CN102290529A - 单层有机太阳能电池及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种单层有机太阳能电池，包括透明绝缘衬底、和在透明绝缘衬底上依次层叠形成的透明阳极电极层、金属纳米颗粒层、光敏层和阴极电极层，所述金属纳米颗粒层中金属纳米颗粒的功函数值高于透明阳极电极层的功函数值。本发明单层有机太阳能电池中设置了金属纳米颗粒层，从而进一步增强了单层有机太阳能电池器件的内建电场，从而提高了对的激子拆分效率，使得最终提升单层有机太阳能电池的能量转换效率；单层有机太阳能电池器件的制备方法采用性能稳定的溅射和真空蒸镀的方式将该太阳能电池器件各层依次形成，使得各层间连接紧密、牢固，从而使得该太阳能电池器件性能稳定，生产效率高，适于工业化生产。

Description

单层有机太阳能电池及其制备方法

技术领域

本发明属于光电转换器件技术领域，具体的说是涉及一种单层有机太阳能电池及其制备方法。

背景技术

太阳能电池是一种将光能转换为电能的光伏器件。从1954年贝尔实验室报道了效率为4％的无机太阳能电池开始，半个世纪以来，太阳能电池获得了飞速的发展，在全球范围内都掀起来一场“绿色能源革命”。20世纪90年代以后，无机太阳能电池家族中又发展起来了砷化镓、碲化镉等等光伏器件。但是，直到今天，居高不下的成本是限制无机半导体太阳能电池大规模推广应用的首要问题。然而成本问题主要还是由无机材料本身带来的，所以只有真正低成本的绿色能源才是解决能源问题有效途径。

有机太阳能电池的研究始于1958年，Kearns和Calvin将镁酞菁染料(MgPc)夹在两个不同功函数的电极之间，制成”三明治”结构，从而得到了200mV的开路电压，但是其短路电流输出则非常低，所以其能量转换效率也相对较低。这种单层有机太阳能电池结构，在1986年被C.W.Tang采用双层异质结结构所替代，得到了1％的能量转换效率。能量转换效率得到大幅提升的原因即是认为双层异质结结构提供一个高效的激子拆分的界面，也即是说双层异质结构使得中性的电子-空穴对拆分成自由载流子变得更加的容易。显而易见的是，双层异质结构的引入大大增加了有机太阳能电池器件的复杂程度，而且由于异质结结构的质量对整个电池的输出是至关重要的，所以对异质结生长的控制要求相对较为苛刻。因此，如果能够在原有单层“三明治”结构有机太阳能电池的基础上加以改进，也能够得到异质结光伏电池的性能要求的话，则必将进一步简化有机太阳能电池的生产程序，并且能够降低其工艺成本。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的上述不足，提供一种单层有机太阳能电池，该太阳能电池中设置了金属纳米颗粒层，从而进一步增强了单层有机太阳能电池器件的内建电场，从而提高了对的激子拆分效率，提升单层有机太阳能电池的能量转换效率。

本发明的另一目的在于提供一种单层有机太阳能电池的制备方法。

为了实现上述发明目的，本发明的技术方案如下：

一种单层有机太阳能电池，其特征在于：包括透明绝缘衬底、和在透明绝缘衬底上依次层叠形成的透明阳极电极层、金属纳米颗粒层、光敏层和阴极电极层，所述金属纳米颗粒层中金属纳米颗粒的功函数值高于透明阳极电极层的功函数值。

以及，一种单层有机太阳能电池制备方法，其包括如下步骤：

获取透明绝缘衬底；

在所述透明绝缘衬底的其中一面形成透明阳极电极层；

在透明阳极电极层上形成金属纳米颗粒层，所述金属纳米颗粒层中金属纳米颗粒的功函数值高于透明阳极电极层的功函数值；

在金属纳米颗粒层上沉积光敏材料，形成光敏层；

在光敏层上沉积金属或金属氧化物薄膜，形成阴极电极层，从而得到所述的单层有机太阳能电池。

由于本发明单层有机太阳能电池器件中设置了金属纳米颗粒层，金属纳米颗粒层的功函数值高于透明阳极电极层功函数值，对透明阳极电极层进行修饰，提高透明阳极电极层的功函数，进一步增大了透明阳极电极层和阴极电极层之间功函数差，进一步增强了单层有机太阳能电池器件的内建电场，从而提高了对激子拆分的效率，最终提升单层有机太阳能电池的能量转换效率。同时，单层有机太阳能电池器件的制备方法是将该太阳能电池器件各层依次形成，使得各层的连接紧密、牢固，从而使得该太阳能电池器件性能稳定，生产效率高，降低了生产成本，适于工业化生产。

