CN102337503A - 膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

一种用于平整蒸镀膜料的膜料加工装置，其包括一具有一收容膜料的容置孔的坩埚，一与容置孔相配合以平整容置孔内的膜料的平整盖，一具有一与平整盖相耦合的驱动轴的驱动器，及一包括一光源及一影像感测装置的监控装置。平整盖具有一与容置孔的形状相对应的平整面，一开设于平整面且朝平整盖内部延伸的凹槽，及开设于平整盖除平整面以外的其他表面的第一、第二通光孔，第一、第二通光孔分别与凹槽连通。驱动器驱动平整盖绕驱动轴旋转以闭合或开启容置孔。平整盖闭合容置孔时，平整面朝向容置孔的底部，光源发出的光线从第一通光孔射入，经容置孔内的膜料反射后由第二通光孔射向影像感测装置。本发明另外提供一种具有所述膜料加工装置的蒸镀设备。

Description

膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备

技术领域

本发明涉及一种膜料加工装置，尤其涉及一种设置于离子辅助蒸镀系统内用于平整膜料的、可监控膜料的膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备。

背景技术

光学薄膜一般采用蒸镀法(Evaporation Deposition)、离子辅助蒸镀法(IonAssisted deposition，IAD)或离子溅镀法(Ion Beam Sputtering Deposition，IBSD)进行镀制。

离子辅助蒸镀具有独立的离子源，安装简单，对原系统的影响低，且离子束的范围大，分布均匀，拥有良好的动能，可以较轻易地将膜层压紧，得到附着力良好的膜层等优点，其采用程度较高。离子辅助蒸镀中，要求膜料(即蒸镀靶材)表面平整、内部结构致密，具有较好的洁净度，并避免存在颗粒状或纤维状的杂质，以确保蒸镀加工过程蒸镀速率稳定，在镀膜件上形成质量较佳的膜层。因此，通常需要先制取供离子辅助蒸镀加工使用的表面平整、内部结构致密的膜料。目前，制取膜料一般是先将颗粒状的膜料原料放入蒸镀腔中的金属坩埚内，并采用人工的方式进行平整，然后在真空环境里利用高能电子束进行加热，使坩埚内的膜料原料受热完全熔化，最后冷却完全熔化的膜料原料，即获得膜料。

但是，采用人工方式对坩埚内的膜料颗粒进行平整时，易受颗粒大小差异性及颗粒间孔隙的影响，而使得膜料原料在后续熔化时受热不均，造成最终获得的膜料出现表面凹凸不平、内部结构不致密等现象。对此，现有技术通常是对膜料进行再次的人工平整，由此，在人工平整过程中易出现人为污染膜料的现象，其次，人工平整需要反复地对蒸镀腔进行破真空与抽真空的操作，直接造成加工工时的浪费；再者，频繁地破真空与抽真空，较易影响真空泵的寿命及工作效率；此外，由于膜料制取过程处于封闭的真空腔体内，使得操作人员难于通过直接观察膜料的形成过程来对膜料进行实时监控。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种易于实现的、可有效解决现有技术中存在的问题的膜料加工装置及具有该膜料加工装置的蒸镀设备。

一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括一个坩埚，所述坩埚具有一个收容膜料的容置孔。所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，一个驱动器，及一个监控装置。所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料，所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，一个开设于所述平整面且朝所述平整盖内部延伸的凹槽，及开设于所述平整盖除所述平整面以外的其他表面的第一通光孔与第二通光孔，所述第一通光孔与所述第二通光孔分别与所述凹槽连通。所述驱动器具有一个与所述平整盖相耦合的驱动轴，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔。所述监控装置包括一个光源及一个影像感测装置。所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部，所述光源发出的光线从所述第一通光孔射入，经所述容置孔内的膜料反射后由所述第二通光孔射向所述影像感测装置。

一种蒸镀设备，其包括一个膜料加工装置，所述膜料加工装置包括一个坩埚，所述坩埚具有一个收容膜料的容置孔。所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，一个驱动器，及一个监控装置。所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料，所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，一个开设于所述平整面且朝所述平整盖内部延伸的凹槽，及开设于所述平整盖除所述平整面以外的其他表面的第一通光孔与第二通光孔，所述第一通光孔与所述第二通光孔分别与所述凹槽连通。所述驱动器具有一个与所述平整盖相耦合的驱动轴，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔。所述监控装置包括一个光源及一个影像感测装置。所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部，所述光源发出的光线从所述第一通光孔射入，经所述容置孔内的膜料反射后由所述第二通光孔射向所述影像感测装置。

