CN102353631A - 光学测量用池 - Google Patents
光学测量用池 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102353631A CN102353631A CN2011101480229A CN201110148022A CN102353631A CN 102353631 A CN102353631 A CN 102353631A CN 2011101480229 A CN2011101480229 A CN 2011101480229A CN 201110148022 A CN201110148022 A CN 201110148022A CN 102353631 A CN102353631 A CN 102353631A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pair
- pad
- light
- recess
- location indentations
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 46
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 27
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 79
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 12
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 abstract 5
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 abstract 2
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 abstract 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 235000014347 soups Nutrition 0.000 description 6
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/05—Flow-through cuvettes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N2021/0346—Capillary cells; Microcells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/05—Flow-through cuvettes
- G01N2021/058—Flat flow cell
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/09—Cuvette constructions adapted to resist hostile environments or corrosive or abrasive materials
Landscapes
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
本发明提供一种光学测量用池，在降低制造成本的同时，可以改变池长度，并且可以将垫片可靠地定位在希望的位置。流动池具有夹持流道的一对光学窗，流动池包括：池主体，设置有容纳凹部以及与容纳凹部连通的液体导入部和液体导出部；一对透光部件，容纳在容纳凹部中，形成一对光学窗；垫片，确定一对透光部件彼此的相对面之间的距离；以及按压机构，将透光部件和垫片朝向容纳凹部的底面按压，并形成流道，在一对透光部件彼此的相对面的至少一方上，设置有形状与垫片对应的定位凹部，垫片嵌入定位凹部而被大体定位。
Description
技术领域
本发明涉及一种在例如半导体等的制造工序中用于测量氢氟酸(HF)等药液浓度等的光学测量用池(cell)，特别涉及一种具有夹持被检测液体流动的流道的一对光学窗的光学测量用流动池(flow cell)。
背景技术
所述流动池连接在设置在半导体制造装置中的药液配管上。向所述流动池一方的光学窗照射测量光，接收从另一方的光学窗射出的透射光。而且，根据被检测液体的透射光强度可以计算出该被检测液体含有的规定成分的浓度等，从而可以进行药液的浓度控制。
如图10所示，以往的流动池以在流动池的内部形成连接液体导入部和液体导出部的流道的方式，通过熔融黏结或者分子键等将多个透光性部件粘合在一起形成一体。
但是，所述熔融黏结或者分子键等粘合处理的加工费用昂贵，会产生制造成本变高的问题。特别是在使用对氢氟酸(HF)等药液具有耐蚀性的材质(例如蓝宝石等)的情况下，不仅材质自身昂贵，而且蓝宝石的加工费也很高，因此会进一步抬高制造成本。此外，由于透光性部件彼此粘合在一起，所以每个流动池的池长度(cell length)固定，当想用不同的池长度进行测量时，必须另外准备流动池，因此存在费用增加的问题。
针对所述问题，专利文件1(日本专利公开公报特开平8-68746号)所示提案为不采用粘合方式，而是通过夹持方式组装流动池。具体而言，一对光透射部以规定的间隔相对设置，在所述一对光透射部之间设有垫片，该垫片用于以规定的间隔(池长度)设定一对光透射部，利用一对盖板夹持设置了一对光透射部的框体并用螺栓连结。如果采用该结构，则可以通过设定垫片的长度来确定池长度。