附图说明

图1是本发明实施例的单层有机太阳能电池结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1，显示本发明实施例的一种单层有机太阳能电池结构示意图。

该单层有机太阳能电池，包括透明绝缘衬底5、和在透明绝缘衬底5上依次层叠形成的透明阳极电极层4、金属纳米颗粒层3、光敏层2和阴极电极层1，所述金属纳米颗粒层3中金属纳米颗粒的功函数值高于透明阳极电极层4的功函数值。

上述透明绝缘衬底5的材质优选为石英玻璃、硅酸盐玻璃、高硅氧玻璃或钠钙玻璃等透明玻璃，或者聚氯乙烯(PVC)、聚碳酸酯(PC)或聚酯(PET)等透明绝缘塑胶，其厚度优选为1.1-1.5mm。

上述透明阳极电极层4的材质优选为氧化铟锡(ITO)、氧化锌铝(AZO)、氧化锌镓(GZO)、氧化铟锌(IZO)等透明氧化物薄膜，或者金(Au)薄膜、铝(Al)、银(Ag)等的金属薄膜，或者碳纳米管的导电薄膜，其厚度优选为80-120纳米。由于该透明阳极电极层4采用透明的导电材质或者金属薄膜构成，且厚度薄，因此既能起到电极的作用，又不影响太阳光的透过。该透明阳极电极层4也即是单层有机太阳能电池的阳极，并可采用光刻腐蚀方法将其腐蚀成条纹图样，从而形成条纹图样电极。

上述金属纳米颗粒层3中所述的金属纳米颗粒优选为高功函数金属材质，例如采用金(Au)、铍(Be)、钴(Co)、钯(Pd)、铂(Pt)中的至少一种，该金属纳米颗粒层3的厚度优选为0.5-1nm。由于金属纳米颗粒层3厚度很薄，因而其对太阳光的损耗很小，可以忽略不计，所以大部分太阳光仍为光敏层所吸收，当厚度大于1nm时，会反射太阳光，不利于吸收，影响效果，而厚度小于0.5nm时，起不到提高功函数的目的，效果也不好。金属纳米颗粒层3的存在是对透明阳极电极层4进行修饰，提高透明阳极电极层4的功函数。所述的高功函数金属纳米颗粒是指金属纳米颗粒的功函数值高于电极材料的功函数值(如ITO的功函数值为4.6～4.8eV)的纳米颗粒，高功函数金属纳米颗粒的功函数值范围优选为4.6～6eV。

上述光敏层2的材质优选为酞菁染料、并五苯、卟啉化合物、菁染料等空穴传输材料，或者富勒烯(如C₆₀、C₇₀等)、二奈嵌苯、二奈嵌苯衍生物等电子传输材料，再或者为CdSe、CdS、CdTe、TiO₂、ZnO、PbS、SnO₂、碳纳米管或石墨烯等无机纳米材料，其厚度优选为50-100nm。该光敏层2作为吸收光产生光电流的主要光敏区域，其作用是光敏层吸收光子能量之后，会产生少量的自由载流子，但是更多的情形是产生具有一定束缚力的电子-空穴对，也就是激子，激子呈电中性，在单层有机太阳能电池器件的内部电场作用下被拆分成自由载流子，该自由载流子在光敏层中分别向两个电极漂移，从而形成光电流输出。

上述阴极电极层1由Ag、Al，Ca-Al合金、Mg-Ag合金等金属薄膜，或者为ITO或ZnO等金属氧化物构成的高反射率电极，该阴极电极层1的厚度为80-120nm。该阴极电极层1也即是单层有机太阳能电池的阴极。