相对于现有技术，本发明的膜料加工装置具有如下优点：其一，利用驱动器与平整盖，可以在制取膜料的过程中实现自动平整坩埚内的膜料，使膜料均匀受热，确保最终获得表面平整、内部结构致密的膜料，便于后续获得速率稳定的蒸镀加工过程。其二，在膜料的制取过程中，可以通过所述膜料加工装置中的监控装置，对膜料进行实时监控，便于根据膜料的实际状况进行相应的操作，有利于较精确地控制膜料制取过程的不同阶段。其三，无需反复地对蒸镀腔进行破真空与抽真空的操作，既减少了不必要的工时浪费，也可以避免因频繁地破真空与抽真空而影响真空泵的寿命及工作效率。其四，实现自动平整坩埚内的膜料可以避免人工平整过程中，出现人为污染膜料的现象。其五，采用具有所述膜料加工装置的蒸镀设备进行蒸镀加工时，可以在制取膜料至蒸镀加工的整个过程实现自动化操作，有利于提高蒸镀效率。

附图说明

图1是本发明第一实施例提供的膜料加工装置的示意图。

图2是图1所示的膜料加工装置的区域II的局部放大示意图。

图3是图1所示的膜料加工装置中的平整盖的立体剖视图。

图4是图1所示的膜料加工装置平整膜料时的工作状态示意图。

图5是本发明第二实施例提供的具有图1所示的膜料加工装置的蒸镀设备的示意图。

主要元件符号说明

坩埚            10

容置孔          11

旋转轴          20

平整盖          30

平整面          31

凹槽            32

侧面            33

第一通光孔      35

第二通光孔      37

排气孔            38

吸气管            39

驱动器            40

驱动轴            41

连接臂            50

连接端            51

耦合端            53

通孔              55

收容空间          57

安装件            59

监控装置          60

光源              61

影像感测装置      63

传送机构          70

膜料加工装置      100

蒸镀设备          200

腔体              210

伞架              220

离子源            230

加热系统          240

具体实施方式

下面将结合附图及实施例对本技术方案作进一步详细说明。

请一并参阅图1至图3，本发明第一实施例提供一种膜料加工装置100，其用于盛放并平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置100包括一个坩埚10，一个与坩埚10连接的旋转轴20，一个用于平整坩埚10内膜料的平整盖30，一个用于驱动平整盖30的驱动器40，一个连接驱动器40与平整盖30的连接臂50，及一个观察坩埚10内膜料的监控装置60。监控装置60包括光源61和影像感测装置63。

所述坩埚10用于盛放膜料原料、膜料(即蒸镀靶材，图未示)，其具有一个收容膜料原料或膜料的容置孔11，颗粒状的膜料原料置于所述容置孔11内，经过真空加热并进行冷却后即可形成蒸镀所需的膜料。本实施例中，所述坩埚10为圆形坩埚，所述容置孔11为圆形孔。当然，所述坩埚10及所述容置孔11也可以为其他形状，如正方形孔、椭圆形孔等。

优选地，所述坩埚10由热传导性较好的材料制成，如钽(Ta)，钼(Mo)等，由此，可确保所述坩埚10能耐住高温而不会被蒸发，避免污染蒸镀腔体及镀膜膜层。

所述旋转轴20与所述坩埚10相连接，使所述坩埚10可以绕所述旋转轴20旋转，由此，通过旋转所述坩埚10，即可使容置于所述容置孔11内的膜料原料或膜料均匀地受热，有利于膜料的制取或膜料的蒸发。本实施例中，所述旋转轴20设置于所述坩埚10的底部的中央区域，且所述旋转轴20与所述容置孔11的中心轴同轴。

可以理解的是，所述旋转轴20可以与一个驱动机构(图未示)相连接，如与一个马达相连接，由此，所述坩埚10可以根据实际使用的需要实现自动旋转。

所述平整盖30与所述坩埚10的容置孔11相配合以平整容置孔11内的膜料。优选地，平整盖30也由热传导性金属材料制成，如同所述坩埚10的制成材料，如钽(Ta)，钼(Mo)等，由此，可确保平整盖30能耐住高温而不会被蒸发，避免污染蒸镀腔体及镀膜膜层。

