CN102356457B - 光检测装置以及用于在光检测装置中检测光的方法 - Google Patents

光检测装置以及用于在光检测装置中检测光的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102356457B
CN102356457B CN201080012282.7A CN201080012282A CN102356457B CN 102356457 B CN102356457 B CN 102356457B CN 201080012282 A CN201080012282 A CN 201080012282A CN 102356457 B CN102356457 B CN 102356457B
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
camera
optical detection
agent structure
region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201080012282.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102356457A (zh
Inventor
刘通
林秋江
方仲平
徐健
曹润富
余家齐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ZHONGTAI TECHNOLOGY PRIVATE Ltd Co
Agency for Science Technology and Research Singapore
Original Assignee
ZHONGTAI TECHNOLOGY PRIVATE Ltd Co
Agency for Science Technology and Research Singapore
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHONGTAI TECHNOLOGY PRIVATE Ltd Co, Agency for Science Technology and Research Singapore filed Critical ZHONGTAI TECHNOLOGY PRIVATE Ltd Co
Publication of CN102356457A publication Critical patent/CN102356457A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102356457B publication Critical patent/CN102356457B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/245—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1006—Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/141—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using dichroic mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/143—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using macroscopically faceted or segmented reflective surfaces
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/144—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using partially transparent surfaces without spectral selectivity
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/02—Diffusing elements; Afocal elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

在一个实施方式中提供了一种光检测装置。该光检测装置可包括：被配置为提供光的主体结构，该主体结构包括第一透光部分和在距离第一透光部分一距离处布置的第二透光部分；接收物体的区域，该接收物体的区域被布置为使得由主体结构提供的光可照射接收物体的区域的至少一部分；具有第一主光轴的第一照相机；具有第二主光轴的第二照相机；其中，主体结构可被布置在位于其一侧的第一照相机和第二照相机以及位于其另一侧的接收物体的区域之间；其中，第一照相机可被布置为使得第一主光轴可被引导为经由第一透光部分而到达接收物体的区域；其中，第二照相机可被布置为使得第二主光轴可被引导为经由第二透光部分而到达接收物体的区域；被配置来提供从接收物体的区域反射的光的装置，使得第一反射光部分可被提供作为与第一主光轴对准的第一同轴光部分，并且使得第二反射光部分可被提供作为与第二主光轴对准的第二同轴光部分。还提供了一种在光检测装置中检测光的方法。

Description

光检测装置以及用于在光检测装置中检测光的方法
技术领域
实施方式涉及一种光检测装置以及一种用于在光检测装置中检测光的方法。
背景技术
半导体器件，例如集成电路芯片，可通过被称为引线接合的工艺而电子地连接到引线框架上的引线。引线接合工艺涉及采用导线来将位于芯片或晶片上的焊盘连接到引线框架上的引线。一旦芯片和引线框架已被引线接合，芯片和引线框架就可被进一步封装在陶瓷或塑料中以形成集成电路器件。
在很多情况下，对引线接头的质量的检查可由人工操作员使用显微镜来手动进行。然而，这种手动方法可能是耗时并且费用较高的。因此，期望进行自动的引线接头检查。然而，对于自动的引线接头检查而言，可能需要解决很多难题。例如，由于引线框架上的导线的相对较高的反射性(specularity)，可能需要将照明设计成使得导线和引线框架的各个表面上的反射性最小化，以确保相对精确的测量。同时，还期望在诸如晶片表面和接合表面的其他各个表面形成良好的对比，以便能够实施二维(2D)测量。
尽管在市场上还买不到用于立体视觉系统的任何标准照明系统，但所采用的现有技术照明系统的一些例子可包括同轴灯、圆顶灯、环形灯、圆顶灯和同轴灯的组合，或这些灯的其他组合。
尽管这样，当采用现有技术照明系统时，可能还面临一些问题。这些问题可包括芯片和引线接头之间的相对低的对比度、提取用于进行三维(3D)计算的物体信息的难度以及一些照明系统的有限的亮度调整范围。
因此，需要一种可供选择的照明系统，其能够为待被检查的物体表面提供均匀的照明，同时还能增强晶片表面和引线接头之间的对比度。
发明内容
在各种实施方式中，可提供一种光检测装置。该光检测装置可包括：主体结构，该主体结构被配置为提供光，所述主体结构包括第一透光部分和在距离所述第一透光部分一距离处布置的第二透光部分；接收物体的区域，该接收物体的区域被布置为使得由所述主体结构提供的光可照射所述接收物体的区域的至少一部分；第一照相机，该第一照相机具有第一主光轴；第二照相机，该第二照相机具有第二主光轴；其中，所述主体结构可以被布置在位于其一侧的所述第一照相机和所述第二照相机以及位于其另一侧的所述接收物体的区域之间；其中，所述第一照相机可被布置为使得其第一主光轴可被引导为经由所述第一透光部分而到达所述接收物体的区域；其中，所述第二照相机可被布置为使得其第二主光轴可被引导为经由所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域；被配置来提供从所述接收物体的区域反射的光的装置，使得第一反射光部分可被提供作为与所述第一主光轴对准的第一同轴光部分，并且使得第二反射光部分可被提供作为与所述第二主光轴对准的第二同轴光部分。