但是，有时会发生下述问题，即：由于流动池的移动或安装时的振动或冲击，或者测量时被检测液体的压力等原因，会造成被夹持的垫片位置发生偏移，其结果流道形状发生变化，并且垫片进入测量光的光路中这样的不恰当的位置，从而产生测量误差。
此外，在流动池的组装工序中，在光透过部之间设置垫片时，难以判断垫片相对光透过部应设置在什么位置，此外，设置垫片以及将其夹入一对光透过部之间进行固定时，都存在垫片发生位置偏移的问题。因此，垫片的组装作业困难，也难以形成所希望的流道形状。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种光学测量用池，该光学测量用池可以解决所述的问题，在降低制造成本的同时，可以改变池长度，并且可以可靠地将垫片定位在希望的位置。
即，本发明提供一种光学测量用池，具有一对光学窗，该一对光学窗夹持容纳被检测液体的流道，所述光学测量用池包括：池主体，设置有容纳凹部以及与该容纳凹部的内侧周面连通的液体导入部和液体导出部，在所述容纳凹部的底面的一部分上设有贯通孔；一对透光部件，容纳在所述容纳凹部中，形成所述一对光学窗；垫片，与所述一对透光部件彼此的相对面分别接触，确定所述相对面之间的距离；以及按压机构，将所述一对透光部件及所述垫片向所述容纳凹部的底面按压以使所述一对透光部件及所述垫片贴紧，并在所述一对透光部件之间形成与所述液体导入部和所述液体导出部连接的流道，其中，在所述一对透光部件彼此的相对面的至少一方上，设置有形状与所述垫片对应的定位凹部，所述垫片嵌入所述定位凹部而被大体定位。另外，“被大体定位”是指：不仅包括垫片无松动地嵌入定位凹部而被定位的情况；也包括在不妨碍测量的范围内，垫片略微松动地被定位于定位凹部的情况。
按照所述光学测量用池，通过按压机构按压各透光部件和垫片并使它们贴紧，不必进行高成本的粘合处理，因此可以降低制造成本。此外，由于各透光部件和垫片未被粘合，而是通过按压机构按压贴紧，所以可以将垫片变更为厚度及形状等不同的垫片，从而可以改变池长度。另外，透光部件上设有定位凹部，因此垫片可以嵌入定位凹部，从而可以防止由于来自外部的振动、冲击或被检测液体的压力等造成垫片相对于设置有定位凹部的透光部件发生偏移。此外，可以将垫片可靠地定位在希望的位置，从而可以形成希望的流道形状。此外，可以通过切削或者研磨等形成定位凹部，而不必通过粘合等另外安装定位用的构件，因此可以降低制造成本。
此外，在所述光学测量用池中，所述定位凹部设置在所述相对面的外侧边缘部上，并且所述定位凹部的底面形成为与所述透光部件的侧面连接的台阶形状，所述垫片被夹持在所述容纳凹部的内侧周面及与该内侧周面相对的所述定位凹部的侧面之间而被定位。按照所述的光学测量用池，可以在池的中央部形成流道。此外，由于定位凹部设置在外侧边缘部，所以与定位凹部设置在相对面的中央部的情况相比，更易通过研磨形成定位凹部。
在组装工序中，为了确认已经设置好的透光部件的定位凹部的位置，从而可靠地对垫片进行定位，优选的是，所述定位凹部设置在配置于所述容纳凹部的底面一侧的透光部件的相对面上。
此外，在所述光学测量用池中，所述容纳凹部俯视为大体圆形，所述一对透光部件的每个透光部件俯视为嵌入所述容纳凹部的大体圆形，所述垫片为一对部分圆弧板，该一对部分圆弧板具有形成俯视与所述一对透光部件为大体相同圆的部分圆弧形状的侧面，所述定位凹部以俯视与所述垫片分别为大体相同的形状的方式设置，并且所述定位凹部夹持所述液体导入部和所述液体导出部，并形成在所述相对面的外侧边缘部上。按照所述的光学测量用池，各构件主要为圆形，因此加工简单，可以降低制造成本。此外，还具有利用O形环等密封构件容易密封的优点。此外，与使用一对构件的任一方作为垫片的情况相比，使用一对构件的情况，可以降低构件受到的表面压力，所以可以防止垫片的破损。
按照如上所述的本发明，在降低制造成本的同时，可以改变池长度，并且可以将垫片可靠地定位在希望的位置。
附图说明
图1是使用本发明实施方式的光学测量用流动池的模式图。
图2是与图1相同实施方式的光学测量用流动池的立体图。
图3是与图1相同实施方式的光学测量用流动池的后视图。
图4是与图1相同实施方式的光学测量用流动池的纵断面局部放大图。
图5是与图1相同实施方式的光学测量用流动池的横断面放大图。
图6是表示与图1相同实施方式的设置有容纳凹部的透光部件的图。
图7是表示与图1相同实施方式的垫片的俯视图。
图8是表示与图1相同实施方式的光学测量用流动池的分解立体图。
图9是表示另一实施方式的垫片的图。
图10是表示以往的流动池的图。
附图标记说明
100…流动池
10…流动池主体
11…容纳凹部
11a…贯通孔
13…液体导出部
14…液体导入部
20…第一透光部件
21…第二透光部件
22…定位凹部
23…光学窗
30…垫片
80…按压机构
90…托架(holder)
L…配管
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明一个实施方式的光学测量用流动池100。
如图1所示，本实施方式的光学测量用流动池100连接在设置在半导体制造装置上的配管L上，用于测量氢氟酸等药液(被检测液体)的浓度等。此外，流动池100具有一对光学窗23，该光学窗23夹持被检测液体流动的流道并且相互相对。来自光源的光从一方的光学窗23向被检测液体照射，由光检测部接收从另一方的光学窗23射出的透射光。通过接收到来自所述光检测部的光强度信号的计算部，计算出被检测液体含有的规定成分的浓度。利用如上所述得到的浓度，控制药液的浓度等。
具体地说，如图2～图5所示，光学测量用流动池100包括流动池主体10、一对透光部件20、21、垫片30以及按压机构80。