所述平整盖30具有一个平整面31，一个凹槽32，侧面33，一个第一通光孔35，及一个第二通光孔37。

所述平整面31用于接触所述容置孔11内的膜料原料并压实平整膜料，以获得表面平整、内部结构致密的膜料。所述平整面31的形状与所述坩埚10的容置孔11的形状相对应，以与所述容置孔11相配合。

所述凹槽32开设于所述平整面31且朝所述平整盖30的内部延伸。于本实施例中，所述凹槽32为一个长方体形的凹槽。

所述第一通光孔35及所述第二通光孔37均开设于所述平整盖30除平整面31的其他表面上，并分别与所述凹槽32相连通。

本实施例中，所述平整盖30为圆饼状，其包括两个相对的圆形平面及一个连接于该两个圆形平面之间的圆环状侧面33。其中一个圆形平面为所述平整面31，即，所述平整面31的外径等于所述平整盖30的外径。所述平整面31的外径小于所述容置孔11的内径，由此，当所述容置孔11内盛放的膜料较少时，所述平整盖30可以压入所述容置孔11内使所述平整面31接触膜料并压实平整膜料。

于本实施例中，所述第一通光孔35与所述第二通光孔37分别开设于所述侧面33的相对于平整盖30中心轴对称的两个部分(见图3)。所述第一通光孔35与所述第二通光孔37分别从所述侧面33沿向下倾斜于平整盖30的径向的方向朝所述凹槽32延伸。所述第一通光孔35与所述第二通光孔37及所述凹槽32相通，且所述第一通光孔35与所述第二通光孔37的延伸线相交。凹槽32沿第一通光孔35至第二通光孔37的方向开设，其长度小于所述平整面31的直径。优选地，所述第一通光孔35相对于径向倾斜的角度等于所述第二通光孔37相对于径向倾斜的角度，且所述第一通光孔35的中心轴与所述第二通光孔37的中心轴及所述平整盖30的中心轴在同一平面的同一个点相交。当然，所述第一通光孔35相对于径向倾斜的角度也可以不等于所述第二通光孔37相对于径向倾斜的角度，只要经过所述第一通光孔35的光能够被凹槽32区域内的膜料反射并由所述第二通光孔37射出即可。可以理解的是，所述第二通光孔37也可以与所述第一通光孔35相邻设置，只要所述第二通光孔37与所述第一通光孔35均与所述凹槽32相通即可。

进一步地，可以在所述第一通光孔35与所述第二通光孔37的孔壁上及所述凹槽32的壁面上形成一层反射材料层，由此，可以加强光线的反射率，增加光线的利用率。此时，第一通光孔35与第二通光孔37也可以沿向上倾斜于径向的方向朝所述凹槽32延伸，因为，膜料的情况可以通过凹槽32的壁面的反射再由第二通光孔37出射出去。进一步地，所述平整盖30的中央区域沿轴向开设有一个贯穿所述平整盖30的排气孔38，所述排气孔38与一个吸气管39相连通，由此，当所述平整盖30平整压实盛放于所述坩埚10内的膜料原料时，膜料颗粒之间的空气可以通过所述吸气管39排出。本实施例中，所述吸气管39垂直于所述平整盖30，当然，所述吸气管39也可以设置其他位置，只要能将膜料颗粒之间的空气排出即可。

可以理解的是，所述平整盖30的结构并不局限于本实施例，对应所述坩埚10及所述容置孔11的具体形状，所述平整盖30可以设计为不同的形状结构，如正方形、椭圆形等。所述平整面31的外径也可以小于所述平整盖30的外径，如可以使所述平整面31突出于所述平整盖30形成一个凸台，通过凸台与所述坩埚10的容置孔11的配合，使所述平整面31(即凸台面)接触膜料并压实平整膜料。

所述驱动器40用于驱动所述平整盖30闭合或开启所述坩埚10的容置孔11，所述平整盖30闭合所述容置孔11时，所述平整盖30的平整面31朝向所述容置孔11的底部，由此，可使所述平整面31接触所述容置孔11内的膜料原料并压实平整膜料。所述驱动器40具有一个驱动轴41，其与所述平整盖30相耦合。通过所述驱动轴41，所述驱动器40可以驱动所述平整盖30绕所述驱动轴41旋转。

优选地，所述驱动器40的驱动轴41与所述容置孔11的中心轴相垂直，所述驱动轴41的中心与所述容置孔11的中心轴的距离等于所述平整盖30的中心与所述驱动轴41的中心的距离，且所述容置孔11的中心轴位于所述平整盖30的中心绕所述驱动轴41旋转的路径的切线方向上，由此，可以确保所述平整盖30的中心沿所述容置孔11的中心轴的方向闭合所述容置孔11，即当所述容置孔11的中心轴处于竖直位置时，所述平整面31可垂直地接触所述容置孔11内的膜料原料并压实平整膜料。

所述连接臂50用于耦合所述平整盖30与所述驱动器40的驱动轴41，所述连接臂50具有一个连接端51，及一个与所述连接端51相对的耦合端53。所述连接端51连接于所述平整盖30的侧面33设置有第一通光孔35的部分，所述耦合端53与所述驱动器40的驱动轴41相耦合。由此，通过所述连接臂50，即可实现所述平整盖30与所述驱动器40的连接。

优选地，所述连接臂50沿所述平整盖30的径向设置于所述平整盖30的侧面33设置有第一通光孔35的部分，即所述连接臂50位于所述平整盖30的半径的延伸线方向上。

请一并参阅图2与图3，于本实施例中，进一步地，所述连接臂50具有一个通孔55，及一个靠近所述耦合端53的收容空间57。所述通孔55开设于所述连接端51，其沿所述连接臂50的长度方向延伸且与所述平整盖30的第一通光孔35相连通。所述收容空间57与所述通孔55相通，所述收容空间57内设置有一个安装件59，其用于设置安装所述监控装置60中的光源61。本实施例中，所述安装件59垂直于所述连接臂50的长度方向，且位于所述连接端51与所述驱动器40的驱动轴41之间。

请一并参阅图1与图4，所述光源61用于产生供所述影像感测装置63监测盛放于所述坩埚10内的膜料的光线。本实施例中，所述光源61设置于所述连接臂50的收容空间57内，且固定于所述安装件59上，同时，所述光源61位于所述通孔55的延伸方向上且与所述通孔55相对。所述影像感测装置63设置于所述平整盖30闭合所述容置孔11时与所述第二通光孔37相对的位置，即所述平整盖30闭合所述容置孔11时，所述影像感测装置63位于所述第二通光孔37的延伸线上与所述第二通光孔37相对。

本实施例中，所述膜料加工装置100进一步包括一个传送机构70，所述驱动器40连同所述平整盖30一起设置于所述传送机构70上，其中，所述驱动器40通过安装架(图未标示)固定于所述传送机构70上。所述传送机构70可以带动所述驱动器40及所述平整盖30相对于所述坩埚10相对或背离运动，由此，可以调节所述坩埚10与所述驱动轴41之间的距离，确保所述驱动轴41的中心与所述容置孔11的中心轴的距离等于所述平整盖30的中心绕所述驱动轴41旋转的半径。

进一步地，所述旋转轴20为伸缩轴结构，其可使所述坩埚10相对于蒸镀腔体(图未示)的底部升降，由此，便于调节所述坩埚10与所述平整盖30的高度差，使所述平整盖30与所述坩埚10准确地配合，确保所述驱动器40驱动所述平整盖30绕所述驱动轴41旋转时，可以正确地闭合或开启所述坩埚10的容置孔11。

请参阅图3与图4，所述平整盖30在所述驱动器40的驱动下闭合所述坩埚10的容置孔11时，所述平整盖30的平整面31朝向所述容置孔11的底部，所述监控装置60中的光源61发出的光线通过所述连接臂50的通孔55，从所述平整盖30的第一通光孔35进入所述凹槽32，并射向所述容置孔11，经所述容置孔11内的膜料反射后，由所述第二通光孔37射向所述影像感测装置63，被所述影像感测装置63接收，形成相应的影像信号。

对所述容置孔11内的膜料原料压实平整时，膜料颗粒之间的空气可以通过所述吸气管39排出。

可以理解的是，所述吸气管39内可以设置一个控制阀，由此，可以通过控制阀来控制所述吸气管39的开启或关闭，便于配合所述平整盖30平整膜料时的排气需求。

可以理解的是，为了扩大光线射入所述容置孔11后的照射范围，所述第一通光孔35可以设计为其他形式，如，所述第一通光孔35的孔径沿其延伸方向逐渐向所述凹槽32扩大，即形成朝向所述凹槽32的喇叭孔。相应地，所述第二通光孔37也可以设计为对应所述第一通光孔35的结构。

可以理解的是，所述平整盖30与所述驱动器40的连接传动方式并不局限于本实施例的连接臂50，所述平整盖30与所述驱动器40之间也可以设置传动机构，如齿轮传动机构，通过设置于所述平整盖30与所述驱动器40之间的传动机构，即可将所述驱动器40的动力传递至所述平整盖30，驱动实现所述平整盖30闭合或开启所述坩埚10的容置孔11。所述第一通光孔35及所述第二通光孔可以根据所述平整盖30的实际形状设计，并不局限于开设于所述平整盖30的侧面，其也可以开设于与所述平整面31相对的另一面，只要与凹槽32相通即可。所述光源61和所述影像感测装置63也可以根据实际情况设计安装位置，例如，所述光源61可以安装在第一通光孔35内，所述影像感测装置63也可以安装在第二通光孔37内，只要所述光源61产生的光线能通过所述第一通光孔35射向所述坩埚10内的膜料，经膜料反射后经所述第二通光孔37到达所述影像感测装置63即可。同时，所述光源61可以根据实际情况进行配置，如发光二极管(light-emitting diode，LED)、红外光源。

可以理解的是，设置相关的影像分析仪及影像显示器与所述影像感测装置63相连接，即可实现对所述坩埚10内的膜料进行实时监控，便于在膜料的制取过程中根据膜料的实际状况进行相应的操作。

将所述膜料加工装置100设置于蒸镀腔内，即可进行相应的膜料制取或蒸镀加工。使用所述膜料加工装置100时，调节好所述坩埚10与所述驱动轴41之间的距离及所述坩埚10与所述平整盖30的高度差；将膜料原料放置于所述坩埚10的容置孔11内进行加热，启动所述驱动器40，控制所述平整盖30闭合所述容置孔11，使所述平整面31接触所述容置孔11内的膜料原料并压实平整膜料原料，如图4所示，同时，通过所述监控装置60即可实时观察膜料的状况。

可以理解的是，在对蒸镀腔进行抽真空前，可先驱动所述平整盖30对盛放于所述坩埚10内的膜料原料进行粗平整；而在对蒸镀腔进行抽真空后，进行高能电子束加热时，可以驱动所述平整盖30间断地或不间断地对所述坩埚10内的半熔化状态或熔化状态的膜料原料进行平整，直至最后冷却获得表面平整、内部结构致密的膜料。

请参阅图5，本发明第二实施例提供一种蒸镀设备200，其包括一个腔体210，一个伞架220，一个离子源230，一个加热系统240，及一个本发明第一实施例提供的膜料加工装置100。

所述腔体210为真空腔体，其通过相连通的真空泵(图未示)来获得内部的真空环境。

所述伞架220、所述离子源230、所述加热系统240及所述膜料加工装置100均设置于所述腔体210的内部。

所述伞架220用于承载待镀膜元件，并使待镀膜元件的待镀表面朝向膜料(即靶材)。本实施例中，所述加热系统240为电子枪，其用于产生加热蒸镀膜料的高能电子束，以在制取膜料时使膜料原料受热融化，或在镀膜加工时使膜料蒸发形成膜料粒子。所述离子源230为等离子体离子源，其用于形成蒸镀所需的等离子体，等离子体在真空环境中与膜料粒子相碰撞，使膜料粒子获得额外能量，膜料粒子撞向待镀表面后将附着于待镀表面，形成所需的膜层。

本实施例中，所述伞架220设置于所述腔体210的上部，所述离子源230朝向所述伞架220，所述膜料加工装置100中坩埚10的容置孔11朝向所述伞架220，所述加热系统240位于所述坩埚10的一侧，所述加热系统240产生的高能电子束在磁场(图未示)的影响下射向盛放于所述坩埚10内的膜料原料或膜料。

可以理解的是，对于封闭的所述蒸镀设备200，所述腔体210的外部可以设置相关的影像分析仪及影像显示器与所述影像感测装置63相连接，由此，在膜料的制取过程中，通过所述膜料加工装置100中的监控装置60及影像分析仪及影像显示器，即可对所述坩埚10内的膜料进行实时监控，便于在膜料的制取过程中根据膜料的实际状况进行相应的操作。

相对于现有技术，本发明的膜料加工装置具有如下优点：其一，利用驱动器与平整盖，可以在制取膜料的过程中实现自动平整坩埚内的膜料，使膜料均匀受热，确保最终获得表面平整、内部结构致密的膜料，便于后续获得速率稳定的蒸镀加工过程。其二，在膜料的制取过程中，可以通过所述膜料加工装置中的监控装置，对膜料进行实时监控，便于根据膜料的实际状况进行相应的操作，有利于较精确地控制膜料制取过程的不同阶段。其三，无需反复地对蒸镀腔进行破真空与抽真空的操作，既减少了不必要的工时浪费，也可以避免因频繁地破真空与抽真空而影响真空泵的寿命及工作效率。其四，实现自动平整坩埚内的膜料可以避免人工平整过程中，出现人为污染膜料的现象。其五，采用具有所述膜料加工装置的蒸镀设备进行蒸镀加工时，可以在制取膜料至蒸镀加工的整个过程实现自动化操作，有利于提高蒸镀效率。

另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化，当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种膜料加工装置，其用于平整蒸镀膜料，所述膜料加工装置包括：一个坩埚，其具有一个收容膜料的容置孔；

其特征在于：

所述膜料加工装置进一步包括一个平整盖，一个驱动器，及一个监控装置；所述平整盖与所述坩埚的容置孔相配合以平整容置孔内的膜料；所述平整盖具有一个形状与所述容置孔的形状相对应的平整面，一个开设于所述平整面且朝所述平整盖内部延伸的凹槽，及开设于所述平整盖除所述平整面以外的其他表面的第一通光孔与第二通光孔，所述第一通光孔与所述第二通光孔分别与所述凹槽连通；所述驱动器具有一个与所述平整盖相耦合的驱动轴，所述驱动器驱动所述平整盖绕所述驱动轴旋转以闭合或开启所述坩埚的容置孔；所述监控装置包括一个光源及一个影像感测装置，所述平整盖闭合所述容置孔时，所述平整面朝向所述容置孔的底部，所述光源发出的光线从所述第一通光孔射入，经所述容置孔内的膜料反射后由所述第二通光孔射向所述影像感测装置。

2.如权利要求1所述的膜料加工装置，其特征在于，所述坩埚的容置孔为圆形孔，所述平整盖为圆饼状结构，所述平整面为圆形平面，所述平整面的外径小于所述容置孔的内径，所述第一通光孔与所述第二通光孔分别开设于所述平整盖的侧面的相对于平整盖中心轴对称的两个部分，所述凹槽沿所述第一通光孔至所述第二通光孔的方向开设，且所述第一通光孔与所述第二通光孔分别从所述平整盖的侧面沿向下倾斜于平整盖的径向的方向朝所述凹槽延伸。

3.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述第一通光孔相对于径向倾斜的角度等于所述第二通光孔相对于径向倾斜的角度，且所述第一通光孔的中心轴与所述第二通光孔的中心轴及所述平整盖的中心轴在同一平面的同一个点相交。

4.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述膜料加工装置进一步包括一个连接臂，所述连接臂沿所述平整盖的径向设置于所述平整盖的侧面设置有第一光通孔的部分；所述连接臂具有一个连接端，及一个与所述连接端相对的耦合端，所述连接端连接于所述平整盖的侧边，所述耦合端与所述驱动器的驱动轴相耦合。

5.如权利要求4所述的膜料加工装置，其特征在于，所述连接臂进一步具有一个通孔，一个与所述通孔相通的收容空间，及一个设置于所述收容空间内的安装件；所述通孔沿所述连接臂的长度方向延伸且与所述第一通光孔相连通，所述光源固定于所述安装件上且位于所述通孔的延伸方向。

6.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述膜料加工装置进一步包括一个旋转轴，所述旋转轴设置于所述坩埚的底部的中央区域，且所述旋转轴与所述容置孔的中心轴同轴。

7.如权利要求6所述的膜料加工装置，其特征在于，所述驱动器的驱动轴与所述容置孔的中心轴相垂直，所述驱动轴的中心与所述容置孔的中心轴的距离等于所述平整盖的中心与所述驱动轴的中心的距离，且所述容置孔的中心轴位于所述平整盖的中心绕所述驱动轴旋转的路径的切线方向上。

8.如权利要求2所述的膜料加工装置，其特征在于，所述平整盖的中央区域沿轴向开设有一个贯穿所述平整盖的排气孔，所述排气孔与一个吸气管相连通。

9.如权利要求1所述的膜料加工装置，其特征在于，所述坩埚与所述平整盖均由热传导性金属材料制成。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀膜设备包括腔体及设置在所述腔体内的如权利要求1～9任一项所述的膜料加工装置。

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