JP6020465B2 - 発振装置 - Google Patents
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Description
前記振動部材の一面に取り付けられた圧電素子と、
前記振動部材の縁を支持する支持部材と、
前記支持部材に設けられ、前記振動部材の前記一面に対向する第1対向部と、
前記支持部材に設けられ、前記振動部材の前記一面とは逆側の面に対向する第2対向部と、
前記振動部材又は前記圧電素子と、前記第1対向部の間に設けられた第1バネと、
前記振動部材と前記第2対向部の間に設けられた第2バネと、
を備える発振装置が提供される。
図1は、第1の実施形態に係る発振装置100の構成を示す図である。発振装置100は、振動部材140,圧電素子130、支持部材110、第1バネ152、及び第2バネ154を有している。振動部材140は、シート形状を有している。圧電素子130は、振動部材140の一面に取り付けられている。支持部材110は、振動部材140の縁を支持している。支持部材110は、第1対向部112及び第2対向部114を有している。第1対向部112は、振動部材140のうち圧電素子130が取り付けられている面に対向している。第2対向部114は、振動部材140のうち圧電素子130とは逆側の面に対向している。第1バネ152は、第1対向部112と、振動部材140又は圧電素子130との間に設けられている。第2バネ154は、第2対向部114と振動部材140の間に設けられている。このようの本実施形態では、振動部材140及び圧電素子130からなる振動子の両面にバネが取り付けられている。従って、振動子に加わる応力のバランスを良好に保つことができる。以下、詳細に説明する。
図5は、第2の実施形態に係る発振装置100の構成を示す図である。本実施形態は、以下の点を除いて、第1の実施形態に係る発振装置100と同様の構成である。
図6は、第3の実施形態に係る発振装置100の構成を示す図である。本実施形態に係る発振装置100は、支持部材110がバネ受部材118(第2対向部)を有している点を除いて、第2の実施形態に係る発振装置100と同様の構成である。
図7は、第4の実施形態に係る発振装置100の構成を示す図である。本実施形態に係る発振装置100は、第1バネ152及び第2バネ154が板バネ(リーフバネ)である点を除いて、第3の実施形態に係る発振装置100と同様の構成である。
本実施形態によっても、第3の実施形態と同様の効果を得ることができる。
Claims (8)
- シート状の振動部材と、
前記振動部材の一面に取り付けられた圧電素子と、
前記振動部材の縁を支持する支持部材と、
前記支持部材に設けられ、前記振動部材の前記一面に対向する第1対向部と、
前記支持部材に設けられ、前記振動部材の前記一面とは逆側の面に対向する第2対向部と、
前記振動部材又は前記圧電素子と、前記第1対向部の間に設けられた第1バネと、
前記振動部材と前記第2対向部の間に設けられた第2バネと、
を備える発振装置。 - 請求項1に記載の発振装置において、
前記第1バネは、平面視で互いに重ならない位置に3つ以上設けられており、
前記第2バネは、平面視で互いに重ならない位置に3つ以上設けられている発振装置。 - 請求項1又は2に記載の発振装置において、
前記第1バネは、前記圧電素子と前記第1対向部の間に設けられている発振装置。 - 請求項3に記載の発振装置において、
前記圧電素子のうち前記振動部材とは対向していない面には電極が形成されており、
前記第1バネは導電性材料により形成されており、
さらに、前記第1バネに接続された第1配線を備える発振装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の発振装置において、
前記振動部材、及び前記第2バネは導電性材料により形成されており、
さらに、前記第2バネに接続された第2配線を備える発振装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の発振装置において、
前記第1バネ及び前記第2バネは、平面視で互いに重なっている発振装置。 - 請求項6に記載の発振装置において、
前記第1バネ及び前記第2バネは、バネ定数が互いに等しい発振装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の発振装置において、
前記第1バネ及び前記第2バネは、いずれもコイルバネ又は板バネである発振装置。
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