CN102337504B - 膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

一种平整蒸镀膜料的膜料加工装置包括一具有容置孔的坩埚，一与容置孔相配合以平整膜料的平整盖，一耦合平整盖的驱动器，及一氢氧焰喷嘴。平整盖具有一与容置孔的形状相对应的平整面，一设于平整盖除平整面以外的其他表面的第一通孔，及多个设于平整面的第二通孔，每一第二通孔均从平整面朝平整盖内部延伸且与第一通孔相通。驱动器具有一与平整盖相耦合的驱动轴，驱动器驱动平整盖绕驱动轴旋转以闭合或开启容置孔。氢氧焰喷嘴朝向容置孔设置，平整盖闭合容置孔时，平整面朝向容置孔的底部，氢氧焰喷嘴位于第一通孔的延伸方向上且与第一通孔相对。本发明另外提供一种具有所述膜料加工装置的蒸镀设备。

Description

膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备

技术领域

本发明涉及一种膜料加工装置，尤其涉及一种设置于离子辅助蒸镀系统内用于平整膜料的膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备。

背景技术

光学薄膜一般采用蒸镀法(Evaporation Deposition)、离子辅助蒸镀法(Ion Assisted deposition,IAD)或离子溅镀法(Ion Beam SputteringDeposition,IBSD)进行镀制。

离子辅助蒸镀具有独立的离子源，安装简单，对原系统的影响低，且离子束的范围大，分布均匀，拥有良好的动能，可以较轻易地将膜层压紧，得到附着力良好的膜层等优点，其采用程度较高。离子辅助蒸镀中，要求膜料(即蒸镀靶材)表面平整、内部结构致密，具有较好的洁净度，并避免存在颗粒状或纤维状的杂质，以确保蒸镀加工过程蒸镀速率稳定，在镀膜件上形成质量较佳的膜层。因此，通常需要先制取供离子辅助蒸镀加工使用的表面平整、内部结构致密的膜料。目前，制取膜料一般是先将颗粒状的膜料原料放入蒸镀腔中的金属坩埚内，并采用人工的方式进行平整，然后在真空环境里利用高能电子束进行加热，使坩埚内的膜料原料受热完全熔化，最后冷却完全熔化的膜料原料，即获得膜料。

但是，利用高能电子束制取膜料存在如下缺点：其一，高能电子束瞬间产生的能量较高，对于熔点温度接近于蒸发温度的膜料原料(如二氧化硅)来说，其熔化成液态的同时也会同时蒸发形成气态，由此，在冷却过程中，就会因蒸发产生的气体而在膜料的表面形成孔隙，影响膜料的致密性，并最终影响蒸镀加工过程蒸度速率的稳定性。其二，利用高能电子束加热高折射率原料(如二氧化硅)时，通常会产生刺眼的强光，使操作者在观察监视膜料的制取过程中易使眼睛受到伤害。其三，利用高能电子束定点加热原料时，易因原料快速受热造成局部温度变化过快，而导致原料喷射的喷料现象，由此，将影响蒸镀腔内的清洁度，并导致原料微粒悬浮于蒸镀腔内的空气中。进一步地，当开启高真空泵对铮镀腔进行抽真空时，悬浮于空气中的原料微利又易对高真空泵造成损伤。此外，采用人工方式对坩埚内的膜料颗粒进行平整时，易出现人为污染膜料的现象，且人工平整需要反复地对蒸镀腔进行破真空与抽真空的操作，直接造成加工工时的浪费；再者，频繁地破真空与抽真空，较易影响真空泵的寿命及工作效率。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种易于实现的、可有效解决现有技术中存在的问题的膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备。

