且相对于撞击的稳定性变高。

(示例性实施例14)

图31中所示的压电致动器作为示例性实施例14被制造而成。在示例性实施例14的压电致动器中，第二压电振动器124与图16中所示的压电振动器相同。开口1401形成在第二压电振动器124中。具体地，第二压电元件124的直径为17毫米，并且开口1401的直径为4毫米。包括在第二压电元件124中的压电主体的厚度为40μm。其它结构与示例性实施例1中的结构相同。

在示例性实施例14的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，在低频带中可以获得高声压级。另外，类似于示例性实施例1，可以获得基本上平坦的声压级的频率特性。这是因为第二压电元件124的刚度被降低，并且共振频率被降低。进一步地，类似于示例性实施例1，相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例15)

如图32中所示，在示例性实施例15的压电致动器中，与示例性实施例1相比较，第一基座和第二基座不同。具体地，第一基座122a与图12中所示的基座相同，而第二基座122d与图15中所示的基座相同。

根据示例性实施例15的压电致动器，共振频率变得小于示例性实施例1中的共振频率，并且低频带中的声压级变高。能够想到的是这是因为第一基座122a的外缘部分的刚度降低并且应力集中在所述外缘部分上和因为第二基座122d的外缘部分上的刚度降低并且应力集中在所述外缘部分上。进一步地，使用两个不同的基座122a和122d，因此两个压电振动器具有彼此不同的频率特性。因此，声压级的频率相关性变得更加平坦。另外，类似于示例性实施例1，相对于撞击的稳定性也高。

(示例性实施例16)

示例性实施例16的压电致动器的形状与示例性实施例1的压电致动器的形状(参照图3)相同。然而，振动膜106代替聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)由为金属材料的磷青铜构成。振动膜106的中心具有开口108。振动膜106的直径为21毫米，振动膜的开口108的直径为17毫米，并且振动膜106的厚度为20μm。其它结构与第一实施例的相同。

根据示例性实施例16的压电致动器，共振频率变得低于示例性实施例1中的共振频率，因此可以在低频带中获得高声压级。另外，可以获得类似于的示例性实施例1的声压级的基本上平坦的频率特性和相对于撞击的稳定性。

(示例性实施例17)

图33中所示的压电致动器作为示例性实施例17被制造而成。在示例性实施例31的压电致动器中，第一压电元件112c和第二压电元件114c、第一基座116c和第二基座118c、振动膜106d和支撑主体110a的形状为方形。

第一压电元件112c和第二压电元件114c、第一基座116c和第二基座118c、振动膜106d以及支撑主体110a的厚度分别与示例性实施例1中的第一和第二压电元件、第一和第二基座、振动膜以及支撑主体的厚度相同。

另外，第一压电元件112c和第二压电元件114c的形状为其一个侧边为18毫米的方形。第一基座116c和第二基座118c的形状为其一个侧边为19毫米的方形。振动膜106的中心具有方形开口108d。振动膜106d的一个侧边的长度为21毫米，并且振动膜106d的开口108d的一个侧边的长度为17毫米。支撑主体110a具有方形框架形状，并且所述支撑主体的外缘的一个侧边为21毫米，而所述支撑主体的内缘的一个侧边为20毫米。

根据示例性实施例17的压电致动器，共振频率变得低于示例性实施例1中的共振频率，因此可以在低频带中获得高声压级。进一步地，声压级的频率相关性由于属于方形压电振动器的复合振动频率特性而被平坦化。另外，类似于示例性实施例1，相对于撞击的稳定性高。

(示例性实施例18)

图11中所示的上述压电致动器作为示例性实施例18被制造而成。在示例性实施例18的压电致动器中，低刚度构件901被一体地夹在振动膜106与支撑主体110之间。低刚度构件901的刚度小于振动膜106的刚度。振动膜106大致为圆形，并且在振动膜的中心具有开口108。

低刚度构件901由硅橡胶构成。低刚度构件901具有圆形框架形状，低刚度构件901的外径为21毫米，低刚度构件901的内径为20毫米，并且低刚度构件901的厚度为70μm。其它结构与第一实施例中的相同。