如图2所示，流动池主体10呈大体长方体形状，如图4所示，在流动池主体10前侧的面上设置有容纳凹部11以及与容纳凹部11的内侧周面11c连通的液体导出部13和液体导入部14。使用例如PTFE(聚四氟乙烯)形成流动池主体10。此外，为了防止在池内滞留气泡，被检测液体从下部的液体导入部14导入，从上部的液体导出部13导出。
容纳凹部11用于在内部容纳一对透光部件20、21和垫片30。如图3所示，容纳凹部11呈大体圆筒形(俯视为大体圆形)，在其底面11d的中央部设置有用于使光通过的贯通孔11a，在底面11d的外周部上设置有圆环槽11b。容纳凹部11、贯通孔11a和圆环槽11b俯视形成为同心圆形。
液体导出部13用于从容纳凹部11导出被检测液体。另外，如图4所示，所述液体导出部13的一端开口于容纳凹部11的内侧周面11c的上部，液体导出部13的另一端具有与外部配管L连接的内部流道13a。此外，液体导出部13的内部流道13a形成为与流动池主体10的上侧的面和下侧的面垂直、且通过容纳凹部11的大体圆形的中心的一条直线形。此外，液体导出部13的上部具有连接器的功能。
液体导入部14用于向容纳凹部11导入被检测液体。如图4所示，所述液体导入部14的一端开口于容纳凹部11的内侧周面11c的下部，液体导入部14的另一端具有与外部配管L连接的内部流道14a。另外，液体导入部14的内部流道14a形成为与流动池主体10的上侧的面和下侧的面垂直、且通过容纳凹部11的大体圆形的中心的一条直线形。此外，液体导入部14的下部具有连接器的功能。液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b隔着容纳凹部11的大体圆形的中心相对。
如图4和图5所示，一对透光部件20、21容纳在容纳凹部11中，并以规定距离相对设置，形成流动池100的一对光学窗23。另外，所述一对透光部件20、21包括：第一透光部件20，容纳在容纳凹部11的底面11d一侧；以及第二透光部件21，容纳在容纳凹部11的开口面一侧。第一透光部件20和第二透光部件21俯视为大体相同的形状，如图6所示，是分别嵌入容纳凹部11中的大体圆板形状。如图4和图5所示，各透光部件20、21在容纳于容纳凹部11中的状态下，第一透光部件20的下侧的面20c(相对面20a的相反一侧的面)与容纳凹部11的底面11d接触，并且第一透光部件20的相对面20a和第二透光部件21的相对面21a分别与容纳凹部11的底面11d平行。
另外，对于第一透光部件20的厚度，如果用其与液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b的关系来讲，则如图4所示，将第一透光部件20的厚度设定为：在第一透光部件20容纳在容纳凹部11中的状态下，液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b不会被第一透光部件20堵塞。即，相对地设定第一透光部件20的厚度以及液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b的位置、形状或者大小，使得第一透光部件20的厚度小于从容纳凹部11的底面11d到液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b的容纳凹部11的开口面一侧端部的距离。此外，一对透光部件20、21使用对氢氟酸(HF)等药品的耐蚀性、耐按压强度以及透光性都优异的蓝宝石形成。
如图4和图5所示，垫片30与一对透光部件20、21的相对面20a、21a分别接触，垫片30用于使相对面20a、21a相互平行、并且确定一对透光部件20、21的相对面20a、21a之间的距离。另外，如图7所示，垫片30为形状相同的一对部分圆弧板。该一对部分圆弧板分别具有弯曲的外侧面30a以及直线状的内侧面30b。此外，所述外侧面30a形成俯视与一对透光部件20、21为大体相同的圆(与容纳凹部11大体相同的圆)的部分圆弧形状。垫片30使用对氢氟酸(HF)等药液的耐蚀性、耐按压强度都优异的蓝宝石形成。
如图3～图5所示，按压机构80用于将从容纳凹部11的底面11d依次配置的第一透光部件20、垫片30和第二透光部件21，向容纳凹部11的底面11d按压并使它们贴紧，在一对透光部件20、21和垫片30之间形成连接液体导出部13和液体导入部14的流道。此外，按压机构80包括：第一夹持板50和第二夹持板60，夹持流动池主体10；倾斜环44，介于第一夹持板50和第二透光部件21之间；以及连接构件70，用于连接各夹持板，例如为螺钉。此外，在流动池主体10的容纳凹部11的周围，设有贯通孔16(此处为4个)，贯通孔16用于连接构件70贯通，从前侧的面贯穿到背面。
如图3～图5所示，第一夹持板50安装在流动池主体10的前侧的面一侧，用于按压住容纳在容纳凹部11中的各构件。第一夹持板50的上部设有用于使光通过的贯通孔51以及用于连接构件70贯通的贯通孔52(此处为4个)。贯通孔51设置在与容纳凹部11的贯通孔11a对应的位置上。贯通孔52分别设置在与流动池主体10的贯通孔16对应的位置上。此外，在第一夹持板50的下部设置有用于将流动池100安装在外部装置等上的孔。
如图3～图5所示，第二夹持板60安装在流动池主体10的背面一侧，为比流动池主体10的背面小一圈的大体矩形板。此外，第二夹持板60上设置有用于使光通过的贯通孔61以及连接构件70螺合的内螺纹孔62(此处为4个)。贯通孔61设置在与容纳凹部11的贯通孔11a对应的位置上。内螺纹孔62分别设置在与流动池主体10的贯通孔16对应的位置上。
如图4和图5所示，倾斜环44与第一夹持板50和第二透光部件21分别接触，用于将按压力从第一夹持板50传递到第二透光部件21上。具体而言，所述的倾斜环44呈大体圆筒形，具有将外侧周面以及与第二透光部件21接触的底面的一部分斜向切除而形成的圆锥台形倾斜面。此外，倾斜环44的内径与容纳凹部11的贯通孔11a的直径大体一致。倾斜环44的厚度被设定为：将第一透光部件20、垫片30、第二透光部件21和倾斜环44依次容纳在容纳凹部11后的高度，比容纳凹部11的深度大。即设定为使倾斜环44的一部分从容纳凹部11露出。
此外，如图4和图5所示，在倾斜环44的倾斜面、第二透光部件21的上侧的面21b(相对面21a的相反一侧的面)以及容纳凹部11的内侧周面11c之间，设置有O形环43等密封构件。而且，当倾斜环44被按压向容纳凹部11的底面11d时，O形环43被压扁。在该状态下，O形环43和第二透光部件21的上侧的面21b之间贴紧成为气密状态。另一方面，O形环43和容纳凹部11的内侧周面11c贴紧成为气密状态。其结果，即使在流道中流动的被检测液体从各透光部件20、21和垫片30之间漏出到容纳凹部11的内侧周面11c上，也可以防止液体泄露到外部。此外，所述O形环43使用PTFE(聚四氟乙烯)等形成。
另外，如图5和图6所示，在一对透光部件20、21彼此的相对面20a、21a的至少一方(此处为第一透光部件20的相对面20a)上，设置有与垫片30对应形状的定位凹部22。该定位凹部22用于嵌入垫片30从而使垫片30大体定位。具体而言，在容纳凹部11中容纳有第一透光部件20的状态下，定位凹部22以夹持液体导出部13和液体导入部14的方式分别设置在相对面20a的外侧边缘部的两端上。此外，定位凹部22的底面22b形成为与透光部件的侧面20b连接的台阶形状。换句话说，定位凹部22形成为从与第一透光部件20的外周相对的平行的一对弦开始，朝向径向分别低一层。
另外，如图7所示，在将垫片30嵌入定位凹部22的状态下，在俯视中，垫片30的弯曲的外侧面30a与第一透光部件20的侧面20b符合，并且如图5所示，垫片30的直线状的内侧面30b与定位凹部22的侧面22a接触。而且，如图5所示，定位凹部22的侧面22a被设置为相互大体平行，其侧面22a之间的距离被设置为大于设置在容纳凹部11中的贯通孔11a的直径，并且大于液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b的宽度。定位凹部22的深度可适当设定，本实施方式中设定为0.1mm左右。此外，垫片30确定相对面20a、21a之间的距离(池长度)，该距离为从垫片30的厚度减去定位凹部22的深度所得到的值。
如图5所示，在容纳凹部11中容纳有一对透光部件20、21和垫片30的状态下，垫片30以被夹持在容纳凹部11的内侧周面11c和与内侧周面11c相对的定位凹部22的侧面22a之间不会偏移的方式被定位。此外，如图5和图6所示，液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b的中央位于相对面20a、21a之间，并且液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b的中央位于垫片30的内侧面30b之间，并且液体导出部13的开口13b和液体导入部14的开口14b的中央位于定位凹部22的侧面22a之间。
另外，本实施方式的流动池100除了被检测液体流动的流道(样品池(sample cell))以外，还包括参比池(reference cell)。参比池用于使光通过，从而得到基准的透射光强度，如图5所示，参比池主要由设置在流动池主体10上的参照容纳凹部12以及参照圆柱构件41构成。
参照容纳凹部12用于容纳参照圆柱构件41。此外，如图3所示，参照容纳凹部12设置在流动池主体10的背面，与容纳凹部11隔开规定距离且俯视为大体圆形。参照容纳凹部12的底面的一部分上设有贯通孔12a。如图3所示，参照容纳凹部12和贯通孔12a俯视形成为同心圆形。
参照圆柱构件41用于使光通过，从而得到基准的透射光强度，其俯视为嵌入参照容纳凹部12的大体圆柱形状。参照圆柱构件41的长度根据要测量的规定成分的折射率而适当设定。参照圆柱构件41使用石英玻璃形成。
另外，在流动池主体10的参照容纳凹部12的周围，从前侧的面到背面贯穿设置有用于连接构件70贯穿的连接孔17(此处为两个)。此外，在第二夹持板60上，在与连接孔17对应的位置上设置有用于连接构件70螺和的内螺纹孔63(此处为两个)。此外，在第二夹持板60上，在与参照容纳凹部12的贯通孔12a对应的位置上设置有使光通过的贯通孔61。
下面，参照图8说明本实施方式的流动池100组装步骤的一个例子。
首先，说明参比池的组装。使流动池主体10的背面朝上，在流动池主体10的参照容纳凹部12中依次容纳入参照圆柱构件41和O形环43。而后将第二夹持板60放置在参照容纳凹部12的开口面(流动池主体10的背面)上，将作为连接构件70的螺钉，从流动池主体10的前侧的面一侧，插入流动池主体10的参照容纳凹部12一侧的连接孔17，进而使其与所述连接孔17对应的第二夹持板60的内螺纹孔63螺合。其结果，第二夹持板60和参照圆柱构件41被安装到流动池主体10上，形成参比池。
接着，说明被检测液体流动的流道(样品池)的组装。组装好所述的参比池后，翻转流动池主体10，使流动池主体10的前侧的面朝上。接着，如图5和图8所示，在流动池主体10的容纳凹部11的圆环槽11b中，容纳入O形环43，然后容纳入第一透光部件20。此时，使定位凹部22朝向容纳凹部11的开口面一侧亦即流动池主体10的前侧的面一侧，并且将定位凹部22设置为夹持液体导出部13和液体导入部14的状态。另外，以使垫片30的下侧的面30c嵌入定位凹部22的方式设置垫片30。在该状态下，由于垫片30被夹持在容纳凹部11的内侧周面11c以及与该内侧周面11c相对的定位凹部22的侧面22a之间，所以垫片30被定位，使得垫片30相对第一透光部件20不会偏移。
然后，在容纳了各构件的容纳凹部11的开口面上放置第一夹持板50。接着将作为连接构件70的螺钉从设置在第一夹持板50上的贯通孔52和流动池主体10的前侧的面一侧，插入流动池主体10的容纳凹部11一侧的贯通孔16，进而使作为连接构件70的螺钉与在第二夹持板60上设置的内螺纹孔62螺和。其结果，第一夹持板50被安装到流动池主体10上。此后，如果将螺钉拧紧，则如图5所示，一对透光部件20、21和垫片30被朝向容纳凹部11的底面11d按压而贴紧，在一对透光部件20、21和容纳凹部11之间形成与液体导出部13和液体导入部14连接的流道。在该状态下，垫片30确定相对面20a、21a之间的距离(池长度)，所述距离为从垫片30的厚度减去定位凹部22的深度所得到的值。
下面，说明改变一对透光部件20、21的相对面20a、21a之间距离(池长度)的步骤的一个例子。首先，取下第一夹持板50后，卸下倾斜环44、O形环43、第二透光部件21以及垫片30。而后，依次容纳入不同厚度的垫片30、第二透光部件21、O形环43以及倾斜环44，再次安装上第一夹持板50。其结果，形成了一对透光部件20、21的相对面20a、21a之间的距离(池长度)不同的流道。
按照本实施方式，因为通过按压机构80按压各透光部件20、21和垫片30并使它们贴紧，所以不必进行高成本的粘合处理，可以降低制造成本。此外，各透光部件20、21和垫片30未固定，而是通过按压机构80按压构件并使它们贴紧，所以可以将垫片30变更为厚度、形状等不同的垫片30，从而可以改变池长度。此外，由于在透光部件上设置有定位凹部22，因此垫片30可以嵌入定位凹部22，能够防止由于来自外部的振动、冲击及被检测液体的压力等造成垫片30相对于设置有定位凹部22的透光部件发生偏移。此外，可以将垫片30可靠地定位在希望的位置，并可以形成希望的流道形状。另外，可以通过切削或者研磨等形成定位凹部22，不必通过粘合等另外安装定位用的构件，因此可以降低制造成本。
另外，在第一透光部件20被容纳在容纳凹部11中的状态下，定位凹部22位于比容纳凹部11的贯通孔11a更靠外侧的位置，所以垫片30不会进入测量光的光路，从而可以降低测量误差。此外，在通过倾斜环44的倾斜面从第一夹持板50对O形环43施加按压力的状态下，O形环43和第二透光部件21的上侧的面21b贴紧成为气密状态，并且O形环43和容纳凹部11的内侧周面11c也贴紧成为气密状态，所以在流道中流动的被检测液体即使从各透光部件20、21和垫片30之间漏出到容纳凹部11的内侧周面11c上，也可以防止被检测液体泄露到外部。
在本实施方式中，使用由石英玻璃形成的参照圆柱构件41构成参比池，因此与采用蓝宝石的结构相比，可以降低制造成本。此外，由于连接器与流动池主体10一体成形，所以可以防止从连接器与流动池主体10的接合部泄露液体。
此外，本发明不限于所述实施方式。例如，在本实施方式中，通过更换厚度不同的垫片来改变池长度，也可以通过更换定位凹部的深度不同的第一透光部件，来改变池长度。
另外，本实施方式中连接器是与流动池主体一体成形的，也可以将单独的连接器安装在流动池主体上。
此外，当由于改变垫片的厚度或定位凹部的深度，导致O形环、第一透光部件、垫片、第二透光部件、O形环以及倾斜环的重叠高度低于容纳凹部的深度(倾斜环等完全容纳进容纳凹部内)，通过第一夹持板不能进行按压时，可以将倾斜环更换为厚度更大的倾斜环即可。另外，在本实施方式中，第一夹持板与倾斜环是分开设置的，也可以将第一夹持板和倾斜环通过粘合等进行安装，或者将第一夹持板和倾斜环一体成形。
此外，在本实施方式中，使所述定位凹部为仅低一层的台阶形状。定位凹部也可以是多个台阶的阶梯状等。此外，垫片还可以形成为大体月牙形状或者大体纺锤形状，该大体月牙形状或者大体纺锤形状在俯视中具有与一对透光部件为大体相同圆的部分圆弧形的侧面。
此外，如图9所示，垫片30也可以包括：圆筒形的托架90；定位凸部93，设置在托架90端面的至少一方上，且形状与定位凹部22对应；长度规定构件91，在轴向上贯通托架90的周壁和托架90的定位凸部93；以及导入通道92，在托架90的外侧周面上相对的位置贯通。
另外，长度规定构件91的长度与托架90的设置有定位凸部93部分的轴向长度大体相同。从材质上讲，托架90优选例如由PFA(四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物)或PTFE(聚四氟乙烯)形成，长度规定构件91优选由蓝宝石等形成。如果使用上述材质，与垫片30整体由蓝宝石构成相比，可以降低成本。特别是当垫片30的长度和厚度较大时，上述优点更为显著。此外，由于长度规定构件91由作为热膨胀率低且耐压性高的材质的蓝宝石构成，所以即使当托架90因热而膨胀，或者由不耐按压的材质构成时，也可以可靠地确定一对透光部件20、21的相对面20a、21a之间的距离。
另外，定位凹部设置在一对透光部件的相对面的一方上，但是也可以将定位凹部设置在相对面的双方上。此外，所述的池为流动池，但也可以是在分批处理中用于测量的分批池(batch cell)。参比池是与被检测液体流动的流道(样品池)一体设置的，但也可以将参比池单独设置。此外，在不脱离本发明技术思想的范围内还可以进行各种变形。
Claims (4)
1.一种光学测量用池，具有一对光学窗，该一对光学窗夹持容纳被检测液体的流道，所述光学测量用池的特征在于包括：
池主体，设置有容纳凹部以及与该容纳凹部的内侧周面连通的液体导入部和液体导出部，在所述容纳凹部的底面的一部分上设有贯通孔；
一对透光部件，容纳在所述容纳凹部中，形成所述一对光学窗；
垫片，与所述一对透光部件彼此的相对面分别接触，确定所述相对面之间的距离；以及
按压机构，将所述一对透光部件及所述垫片向所述容纳凹部的底面按压以使所述一对透光部件及所述垫片贴紧，并在所述一对透光部件之间形成与所述液体导入部和所述液体导出部连接的流道，其中，
在所述一对透光部件彼此的相对面的至少一方上，设置有形状与所述垫片对应的定位凹部，所述垫片嵌入所述定位凹部而被大体定位。
2.根据权利要求1所述的光学测量用池，其特征在于，
所述定位凹部设置在所述相对面的外侧边缘部上，并且所述定位凹部的底面形成为与所述透光部件的侧面连接的台阶形状，
所述垫片被夹持在所述容纳凹部的内侧周面及与该内侧周面相对的所述定位凹部的侧面之间而被定位。
3.根据权利要求1所述的光学测量用池，其特征在于，所述定位凹部设置在配置于所述容纳凹部的底面一侧的透光部件的相对面上。
4.根据权利要求1所述的光学测量用池，其特征在于，
所述容纳凹部俯视为大体圆形，
所述一对透光部件的每个透光部件俯视为嵌入所述容纳凹部的大体圆形，
所述垫片为一对部分圆弧板，该一对部分圆弧板具有形成俯视与所述一对透光部件为大体相同圆的部分圆弧形状的侧面，
所述定位凹部以俯视与所述垫片分别为大体相同的形状的方式设置，并且所述定位凹部夹持所述液体导入部和所述液体导出部，并形成在所述相对面的外侧边缘部上。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010129147A JP2011257146A (ja) | 2010-06-04 | 2010-06-04 | 光学測定用セル |
| JP2010-129147 | 2010-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102353631A true CN102353631A (zh) | 2012-02-15 |
Family
ID=45064232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011101480229A Pending CN102353631A (zh) | 2010-06-04 | 2011-06-01 | 光学测量用池 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8390812B2 (zh) |
| JP (1) | JP2011257146A (zh) |
| KR (1) | KR20110133428A (zh) |
| CN (1) | CN102353631A (zh) |
| TW (1) | TW201144790A (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103267728A (zh) * | 2012-02-16 | 2013-08-28 | 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表公司 | 具有模块化流通池的内嵌光学传感器 |
| CN104048917A (zh) * | 2013-03-12 | 2014-09-17 | 道尼克斯索芙特隆公司 | 用于测量池的定位装置 |
| CN105164512A (zh) * | 2013-05-09 | 2015-12-16 | 株式会社富士金 | 脆性破坏性板材的固定构造和使用该固定构造的由脆性破坏性板材构成的透光窗板的固定方法 |
| CN108318429A (zh) * | 2017-01-18 | 2018-07-24 | 福州荣德光电科技有限公司 | 一种血液分析仪液流系统流动室 |
| CN105842131B (zh) * | 2015-01-30 | 2020-04-03 | 株式会社堀场制作所 | 光学分析用单元和使用了其的粒径分布测定装置 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012037458A (ja) * | 2010-08-10 | 2012-02-23 | Showa Shell Sekiyu Kk | 液体油用試料ホルダ |
| JP5868626B2 (ja) * | 2011-07-22 | 2016-02-24 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 光学測定用セル及び光学分析計 |
| DE102013102439B4 (de) * | 2013-03-12 | 2021-09-02 | Dionex Softron Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer fluidischen Verbindungskomponente für die Chromatographie |
| DE102013102438B3 (de) | 2013-03-12 | 2014-03-20 | Dionex Softron Gmbh | Flusszelle |
| JP6249886B2 (ja) * | 2014-06-11 | 2017-12-20 | 株式会社堀場製作所 | 光学測定セル及び光学分析計 |
| US9976946B2 (en) * | 2016-04-21 | 2018-05-22 | Instrumentation Laboratory Company | Optical flow cell and test head apparatus |
| JP6197093B1 (ja) * | 2016-12-13 | 2017-09-13 | 日科ミクロン株式会社 | オゾン濃度測定装置 |
| US10782225B2 (en) * | 2017-06-22 | 2020-09-22 | Horiba, Ltd. | Optical measurement cell and particle properties measuring instrument using the same |
| JP7060409B2 (ja) * | 2018-03-05 | 2022-04-26 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 光学測定セル、光学分析計、及び光学測定セルの製造方法 |
| DE102018107323A1 (de) * | 2018-03-27 | 2019-10-02 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Messzelle und Messvorrichtung |
| WO2020066732A1 (ja) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 株式会社フジキン | 濃度測定装置 |
| WO2020170377A1 (ja) * | 2019-02-21 | 2020-08-27 | 株式会社島津製作所 | クロマトグラフ用検出器 |
| WO2024011021A1 (en) * | 2022-07-08 | 2024-01-11 | Daylight Solutions, Inc. | Test cell assembly including attenuated total reflector |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5054919A (en) * | 1989-02-07 | 1991-10-08 | Linear Instruments Corporation | Seal for high pressure and small volume sample cells |
| CN1711468A (zh) * | 2002-11-12 | 2005-12-21 | 美国瓦里安澳大利亚有限公司 | 用于光谱学的流动通过单元 |
| JP2008216094A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Kurabo Ind Ltd | 透過光測定用フローセル |
| CN201488941U (zh) * | 2009-09-11 | 2010-05-26 | 厦门大学 | 十字型流通池 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0868746A (ja) | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 透過光測定用フローセル |
| US7518720B2 (en) * | 2007-08-01 | 2009-04-14 | Lockheed Martin Corporation | Optical flow cell for use in high temperature and/or high pressure environments |
-
2010
- 2010-06-04 JP JP2010129147A patent/JP2011257146A/ja active Pending
-
2011
- 2011-05-31 KR KR1020110052164A patent/KR20110133428A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-06-01 CN CN2011101480229A patent/CN102353631A/zh active Pending
- 2011-06-03 US US13/153,228 patent/US8390812B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-06-03 TW TW100119624A patent/TW201144790A/zh unknown
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5054919A (en) * | 1989-02-07 | 1991-10-08 | Linear Instruments Corporation | Seal for high pressure and small volume sample cells |
| CN1711468A (zh) * | 2002-11-12 | 2005-12-21 | 美国瓦里安澳大利亚有限公司 | 用于光谱学的流动通过单元 |
| JP2008216094A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Kurabo Ind Ltd | 透過光測定用フローセル |
| CN201488941U (zh) * | 2009-09-11 | 2010-05-26 | 厦门大学 | 十字型流通池 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103267728A (zh) * | 2012-02-16 | 2013-08-28 | 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表公司 | 具有模块化流通池的内嵌光学传感器 |