一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括一个坩埚。所述坩埚具有一个收容膜料的容置孔。所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，一个驱动器，及一个氢氧焰喷嘴。所述坩埚与所述平整盖均由热传导性金属材料制成，所述平整盖与所述容置孔相配合以平整容置孔内的膜料；所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，一个开设于所述平整盖除所述平整面以外的其他表面的第一通孔，及多个开设于所述平整面的第二通孔，每一所述第二通孔均从所述平整面朝所述平整盖内部延伸且与所述第一通孔相通；所述驱动器具有一个与所述平整盖相耦合的驱动轴，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔；所述氢氧焰喷嘴朝向所述容置孔设置，所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部，所述氢氧焰喷嘴位于所述第一通孔的延伸方向上且与所述第一通孔相对；所述膜料加工装置进一步包括一个传送机构，所述驱动器连同所述平整盖一起设置于所述传送机构上，所述传送机构带动所述驱动器及所述平整盖相对于所述坩埚相对或背离运动，以调节坩埚与驱动轴之间的距离。

一种蒸镀设备，其包括一个膜料加工装置，所述膜料加工装置包括一个坩埚。所述坩埚具有一个收容膜料的容置孔。所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，一个驱动器，及一个氢氧焰喷嘴。所述平整盖与所述容置孔相配合以平整容置孔内的膜料；所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，一个开设于所述平整盖除所述平整面以外的其他表面的第一通孔，及多个开设于所述平整面的第二通孔，每一所述第二通孔均从所述平整面朝所述平整盖内部延伸且与所述第一通孔相通；所述驱动器具有一个与所述平整盖相耦合的驱动轴，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔；所述氢氧焰喷嘴朝向所述容置孔设置，所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部，所述氢氧焰喷嘴位于所述第一通孔的延伸方向上且与所述第一通孔相对。

相对于现有技术，本发明的膜料加工装置具有如下优点：其一，利用氢氧焰加热取代高能电子束加热，对于熔点温度接近于蒸发温度的膜料原料来说，可避免其熔化成液态的同时蒸发形成气态，由此，在冷却过程中，可避免因蒸发产生的气体而在膜料的表面形成孔隙，获得表面平整、内部结构致密的膜料，保证后续蒸镀加工过程蒸度速率的稳定性。其二，利用氢氧焰加热高折射率原料时，不会产生刺眼的强光，可避免操作者在观察监视膜料的制取过程中眼睛受到伤害。其三，利用氢氧焰加热可使原料均匀受热，避免局部温度变化过快而导致原料喷射的喷料现象，保证蒸镀腔内的清洁度。其四，利用驱动器驱动平整盖，可以在制取膜料的过程中实现自动平整坩埚内的膜料，避免人为污染膜料的现象，且无需反复地对蒸镀腔进行破真空与抽真空的操作，既减少了不必要的工时浪费，也可以避免因频繁地破真空与抽真空而影响真空泵的寿命及工作效率。

附图说明

图1是本发明第一实施例提供的膜料加工装置的示意图。

图2是图1所示的膜料加工装置中的平整盖的立体剖视图。

图3是图1所示的膜料加工装置平整膜料时的工作状态示意图。

图4是本发明第二实施例提供的具有图1所示的膜料加工装置的蒸镀设备的示意图。

主要元件符号说明

坩埚     10

容置孔   11

旋转轴   20

平整盖   30

平整面   31

侧面     33

中空部   34

第一通孔 35

第二通孔 37

驱动器   40

驱动轴   41

连接臂       50

连接端       51

耦合端       53

第三通孔     55

收容空间     57

氢氧焰喷嘴   60

燃料管       61

固定件       70

耦接件       71

传送机构     80

安装架       81

膜料加工装置 100

蒸镀设备     200

腔体         210

伞架         220

离子源       230

具体实施方式

下面将结合附图及实施例对本技术方案作进一步详细说明。

请一并参阅图1与图2，本发明第一实施例提供一种膜料加工装置100，其用于盛放并平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置100包括一个坩埚10，一个与坩埚10连接的旋转轴20，一个用于平整坩埚10内膜料的平整盖30，一个用于驱动平整盖30的驱动器40，一个连接驱动器40与平整盖30的连接臂50，及一个加热蒸镀膜料的氢氧焰喷嘴60。