在各种实施方式中，可提供一种在光检测装置中检测光的方法。该光检测装置可包括：主体结构，该主体结构被配置为提供光，所述主体结构包括第一透光部分和在距离所述第一透光部分一距离处布置的第二透光部分；接收物体的区域，该接收物体的区域被布置为使得由所述主体结构提供的光可照射所述接收物体的区域的至少一部分；第一照相机，该第一照相机具有第一主光轴；第二照相机，该第二照相机具有第二主光轴；其中，所述主体结构可以被布置在位于其一侧的所述第一照相机和所述第二照相机以及位于其另一侧的所述接收物体的区域之间；其中，所述第一照相机可被布置为使得其第一主光轴可被引导为经由所述第一透光部分而到达所述接收物体的区域；其中，所述第二照相机可被布置为使得其第二主光轴可被引导为经由所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域；所述方法可包括：提供从所述接收物体的区域反射的光，使得第一反射光部分可被提供作为与所述第一主光轴对准的第一同轴光部分，并且使得第二反射光部分可被提供作为与所述第二主光轴对准的第二同轴光部分。
附图说明
在附图中，相同的附图标记在不同的视图中通常指代相同的部件。附图未必按比例绘制，而是总体上将重点放在示出各种实施方式的原理上。在下面的描述中，参照以下附图来描述本发明的各种实施方式，在附图中：
图1A示出了根据一个实施方式的光检测装置的主视图，该光检测装置包括第一光源、第二光源、第一分束器和第二分束器；
图1B示出了根据一个实施方式的光检测系统的主视图，该光检测系统包括图1A的光检测装置；
图2A示出了根据一个实施方式的光检测装置的主视图，该光检测装置包括具有切口部分(cutout portion)的主体结构；
图2B示出了根据一个实施方式的图2A的具有切口部分的主体结构的俯视图；
图3示出了根据一个实施方式的图2A的光检测装置的样机的立体图；
图4A示出了利用根据一个实施方式的图3的光检测装置的样机获得的左图像；
图4B示出了利用根据一个实施方式的图3的光检测装置的样机获得的右图像；
图5A示出了根据一个实施方式的光检测装置的主视图，该光检测装置包括布置在主体结构的与接收物体的区域相同的那一侧上的分束器装置；
图5B示出了根据一个实施方式的图5A的光检测装置的侧视图；
图6示出了根据一个实施方式的图5A的光检测装置的样机的立体图；
图7A示出了利用根据一个实施方式的图5A的光检测装置的样机获得的左图像；
图7B示出了利用根据一个实施方式的图5A的光检测装置的样机获得的右图像；
图8A示出了根据一个实施方式的光检测装置的主视图，该光检测装置包括条形光源；
图8B示出了根据一个实施方式的图8A的光检测装置的侧视图；
图9A示出了根据一个实施方式的光检测装置的主视图，该光检测装置包括弧形光源；
图9B示出了根据一个实施方式的图9A的弧形光源的俯视图；
图10A示出了根据一个实施方式的光检测装置的主视图，该光检测装置包括蓝色二色镜和红色二色镜；
图10B示出了根据一个实施方式的图10A的光检测装置的俯视图；以及
图11示出了根据一个实施方式的用于在光检测装置中检测光的方法的流程图。
具体实施方式
以下详细描述涉及以图解的方式示出特定细节的附图和可以实施本发明的实施方式。这些实施方式被描述得足够详细以使得本领域的技术人员能够实施本发明。在不偏离本发明的范围的情况下，还可以利用其他实施方式，并且可以在结构、逻辑和电学方面作出改变。各个实施方式未必是相互排斥的，因为一些实施方式可以与一个或更多个其他实施方式相组合以形成新的实施方式。
本文使用词语“示例性的”来表示“用作例子、实例或说明”。本文中被描述为“示例性的”任何实施方式或设计不应被解释为比其他实施方式或设计更优选或有优势。
一个实施方式可提供一种光检测装置。该光检测装置可包括：主体结构，该主体结构被配置为提供光，所述主体结构包括第一透光部分和在距离所述第一透光部分一距离处布置的第二透光部分；接收物体的区域，该接收物体的区域被布置为使得由所述主体结构提供的光可照射所述接收物体的区域的至少一部分；第一照相机，该第一照相机具有第一主光轴；第二照相机，该第二照相机具有第二主光轴；其中，所述主体结构被布置在位于其一侧的所述第一照相机和所述第二照相机以及位于其另一侧的所述接收物体的区域之间；其中，所述第一照相机可被布置为使得其第一主光轴可被引导为经由所述第一透光部分而到达所述接收物体的区域，其中，所述第二照相机可被布置为使得其第二主光轴可被引导为经由所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域；被配置来提供从所述接收物体的区域反射的光的装置，使得第一反射光部分可被提供作为与所述第一主光轴对准的第一同轴光部分，并且使得第二反射光部分可被提供作为与所述第二主光轴对准的第二同轴光部分。所述第一透光部分和所述第二透光部分之间的距离可根据设计和用户需要而改变。
在一个实施方式中，所述第一透光部分和所述第二透光部分中的每一个均被配置为至少允许一些光透过。例如，所述第一透光部分和所述第二透光部分中的每一个均可以是半透明的。可选择地，所述第一透光部分和所述第二透光部分中的每一个均可以被配置为是透明的。例如，所述第一透光部分和所述第二透光部分可被形成为两个独立的开口或单个开口。
在一个实施方式中，所述主体结构可具有圆顶形的形状。该圆顶形的形状可具有例如在大约40mm到大约45mm之间的半径。所述圆顶形的形状的尺寸被形成为以便容纳待被布置在所述接收物体的区域中的物体以及至少一个照射主体结构的光源。所述主体结构可例如包括圆顶灯。所述主体结构还可包括其他光源，只要这些光源可在所述接收物体的区域上提供均匀的照明即可。
在一个实施方式中，所述光检测装置还包括具有所述第一透光部分和所述第二透光部分的结构，其中，所述主体结构具有切口部分，并且所述结构被布置在所述切口部分内。所述结构可由不允许光通过的材料制成。例如，所述结构可包括矩形板或漫射的白色塑料板。
在一个实施方式中，所述主体结构的面对所述接收物体的区域的内表面的至少一部分可具有反射表面。
在一个实施方式中，所述主体结构的面对所述接收物体的区域的内表面的至少一部分可被配置为产生光。
在一个实施方式中，所述主体结构的面对所述接收物体的区域的内表面的所述至少一部分可包括产生光的涂层和/或多个有机发光二极管。
在一个实施方式中，所述光检测装置还可包括至少一个照射主体结构的光源，该至少一个照射主体结构的光源被布置为照射所述主体结构的内表面的至少一部分。所述至少一个照射主体结构的光源可被定位在所述主体结构内或被定位在所述主体结构之外。
在一个实施方式中，所述至少一个照射主体结构的光源可包括多个灯。
在一个实施方式中，所述多个灯可包括发光二极管阵列。
在一个实施方式中，所述多个灯可包括漫射器或散光源。
在一个实施方式中，所述装置可包括光装置。
在一个实施方式中，所述光装置可包括第一光源和第二光源。所述第一光源可被布置为引导光穿过所述第一透光部分而到达所述接收物体的区域并且/或者所述第二光源可被布置为引导光穿过所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域。
在一个实施方式中，所述第一光源和所述第二光源可被布置为使得由所述第一光源发射的光的光轴可基本上平行于所述第一主光轴，并且由所述第二光源发射的光的光轴可基本上平行于所述第二主光轴。
在一个实施方式中，所述第一光源和/或所述第二光源可包括多个灯。
在一个实施方式中，所述多个灯可包括发光二极管阵列。