传统单层有机太阳能电池之所以效率不高，其主要原因是电池中的光生激子不能得到有效的拆分。激子拆分这一过程主要发生在界面处、杂质缺陷处已经在电场的作用下进行拆分。然而在单层有机太阳能电池中，缺少了激子拆分的给体-受体界面，激子的拆分主要于材料内部杂质陷阱处在电场的作用下进行，同时在有机材料和电极界面处也会有少量的激子拆分。但是这一部分激子拆分效率与异质结界面拆分相比要弱许多，这也是单层有机太阳能电池效率较低的最主要的原因。基于此理论，本发明实施例在透明阳极电极层4一侧设置金属纳米颗粒层3，金属纳米颗粒层的功函数值高于透明阳极电极层功函数值，对透明阳极电极层4进行修饰，提高透明阳极电极层4的功函数，从而来增强单层有机太阳能电池器件内部电场。本发明实施例选用高功函数的金属颗粒作为金属纳米颗粒层3的材质，该金属纳米颗粒层3功函数值优选为4.6～6eV，例如金，其功函数在5.0-5.2eV，比ITO的功函数4.6-4.8eV还要高。这样，透明阳极电极层4和阴极电极层1之间的功函数差就会进一步增加，从而增强了单层有机太阳能电池器件的内部电场。当然，如果不采用金属纳米颗粒，而是将阳极直接以高功函数金属代替，确实也能够提高器件的内建电场，但是以高功函数金属作为阳极，对其横向导电性要求较高，从而要求高功函数电极的具有一定的厚度(50nm以上)，因而其对太阳光的透过率就要大大下降。例如40nm厚度的金薄膜即可以反射和吸收90％以上的可见光。因而，采用高功函数金属纳米颗粒作为金属纳米颗粒层3来修饰透明阳极电极层4有效避免了其对太阳光的消耗，同时又能够达到增强单层有机太阳能电池器件内建电场的效果，该金属纳米颗粒层3能有效避免其对太阳光的消耗，是因为采用的金属纳米颗粒层3最大也就在1nm，远远小于几十纳米的厚度，基本不会影响太阳光的吸收，如果太厚，比如40nm，会发射和吸收90％以上的太阳光，太阳光基本都被金属吸收了，光敏层就不能或很少吸收到太阳光了，因此不能实现光电转换，效率就会很低了。而且器件的内建电场的增强可以提高单层有机太阳能电池的激子拆分效率，从而最终提升其能量转换效率，本实施例单层有机太阳能电池的能量转换效率高达0.1-0.2％，而对于单层有机太阳能电池来说，由于缺少有效的激子拆分界面，因而其效率普遍都很低，如现有的没有设置高功能函数修饰层修饰阳极时的单层有机太阳能电池的能量转换效率在0.05％以下，相对现有的单层有机太阳能电池而言，本实施例单层有机太阳能电池的能量转换效率提高显著。

本实施例单层有机太阳能电池的工作原理如下：

当太阳光射到从透明绝缘衬底5后，由于透明绝缘衬底5为透明、透明阳极电极层4采用透明的导电材质或者金属薄膜构成和金属纳米颗粒层3厚度很薄，因而其对太阳光的损耗很小，可以忽略不计，且厚度薄，因此，绝大部分太阳光透过透明绝缘衬底5、透明阳极电极层4和金属纳米颗粒层3射到光敏层2上，并被光敏层2所吸收，光敏层2吸收太阳光光子能量之后，产生少量的自由载流子或/和产生具有一定束缚力的电子-空穴对，也就是激子。由于透明阳极电极层4和阴极电极层1之间存在功函数差，从而在单层有机太阳能电池器件的内部产生内建电场，又由于在透明阳极电极层4一侧设置金属纳米颗粒层3，对透明阳极电极层4进行修饰，提高透明阳极电极层4的功函数，从而进一步增大了透明阳极电极层4和阴极电极层1之间功函数差，从而进一步增强了单层有机太阳能电池器件的内建电场，在光敏层2上产生的激子在该内建电场的作用下被拆分成两种极性的自由载流子，该自由载流子在上述的内建电场作用下，在光敏层2中分别向透明阳极电极层4和阴极电极层1漂移，从而形成光电流输出。