所述坩埚10用于盛放膜料原料、膜料(即蒸镀靶材，图未示)，其具有一个收容膜料原料或膜料的容置孔11，颗粒状的膜料原料置于所述容置孔11内，经过真空加热并进行冷却后即可形成蒸镀所需的膜料。本实施例中，所述坩埚10为圆形坩埚，所述容置孔11为圆形孔。当然，所述坩埚10及所述容置孔11也可以为其他形状，如正方形孔、椭圆形孔等。

优选地，所述坩埚10由热传导性较好的材料制成，如钽(Ta)，钼(Mo)等，由此，可确保所述坩埚10能耐住高温而不会被蒸发，避免污染蒸镀腔体及镀膜膜层。

所述旋转轴20与所述坩埚10相连接，使所述坩埚10可以绕所述旋转轴20旋转，由此，通过旋转所述坩埚10，即可使容置于所述容置孔11内的膜料原料或膜料均匀地受热，有利于膜料的制取或膜料的蒸发。本实施例中，所述旋转轴20设置于所述坩埚10的底部的中央区域，且所述旋转轴20与所述容置孔11的中心轴同轴。

可以理解的是，所述旋转轴20可以与一个驱动机构(图未示)相连接，如与一个马达相连接，由此，所述坩埚10可以根据实际使用的需要实现自动旋转。

所述平整盖30与所述坩埚10的容置孔11相配合以平整容置孔11内的膜料。优选地，平整盖30也由热传导性金属材料制成，如同所述坩埚10的制成材料，如钽(Ta)，钼(Mo)等，由此，可确保平整盖30能耐住高温而不会被蒸发，避免污染蒸镀腔体及镀膜膜层。

所述平整盖30具有一个平整面31，一个第一通孔35(如图2所示)，及多个第二通孔37。

所述平整面31用于接触所述容置孔11内的膜料原料并压实平整膜料，以获得表面平整、内部结构致密的膜料。所述平整面31的形状与所述坩埚10的容置孔11的形状相对应，以与所述容置孔11相配合。

所述第一通孔35开设于所述平整盖30除所述平整面31以外的其他表面且朝所述平整盖30的内部延伸。

所述多个第二通孔37开设于所述平整面31，每一所述第二通孔37均从所述平整面31朝所述平整盖30的内部延伸且与所述第一通孔35相通。

本实施例中，所述平整盖30为内部中空的圆饼状结构，其包括两个相对的圆形平面及一个连接于该两个圆形平面之间的圆环状侧面33。其中一个圆形平面为所述平整面31，即，所述平整面31的外径等于所述平整盖30的外径。所述平整面31的外径小于所述容置孔11的内径，由此，当所述容置孔11内盛放的膜料较少时，所述平整盖30可以压入所述容置孔11内使所述平整面31接触膜料并压实平整膜料。所述平整盖30的内部具有一个中空部34，所述第一通孔35与所述中空部34相通，所述多个第二通孔37以所述平整面31的中心呈放射状对称分布于所述平整面31，且每一所述第二通孔37均与所述中空部34相通。

可以理解的是，所述平整盖30的结构并不局限于本实施例，对应所述坩埚10及所述容置孔11的具体形状，所述平整盖30可以设计为不同的形状结构，如正方形、椭圆形等；所述平整面31的外径也可以小于所述平整盖30的外径，如可以使所述平整面31突出于所述平整盖30形成一个凸台，通过凸台与所述坩埚10的容置孔11的配合，使所述平整面31(即凸台面)接触膜料并压实平整膜料。而且，所述平整盖30也可以为实体结构，即所述平整盖30没有所述中空部34，此时，所述第一通孔35可以沿所述平整盖30的径向朝所述平整盖30的内部延伸与每一个所述第二通孔37相通。再者，所述多个第二通孔37在所述平整面31上的分布形式也可以设计为以所述平整面31的中心为圆心呈同心圆状分布，只要能实现所述第一通孔35与所述第二通孔37相通即可。

所述驱动器40用于驱动所述平整盖30闭合或开启所述坩埚10的容置孔11，所述平整盖30闭合所述容置孔11时，所述平整盖30的平整面31朝向所述容置孔11的底部，由此，可使所述平整面31接触所述容置孔11内的膜料原料并压实平整膜料。所述驱动器40具有一个驱动轴41，其与所述平整盖30相耦合。通过所述驱动轴41，所述驱动器40可以驱动所述平整盖30绕所述驱动轴41旋转。