根据示例性实施例18的压电致动器，由于低刚度构件901，共振频率变得低于示例性实施例1中的共振频率，并且提高了低频带中的声压级。进一步地，类似于示例性实施例1，声压级的频率特性基本上被平坦化，并且提高了相对于撞击的稳定性。

本申请基于2009年5月11日提出申请的日本专利申请第2009-114575号主张优先权，该申请的内容通过引用在此全文并入。

如上所述，虽然已经提出并详细说明了示例性实施例，但是要理解的是本发明不局限于上述示例性实施例，而是在不背离本发明的保护范围的情况下可以进行各种改变和修改。

附图标记列表

100 压电致动器

102 第一压电振动器

104 第二压电振动器

106，106a，106b，106c和106d 振动膜

108和108d 振动膜的开口

110和110a 支撑主体

112和112c 第一压电元件

114，114a，114b和114c 第二压电元件

116和116c 第一基座

118，118a，118b和118c第二基座

122a，122b，112c和112d  基座

124 压电元件

130 压电主体

132 电极层

136 电源

502 第一电源

504 第二电源

506 控制装置

601 台阶部分

801 第一膜部分

802 第二膜部分

901 低刚度构件

1001 突出部

1101，1201和1301 基座的开口

1401 压电元件的开口

Claims (16)

1.一种压电致动器，包括：

第一压电振动器，所述第一压电振动器包括第一基座和连接到所述第一基座的第一压电元件；

第二压电振动器，所述第二压电振动器包括第二基座和连接到所述第二基座的第二压电元件；和

振动膜，所述振动膜具有开口，

其中：

所述第一压电振动器横跨所述振动膜的开口并通过所述第一基座连接到所述振动膜的一个表面；

所述第二压电振动器横跨所述振动膜的开口并通过所述第二基座连接到所述振动膜的另一个表面，

所述振动膜的所述一个表面连接到所述第一基座的不与所述第一压电元件连接的表面；以及

所述振动膜的所述另一个表面连接到所述第二基座的不与所述第二压电元件连接的表面。

2.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述振动膜的刚度小于所述第一基座和第二基座的刚度。

3.根据权利要求1所述的压电致动器，还包括：

支撑主体，所述支撑主体支撑所述振动膜的外缘部分。

4.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一基座和所述第二基座中的至少一个为板状形状，并且所述第一基座和所述第二基座中的所述至少一个的周边和所述振动膜的开口的邻近部互相连接。

5.根据权利要求1所述的压电致动器，还包括：

驱动装置，所述驱动装置独立驱动所述第一压电元件和所述第二压电元件。

6.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一压电振动器和所述第二压电振动器具有彼此相同的共振频率。

7.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一压电振动器和所述第二压电振动器具有彼此不同的共振频率。

8.根据权利要求4所述的压电致动器，还包括：

支撑主体，所述支撑主体支撑所述振动膜的外缘部分；

其中，所述振动膜的由所述支撑主体支撑的部分的刚度小于所述振动膜的开口的所述邻近部的刚度。

9.根据权利要求3所述的压电致动器，其中，所述支撑主体通过与所述振动膜相比具有较小刚度的低刚度构件将所述振动膜的所述外缘部分夹在中间。

10.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一压电元件和所述第二压电元件中的至少一个具有开口。

11.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一基座和所述第二基座中的至少一个具有开口。

12.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一基座和所述第二基座中的至少一个为板状形状，在从所述基座的中心朝向外部的方向上突出的突出部形成在所述板状基座的周边中，所述板状基座横跨所述振动膜的开口，并且所述突出部连接到所述振动膜。

13.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一基座和所述第二基座中的至少一个为板状形状，并且具有花瓣形状。

14.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述第一压电振动器和所述第二压电振动器在垂直于所述振动膜的膜表面的方向上振动。

15.一种音频部件，包括根据权利要求1所述的压电致动器，所述音频部件通过所述压电致动器的弯曲振动发出声音。

16.根据权利要求15所述的音频部件，通过包括所述压电致动器的所述振动膜的振动发出声音。