| US9279746B2 (en) | 2012-02-16 | 2016-03-08 | Endress+ Hauser Conducta Inc. | Inline optical sensor with modular flowcell |
| CN103267728B (zh) * | 2012-02-16 | 2016-08-03 | 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表公司 | 具有模块化流通池的内嵌光学传感器 |
| CN104048917A (zh) * | 2013-03-12 | 2014-09-17 | 道尼克斯索芙特隆公司 | 用于测量池的定位装置 |
| CN104048917B (zh) * | 2013-03-12 | 2017-03-01 | 道尼克斯索芙特隆公司 | 用于测量池的定位装置 |
| CN105164512A (zh) * | 2013-05-09 | 2015-12-16 | 株式会社富士金 | 脆性破坏性板材的固定构造和使用该固定构造的由脆性破坏性板材构成的透光窗板的固定方法 |
| CN105164512B (zh) * | 2013-05-09 | 2017-10-20 | 株式会社富士金 | 脆性破坏性板材的固定构造和使用该固定构造的由脆性破坏性板材构成的透光窗板的固定方法 |
| CN105842131B (zh) * | 2015-01-30 | 2020-04-03 | 株式会社堀场制作所 | 光学分析用单元和使用了其的粒径分布测定装置 |
| CN108318429A (zh) * | 2017-01-18 | 2018-07-24 | 福州荣德光电科技有限公司 | 一种血液分析仪液流系统流动室 |
| CN108318429B (zh) * | 2017-01-18 | 2024-05-10 | 福建荣德光电科技有限公司 | 一种血液分析仪液流系统流动室 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US8390812B2 (en) | 2013-03-05 |
| JP2011257146A (ja) | 2011-12-22 |
| US20110299067A1 (en) | 2011-12-08 |
| KR20110133428A (ko) | 2011-12-12 |
| TW201144790A (en) | 2011-12-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102353631A (zh) | 光学测量用池 | |
| EP2088414A2 (en) | Differential fluid pressure measurement apparatus | |
| US10393553B2 (en) | Modular sensor system | |
| EP2889599B1 (en) | Physical quantity measuring sensor and sensor module | |
| US20060196278A1 (en) | Flow meter | |
| EP3204734B1 (en) | Integrated orifice plate assembly | |
| CN103245456A (zh) | 压力检测器 | |
| CN103256951A (zh) | 流体测量用传感器的安装结构 | |
| KR20180110596A (ko) | 압력 센서 | |
| CN109702909B (zh) | 一种应用于球面弯晶制作的夹持工具及制作方法 | |
| US8215340B2 (en) | Orifice plate carrier | |
| WO2018037536A1 (ja) | フローセル | |
| CN111751047A (zh) | 用于一次性力传感器的径向密封件 | |
| US10545040B2 (en) | Flowmeter and orifice plate carrier assembly therefor | |
| US3347088A (en) | Lens mounting alignment apparatus and method | |
| KR102365216B1 (ko) | 측정 챔버 내 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 압력 센서 | |
| CN108109951A (zh) | 一种可对中的晶圆传递装置 | |
| CN107238420A (zh) | 光电对角式物料检测装置 | |
| CN106525328B (zh) | 密闭压力传感器 | |
| CN215296340U (zh) | 卫生级浮子流量计 | |
| KR102088257B1 (ko) | 유량 측정 장치 | |
| US20180136103A1 (en) | Measuring arrangement for radiometric density- or fill level measuring of a medium in a measuring tube | |
| CN116601473A (zh) | 用于生产差压传感器的方法和对应的差压传感器 | |
| CN116547512A (zh) | 共面差压换能器 | |
| JPH0579977A (ja) | 液体混合比検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120215 |