由于本实施例单层有机太阳能电池器件中设置了金属纳米颗粒层3，对透明阳极电极层4进行修饰，提高透明阳极电极层4的功函数，从而进一步增大了透明阳极电极层4和阴极电极层1之间功函数差，从而进一步增强了单层有机太阳能电池器件的内建电场，从而提高了对激子拆分的效率，使得最终提升单层有机太阳能电池的能量转换效率。

本实施例还提供单层有机太阳能电池器件的制备方法，包括如下步骤：

1)获取透明绝缘衬底5；

2)在所述透明绝缘衬底5的其中一面形成透明阳极电极层4；

3)在透明阳极电极层4上形成金属纳米颗粒层3，所述金属纳米颗粒层3中金属纳米颗粒的功函数值高于透明阳极电极层4的功函数值；

4)在金属纳米颗粒层3上沉积光敏材料，形成光敏层2；

5)在光敏层2上沉积金属或金属氧化物薄膜，形成阴极电极层1，从而得到所述的单层有机太阳能电池。

在上述步骤1)中，透明绝缘衬底5的厚度优选为1.1-1.5mm，其材质优选上述的透明、绝缘材质，该透明绝缘衬底5的面积大小可根据实际需要做灵活调整，如可小到几个平方毫米，大到几十个平方厘米。

在上述步骤2)中，制备透明阳极电极层4的优选方案是：将透明绝缘衬底5经清洗后，采用溅射的方法，在所述透明绝缘衬底5的其中一面上镀一层导电薄膜层，并将导电薄膜层采用光刻腐蚀成条纹图样电极，形成透明阳极电极层4。其中，所述透明绝缘衬底5在溅射前的预先清洗优选先将透明绝缘衬底置于去离子水中，再用超声波清洗2-3小时，但不仅仅限于超声波清洗，也可以采用本技术领域常用的其他清洗方式清洗，只要最终达到使得透明绝缘衬底5清洁的目的即可。该步骤制备的透明阳极电极层4的材质优选为上述的透明氧化物、金属薄膜或碳纳米管导电薄膜，其厚度为80-120nm，该步骤中溅射方法的溅射工艺参数可采用本技术领域常用的工艺参数。

在上述步骤3)中，制备金属纳米颗粒层3的优选方案是：将镀有透明阳极电极层4的透明绝缘衬底5经清洗后，采用真空蒸镀的方法在透明阳极电极层4上沉积生长高功函数金属纳米颗粒，形成金属纳米颗粒层3。其中，所述镀有透明阳极电极层4的透明绝缘衬底5的预先清洗优选为先利用无水甲醇、丙酮的有机溶剂对将镀有透明阳极电极层4的透明绝缘衬底5进行擦洗，再结合超声波清洗1-2小时后，置于120-150℃下烘烤10-15分钟将其烘干，当然也可以采用本技术领域常用的其他方式烘干，如红外等。该步骤制备的金属纳米颗粒层3的材质优选为上述的高功函数的金属纳米颗粒，其厚度为0.5-1nm；该步骤中所述真空蒸镀的方法中真空度为10^-8-10^-7Torr；所述透明阳极电极层4上沉积生长高功函数金属纳米颗粒的生长速率为0.01-0.02nm/s。

在上述步骤4)中，制备光敏层2的优选方案是：在金属纳米颗粒层3上，采用真空蒸镀的方法沉积生长光敏材料，形成光敏层2。其中，光敏层2的材质优选为空穴传输材料、电子传输材料或无机纳米材料，具体材料如上所述，其厚度优选为50-100nm。所述金属纳米颗粒层上沉积生长光敏材料的生长速率为0.01-0.05nm/s。该步骤中真空蒸镀方法的蒸镀工艺参数可采用本技术领域常用的工艺参数，可根据蒸镀物料的不同而根据该物料的属性做适当调整，真空度应高于10^-5Pa，当然，真空度越高越好。

在上述步骤5)中，制备阴极电极层1的优选方案是：采用真空蒸镀的方法，并辅以电极掩膜板，在光敏层2上沉积生长金属或金属氧化物薄膜，形成阴极电极层1，从而得到所述的单层有机小分子太阳能电池。其中，阴极电极层1优选由金属薄膜或金属氧化物薄膜构成，具体材料如上所述，其厚度优选为80-120nm。该步骤中真空蒸镀方法的蒸镀工艺参数可采用本技术领域常用的工艺参数，可根据蒸镀物料的不同而根据该物料的属性做适当调整，真空度应高于10^-4Pa，当然，真空度越高越好。

现结合具体实例，对本发明进行进一步详细说明。

实施例1

单层有机太阳能电池的结构如图1所示，高反射率阴极电极层1采用铝薄膜电极，光敏层2采用CuPc酞菁铜薄膜，金属纳米颗粒层3为金纳米颗粒，透明透明阳极电极层4采用ITO条纹电极，其方块电阻为15欧姆/□，透明绝缘衬底5采用石英玻璃。

其具体制备方法如下：

(1)选用1.1mm厚度的抛光石英玻璃作为透明绝缘衬底5，采用超声波的方法对石英玻璃进行清洗2-3个小时；

(2)采用溅射的方法在石英玻璃一表面生长一层ITO导电薄膜，ITO薄膜厚度为120nm；

(3)将ITO导电薄膜光刻蚀成所需要的条纹电极图样作为透明阳极电极层4，也即是电池的阳极；

(4)整个ITO玻璃基板通过无水甲醇、丙酮的擦洗，并在去离子水中超声清洗1-1.5小时，之后将ITO玻璃基板在130摄氏度的高温炉中烘烤15分钟；

(5)将样品从高温炉中取出，送入真空蒸镀系统的生长腔中，其真空度为10^-8Torr，采用真空蒸镀的方式生长金纳米颗粒作为高功函数金属纳米颗粒层3，其厚度为0.5nm，生长速率为0.01nm/s；

(6)在金属纳米颗粒层3表面采用真空蒸镀的方式生长CuPc酞菁铜薄膜作为光敏层2，其厚度为100nm，生长速率为0.05nm/s；

(7)在CuPc薄膜即光敏层2表面，辅以条纹掩膜板真空蒸镀120nm厚度铝条纹电极作为高反射率阴极电极层1及太阳能电池的阴极，生长速率为0.15nm/s，待阴极电极层1生长到120nm厚度时停止真空蒸镀，从而得到本实施例的单层有机太阳能电池，本实施例制备的单层有机太阳能电池能量转换效率为0.1％。

实施例2

如图1所示，高反射率阴极电极层1采用银薄膜电极，光敏层2采用并五苯薄膜，金属纳米颗粒层3为金纳米颗粒，透明阳极电极层4采用ITO条纹电极，其方块电阻为15欧姆/□，透明绝缘衬底5采用石英玻璃。

其具体制备方法如下：

(1)选用1.5mm厚度的抛光石英玻璃作为透明绝缘衬底5，采用超声波的方法对石英玻璃进行清洗2-2.5个小时；

(2)采用溅射的方法在石英玻璃一表面生长一层ITO导电薄膜，ITO薄膜厚度为80nm；

(3)将ITO导电薄膜光刻蚀成所需要的条纹电极图样作为太阳能电池的阳极；作为透明阳极电极层4，也即是电池的阳极；

(4)整个ITO玻璃基板通过无水甲醇、丙酮的擦洗，并在去离子水中超声清洗1.5-2小时，之后将ITO玻璃基板在150摄氏度的高温炉中烘烤12-15分钟；

(5)将样品从高温炉中取出，送入真空蒸镀系统的生长腔中，其真空度为10^-7Torr，采用真空蒸镀的方式生长金纳米颗粒作为高功函数金属纳米颗粒层3，其厚度为0.8nm，生长速率为0.02nm/s；

(6)在金属纳米颗粒层3表面采用真空蒸镀的方式生长并五苯薄膜作为光敏层^2，其厚度为50nm，生长速率为0.01nm/s；

(7)在并五苯，即光敏层2表面，辅以条纹掩膜板真空蒸镀80nm厚度银条纹电极作为高反射率阴极电极层1也即是太阳能电池的阴极，生长速率为0.1nm/s，待阴极电极层1生长到80nm厚度时停止真空蒸镀，从而得到本实施例的单层有机太阳能电池，本实施例制备的单层有机太阳能电池能量转换效率为0.2％。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种单层有机太阳能电池，其特征在于：包括透明绝缘衬底、和在透明绝缘衬底上依次层叠形成的透明阳极电极层、金属纳米颗粒层、光敏层和阴极电极层，所述金属纳米颗粒层中金属纳米颗粒的功函数值高于透明阳极电极层的功函数值。

2.根据权利要求1所述的单层有机太阳能电池，其特征在于：所述金属纳米颗粒层中的金属材质为金、铍、钴、钯或铂中的至少一种；

所述金属纳米颗粒层的厚度为0.5-1nm。

3.根据权利要求1所述的单层有机太阳能电池，其特征在于：所述透明绝缘衬底的材质为石英玻璃、硅酸盐玻璃、高硅氧玻璃、钠钙玻璃、聚氯乙烯、聚碳酸酯或聚酯；

所述透明绝缘衬底的厚度为1.1-1.5mm。

4.根据权利要求1所述的单层有机太阳能电池，其特征在于：所述透明阳极电极层是材质为氧化铟锡、氧化锌铝、氧化锌镓、氧化铟锌、金、铝、银或碳纳米管的导电薄膜；

所述透明阳极电极层的厚度为80-120nm。

5.根据权利要求1所述的单层有机太阳能电池，其特征在于：所述光敏层的材质为酞菁染料、并五苯、卟啉化合物、菁染料、富勒烯、二奈嵌苯、二奈嵌苯衍生物、CdSe、CdS、CdTe、TiO₂、ZnO、PbS、SnO₂、碳纳米管或石墨烯；

所述光敏层的厚度为50-100nm。

6.根据权利要求1所述的单层有机太阳能电池，其特征在于：所述阴极电极层的材质为Ag、Al、Ca-Al合金、Mg-Ag合金、ITO或ZnO；

所述阴极电极层的厚度为80-120nm。

7.一种单层有机太阳能电池制备方法，其包括如下步骤：

获取透明绝缘衬底；

在所述透明绝缘衬底的其中一面形成透明阳极电极层；

在透明阳极电极层上形成金属纳米颗粒层，所述金属纳米颗粒层中金属纳米颗粒的功函数值高于透明阳极电极层的功函数值；

在金属纳米颗粒层上沉积光敏材料，形成光敏层；

在光敏层上沉积金属或金属氧化物薄膜，形成阴极电极层，从而得到所述的单层有机太阳能电池。

8.根据权利要求7所述的单层有机太阳能电池制备方法，其特征在于：

所述透明阳极电极层形成步骤是采用溅射的方法在透明绝缘衬底的其中一面上镀导电薄膜；

所述金属纳米颗粒层形成步骤是采用真空蒸镀的方法在透明阳极电极层上生长金属纳米颗粒；

所述光敏层形成步骤是采用真空蒸镀的方法在金属纳米颗粒层上生长光敏材料；

所述阴极电极层形成步骤是采用真空蒸镀的方法在光敏层上生长金属或金属氧化物薄膜。

9.根据权利要求8所述的单层有机太阳能电池制备方法，其特征在于：

所述金属纳米颗粒层制备步骤中，所述真空蒸镀的真空度为10^-8-10^-7Torr，金属纳米颗粒在透明阳极电极层上的生长速率为0.01-0.02nm/s；

所述光敏层制备步骤中，所述真空蒸镀的真空度高于10^-5Pa，光敏材料在金属纳米颗粒层上的生长速率为0.01-0.05nm/s；

所述阴极电极层制备步骤中，所述真空蒸镀的真空度高于10^-4Pa，金属或金属氧化物薄膜在光敏层上的生长速率为0.1-0.2nm/s。

10.根据权利要求7所述的单层有机太阳能电池制备方法，其特征在于：所述透明阳极电极层制备步骤中，所述透明绝缘衬底包括预先清洗处理，所述预先清洗处理按如下步骤进行：将透明绝缘衬底置于去离子水中，再用超声波清洗2-3小时；

所述金属纳米颗粒层制备步骤中，所述镀有透明阳极电极层的透明绝缘衬底包括预先清洗处理，所述预先清洗处理按如下步骤进行：利用无水甲醇、丙酮的有机溶剂对将镀有透明阳极电极层的透明绝缘衬底进行擦洗，再结合超声波清洗1-2小时后，置于120-150℃下烘干。

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