优选地，所述驱动器40的驱动轴41与所述容置孔11的中心轴相垂直，所述驱动轴41的中心与所述容置孔11的中心轴的距离等于所述平整盖30的中心与所述驱动轴41的中心的距离，且所述容置孔11的中心轴位于所述平整盖30的中心绕所述驱动轴41旋转的路径的切线方向上，由此，可以确保所述平整盖30沿所述容置孔11的中心轴的方向闭合所述容置孔11，即当所述容置孔11的中心轴处于竖直位置时，可使所述平整面31垂直地接触所述容置孔11内的膜料原料并压实平整膜料。

所述连接臂50用于耦合所述平整盖30与所述驱动器40的驱动轴41，所述连接臂50具有一个连接端51，及一个与所述连接端51相对的耦合端53。所述连接端51连接于所述平整盖30的侧面33，所述耦合端53与所述驱动器40的驱动轴41相耦合。由此，通过所述连接臂50，即可实现所述平整盖30与所述驱动器40的连接。

优选地，所述连接臂50沿所述平整盖30的径向设置于所述平整盖30的侧面33设置有第一通孔35的部分，即所述连接臂50位于所述平整盖30的半径的延伸线方向上。

请参阅图2，于本实施例中，进一步地，所述连接臂50具有一个第三通孔55，及一个靠近设于所述连接端51与所述耦合端53之间的收容空间57。所述第三通孔55开设于所述连接端51，其沿所述连接臂50的长度方向延伸且与所述平整盖30的第一通孔35相连通。所述收容空间57与所述第三通孔55相通。

所述氢氧焰喷嘴60朝向所述坩埚10的容置孔11设置，以加热盛放于所述容置孔11内的膜料原料或膜料。于本实施例中，所述氢氧焰喷嘴60设置于所述坩埚10的旁边且朝向所述容置孔11，由此，所述氢氧焰喷嘴60喷出的氢氧焰可以对盛放于所述容置孔11内的膜料原料或膜料进行加热，以进行膜料的制取加工或后续的蒸镀加工。所述氢氧焰喷嘴60通过一个燃料管61与氢氧焰能源设备(图未示)相连接，由此，可以保证需要的能源供给。

进一步地，所述膜料加工装置100包括一个固定件70，所述氢氧焰喷嘴60与所述连接臂50的耦合端53均设置于所述固定件70。其中，所述氢氧焰喷嘴60与所述燃料管61固定于所述固定件70，且所述氢氧焰喷嘴60的轴线与所述驱动轴41的轴线垂直相交；所述连接臂50的耦合端53通过所述驱动器40的驱动轴41与所述固定件70的耦接件71相连接。

本实施例中，所述膜料加工装置100进一步包括一个传送机构80，所述驱动器40连同所述平整盖30一起设置于所述传送机构80上，其中，所述驱动器40通过安装架81固定于所述传送机构80上。所述传送机构80可以带动所述驱动器40及所述平整盖30相对于所述坩埚10相对或背离运动，由此，可以调节所述坩埚10与所述驱动轴41之间的距离，确保所述驱动轴41的中心与所述容置孔11的中心轴的距离等于所述平整盖30绕所述驱动轴41旋转的半径。

进一步地，所述旋转轴20为伸缩轴结构，其可使所述坩埚10相对于蒸镀腔体(图未示)的底部升降，由此，便于调节所述坩埚10与所述平整盖30的高度差，使所述平整盖30与所述坩埚10准确地配合，确保所述驱动器40驱动所述平整盖30绕所述驱动轴41旋转时，可以正确地闭合或开启所述坩埚10的容置孔11。

请参阅图2与图3，所述平整盖30在所述驱动器40的驱动下闭合所述坩埚10的容置孔11时，所述平整盖30的平整面31朝向所述容置孔11的底部，所述氢氧焰喷嘴60收容于所述收容空间57内，而且所述氢氧焰喷嘴60位于所述第一通孔35的延伸方向上且与所述第三通孔55相对，控制所述平整盖30压实平整盛放于所述容置孔11内的膜料原料时，所述氢氧焰喷嘴60喷出的氢氧焰可以通过所述第三通孔55及所述第一通孔35，传至所述平整盖30的中空部34，并经由所述多个第二通孔37喷向所述坩埚10的容置孔11，在所述平整盖30压实平整膜料原料的同时实现对盛放于所述容置孔11内的膜料原料的加热。

可以理解的是，所述平整盖30与所述驱动器40的连接传动方式并不局限于本实施例的连接臂50，所述平整盖30与所述驱动器40之间也可以设置传动机构，如齿轮传动机构，通过设置于所述平整盖30与所述驱动器40之间的传动机构，即可将所述驱动器40的动力传递至所述平整盖30，驱动实现所述平整盖30闭合或开启所述坩埚10的容置孔11。所述第一通孔35可以根据所述平整盖30的实际形状设计，并不局限于开设于所述平整盖30的侧面，其也可以开设于与所述平整面31相对的另一面，只要与所述第二通孔37相通即可。所述氢氧焰喷嘴60也可以根据实际情况设计安装位置，例如，所述氢氧焰喷嘴60设置于所述坩埚10的斜上方且朝向所述容置孔11，只要所述氢氧焰喷嘴60喷出的氢氧焰能对所述容置孔11内的膜料原料或膜料进行加热，且在所述平整盖30压实平整膜料原料的同时，所述氢氧焰喷嘴60喷出的氢氧焰能通过所述第一通孔35与所述第二通孔37实现对盛放于所述容置孔11内的膜料原料的加热即可。

将所述膜料加工装置100设置于蒸镀腔内，即可进行相应的膜料制取或蒸镀加工。使用所述膜料加工装置100时，调节好所述坩埚10与所述驱动轴41之间的距离及所述坩埚10与所述平整盖30的高度差；将膜料原料放置于所述坩埚10的容置孔11内，启动所述驱动器40，控制所述平整盖30闭合所述容置孔11，使所述平整面31接触所述容置孔11内的膜料原料并压实平整膜料原料，如图3所示，同时，配合加工需要启动所述氢氧焰喷嘴60进行加热。

可以理解的是，在对蒸镀腔进行抽真空前，可先驱动所述平整盖30对盛放于所述坩埚10内的膜料原料进行粗平整；而在对蒸镀腔进行抽真空后，启动所述氢氧焰喷嘴60进行加热时，可以驱动所述平整盖30间断地或不间断地对所述坩埚10内的半熔化状态或熔化状态的膜料原料进行平整，直至最后冷却获得表面平整、内部结构致密的膜料。

请参阅图4，本发明第二实施例提供一种蒸镀设备200，其包括一个腔体210，一个伞架220，一个离子源230，及一个本发明第一实施例提供的膜料加工装置100。

所述腔体210为真空腔体，其通过相连通的真空泵(图未示)来获得内部的真空环境。

所述伞架220、所述离子源230及所述膜料加工装置100均设置于所述腔体210的内部。

所述伞架220用于承载待镀膜元件，并使待镀膜元件的待镀表面朝向膜料(即靶材)。本实施例中，所述膜料加工装置100中的氢氧焰喷嘴60(图未标示)在制取膜料时使膜料原料受热融化，在镀膜加工时使膜料蒸发形成膜料粒子。所述离子源230为等离子体离子源，其用于形成蒸镀所需的等离子体，等离子体在真空环境中与膜料粒子相碰撞，使膜料粒子获得额外能量，膜料粒子撞向待镀表面后将附着于待镀表面，形成所需的膜层。

本实施例中，所述伞架220设置于所述腔体210的上部，所述离子源230朝向所述伞架220，所述膜料加工装置100中坩埚10的容置孔11朝向所述伞架220。

相对于现有技术，本发明的膜料加工装置具有如下优点：其一，利用氢氧焰加热取代高能电子束加热，对于熔点温度接近于蒸发温度的膜料原料来说，可避免其熔化成液态的同时蒸发形成气态，由此，在冷却过程中，可避免因蒸发产生的气体而在膜料的表面形成孔隙，获得表面平整、内部结构致密的膜料，保证后续蒸镀加工过程蒸度速率的稳定性。其二，利用氢氧焰加热高折射率原料时，不会产生刺眼的强光，可避免操作者在观察监视膜料的制取过程中眼睛受到伤害。其三，利用氢氧焰加热可使原料均匀受热，避免局部温度变化过快而导致原料喷射的喷料现象，保证蒸镀腔内的清洁度。其四，利用驱动器驱动平整盖，可以在制取膜料的过程中实现自动平整坩埚内的膜料，避免人为污染膜料的现象，且无需反复地对蒸镀腔进行破真空与抽真空的操作，既减少了不必要的工时浪费，也可以避免因频繁地破真空与抽真空而影响真空泵的寿命及工作效率。

另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化，当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (8)

1.一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括：

一个坩埚，其具有一个收容膜料的容置孔；

其特征在于：

所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，一个驱动器，及一个氢氧焰喷嘴；所述坩埚与所述平整盖均由热传导性金属材料制成，所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料；所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，一个开设于所述平整盖除所述平整面以外的其他表面的第一通孔，及多个开设于所述平整面的第二通孔，每一所述第二通孔均从所述平整面朝所述平整盖内部延伸且与所述第一通孔相通；所述驱动器具有一个与所述平整盖相耦合的驱动轴，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔；所述氢氧焰喷嘴朝向所述容置孔设置，所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部，所述氢氧焰喷嘴位于所述第一通孔的延伸方向上且与所述第一通孔相对；所述膜料加工装置进一步包括一个传送机构，所述驱动器连同所述平整盖一起设置于所述传送机构上，所述传送机构带动所述驱动器及所述平整盖相对于所述坩埚相对或背离运动。

2.如权利要求1所述的膜料加工装置，其特征在于，所述坩埚的容置孔为圆形孔，所述平整盖为内部中空的圆饼状结构，所述平整面为圆形平面，所述平整面的外径小于所述容置孔的内径，所述第一通孔开设于所述平整盖的侧面且朝所述平整盖的内部延伸，所述氢氧焰喷嘴设置于所述坩埚的旁边且朝向所述容置孔。

3.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述平整盖的内部具有一个中空部，所述第一通孔与所述中空部相通，所述多个第二通孔以所述平整面的中心呈放射状对称分布于所述平整面，且每一所述第二通孔均与所述中空部相通。

4.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述膜料加工装置进一步包括一个连接臂，所述连接臂沿所述平整盖的径向设置于所述平整盖的侧面设置有所述第一通孔的部分；所述连接臂具有一个连接端，及一个与所述连接端相对的耦合端，所述连接端连接于所述平整盖的侧面，所述耦合端与所述驱动器的驱动轴相耦合。

5.如权利要求4所述的膜料加工装置，其特征在于，所述连接臂进一步具有一个通孔，及一个设于所述连接端与所述耦合端之间且与所述通孔相通的收容空间；所述通孔沿所述连接臂的长度方向延伸且与所述第一通孔相连通。

6.如权利要求5所述的膜料加工装置，其特征在于，所述膜料加工装置进一步包括一个固定件，所述氢氧焰喷嘴固定于所述固定件，所述连接臂的耦合端通过所述驱动器的驱动轴与所述固定件相连接，所述氢氧焰喷嘴的轴线与所述驱动轴的轴线垂直相交，所述平整盖闭合所述容置孔时，所述氢氧焰喷嘴位于所述收容空间内且处于所述通孔的延伸方向上。

7.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述驱动器的驱动轴与所述容置孔的中心轴相垂直，所述驱动轴的中心与所述容置孔的中心轴的距离等于所述平整盖的中心与所述驱动轴的中心的距离，且所述容置孔的中心轴位于所述平整盖的中心绕所述驱动轴旋转的路径的切线方向上。

8.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀膜设备包括腔体及设置在所述腔体内的如权利要求1～7任一项所述的膜料加工装置。