CN102279156A - 用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器 - Google Patents

用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器 Download PDF

Info

Publication number
CN102279156A
CN102279156A CN2011101844352A CN201110184435A CN102279156A CN 102279156 A CN102279156 A CN 102279156A CN 2011101844352 A CN2011101844352 A CN 2011101844352A CN 201110184435 A CN201110184435 A CN 201110184435A CN 102279156 A CN102279156 A CN 102279156A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas sensor
sensor assembly
optoacoustic gas
infrared light
light supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2011101844352A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102279156B (zh
Inventor
W·索尔森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honeywell International Inc
Original Assignee
Honeywell International Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honeywell International Inc filed Critical Honeywell International Inc
Publication of CN102279156A publication Critical patent/CN102279156A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102279156B publication Critical patent/CN102279156B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/37—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using pneumatic detection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/02—Analysing fluids

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

本发明涉及用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器。光声气体检测器包括集成光源、红外滤波器和声传感器。所述光源、滤波器和声传感器能集成在一个或多个半导体衬底上，如硅。处理电路同样也能集成在该衬底上。另外，光源、滤波器和声传感器能集成在单一组件封装内，例如金属罐晶体管封装。

Description

用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器
技术领域
本发明涉及光-声(photo-acoustic)气体检测器。更具体来说，本发明涉及包括红外光源和声检测器的集成封装的这种检测器。
背景技术
近几年，光-声气体传感器已经作为用于多个气体感测应用的可行技术出现，其包括室内空气品质和按需控制通风中的CO2监测，制冷剂和氨监测，易燃气体检测，以及其它。光声技术在许多方面与气体检测的非分光红外(NDIR)和其它光谱手段相似。所有的这些技术都利用气体样品对红外辐射的选择性吸收来确定样品的浓度或组成。
光声感测技术并不依赖于直接测量通过气体样品的红外辐射量，却取而代之检测当气体吸收输入的红外辐射时所导致的气体样品的膨胀。如果以声频来对输入的辐射进行正弦调制，则采用低成本的检测装置如MEMS扩音器将所导致的气体膨胀能够检测为声波形。一般地，实际的光声气体传感器比传统NDIR气体传感器相比以更小的气体感测室来实现，因为它们更少依赖于感测室内的光程长度以实现有用的检测灵敏度。这一区别允许采用微电子和MEMS制造技术在紧凑的集成封装内实现微型气体传感器成为可能。这在减少传感器封装尺寸以及制造要求的同时改进传感器性能，可靠性和成本方面是令人满意的。
在现有技术中光声气体感测的功能原理是公知的。该传感器所要求的功能元件包括红外光源、光学波长选择滤波器、气体感测空间(检测室)、气体渗透膜或者允许气体自由扩散至检测室但是在气体膨胀时限制流出检测室的总体流量的阀、测量扩音器或其它合适的压力换能器，和用以调制红外光源以及获得和处理光声信号并且将所得到的测量结果输出的控制和信号处理装置。
光声传感器还可能包括用于补偿或者消除环境噪声和压力变化对传感器的影响的结构。这可以通过采用单独的参考感测空间和参考扩音器来从所感兴趣的气体获得基本上没有声光分量的背景噪声信号来完成。从气体感测空间中所检测的信号中减去这一背景信号以产生基本上不受背景噪声影响的光声信号，从而提高传感器准确性。
图1示出了已知传感器组件的结构来演示光声气体检测的功能原理。为了清楚起见，省略了对描述该通常功能原理不关键的传感器物理设计的某些方面。在该声光气体传感器1内，借助于反射器外壳3将红外光源2发出的调制红外光通过波长选择带通红外滤波器4引入气体感测空间5中，该空间由测量单元主体6和红外滤波器4限定。
来自环境大气7的气体容易地通过测量单元主体中的气体渗透膜8和孔9扩散，由此进入气体感测空间5。调制红外辐射的一部分被在感测空间内待检测的目标气体所吸收，从而引起借助于扩音器10检测的调制声压力波，该扩音器10通过测量单元主体中的开口11与测量单元空间通信地耦合。
通过合适选择红外光源、滤波器和扩音器特性，声压力波的大小将与感兴趣的目标气体的浓度直接相关。在这一示例中，扩音器和白炽灯红外光源的组件被部署在共享印刷电路板12上，该电路板12也可以包括关联的灯调制和处理电子电路(为清楚起见没有示出)。
附图说明
图1示出了光声气体传感器的功能原理；和
图2A，2B示出了根据本发明的声光气体传感器的第一实施例。
具体实施方式
尽管本发明的实施方式能够采用多个不同形式，但是在附图中示出其特定实施方式并且在此对其进行详细描述，应该理解的是本公开认为是本发明原理的一个范例，同时也是最佳的实施方式，并不是旨在将本发明限制到特定的实施方式。
本发明的实施方式将核心光声传感器的功能元件集成在适合大量生产的单一的，集成MEMS设备上。这些实施方式提供了由MEMS技术带来的坚固和低成本的优点。在本发明的一个方面中，集成的红外光源、固定波长红外滤波器和MEMS扩音器能够集成在单一组件封装内并且适用于气体测量单元。
图2A和2B描述了其中将图1中描述的多个功能元件合并在可以通过MEMS和微电子封装技术制备的集成组件中的本发明的实施方式。图2A是本发明的部分剖面透视图，以及图2B是图2A中所示的截面A-A平面的本发明的横截面侧视图。
在本发明的这个实施方式中，注射成型塑料测量单元主体20与集成红外光源及扩音器组件主体，或者以通常用来封装晶体管和其它电子组件的密封金属罐组件封装的形式封装的封装21接合。这一类型的电子组件封装通常称为“晶体管罐封装或者TO罐”并且通常符合在由JEDEC和电子工业协会出版的电子工业规范所描述的尺寸。
这些封装可用于大量标准尺寸并且相互连接管脚配置来适应特殊应用的需要。标准封装尺寸例如JEDEC TO39或TO8罐是能用于本发明的优选封装尺寸的典型例子。测量单元主体20的内表面镀有红外光反射材料(例如，但不限于镀金)以最大化引导到测量单元空间22内的气体的红外光能量，测量单元空间22是由测量单元主体20和集成组件封装21连接在一起形成的。
气体渗透膜23通过粘合剂或者其它合适的方式接合到测量单元主体20的外表面20a。测量单元主体中的多个孔24位于气体渗透膜23的下部，并且为来自环境大气的气体扩散进入以及流出测量单元空间22提供流动路径。集成组件包括平面红外光源25、波长选择滤波器26和MEMS型扩音器27。所述红外滤波器覆盖所述组件封装21中的开口28，开口28提供窗口，通过该窗口使选定波长的红外能量辐射进入测量单元空间22。
在集成组件封装21内的内部隔板结构29阻止来自红外光源的辐射直接耦合到共享TO罐封装21内的MEMS扩音器。该隔板还在组件组装期间，为包含在真空下密封的红外光源的集成组件的一部分做准备。
在气体测量空间内产生的声光信号通过集成组件封装顶表面中的开口30与MEMS扩音器通信地耦合。红外光源和MEMS扩音器通过使用通常在微电子和半导体封装中使用的类型的多条接合线32与集成组件的外部引线31相连接。
处理电路36同样可以包括在集成组件封装21内，用于获取和处理来自扩音器27的信号。可以理解的是，所述电路36可以形成在所述封装21中的半导体衬底上。所述衬底可以是支持扩音器27的相同衬底，或它可以是不同的。
在本发明的一方面中，红外光源和检测元件两者的制造形成在单一的集成元件中并且合并到光-声气体检测器。信号处理电子电路也可以实现在相同管芯(die)上或者是在同一TO罐封装内，导致光-声气体检测器的所有有效组件的单一芯片或单一组件解决方案。这一集成期望相对于现有技术实现提供可靠性和性能改进以及制造和成本效率。
通过以上描述，可以观察到，在不偏离本发明的精神和范围的情况下可以实现大量的变化和更改。应当理解的是，并不旨在关于在此阐明的特定实施方式进行限制或者也不应该推断关于在此阐明的特定实施方式进行限制。当然，旨在通过所附权利要求覆盖落入本权利要求的范围内的所有这些修改。

Claims (15)

1.一种光声气体传感器组件，包括：
承载在半导体衬底上的红外光源；
形成在所述相同衬底或第二半导体衬底上的集成扩音器，以及承载在第三衬底上的红外波长选择带通滤波器。
2.如权利要求1所述的光声气体传感器组件，其包括将所述光源、扩音器和红外滤波器收容在一起的集成组件封装。
3.如权利要求2所述的光声气体传感器组件，其另外包括形成在所述集成组件封装内的半导体衬底上的信号获取和信号处理电路。
4.如权利要求1所述的光声气体传感器组件，其中所述扩音器被实现为MEMS型换能器。
5.如权利要求2所述的光声气体传感器组件，其中所述组件外壳的封装符合金属罐晶体管外形封装或者其它工业标准半导体器件封装格式的要求。
6.如权利要求3所述的光声气体传感器组件，其中所述组件外壳的封装符合金属罐晶体管外形封装或者其它工业标准半导体器件封装格式的要求。
7.如权利要求2所述的光声气体传感器组件，其中所述红外光源基本上是平面的。
8.如权利要求3所述的光声气体传感器组件，其中所述红外光源基本上是平面的。
9.如权利要求2所述的光声气体传感器组件，其中所述红外光源包括薄膜导体。
10.如权利要求3所述的光声气体传感器组件，其中所述红外光源包括薄膜导体。
11.如权利要求2所述的光声气体传感器组件，其中所述红外光源包括灯丝导体。
12.如权利要求3所述的光声气体传感器组件，其中所述红外光源包括灯丝导体。
13.如权利要求2所述的光声气体传感器组件，其中所述红外光源包括红外发光二极管。
14.如权利要求3所述的光声气体传感器组件，其中所述红外光源包括红外发光二极管。
15.如权利要求2所述的光声气体传感器组件，其中所述波长选择带通滤波器选自包括至少介电型或二向色型红外滤波器的一类滤波器。
CN201110184435.2A 2010-06-03 2011-06-02 用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器 Active CN102279156B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/792,822 US8695402B2 (en) 2010-06-03 2010-06-03 Integrated IR source and acoustic detector for photoacoustic gas sensor
US12/792822 2010-06-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102279156A true CN102279156A (zh) 2011-12-14
CN102279156B CN102279156B (zh) 2017-03-01

Family

ID=44118000

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110184435.2A Active CN102279156B (zh) 2010-06-03 2011-06-02 用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8695402B2 (zh)
EP (1) EP2392916B1 (zh)
JP (1) JP5868615B2 (zh)
KR (1) KR101837073B1 (zh)
CN (1) CN102279156B (zh)
CA (1) CA2741788A1 (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106066305A (zh) * 2015-04-24 2016-11-02 英飞凌科技股份有限公司 包括光发射器单元和检测器单元的光声气体传感器模块
CN107036967A (zh) * 2016-01-22 2017-08-11 英飞凌科技股份有限公司 集成的光声气体传感器模块
CN107462629A (zh) * 2016-06-03 2017-12-12 英飞凌科技股份有限公司 声波检测器
CN110927067A (zh) * 2015-03-27 2020-03-27 英飞凌科技股份有限公司 气体传感器
CN111189781A (zh) * 2020-01-14 2020-05-22 上海虬祺传感器科技有限公司 一种光声光谱气体传感器
CN111435111A (zh) * 2019-01-11 2020-07-21 英飞凌科技股份有限公司 具有最佳参考路径长度的光声气体传感器
CN111707619A (zh) * 2020-05-27 2020-09-25 山东大学 一种基于mems麦克风阵列的光声池及光声光谱传感器
CN113281261A (zh) * 2021-03-26 2021-08-20 安徽波汇智能科技有限公司 一种新型光声光谱气体传感器
CN114839148A (zh) * 2022-03-29 2022-08-02 电子科技大学 一种微型红外光声co2传感器及检测方法

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012008102B3 (de) * 2012-04-25 2013-08-01 Testo Ag Messvorrichtung und Messverfahren
US9804003B2 (en) * 2012-10-23 2017-10-31 Apple Inc. Electronic devices with environmental sensors
EP2770319B2 (de) * 2013-02-25 2022-01-26 Sick Ag Gasmessgerät
US9513261B2 (en) 2013-10-14 2016-12-06 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas sensor device and a method for analyzing gas
TW201525442A (zh) * 2013-12-27 2015-07-01 Lingsen Precision Ind Ltd 微型封裝結構之氣體感知器及其製造方法
JP6248898B2 (ja) * 2014-10-31 2017-12-20 ダイキン工業株式会社 空気調和機
WO2016141155A1 (en) 2015-03-05 2016-09-09 Honeywell International Inc. Use of selected glass types and glass thicknesses in the optical path to remove cross sensitivity to water absorption peaks
CN108351293A (zh) 2015-09-10 2018-07-31 霍尼韦尔国际公司 具有归一化响应和改进灵敏度的气体检测器
EP3359933A1 (en) 2015-10-09 2018-08-15 Honeywell International Inc. Electromagnetic radiation detector using a planar golay cell
US9606049B1 (en) * 2015-10-09 2017-03-28 Honeywell International Inc. Gas detector using a golay cell
DE102015223362A1 (de) * 2015-11-25 2017-06-01 Minimax Gmbh & Co. Kg Explosionsgeschütztes Gehäuse für Mittel zum Senden und Empfangen elektromagnetischer Strahlung
US10302554B2 (en) 2016-06-03 2019-05-28 Ingineon Technologies Ag Acoustic wave detector
US11105738B2 (en) * 2016-11-28 2021-08-31 Kyocera Corporation Sensor wiring substrate, sensor package, and sensor device
US10620165B2 (en) * 2016-12-29 2020-04-14 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas analyzer for determining species concentrations using intensity modulation
EP4230998A1 (en) * 2018-10-12 2023-08-23 Amphenol Thermometrics, Inc. Ndir sensor, sampling method and system for breath analysis
CN109769184B (zh) * 2019-01-16 2024-04-02 钰太芯微电子科技（上海）有限公司 一种麦克风的封装结构
EP3715842B1 (en) * 2019-03-26 2021-05-19 Infineon Technologies AG Mems gas sensor
EP3550286B1 (en) 2019-04-17 2021-01-27 Sensirion AG Photoacoustic gas sensor device
EP3614126A1 (en) * 2019-05-17 2020-02-26 Sensirion AG Photoacoustic gas sensor device
EP3798607B1 (en) * 2019-08-09 2023-01-25 Sensirion AG Photoacoustic gas sensor devices
KR20220012517A (ko) * 2020-07-23 2022-02-04 삼성전자주식회사 오디오 모듈을 이용하여 가스를 측정하는 전자 장치 및 방법
JP7471947B2 (ja) 2020-08-01 2024-04-22 Tdk株式会社 センサーモジュール
FR3117590B1 (fr) * 2020-12-15 2023-06-30 Mirsense Dispositif de mesure d’un rayonnement laser par effet photoacoustique
WO2023161113A1 (de) 2022-02-24 2023-08-31 Hahn-Schickard-Gesellschaft Für Angewandte Forschung E. V. Mems-tapping-mode-cantilever als akustischer nanokraftsensor

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04264236A (ja) * 1990-09-24 1992-09-21 Dow Chem Co:The 光音響分析用プローブ
WO1996024831A1 (en) * 1995-02-10 1996-08-15 Nyfotek A/S Photoacoustic gas detector
JPH0943051A (ja) * 1994-07-07 1997-02-14 Vaisala Oy 赤外線検出器
JPH09127066A (ja) * 1995-09-04 1997-05-16 Cerberus Ag 光音響ガスセンサおよびその使用方法
CN1216108A (zh) * 1996-01-10 1999-05-05 恩格尔哈德传感器技术公司 被动式红外分析气体传感器及其多通道检测器组件
FR2791134A1 (fr) * 1999-03-16 2000-09-22 Commissariat Energie Atomique Detecteur photoacoustique integre
US6222190B1 (en) * 1996-09-19 2001-04-24 Leiv Eiriksson Nyfotek As Photo acoustic infrared (IR) detector
JP2002328116A (ja) * 2001-04-27 2002-11-15 Yamatake Corp 光音響ガスセンサ
US20050161605A1 (en) * 2004-01-26 2005-07-28 Denso Corporation Infrared gas sensor
EP2110659A2 (en) * 2008-04-17 2009-10-21 Honeywell International Inc. Photoacoustic cell

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4622845A (en) * 1985-03-21 1986-11-18 Westinghouse Electric Corp. Method and apparatus for the detection and measurement of gases
WO1989008336A1 (en) * 1988-02-29 1989-09-08 The Regents Of The University Of California Plate-mode ultrasonic sensor
US5189914A (en) * 1988-02-29 1993-03-02 The Regents Of The University Of California Plate-mode ultrasonic sensor
US5310610A (en) * 1988-05-07 1994-05-10 Sharp Kabushiki Kaisha Silicon micro sensor and manufacturing method therefor
DE69431873T2 (de) * 1994-06-04 2003-11-13 Orbisphere Lab Photoakustisches Analysegerät
WO1997040367A1 (en) * 1996-04-22 1997-10-30 Autospect, Inc. Method and system for inspecting a low gloss surface of an object at a vision station
ES2268716T3 (es) * 1997-01-25 2007-03-16 Siemens Schweiz Ag Detector optoacustico de gases.
US5869749A (en) * 1997-04-30 1999-02-09 Honeywell Inc. Micromachined integrated opto-flow gas/liquid sensor
US6076392A (en) * 1997-08-18 2000-06-20 Metasensors, Inc. Method and apparatus for real time gas analysis
FR2768813B1 (fr) 1997-09-19 1999-10-22 Commissariat Energie Atomique Spectrometre photoacoustique miniaturise
WO1999028729A1 (en) 1997-12-04 1999-06-10 Ion Optics, Inc. Gas detection apparatus using a combined infrared source and high temperature bolometer
US7091869B2 (en) * 2000-10-09 2006-08-15 Siemens Building Technologies Ag Optoacoustic measuring arrangement and use thereof
US6632402B2 (en) * 2001-01-24 2003-10-14 Ntc Technology Inc. Oxygen monitoring apparatus
JP2004024551A (ja) * 2002-06-26 2004-01-29 Renesas Technology Corp センサシステム用半導体装置
US7432508B2 (en) * 2003-02-21 2008-10-07 Ric Investments, Llc Gas measurement system
US7304732B1 (en) * 2003-11-19 2007-12-04 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Microelectromechanical resonant photoacoustic cell
US7213444B2 (en) * 2005-05-16 2007-05-08 Carthago International Solutions, Inc. Optoacoustic gas sensor
TW200725821A (en) * 2005-12-27 2007-07-01 Unimems Mfg Co Ltd Package structure for gas sensor and package method thereof
US7936062B2 (en) * 2006-01-23 2011-05-03 Tessera Technologies Ireland Limited Wafer level chip packaging
US20070190747A1 (en) * 2006-01-23 2007-08-16 Tessera Technologies Hungary Kft. Wafer level packaging to lidded chips
US7896053B2 (en) * 2007-09-27 2011-03-01 Babcock & Wilcox Services Y-12, LLC Non-destructive component separation using infrared radiant energy
DE102008047658B3 (de) * 2008-09-12 2010-01-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Gassensor und Verwendung eines Gassensors
FR2951545B1 (fr) * 2009-10-21 2014-01-03 Commissariat Energie Atomique Detecteur de gaz photoacoustique

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04264236A (ja) * 1990-09-24 1992-09-21 Dow Chem Co:The 光音響分析用プローブ
JPH0943051A (ja) * 1994-07-07 1997-02-14 Vaisala Oy 赤外線検出器
WO1996024831A1 (en) * 1995-02-10 1996-08-15 Nyfotek A/S Photoacoustic gas detector
JPH09127066A (ja) * 1995-09-04 1997-05-16 Cerberus Ag 光音響ガスセンサおよびその使用方法
CN1216108A (zh) * 1996-01-10 1999-05-05 恩格尔哈德传感器技术公司 被动式红外分析气体传感器及其多通道检测器组件
US6222190B1 (en) * 1996-09-19 2001-04-24 Leiv Eiriksson Nyfotek As Photo acoustic infrared (IR) detector
FR2791134A1 (fr) * 1999-03-16 2000-09-22 Commissariat Energie Atomique Detecteur photoacoustique integre
JP2002328116A (ja) * 2001-04-27 2002-11-15 Yamatake Corp 光音響ガスセンサ
US20050161605A1 (en) * 2004-01-26 2005-07-28 Denso Corporation Infrared gas sensor
EP2110659A2 (en) * 2008-04-17 2009-10-21 Honeywell International Inc. Photoacoustic cell

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110927067A (zh) * 2015-03-27 2020-03-27 英飞凌科技股份有限公司 气体传感器
CN106066305A (zh) * 2015-04-24 2016-11-02 英飞凌科技股份有限公司 包括光发射器单元和检测器单元的光声气体传感器模块
US10241088B2 (en) 2015-04-24 2019-03-26 Infineon Technologies Ag Photo-acoustic gas sensor module having light emitter and detector units
CN107036967A (zh) * 2016-01-22 2017-08-11 英飞凌科技股份有限公司 集成的光声气体传感器模块
CN107462629A (zh) * 2016-06-03 2017-12-12 英飞凌科技股份有限公司 声波检测器
CN111435111A (zh) * 2019-01-11 2020-07-21 英飞凌科技股份有限公司 具有最佳参考路径长度的光声气体传感器
CN111435111B (zh) * 2019-01-11 2023-10-27 英飞凌科技股份有限公司 具有最佳参考路径长度的光声气体传感器
CN111189781A (zh) * 2020-01-14 2020-05-22 上海虬祺传感器科技有限公司 一种光声光谱气体传感器
CN111707619A (zh) * 2020-05-27 2020-09-25 山东大学 一种基于mems麦克风阵列的光声池及光声光谱传感器
CN113281261A (zh) * 2021-03-26 2021-08-20 安徽波汇智能科技有限公司 一种新型光声光谱气体传感器
CN114839148A (zh) * 2022-03-29 2022-08-02 电子科技大学 一种微型红外光声co2传感器及检测方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2392916A3 (en) 2012-02-15
EP2392916B1 (en) 2019-11-27
JP2011252906A (ja) 2011-12-15
KR101837073B1 (ko) 2018-03-09
EP2392916A2 (en) 2011-12-07
CN102279156B (zh) 2017-03-01
JP5868615B2 (ja) 2016-02-24
CA2741788A1 (en) 2011-12-03
US8695402B2 (en) 2014-04-15
KR20110132982A (ko) 2011-12-09
US20110296900A1 (en) 2011-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102279156A (zh) 用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器
US11067542B2 (en) Photoacoustic gas sensor
US10241088B2 (en) Photo-acoustic gas sensor module having light emitter and detector units
US10451543B2 (en) Integrated photo-acoustic gas sensor module
Scholz et al. Miniature low-cost carbon dioxide sensor for mobile devices
CN110132877B (zh) 一种基于mems的集成式红外气体传感器
US11754492B2 (en) Photoacoustic gas sensor device
CN107328739B (zh) 全集成式红外气体传感器及其工作方法
US10782270B2 (en) Photoacoustic gas sensor package
US8661874B2 (en) Photoacoustic detector with background signal correction
US11609180B2 (en) Emitter package for a photoacoustic sensor
US11353431B2 (en) Photoacoustic sensor
CN109313129A (zh) 微电子传感器装置和用于制造微电子传感器装置的方法
Scholz et al. Carbon dioxide sensor for mobile devices: A novel approach for low-power consuming, highly sensitive NDIR sensors
JP2012511720A (ja) ガスセンサ関連構成
US9719913B2 (en) Outer part for a device and device
Theuss et al. Miniaturized photoacoustic gas sensor for CO 2
US11143626B2 (en) Photo-acoustic gas sensor with optimal reference path length
KR20230095814A (ko) 방사선 소스 디바이스

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant