CN114839148A - 一种微型红外光声co2传感器及检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于环境气体检测领域，具体提供一种微型红外光声CO2传感器及检测方法，用以解决传统传感器测试结果误差大、体积大等缺陷。本发明采用光声效应的原理，提出创新的非谐振型的光声腔，红外光在腔室内多次反射增强CO2气体分子对入射光的吸收，从而激发出更强的热声波；并且匹配红外辐射光源与光源调制频率，实现CO2气体浓度的测量。相对于传统的传感器，本发明传感器尺寸得到大大缩小，工作在较低的调制频率(20Hz‑40Hz)下，并配合大功率MEMS红外光源获得了更大调制深度和信号强度，获得了更低的探测下限；综上，本发明具有尺寸更小、成本更低，且灵敏度高、响应快、寿命长、检测范围宽等优点，适合大批量生产。
Description
技术领域
本发明属于环境气体检测领域，涉及基于光声效应的CO2传感器。具体提供一种微型红外光声CO2传感器及检测方法。
背景技术
CO2作为空气的重要成分之一，其浓度过高时会使人疲惫、引发呼吸困难的健康问题，严重的甚至危及生命；同时，CO2是大气当中的一类重要的温室气体，近年来全球变暖、气候变化以及频发的极端天气都与之密切相关；因此，一款能够在日常生活中使用的CO2传感器，对于改善人类空气质量和改善呼吸健康等方面有重要价值。
现有的气体传感器，较为成熟的有电化学气体传感器和红外气体传感器；其中，电化学气体传感器的缺点有两点：第一、电化学气体传感器寿命有限、通常在使用一年后就会发生严重的漂移、第二、电化学传感器工作过程发生的氧化还原的过程会消耗掉待测气体；而红外气体传感器多为NDIR型红外气体传感器。物质对特定波长的光的吸收关系服从比尔—朗伯吸收定律，红外光穿过吸收室，吸收室内的样本气体的各个组分会吸收特定波长的红外线，经过吸收室的红外线照射到热电堆上，与未经吸收的红外光产生的信号进行比对，即可获得目标气体的浓度。NDIR气体传感器存在的缺点主要是结构比较复杂，而且其在信号响应时需要检测红外光在吸收式的衰减，而气体中的少量灰尘或者其他物质会使得光发生散射降低出射光的强度，使得测试结果出现误差；同时，在对室内空间进行CO2检测时，人体对于CO2的浓度又极为敏感，在1500-2000ppm浓度时、即会出现疲惫等症状，对该低浓度的CO2进行准确测试，传统的NDIR传感器往往需要需要十几厘米长度的吸收室，但碍于新风设备空间不足等因素，传统的NDIR传感器的体积受到严格的限制。
发明内容
本发明的目的在于针对NDIR型红外气体传感器测试结果误差大、体积大等缺陷，提供一种微型红外光声CO2传感器及检测方法；本发明采用光声效应的原理，提出一种创新的非谐振式的光声CO2传感器，大大的缩小气体传感器的尺寸；同时，相对于现有技术，本发明具有灵敏度高、响应快、寿命长、检测范围宽等优点。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种微型红外光声CO2传感器，包括：控制模块、光源模块、非谐振式光声腔、以及声波检测模块；其特征在于，所述控制模块包括：信号发生器与处理器模块，所述非谐振式光声腔包括：光声腔腔体2、盖合于光声腔腔体顶端的顶盖1及盖合于光声腔腔体底端的底座3，所述光源模块包括：红外光源4与滤光片5，所述声波检测模块包括：麦克风6与锁相放大器，所述MEMS辐射红外光源设置于顶盖的下方、滤光片设置于MEMS辐射红外光源下方，所述麦克风设置于底座的上方；
所述光声腔腔体顶端的中心位置开设进光口2-1、底端的中心位置开设声波检测通道2-2、侧壁开设正对的进气孔2-3与出气孔2-4，所述进光口正对MEMS辐射红外光源与滤光片，所述声波检测通道正对麦克风；并且，构成光声腔腔体的外壳顶端开设有用以容纳MEMS辐射红外光源与滤光片凹槽、底端开设有用以容纳麦克风的凹槽。
进一步的，所述光声腔腔体呈圆柱形，其进光口的直径与红外光源的直径相同。
进一步的，所述红外光源采用MEMS辐射红外光源，所述红外光源发出的红外光经过滤光片后得到波长在4300nm处的中红外光。
进一步的，所述微型红外光声CO2传感器的工作过程为：待测气体通过进气孔通入光声腔腔体，由处理器模块控制信号发生器产生低频调制信号对红外光源进行调制，红外光源发出红外光经过滤波片后进入光声腔腔体，光声腔腔体产生光声信号，由麦克风检测并转换成电信号，电信号经锁相放大器放大后输出至处理器模块，由处理器模块进行数据处理得到待测气体浓度。
基于上述微型红外光声CO2传感器的检测方法，包括以下步骤：
步骤1.传感器校准：向光声腔腔体通入N2，记录所得光声信号、作为零误差基准信号；
步骤2.向光声腔腔体通入待测气体记录所得光声信号，将此光声信号与零误差基准信号相减得到校准后光声信号，依照校准后光声信号强度和气体浓度的映射关系得到待测气体浓度。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：
本发明提供一种微型红外光声CO2传感器及检测方法；本发明采用光声效应的原理，提出创新的非谐振型的光声腔，采用铝制金属外壳，使得红外光在腔室内得以多次反射以增强CO2气体分子对入射光的吸收，从而激发出更强的热声波；非谐振光声系统采用大功率MEMS红外辐射光源和外较低的光源调制频率，使得在一个周期内，腔室内的气压可以上升到很高的水平，从而实现CO2气体浓度的测量。相对于传统的传感器，本发明传感器尺寸得到大大缩小，工作在在较低的调制频率(20Hz-40Hz)下，并配合大功率MEMS红外光源获得了更大调制深度和信号强度，获得了更低的探测下限；综上，本发明具有尺寸更小、成本更低，且灵敏度高、响应快、寿命长、检测范围宽等优点，适合大批量生产。
附图说明
图1为本发明微型红外光声CO2传感器的结构示意图；其中，1为顶盖，2为MEMS辐射红外光源，3为滤光片，4为腔体，5麦克风，6底座，7为进出气孔。
图2为图1所示微型红外光声CO2传感器中光声腔腔体的结构示意图，其中，2-1处为进光口，2-2处为声波检测通道，2-3、2-4处为进出气孔，2-5处为抛光内壁，2-6处为麦克风安装位置。
图3为本发明本发明微型红外光声CO2传感器的信号产生及检测原理示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的技术方案作进一步详细说明。
本实施例提供一种微型红外光声CO2传感器，其结构如图1所示，具体包括：控制模块、光源模块、非谐振式光声腔、以及声波检测模块；更为具体的讲：所述控制模块包括信号发生器与处理器模块：所述非谐振式光声腔包括：光声腔腔体2、盖合于光声腔腔体顶端的顶盖1及盖合于光声腔腔体底端的底座3，所述光源模块包括：MEMS辐射红外光源4与滤光片5，所述声波检测模块包括：麦克风6与锁相放大器，所述MEMS辐射红外光源设置于顶盖的下方、滤光片设置于MEMS辐射红外光源下方，所述麦克风设置于底座的上方；
所述光声腔腔体呈圆柱形、如图2所示，光声腔腔体顶端的中心位置开设进光口2-1、底端的中心位置开设声波检测通道2-2、侧壁开设正对的进气孔2-3与出气孔2-4，所述进光口正对MEMS辐射红外光源与滤光片，所述声波检测通道正对麦克风；并且，构成光声腔腔体的外壳顶端开设有用以容纳MEMS辐射红外光源与滤光片凹槽、底端开设有用以容纳麦克风的凹槽，滤光片放置于MEMS辐射红外光源和光声腔的进光口之间，滤光片与光声腔腔体之间、麦克风与光声腔腔体之间均设置有氟胶密封圈。
更进一步的，所述控制模块中，由处理器模块控制信号发生器产生特定低频调制信号、用以对光源模块进行调制，同时，处理器模块接收来自声波检测模块的检测信号、并进行数据处理获得气体浓度；
所述光源模块中，红外光源采用的是MEMS辐射红外光源，能够发出3000nm-6000nm的红外光，封装方式为TO-5封装，电阻为45-55欧姆，10Hz下的调制深度为99％，功率为690mW；滤波片能够将辐射光源发出的的波长范围较宽的红外光过滤成波长在4300nm处的中红外光；
所述声波检测模块中，麦克风位于光声腔底部，其工作面正对光声腔的声波检测通道，其输出端与锁相放大器的输入端相连，锁相放大器的参考信号即为控制模块提供的对光源进行调制的频率信号；光声腔内产生的声压信号经过麦克风的采集，进入锁相放大器进行放大，经过放大后的信号进入处理器模块，经数据处理得到气体浓度；
所述光声腔腔体中，腔体呈圆柱形，其半径为4mm、长度为8mm，腔体上表面留有进光口、进光口直径与光源直径相同为6mm，腔体侧壁上为进出气孔，腔体底部中心为声波检测通道，构成腔体的外壳呈长方体；由信号发生器产生低频调制信号来驱动红外光源，红外光经过滤波后进入光声腔腔体(由金属铝制作)，具有较强的红外反射率，同时内壁经过抛光增强反射、延长光程提高吸收效率，且减少红外光在内壁处的损耗、减少气体的吸附、降低声波在内壁上的粘滞损耗。
从工作原理上讲：
上述微型红外光声CO2传感器中信号的产生和检测原理如图3所示，由MEMS辐射光源发出的光经过滤波片(光滤波器)后只保留能被CO2分子吸收的特定波长(4300nm)的红外光，光声腔内的待测CO2气体吸收红外光后，将由基态跃迁至激发态，处于激发态的分子再经过无辐射跃迁回到基态时，其中的能量转化为气体分子的动能，表现为气体分子运动加剧和温度升高，而在总体积不变的条件下，温度升高，气体压力就会随之增大。同时对光源在一定频率下进行调制，气体温度便会呈现出与调制频率相同的周期性变化，进而导致光声池内的压强周期性的发生变化，从而产生声波信号，该信号被麦克风检测并转换成电信号，对不同浓度气体下获得的电信号进行拟合，即可获得浓度与电压信号的关系，从而实现气体浓度的检测。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，本说明书中所公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换；所公开的所有特征、或所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以任何方式组合。
Claims (5)
1.一种微型红外光声CO2传感器，包括：控制模块、光源模块、非谐振式光声腔、以及声波检测模块；其特征在于，所述控制模块包括：信号发生器与处理器模块，所述非谐振式光声腔包括：光声腔腔体(2)、盖合于光声腔腔体顶端的顶盖(1)及盖合于光声腔腔体底端的底座(3)，所述光源模块包括：红外光源(4)与滤光片(5)，所述声波检测模块包括：麦克风(6)与锁相放大器，所述MEMS辐射红外光源设置于顶盖的下方、滤光片设置于MEMS辐射红外光源下方，所述麦克风设置于底座的上方；
所述光声腔腔体顶端的中心位置开设进光口(2-1)、底端的中心位置开设声波检测通道(2-2)、侧壁开设正对的进气孔(2-3)与出气孔(2-4)，所述进光口正对MEMS辐射红外光源与滤光片，所述声波检测通道正对麦克风；并且，构成光声腔腔体的外壳顶端开设有用以容纳MEMS辐射红外光源与滤光片凹槽、底端开设有用以容纳麦克风的凹槽。
2.按权利要求所述微型红外光声CO2传感器，其特征在于，所述光声腔腔体呈圆柱形，其进光口的直径与红外光源的直径相同。
3.按权利要求所述微型红外光声CO2传感器，其特征在于，所述红外光源采用MEMS辐射红外光源，所述红外光源发出的红外光经过滤光片后得到波长在4300nm处的中红外光。
4.按权利要求所述微型红外光声CO2传感器，其特征在于，所述微型红外光声CO2传感器的工作过程为：待测气体通过进气孔通入光声腔腔体，由处理器模块控制信号发生器产生低频调制信号对红外光源进行调制，红外光源发出红外光经过滤波片后进入光声腔腔体，光声腔腔体产生光声信号，由麦克风检测并转换成电信号，电信号经锁相放大器放大后输出至处理器模块，由处理器模块进行数据处理得到待测气体浓度。
5.按权利要求所述微型红外光声CO2传感器的检测方法，包括以下步骤：
步骤1.传感器校准：向光声腔腔体通入N2，记录所得光声信号、作为零误差基准信号；
步骤2.向光声腔腔体通入待测气体记录所得光声信号，将此光声信号与零误差基准信号相减得到校准后光声信号，依照校准后光声信号强度和气体浓度的映射关系得到待测气体浓度。
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Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2791134A1 (fr) * | 1999-03-16 | 2000-09-22 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur photoacoustique integre |
| CN102279156A (zh) * | 2010-06-03 | 2011-12-14 | 霍尼韦尔国际公司 | 用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器 |
| CN102519882A (zh) * | 2011-12-30 | 2012-06-27 | 昆山和智电气设备有限公司 | 红外调制光声光谱气体检测装置 |
| JP2013083478A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Alps Electric Co Ltd | 赤外線光源、該赤外線光源を用いたセンサ及びガスセンサ |
| CN103598893A (zh) * | 2013-11-27 | 2014-02-26 | 中国科学院微电子研究所 | 一种测量膀胱体积的系统、传感器及传感器的封装方法 |
| CN106769973A (zh) * | 2017-03-03 | 2017-05-31 | 江苏舒茨测控设备股份有限公司 | 利用光声光谱法检测氨气气体检测装置及方法 |
| CN206740639U (zh) * | 2017-03-03 | 2017-12-12 | 江苏舒茨测控设备股份有限公司 | 利用光声光谱法检测氨气气体检测装置 |
| US20180059066A1 (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-01 | Infineon Technologies Ag | Gas analyzer |
| CN110579603A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-12-17 | 武汉纺织大学 | 一种病毒检测传感器、一种检测病毒浓度的装置和方法 |
| CN111189781A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-22 | 上海虬祺传感器科技有限公司 | 一种光声光谱气体传感器 |
| CN111299760A (zh) * | 2019-12-10 | 2020-06-19 | 上海交通大学 | 基于主被动视觉的机器人焊缝跟踪与熔池监控传感器 |
| CN111337166A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-06-26 | 电子科技大学 | 一种新型绝对压声表面波压力传感器的制备方法 |
| CN111650127A (zh) * | 2020-06-05 | 2020-09-11 | 国家电网有限公司 | 基于光频梳频率定标的高分辨光声光谱气体检测系统及方法 |
| CN111707619A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-09-25 | 山东大学 | 一种基于mems麦克风阵列的光声池及光声光谱传感器 |
| CN112098355A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-12-18 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种适用于宽带发散光束的光声光谱痕量气体检测装置 |
| US20210181151A1 (en) * | 2019-12-13 | 2021-06-17 | Infineon Technologies Ag | Photoacoustic sensors and mems devices |
| CN113281261A (zh) * | 2021-03-26 | 2021-08-20 | 安徽波汇智能科技有限公司 | 一种新型光声光谱气体传感器 |
-
2022
- 2022-04-11 CN CN202210375575.6A patent/CN114839148A/zh active Pending
Patent Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2791134A1 (fr) * | 1999-03-16 | 2000-09-22 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur photoacoustique integre |
| CN102279156A (zh) * | 2010-06-03 | 2011-12-14 | 霍尼韦尔国际公司 | 用于光声气体传感器的集成红外光源和声检测器 |
| JP2013083478A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-09 | Alps Electric Co Ltd | 赤外線光源、該赤外線光源を用いたセンサ及びガスセンサ |
| CN102519882A (zh) * | 2011-12-30 | 2012-06-27 | 昆山和智电气设备有限公司 | 红外调制光声光谱气体检测装置 |
| CN103598893A (zh) * | 2013-11-27 | 2014-02-26 | 中国科学院微电子研究所 | 一种测量膀胱体积的系统、传感器及传感器的封装方法 |
| US20180059066A1 (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-01 | Infineon Technologies Ag | Gas analyzer |
| CN106769973A (zh) * | 2017-03-03 | 2017-05-31 | 江苏舒茨测控设备股份有限公司 | 利用光声光谱法检测氨气气体检测装置及方法 |
| CN206740639U (zh) * | 2017-03-03 | 2017-12-12 | 江苏舒茨测控设备股份有限公司 | 利用光声光谱法检测氨气气体检测装置 |
| CN110579603A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-12-17 | 武汉纺织大学 | 一种病毒检测传感器、一种检测病毒浓度的装置和方法 |
| CN111299760A (zh) * | 2019-12-10 | 2020-06-19 | 上海交通大学 | 基于主被动视觉的机器人焊缝跟踪与熔池监控传感器 |
| US20210181151A1 (en) * | 2019-12-13 | 2021-06-17 | Infineon Technologies Ag | Photoacoustic sensors and mems devices |
| CN111189781A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-05-22 | 上海虬祺传感器科技有限公司 | 一种光声光谱气体传感器 |
| CN111337166A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-06-26 | 电子科技大学 | 一种新型绝对压声表面波压力传感器的制备方法 |
| CN111707619A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-09-25 | 山东大学 | 一种基于mems麦克风阵列的光声池及光声光谱传感器 |
| CN111650127A (zh) * | 2020-06-05 | 2020-09-11 | 国家电网有限公司 | 基于光频梳频率定标的高分辨光声光谱气体检测系统及方法 |
| CN112098355A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-12-18 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种适用于宽带发散光束的光声光谱痕量气体检测装置 |
| CN113281261A (zh) * | 2021-03-26 | 2021-08-20 | 安徽波汇智能科技有限公司 | 一种新型光声光谱气体传感器 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 管人宝等: "非共振光声CO2气体检测系统", vol. 31, no. 2, pages 96 - 98 * |
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