在一个实施方式中，所述第一光源和/或所述第二光源可以是分散的光束或聚集的光束。
在一个实施方式中，所述光装置可包括光源，所述光源选自由弧形光源、条形光源和漫射器组成的光源组。
在一个实施方式中，所述装置可包括分束器装置。
在一个实施方式中，所述分束器装置可被布置在所述主体结构的与所述第一照相机和所述第二照相机相同的那一侧上。
在一个实施方式中，所述分束器装置可包括第一分束器和第二分束器。
在一个实施方式中，所述装置可包括光装置，所述光装置包括第一光源和第二光源；其中，所述第一分束器可相对于所述第一光源和所述第一照相机布置，以使得所述第一分束器可被配置为接收由所述第一光源提供的光，并将该光重新引导为经由所述第一透光部分而到达所述接收物体的区域，从而产生所述第二反射光部分；并且其中，所述第二分束器可相对于所述第二光源和所述第二照相机布置，以使得所述第二分束器可被配置为接收由所述第二光源提供的光，并将该光重新引导为经由所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域，从而产生所述第一反射光部分。
在一个实施方式中，所述装置可包括光装置；并且其中，所述分束器装置可相对于所述光装置以及所述第一照相机和所述第二照相机布置，以使得所述分束器装置可被配置为接收由所述光装置提供的光，并将该光重新引导为经由相应的所述第一透光部分和所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域，以由所接收的光产生所述第二反射光部分和所述第一反射光部分。
在一个实施方式中，所述分束器装置可被布置在所述主体结构的与所述接收物体的区域相同的那一侧上。
在一个实施方式中，所述分束器装置可被布置为接收由所述主体结构的所述内表面提供的光，并由所接收的光产生所述第一反射光部分和所述第二反射光部分。
在一个实施方式中，所述分束器装置可包括单个分束器，该单个分束器被配置为使得所述第一反射光部分可被提供作为与所述第一主光轴对准的所述第一同轴光部分，并且使得所述第二反射光部分可被提供作为与所述第二主光轴对准的所述第二同轴光部分。
在一个实施方式中，所述第一照相机和所述第二照相机可沿着共同的照相机平面布置。
在一个实施方式中，所述单个分束器可相对于所述共同的照相机平面以基本为45°的角来布置。
在一个实施方式中，所述装置可包括布置在沿着所述第一主光轴的光路中的第一波长的第一二色镜以及布置在沿着所述第二主光轴的光路中的第二波长的第二二色镜。
在一个实施方式中，所述第一二色镜可被布置在所述第一透光部分中，或可被布置在所述主体结构的与所述第一透光部分重叠的那一侧上，并且其中所述第二二色镜可被布置在所述第二透光部分中，或可被布置在所述主体结构的与所述第二透光部分重叠的那一侧上。
在一个实施方式中，所述第一二色镜可以是蓝色二色镜并且所述第二二色镜可以是红色二色镜；或者其中，所述第二二色镜可以是蓝色二色镜并且所述第一二色镜可以是红色二色镜。
在一个实施方式中，所述光检测装置还可包括分光结构。所述分光结构可包括例如黑纸的不透明材料，以便防止来自所述第一光源的光与来自所述第二光源的光发生干涉。
在一个实施方式中，所述分光结构可被布置在所述第一光源和所述第二光源之间，或者被布置在所述分束器装置和所述至少一个照射主体结构的光源之间。
在一个实施方式中，所述光检测装置还可包括被布置在所述接收物体的区域中的物体。
在一个实施方式中，所述物体可以是晶片或芯片。
在一个实施方式中，所述晶片可包括多个接合结构。所述多个接合结构可包括多个焊盘和多个引线接头。所述多个引线接头中的每一个均可被配置成将所述多个焊盘中的每一个连接到所述晶片。
在一个实施方式中，所述第一照相机和所述第二照相机可被布置为使得所述第一主光轴和所述第二主光轴可相对于对称轴轴向对称，所述对称轴垂直于由所述接收物体的区域限定的平面。
在一个实施方式中，所述第一照相机和所述第二照相机中的每一个可相对于所述对称轴以相同的照相机角度(α)来布置。此外，所述第一分束器和所述第二分束器中的每一个可相对于所述对称轴以相同的分束器角度(β)来布置。所述分束器角度与所述照相机角度之间的差为大约45°。结果，所述第一分束器和所述第二分束器可以以90°+2α的组合的分束器角度来布置。
在一个实施方式中，被配置为提供从所述接收物体的区域反射的光的所述装置可补偿由所述主体结构提供的光以及穿过所述第一透光部分和所述第二透光部分漏出的光。
一个实施方式可提供一种在光检测装置中检测光的方法，该光检测装置可包括：主体结构，该主体结构被配置为提供光，所述主体结构包括第一透光部分和在距离所述第一透光部分一距离处布置的第二透光部分；接收物体的区域，该接收物体的区域被布置为使得由所述主体结构提供的光可照射所述接收物体的区域的至少一部分；第一照相机，该第一照相机具有第一主光轴；第二照相机，该第二照相机具有第二主光轴；其中，所述主体结构可被布置在位于其一侧的所述第一照相机和所述第二照相机以及位于其另一侧的所述接收物体的区域之间；其中，所述第一照相机可被布置为使得其第一主光轴可被引导到所述接收物体的区域；其中，所述第二照相机可被布置为使得其第二主光轴可被引导到所述接收物体的区域；所述方法可包括：提供从所述接收物体的区域反射的光，使得第一反射光部分可被提供作为与所述第一主光轴对准的第一同轴光部分，并且使得第二反射光部分可被提供作为与所述第二主光轴对准的第二同轴光部分。
在一个实施方式中，当来自所述第一光源的光可入射在所述第一分束器上时，光可以被沿两个方向重新引导。所述分光结构可用于吸收一个方向上的光，并且另一个方向上的光可从被布置在所述接收物体的区域中的所述物体反射。所述第二照相机可被定位来接收该反射光。类似地，对于来自所述第二光源的光，所述装置可以使得源自所述第二光源的光可基本上被所述分光结构吸收并且/或者从被布置在所述接收物体的区域中的所述物体反射，然后由所述第一照相机感测。
图1A示出了根据一个实施方式的光检测装置102的主视图，该光检测装置102包括第一光源104、第二光源106、第一分束器108和第二分束器110。
光检测装置102可包括被配置来提供光的主体结构112，该主体结构112包括第一透光部分114和在距离第一透光部分114一定距离处布置的第二透光部分116。第一透光部分114和第二透光部分116之间的距离可根据设计和用户需要而改变。光检测装置102还可包括接收物体的区域118，该接收物体的区域被布置为使得由主体结构112提供的光可照射接收物体的区域118的至少一部分。
光检测装置102还可包括具有第一主光轴122的第一照相机120和具有第二主光轴126的第二照相机124。主体结构112可被布置在位于其一侧的第一照相机120和第二照相机124以及位于其另一侧的接收物体的区域118之间。
第一照相机120可被布置为使得其第一主光轴122可被引导为经由第一透光部分114而到达接收物体的区域118，并且第二照相机124可被布置为使得其第二主光轴126可被引导为经由第二透光部分116而到达接收物体的区域118。
光检测装置102还可包括被配置来提供从接收物体的区域118反射的光的装置128，使得第一反射光部分130可被提供作为与第一主光轴122对准的第一同轴光部分132，并且使得第二反射光部分134可被提供作为与第二主光轴126对准的第二同轴光部分136。装置128可有助于在由第二照相机124捕捉的图像上的晶片和引线接头之间产生良好的照明对比。
第一透光部分114和第二透光部分116中的每一个均被配置为至少允许一些光透过或是半透明的。可选择地，第一透光部分114和第二透光部分116中的每一个均可以被配置为是透明的。例如，第一透光部分114和第二透光部分116可被形成为两个独立的开口或单个开口。
在图1A中，主体结构112可具有圆顶形的形状。该圆顶形的形状可具有例如在大约40mm到大约45mm之间的半径。主体结构112可例如包括圆顶灯。
在一个实施方式中，主体结构112的面对接收物体的区域118的内表面138的至少一部分可具有反射表面。主体结构112的面对接收物体的区域118的内表面138的至少一部分还可被配置为产生光。主体结构112的面对接收物体的区域118的内表面138的所述至少一部分可包括产生光的涂层和/或多个有机发光二极管。
在图1A中，光检测装置102还可包括多个照射主体结构的光源140，该多个照射主体结构的光源被布置为照射主体结构112的内表面138的至少一部分。所述多个照射主体结构的光源140可被定位在主体结构112之内。
所述多个照射主体结构的光源140可包括多个灯。所述多个灯可包括发光二极管阵列；在可选择的实施方式中，所述多个灯可包括任何其他适合的产生光的器件，例如，有机发光二极管。所述多个灯可包括漫射器。
在图1A中，装置128可包括光装置142。光装置142可包括第一光源104和第二光源106。第一光源104可被布置为引导光穿过第一透光部分114而到达接收物体的区域118并且/或者第二光源106可被布置为引导光穿过第二透光部分116而到达接收物体的区域118。
第一光源104和/或第二光源106可包括同轴光源。第一光源104和/或第二光源106可包括聚集的光束或分散的光源，例如，多个灯。所述多个灯可包括发光二极管阵列；在可选择的实施方式中，所述多个灯可包括任何其他适合的产生光的器件，例如，有机发光二极管。
在图1A中，装置128还可包括分束器装置148。该分束器装置148可被布置在主体结构112的与第一照相机120和第二照相机124相同的那一侧上。分束器装置148可包括第一分束器108和第二分束器110。应注意，装置128可包括被配置为重新引导光以使得光可按需要被引导到接收物体的区域118或第一照相机120或第二照相机124的任何其他适合的器件。
第一分束器108可相对于第一光源104和第一照相机120布置，以使得第一分束器108可被配置为接收由第一光源104提供的光，并将光重新引导为经由第一透光部分114而到达接收物体的区域118，从而产生第二反射光部分134。第二反射光部分134可基本上与第二主光轴126对准，使得第二照相机124比第一照相机120更多地检测第二反射光部分134。此外，第二分束器110可相对于第二光源106和第二照相机124布置，以使得第二分束器110可被配置为接收由第二光源106提供的光，并将光重新引导为经由第二透光部分116而到达接收物体的区域118，从而产生第一反射光部分130。第一反射光部分130可基本上与第一主光轴122对准，使得第一照相机120比第二照相机124更多地检测第一反射光部分130。
在图1A中，光检测装置102还可包括分光结构154。该分光结构154可被布置在第一光源104和第二光源106之间。分光结构154可包括诸如黑纸之类的不透明材料，以便防止来自第一光源104的光与来自第二光源106的光发生干涉。
在图1A中，物体156可被布置在接收物体的区域118中。物体156可以是晶片(例如，半导体晶片)；在可选择的实施方式中，物体156可例如是任何类型的基片或载体，例如，包括多个晶片的晶圆。晶片可包括多个接合结构。
在图1A中，第一照相机120和第二照相机124可被布置为使得第一主光轴122和第二主光轴126可相对于对称轴190轴向对称，所述对称轴190垂直于由接收物体的区域118限定的平面158。
第一照相机120和第二照相机124中的每一个可相对于对称轴190以相同的照相机角度(α)来布置。此外，第一分束器108和第二分束器110中的每一个可相对于对称轴190以相同的分束器角度(β)来布置。分束器角度与照相机角度之间的差可以为大约45°。结果，第一分束器108和第二分束器110可以以90°+2α的组合的分束器角度来布置。
图1B示出了根据一个实施方式的光检测系统192的主视图，该光检测系统192包括图1A的光检测装置102。
光检测系统192可包括图1A中的输入160、输出162、控制或处理器件164以及光检测装置102。输入160可包括键盘，而输出162可包括显示器。控制或处理器件164可用于控制光检测装置102，并可包括处理器166(例如，(例如，可编程的)微处理器或任何种类的可编程的或硬连线逻辑)以及存储器168。
在使用时，使用者可对控制或处理器件164提供输入160，以便控制光检测装置102。可从光检测装置102接收数据，然后将数据存储在存储器168中。处理器166然后可以处理存储在存储器168中的数据，以便获得待被显示在输出162上的期望的图像数据。
图2A示出了根据一个实施方式的光检测装置102的主视图，该光检测装置102包括具有切口部分170的主体结构112，而图2B示出了根据一个实施方式的图2A的具有切口部分170的主体结构112的俯视图。
在图2A和图2B中，光检测装置102可包括被配置来提供光的主体结构112，该主体结构112包括第一透光部分114和在距离第一透光部分114一定距离处布置的第二透光部分116。第一透光部分114和第二透光部分116之间的距离可根据设计和用户需要而改变。
光检测装置102还可包括接收物体的区域118，该接收物体的区域被布置为使得由主体结构112提供的光可照射接收物体的区域118的至少一部分。
光检测装置102还可包括具有第一主光轴122的第一照相机120和具有第二主光轴126的第二照相机124，并且主体结构112可被布置在位于其一侧的第一照相机120和第二照相机124以及位于其另一侧的接收物体的区域118之间。
第一照相机120可被布置为使得其第一主光轴122可被引导为经由第一透光部分114而到达接收物体的区域118，并且第二照相机124可被布置为使得其第二主光轴126可被引导为经由第二透光部分116而到达接收物体的区域118。
光检测装置102还可包括被配置来提供从接收物体的区域118反射的光的装置128，使得第一反射光部分130可被提供作为与第一主光轴122对准的第一同轴光部分132，并且使得第二反射光部分134可被提供作为与第二主光轴126对准的第二同轴光部分136。
与图1A所示的光检测装置102不同，如图2A和2B所示的光检测装置102还可包括具有第一透光部分114和第二透光部分116的结构172。主体结构112可包括切口部分170，并且结构172可被布置在所述切口部分170中。作为实施例，具有第一透光部分114和第二透光部分116的结构172可包括矩形板或具有与切口部分170的形状相匹配的任何适合的形状的板。可选择地，结构172可包括漫射的白色塑料板。
此外，第一分束器108和第二分束器110之间的多重反射可到达第一照相机120和第二照相机124，并从而导致可能的伪影(artifact)(即，例如在由照相机呈现的图像中由于反射而造成的错误)，为消除这种多重反射，光检测装置102可包括分光结构154。该分光结构154可被定位在第一分束器108或第二分束器110之间，或被间接地定位在第一光源104和第二光源106之间。
与根据图1A的实施方式相比，根据图2A的实施方式可具有更紧凑或集成的设计。如果可以使用市场上买得到的同轴光源，则这种更紧凑或集成的设计是尤其有利的。作为实施例，由于两个同轴光源的透镜的有限的工作距离，可能不允许在根据图1A的实施方式中使用两个市场上买得到的同轴光源。此外，可能没有足够的空间以在圆顶灯之上包括两个同轴光源。根据图2A和图2B的照明的集成式设计可解决此问题。
为了容纳照明的该集成式设计，圆顶灯可以被切割出一矩形窗口，该矩形窗口比分开的第一分束器108和第二分束器110的组合的宽度要宽，以使得集成的第一分束器108和第二分束器110可被定位成低于圆顶灯的顶部。
为了既用于支撑集成的第一分束器108和第二分束器110，又用于减少由于对圆顶灯的切割而产生的圆顶灯的损失，可采用结构172或矩形板，这些结构172或矩形板可包括呈与第一照相机120和第二照相机124的观察角度相匹配的两个圆形开口的形式的第一透光部分114和第二透光部分116。
图3示出了根据一个实施方式的图2A的光检测装置102的样机的立体图。
光检测装置102可包括被配置来提供光的主体结构112。主体结构112可包括圆顶灯。
光检测装置102还可包括具有第一透光部分(未示出)和第二透光部分(未示出)的结构172。主体结构112具有切口部分170，并且结构172被布置在该切口部分170中。
光检测装置102还可包括被配置来提供从接收物体的区域(未示出)反射的光的装置128。
图4A示出了利用根据一个实施方式的图3的光检测装置102的样机获得的左图像400；图4B示出了利用根据一个实施方式的图3的光检测装置102的样机获得的右图像402。
在图4A和图4B中，左图像400可由左照相机或第一照相机120拍摄，而右图像402可由右照相机或第二照相机124拍摄。从相应的左图像400和右图像402可以看出，物体156，即，晶片194，包括多个接合结构174。多个接合结构174中的每个可包括多个焊盘176和多个引线接头178。所述多个引线接头中的每一个均被配置成将多个焊盘176中的每一个连接到物体156，即，晶片194。此外，图4A的左图像400以及图4B的右图像402中的晶片194和引线接头178的对比看起来是相当的。
图5A示出了根据一个实施方式的光检测装置102的主视图，该光检测装置102包括布置在主体结构112的与接收物体的区域118相同的那一侧上的分束器装置148；图5B示出了根据一个实施方式的图5A的光检测装置102的侧视图。
光检测装置102可包括：被配置来提供光的主体结构112，该主体结构112包括第一透光部分114和在距离第一透光部分114一定距离处布置的第二透光部分116；接收物体的区域118，该接收物体的区域被布置为使得由主体结构112提供的光可照射接收物体的区域118的至少一部分；具有第一主光轴122的第一照相机120；具有第二主光轴126的第二照相机124，其中，主体结构112可被布置在位于其一侧的第一照相机120和第二照相机124以及位于其另一侧的接收物体的区域118之间；其中，第一照相机120可被布置为使得其第一主光轴122可被引导为经由第一透光部分114而到达接收物体的区域118；其中，第二照相机124可被布置为使得其第二主光轴126可被引导为经由第二透光部分116而到达接收物体的区域118；被配置来提供从接收物体的区域118反射的光的装置128，使得第一反射光部分130可被提供作为与第一主光轴122对准的第一同轴光部分132，并且使得第二反射光部分134可被提供作为与第二主光轴126对准的第二同轴光部分136。第一透光部分114和第二透光部分116之间的距离可根据设计和用户需要而改变。
在图5A和图5B中，主体结构112可具有圆顶形的形状。该圆顶形的形状可具有例如在大约40mm到大约45mm之间的半径。主体结构112可例如包括圆顶灯。
光检测装置102还可包括多个照射主体结构的光源140，该多个照射主体结构的光源被布置为照射主体结构112的内表面138的至少一部分。所述多个照射主体结构的光源140可被定位在主体结构112之内。
在图5A和图5B中，装置128可包括分束器装置148。该分束器装置148可被布置在主体结构112的与接收物体的区域118相同的那一侧上。分束器装置148可被配置为接收由主体结构112的内表面138提供的光，并且由所接收的光产生第一反射光部分130和第二反射光部分134。这可补偿可穿过第一透光部分114和第二透光部分116漏出的光。
分束器装置148可包括单个分束器180，该单个分束器被配置为使得第一反射光部分130可被提供为作与第一主光轴122对准的第一同轴光部分132，并且使得第二反射光部分134可被提供作为与第二主光轴126对准的第二同轴光部分136。
在图5A和图5B中，由主体结构112的内表面138提供的漫射光可通过分束器装置148反射到物体156上，以便产生同轴照明效果。因为圆顶灯的曲率，可以满足对不同照明方向的要求。这种设计的一个优点是使对准变得相对简单和容易。
第一照相机120和第二照相机124可沿着共同的照相机平面196布置。单个分束器180可相对于共同的照相机平面196以大约45°的角来布置。该单个分束器180可被定位成以便对应于相应的第一透光部分114和第二透光部分116的位置。这可补偿穿过第一透光部分114和第二透光部分116漏出的光。
在图5A和图5B中，光检测装置102还可包括分光结构154。该分光结构154可被布置在分束器装置148和多个照射主体结构的光源140或主体结构112之间。分光结构154可被布置为基本上垂直于由接收物体的区域118所限定的平面158。
在图5A和图5B中，第一照相机120和第二照相机124可被布置为使得第一主光轴122和第二主光轴126可相对于对称轴190轴向对称，所述对称轴190垂直于由接收物体的区域118限定的平面158。第一照相机120和第二照相机124中的每一个可相对于对称轴190以相同的照相机角度(α)来布置。
图6示出了根据一个实施方式的图5A的光检测装置102的样机的立体图。
光检测装置102可包括被配置来提供光的主体结构112。该主体结构112可包括圆顶灯。
光检测装置102还可包括布置在主体结构112上方的第一照相机120和第二照相机124。
与图3所示的可以看见装置128的光检测装置102不同，装置128在图6中是看不见的，因为该装置可被布置在主体结构112之内。
图7A示出了利用根据一个实施方式的图5A的光检测装置102的样机获得的左图像700；图7B示出了利用根据一个实施方式的图5A的光检测装置102的样机获得的右图像702。
图7A和图7B中所示的相应的左图像700和右图像702可类似于图4A和图4B中所示的相应的左图像400和右图像402。在图7A和图7B中，类似于图4A和图4B，左图像700可由左照相机或第一照相机120拍摄，而右图像702可由右照相机或第二照相机124拍摄。从图7A和图7B中的相应的左图像和右图像可以看出，物体156，即，晶片194，包括多个接合结构174。多个接合结构174中的每个可包括多个焊盘176和多个引线接头178。所述多个引线接头178中的每一个均被配置成将多个焊盘176中的每一个连接到物体156，即，晶片194。此外，图7A的左图像700以及图7B的右图像702中的晶片194和引线接头178的对比看起来是相当的。
图8A示出了根据一个实施方式的光检测装置102的主视图，该光检测装置102包括条形光源182；图8B示出了根据一个实施方式的图8A的光检测装置102的侧视图。
光检测装置102可包括：被配置来提供光的主体结构112，该主体结构112包括第一透光部分114和在距离第一透光部分114一定距离处布置的第二透光部分116；接收物体的区域118，该接收物体的区域被布置为使得由主体结构112提供的光可照射接收物体的区域118的至少一部分；具有第一主光轴122的第一照相机120；具有第二主光轴126的第二照相机124，其中，主体结构112可被布置在位于其一侧的第一照相机120和第二照相机124以及位于其另一侧的接收物体的区域118之间；其中，第一照相机120可被布置为使得其第一主光轴122可被引导为经由第一透光部分114而到达接收物体的区域118；其中，第二照相机124可被布置为使得其第二主光轴126可被引导为经由第二透光部分116而到达接收物体的区域118；被配置来提供从接收物体的区域118反射的光的装置128，使得第一反射光部分130可被提供作为与第一主光轴122对准的第一同轴光部分132，并且使得第二反射光部分134可被提供作为与第二主光轴126对准的第二同轴光部分136。第一透光部分114和第二透光部分116之间的距离可根据设计和用户需要而改变。
在图8A和图8B中，主体结构112可具有在顶部处带有平坦部的圆顶形形状。主体结构112可包括例如圆顶灯。此外，在图8A和图8B中，圆顶灯可包括壳体，该壳体可具有平坦的顶部以便易于将分束器装置148定位在圆顶灯的顶部。
光检测装置102还可包括多个照射主体结构的光源140，该多个照射主体结构的光源被布置为照射主体结构112的内表面138的至少一部分。所述多个照射主体结构的光源140可被定位在主体结构112之内。
在图8A和图8B中，装置128可包括光装置142。该光装置142可包括定位在主体结构112上方或外部的一个或更多个漫射光源。漫射光源中的每一个可包括条形的光源182，该条形的光源可具有至少大于第一透光部分114和第二透光部分116的宽度的长度，以使得可以满足同轴照明效果所需要的光的方向。
在图8A和图8B中，装置128可包括分束器装置148。该分束器装置148可被布置在主体结构112的与第一照相机120和第二照相机124相同的那一侧上。分束器装置148可包括单个分束器180，该单个分束器被配置为使得第一反射光部分130可被提供作为与第一主光轴122对准的第一同轴光部分132，并且使得第二反射光部分134可被提供作为与第二主光轴126对准的第二同轴光部分136。
第一照相机120和第二照相机124可沿着共同的照相机平面196布置。单个分束器180可相对于共同的照相机平面196以大约45°的角来布置。
图9A示出了根据一个实施方式的光检测装置102的主视图，该光检测装置102包括弧形光源184；图9B示出了根据一个实施方式的图9A的弧形光源的俯视图
图9A和图9B中所示的光检测装置102可类似于图8A和图8B中所示的光检测装置102，区别在于，光装置142可包括弧形光源而不是条形的光源182。使用弧形光源的一个效果是当与条形的光源182相比时，可简化对准工作。
图10A示出了根据一个实施方式的光检测装置102的主视图，该光检测装置102包括蓝色二色镜186和红色二色镜188；图10B示出了根据一个实施方式的图10A的光检测装置102的俯视图。
光检测装置102可包括：被配置来提供光的主体结构112，该主体结构112包括开口198；接收物体的区域118，该接收物体的区域被布置为使得由主体结构112提供的光可照射接收物体的区域118的至少一部分；具有第一主光轴122的第一照相机120；具有第二主光轴126的第二照相机124；其中，主体结构112可被布置在位于其一侧的第一照相机120和第二照相机124以及位于其另一侧的接收物体的区域118之间；其中，第一照相机120可被布置为使得其第一主光轴122可被引导为经由开口198而到达接收物体的区域118；其中，第二照相机124可被布置为使得其第二主光轴126可被引导为经由开口198而到达接收物体的区域118；被配置来提供从接收物体的区域118反射的光的装置128，使得第一反射光部分130可被提供作为与第一主光轴122对准的第一同轴光部分132，并且使得第二反射光部分134可被提供作为与第二主光轴126对准的第二同轴光部分136。
在图10A和图10B中，主体结构112可具有圆顶形形状。主体结构112可包括圆顶灯。该圆顶灯可包括带有红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)光谱的白色LED圆顶灯。
光检测装置102还可包括多个照射主体结构的光源140，该多个照射主体结构的光源被布置为照射主体结构112的内表面138的至少一部分。所述多个照射主体结构的光源140可被定位在主体结构112之内。
装置128可包括布置在沿着第一主光轴122的光路中的第一波长的第一二色镜186以及布置在沿着第二主光轴126的光路中的第二波长的第二二色镜188。第一波长可不同于第二波长。第一波长可包括大约400nm到大约500nm之间的范围，而第二波长可包括大约500nm到大约650nm之间的范围。
第一二色镜186可被布置在开口198的一部分的上方，或被布置在主体结构112的与开口198的所述部分重叠的那一侧上，并且第二二色镜188可被布置在开口198的另一部分的上方，或被布置在主体结构112的与开口198的所述另一部分重叠的那一侧上。第一二色镜186可被布置成以便与第二二色镜188在相应的边缘处相接触。第一二色镜186和第二二色镜188也可被布置成以便基本上与开口198重叠。
第一二色镜186可以是蓝色二色镜，并且第二二色镜188可以是红色二色镜。可选择地，第二二色镜188可以是蓝色二色镜，并且第一二色镜186可以是红色二色镜。
在图10A和图10B中，第一二色镜186可以是蓝色二色镜，并且第二二色镜188可以是红色二色镜。红色二色镜可以反射红色光并让其他波长通过，而蓝色二色镜可以反射蓝色光并让其他波长通过。从红色二色镜反射的漫射红色圆顶光照射晶片表面，并且反射光将在到达第一照相机120之前通过蓝色二色镜。类似地，从蓝色二色镜反射的漫射蓝色圆顶光照射晶片表面，并且反射光将在到达第二照相机124之前通过红色二色镜。可选择地，可以构造具有混合的蓝色LED和红色LED的圆顶灯112，以分别控制蓝色照度和红色照度。
第一照相机120和第二照相机124可被布置为使得第一主光轴122和第二主光轴126可相对于对称轴190轴向对称，所述对称轴190垂直于由接收物体的区域118限定的平面158。
图11示出了根据一个实施方式的用于在光检测装置102中检测光的方法的流程图1100。
光检测装置102可包括被配置来提供光的主体结构112，该主体结构112包括第一透光部分114和在距离第一透光部分114一定距离处布置的第二透光部分116。光检测装置102还可包括接收物体的区域118，该接收物体的区域被布置为使得由主体结构112提供的光可照射接收物体的区域118的至少一部分。光检测装置102还可包括具有第一主光轴122的第一照相机120和具有第二主光轴126的第二照相机124。
主体结构112可被布置在位于其一侧的第一照相机120和第二照相机124以及位于其另一侧的接收物体的区域118之间。
第一照相机120可被布置为使得其第一主光轴122可被引导为经由第一透光部分114而到达接收物体的区域118，并且第二照相机124可被布置为使得其第二主光轴126可被引导为经由第二透光部分116而到达接收物体的区域118。
该方法可包括：提供从接收物体的区域118反射的光，使得第一反射光部分130可被提供作为与第一主光轴122对准的第一同轴光部分132，并且使得第二反射光部分134可被提供作为与第二主光轴126对准的第二同轴光部分136。
尽管已经参照具体实施方式具体地示出和描述了本发明，但本领域的技术人员应理解，在不偏离由所附权利要求限定的本发明的精神和范围的情况下，可对形式和细节上作出多种改变。本发明的范围因此由所附权利要求表示，并且因此旨在包括落在权利要求的等同物的含义和范围内的所有改变。

Claims (35)

1.一种光检测装置，该光检测装置包括：
主体结构，该主体结构被配置为提供光，所述主体结构包括第一透光部分和在距离所述第一透光部分一距离处布置的第二透光部分；
接收物体的区域，该接收物体的区域被布置为使得由所述主体结构提供的光照射所述接收物体的区域的至少一部分；
第一照相机，该第一照相机具有第一主光轴；
第二照相机，该第二照相机具有第二主光轴；
其中，所述主体结构被布置在位于其一侧的所述第一照相机和所述第二照相机以及位于其另一侧的所述接收物体的区域之间，
其中，所述第一照相机被布置为使得所述第一主光轴被引导为经由所述第一透光部分而到达所述接收物体的区域；
其中，所述第二照相机被布置为使得所述第二主光轴被引导为经由所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域；
被配置来提供从所述接收物体的区域反射的光的装置，使得第一反射光部分被提供作为与所述第一主光轴对准的第一同轴光部分，并且使得第二反射光部分被提供作为与所述第二主光轴对准的第二同轴光部分。
2.如权利要求1所述的光检测装置，其中，所述主体结构具有圆顶形的形状。
3.如权利要求1或2所述的光检测装置，所述光检测装置还包括：
具有所述第一透光部分和所述第二透光部分的结构，
其中，所述主体结构具有切口部分，并且所述结构被布置在所述切口部分内。
4.如权利要求1所述的光检测装置，其中，所述主体结构的面对所述接收物体的区域的内表面的至少一部分具有反射表面。
5.如权利要求1所述的光检测装置，其中，所述主体结构的面对所述接收物体的区域的内表面的至少一部分被配置为产生光。
6.如权利要求5所述的光检测装置，其中，所述主体结构的面对所述接收物体的区域的内表面的所述至少一部分包括产生光的涂层和/或多个有机发光二极管。
7.如权利要求1所述的光检测装置，所述光检测装置还包括至少一个照射主体结构的光源，该至少一个照射主体结构的光源被布置为照射所述主体结构的内表面的至少一部分。
8.如权利要求7所述的光检测装置，其中，所述至少一个照射主体结构的光源包括多个灯。
9.如权利要求8所述的光检测装置，其中，所述多个灯包括发光二极管阵列。
10.如权利要求8或9所述的光检测装置，其中，所述多个灯包括漫射器。
11.如权利要求1所述的光检测装置，其中，所述装置包括光装置。
12.如权利要求11所述的光检测装置，其中，所述光装置包括第一光源和第二光源。
13.如权利要求12所述的光检测装置，其中，所述第一光源和/或所述第二光源包括多个灯。
14.如权利要求13所述的光检测装置，其中，所述多个灯包括发光二极管阵列。
15.如权利要求11所述的光检测装置，其中，所述光装置包括光源，所述光源选自由弧形光源、条形光源和漫射器组成的光源组。
16.如权利要求7所述的光检测装置，其中，所述装置包括分束器装置。
17.如权利要求16所述的光检测装置，其中，所述分束器装置被布置在所述主体结构的与所述第一照相机和所述第二照相机相同的那一侧上。
18.如权利要求16所述的光检测装置，其中，所述分束器装置包括第一分束器和第二分束器。
19.如权利要求18所述的光检测装置，
其中，所述装置包括光装置，所述光装置包括第一光源和第二光源；
其中，所述第一分束器相对于所述第一光源和所述第一照相机被布置为，使得所述第一分束器被配置为接收由所述第一光源提供的光，并将该光重新引导为经由所述第一透光部分而到达所述接收物体的区域，从而产生所述第二反射光部分；并且
其中，所述第二分束器相对于所述第二光源和所述第二照相机被布置为，使得所述第二分束器被配置为接收由所述第二光源提供的光，并将该光重新引导为经由所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域，从而产生所述第一反射光部分。
20.如权利要求16所述的光检测装置，
其中，所述装置包括光装置，并且
其中，所述分束器装置相对于所述光装置以及所述第一照相机和所述第二照相机被布置为，使得所述分束器装置被配置为接收由所述光装置提供的光，并将该光重新引导为经由相应的所述第一透光部分和所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域，以由所接收的光产生所述第二反射光部分和所述第一反射光部分。
21.如权利要求16所述的光检测装置，其中，所述分束器装置被布置在所述主体结构的与所述接收物体的区域相同的那一侧上。
22.如权利要求21所述的光检测装置，其中，所述分束器装置被布置为接收由所述主体结构的所述内表面提供的光，并由所接收的光产生所述第一反射光部分和所述第二反射光部分。
23.如权利要求20所述的光检测装置，其中，所述分束器装置由单个分束器组成，该单个分束器被配置为使得所述第一反射光部分被提供作为与所述第一主光轴对准的所述第一同轴光部分，并且使得所述第二反射光部分被提供作为与所述第二主光轴对准的所述第二同轴光部分。
24.如权利要求23所述的光检测装置，其中，所述第一照相机和所述第二照相机沿着共同的照相机平面布置。
25.如权利要求24所述的光检测装置，其中，所述单个分束器相对于所述共同的照相机平面以45°的角来布置。
26.如权利要求1所述的光检测装置，其中，所述装置包括布置在沿着所述第一主光轴的光路中的第一波长的第一二色镜以及布置在沿着所述第二主光轴的光路中的第二波长的第二二色镜。
27.如权利要求26所述的光检测装置，其中，所述第一二色镜被布置在所述第一透光部分中，或被布置在所述主体结构的与所述第一透光部分重叠的那一侧上，并且其中所述第二二色镜被布置在所述第二透光部分中，或被布置在所述主体结构的与所述第二透光部分重叠的那一侧上。
28.如权利要求26所述的光检测装置，其中，所述第一二色镜是蓝色二色镜并且所述第二二色镜是红色二色镜；或者其中，所述第二二色镜是蓝色二色镜并且所述第一二色镜是红色二色镜。
29.如权利要求19所述的光检测装置，所述光检测装置还包括分光结构。
30.如权利要求29所述的光检测装置，其中，所述分光结构被布置在所述第一光源和所述第二光源之间，或者被布置在所述分束器装置和所述至少一个照射主体结构的光源之间。
31.如权利要求1所述的光检测装置，所述光检测装置还包括被布置在所述接收物体的区域中的物体。
32.如权利要求31所述的光检测装置，其中，所述物体是晶片。
33.如权利要求32所述的光检测装置，其中，所述晶片包括多个接合结构。
34.如权利要求1所述的光检测装置，其中，所述第一照相机和所述第二照相机被布置为使得所述第一主光轴和所述第二主光轴相对于对称轴轴向对称，所述对称轴垂直于由所述接收物体的区域限定的平面。
35.一种在光检测装置中检测光的方法，所述光检测装置包括：
主体结构，该主体结构被配置为提供光，所述主体结构包括第一透光部分和在距离所述第一透光部分一距离处布置的第二透光部分；
接收物体的区域，该接收物体的区域被布置为使得由所述主体结构提供的光照射所述接收物体的区域的至少一部分；
第一照相机，该第一照相机具有第一主光轴；
第二照相机，该第二照相机具有第二主光轴；
其中，所述主体结构被布置在位于其一侧的所述第一照相机和所述第二照相机以及位于其另一侧的所述接收物体的区域之间，
其中，所述第一照相机被布置为使得所述第一主光轴被引导为经由所述第一透光部分而到达所述接收物体的区域；
其中，所述第二照相机被布置为使得所述第二主光轴被引导为经由所述第二透光部分而到达所述接收物体的区域；
所述方法包括：
提供从所述接收物体的区域反射的光，使得第一反射光部分被提供作为与所述第一主光轴对准的第一同轴光部分，并且使得第二反射光部分被提供作为与所述第二主光轴对准的第二同轴光部分。
CN201080012282.7A 2009-02-06 2010-02-08 光检测装置以及用于在光检测装置中检测光的方法 Active CN102356457B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15063409P 2009-02-06 2009-02-06
US61/150,634 2009-02-06
PCT/SG2010/000041 WO2010090604A1 (en) 2009-02-06 2010-02-08 A light detection arrangement and a method for detecting light in a light detection arrangement

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102356457A CN102356457A (zh) 2012-02-15
CN102356457B true CN102356457B (zh) 2014-05-07

Family

ID=42542307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201080012282.7A Active CN102356457B (zh) 2009-02-06 2010-02-08 光检测装置以及用于在光检测装置中检测光的方法

Country Status (4)

Country Link
CN (1) CN102356457B (zh)
MY (1) MY156792A (zh)
SG (1) SG173070A1 (zh)
WO (1) WO2010090604A1 (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI125320B (en) 2012-01-05 2015-08-31 Helmee Imaging Oy ORGANIZATION AND SIMILAR METHOD FOR OPTICAL MEASUREMENTS
US8879073B2 (en) * 2012-02-24 2014-11-04 Kla-Tencor Corporation Optical metrology using targets with field enhancement elements
US11442020B2 (en) 2016-10-07 2022-09-13 Hutchinson Technology Incorporated On-axis and diffuse illumination for inspection systems
CN106814073A (zh) * 2017-03-17 2017-06-09 苏州富鑫林光电科技有限公司 Aoi视觉检测同轴光源配四周条光及高角度检测机构
CN110836644A (zh) * 2018-08-17 2020-02-25 聚晶半导体股份有限公司 三维感测装置及三维感测方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0466562A2 (en) * 1990-07-04 1992-01-15 Fujitsu Limited Method and apparatus for measuring three-dimensional configuration of wire-shaped object in a short time
US5424838A (en) * 1993-03-01 1995-06-13 Siu; Bernard Microelectronics inspection system
WO2002045136A2 (en) * 2000-11-28 2002-06-06 Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. Three dimensional lead inspection system
JP2002310930A (ja) * 2001-04-13 2002-10-23 Nec Corp ボンディングワイヤ検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0466562A2 (en) * 1990-07-04 1992-01-15 Fujitsu Limited Method and apparatus for measuring three-dimensional configuration of wire-shaped object in a short time
US5424838A (en) * 1993-03-01 1995-06-13 Siu; Bernard Microelectronics inspection system
WO2002045136A2 (en) * 2000-11-28 2002-06-06 Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. Three dimensional lead inspection system
JP2002310930A (ja) * 2001-04-13 2002-10-23 Nec Corp ボンディングワイヤ検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
MY156792A (en) 2016-03-31
SG173070A1 (en) 2011-08-29
CN102356457A (zh) 2012-02-15
WO2010090604A1 (en) 2010-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5241068B2 (ja) 側発光デバイス及びそれを光源として使用するバックライトユニット、並びにそれを採用した液晶表示装置
KR100723857B1 (ko) 도광판, 면광원장치, 및 표시장치
CN102356457B (zh) 光检测装置以及用于在光检测装置中检测光的方法
JP6206560B2 (ja) システム
US8029167B2 (en) Light emitting device
TWI253187B (en) Light source unit and projector
WO2007008763A1 (en) Achieving convergent light rays emitted by planar array of light sources
US6573987B2 (en) LCC device inspection module
US20160178152A1 (en) Light device comprising surface light sources
WO2018103341A1 (zh) 一种光耦合装置、光源系统及内窥镜系统
US20080151553A1 (en) Illuminator and Image Reader Employing It
JP5118617B2 (ja) 照明用レンズ、発光装置、面光源および液晶ディスプレイ装置
CN102928969A (zh) 一种微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪
JP2013020716A (ja) 光束制御部材および発光装置
JP2001522997A (ja) 構成素子の位置を検出しかつ／または構成素子の接続部の位置を検出する装置および方法ならびに構成素子の位置を検出しかつ／または構成素子の接続部の位置を検出する装置を備えた装着ヘッド
US11251347B2 (en) Semiconductor light source
JP2017076492A (ja) Ｌｅｄ照明装置
JP2016081898A (ja) 照明装置、パターン照射装置およびシステム
WO2017056479A1 (en) System
US10684118B1 (en) Apparatus for determining an orientation of a die
KR100636505B1 (ko) Line CCD를 이용하여 패턴을 검사하는 광학계용 조명장치
CN115419863B (zh) 均匀照明透镜及其灯具
TW201348820A (zh) 背光模組與液晶顯示裝置
JP2011002544A (ja) 集光素子、集光光学系、及び、プロジェクタ
CN101566757B (zh) 背光模组及液晶显示装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant