CN102272935A - 用配送管进行的含液材料至图案表面的配送 - Google Patents

Abstract

含液体的材料被沉积到工件－如硅片表面上的凹槽内，以便形成太阳能电池。液体能够被配送入工件路径内，如在压力下通过配送管进入凹槽内。配送管机械地遵循凹槽中的轨迹。所述配送管可以较小，且能够在槽底搁置，侧壁起限制作用。或者其也可以较大，且能在凹槽的顶边上骑行。诸如突起、非圆形横截面、模制突起和凸起部的轨迹特征也能增强循迹效果。配送管可以通过弹性或磁性加载而对凹槽施力。对准引导件－如引入特征可以导引配送管进入凹槽。沿该路径的恢复特征可以恢复任意的管。可使用多根管。多个工件可排成行或在一个鼓状物上处理。

Description

用配送管进行的含液材料至图案表面的配送

技术领域

相关文献

由伊曼妞尔·M.萨克思、里查德·L.华莱士、詹姆斯·F. 布雷特及本杰明· F. 玻利托于2009年1月6日具名提交的名为《用毛细配送管进行的含液材料至图案表面的配送》的美国临时申请第61/204,382号的优先权，该申请在此以全文引用的方式结合到本申请中。

背景技术

特定处理方案及架构公开于由伊曼妞尔·M.萨克思和詹姆斯·F. 布雷特及代表美国的麻省理工学院于2008年2月15日具名提交的专利合作条约申请第PCT/US2008/002058号《具有纹理表面的太阳能电池》，并且该申请还主张2007年2月15日提交的第60/901,511号美国临时申请和2008年1月23日提交的第61/011,933号美国临时申请的优先权。该PCT申请及两个美国临时申请的全文以引用方式结合在此。这些申请所公开的技术在本文中统称为自对准电池（SAC）技术。

期望能够将含有液体的材料精确地处理至具有纹理的工件上，如在上文引用的专利申请中描述的。还期望能够以相对较高的速度使用各种待处理的材料将这种材料如此处理至窄凹槽中，或沿着由工件纹理限定的窄路径处理。

发明内容

液体、浆料和膏剂及含有液体的其他材料被沉积到工件表面上的凹槽中或沿其他实体工件路径配置在工件的表面上，如将用于形成太阳能电池的硅片。液体可在压力下经由精细的配送毛细管配送至凹槽内，在凹槽内将形成薄金属化指状元件，该精细的配送毛细管通过遵循该工件表面上的构形/表面纹理而被机械导引并对准。该配送毛细管机械地在该凹槽中循迹而行。该配送毛细管可足够小以使其能够搁置在槽底，同时凹槽侧壁对轨迹起约束作用。或者，配送毛细管可大于凹槽且可搁置在凹槽的顶边上，而仍然实现机械对准。在配送端处可以提供诸如突起的轨迹特征以便接合该凹槽。非圆形横截面及其他轨迹特征，如椭圆形、模制突起及凸起部可增强在凹槽中的循迹运行。该配送毛细管通常为挠性的。这种挠性会调节在通常垂直于工件路径的伸长维度的工件平面及垂直于该平面的平面上的循迹误差，这种误差是假如其被允许沿一完全平坦、无摩擦工件行进的情况下，由工件上的实体工件路径与管的配送端将遵循的无约束路径之间的差异造成的。所述误差归因于机械加工实体工件路径时的误差、引导一相对运动器件遵循工件路径的数学表示时的误差、制造配送管及其他装置时的误差，这使得其轨迹模型不准确等。替代使用挠性管，可由枢轴支撑管，该枢轴在垂直于工件平面的方向上且在工件平面内枢转。该配送毛细管通常通过被配送液体自身的毛细作用进一步被固持至该凹槽中。所述配送毛细管可通过诸如弹性或磁性负载施加的力被压在凹槽上。诸如引入特征的对准引导件可将该配送毛细管引导至凹槽中。沿工件路径长度的恢复特征可帮助任意配送管回至该凹槽。可使用多个配送毛细管，每个都为单个指状物在单独的凹槽中配送。若干晶片可排成一行处理。在行进开始及结束时加速及减速所花费的时间得到了减少。多个晶片可安置在具有平顶的鼓状物面上，且该鼓状物连续旋转。当配送毛细管向内、向外移动以随着单个晶片的横穿而提供升、降时，它可平行于鼓状物的轴线做横穿运动。

参阅附图可以更好地理解此处公开的本发明的这些及其他目的和方面，附图包括下述内容。

附图说明

图1是有纹理的光伏器件的图示，其有承载凹槽可支持本文所述的金属化指状物；

图2示意性地图示出搁置在凹槽底面上的配送毛细管；

图2A是图2所示A区的放大图；

图3是具有直径大于配送材料进入的槽宽的圆形横截面的配送毛细管的图示；

图3A是图3所示A区的放大图；

图4示意性地图示出部分地因为被配送液体自身的毛细作用而被固持在槽内的配送毛细管；

图5A是示出接近有三角形引入特征对准引导件的凹槽的配送毛细管的图示；

图5B是有引入特征对准引导件的凹槽的图示，其由两个在槽端会合的有角度的槽组成；

图6示意性地图示出有椭圆形横截面的配送毛细管；

图7示意性地图示出有圆形横截面、切有斜边的配送毛细管，

图8示意性地图示出横穿凹槽的配送毛细管，该凹槽有间隔的成角度的对准引导恢复特征以便帮助偏离的配送管返回期望的路径；

图9通过两幅子图9A、9B示意性地图示出将帮助引导配送毛细管沿计划的工件路径运动的工件表面恢复特征图案，其中图9A所示没有为计划的工件路径准备的凹槽，图9B则示出了凹槽；

图10示意性地图示出有多个一起移动的配送毛细管的配送装置；

图10A是图10中的A处所示部分的放大图；

图11示意性地图示出有多个用于沉积并围绕鼓状物边缘布置的工件的旋转装置，以及与工件凹槽接合的单个配送毛细管；

图11A示意性地图示出图11中在A处所示部分的放大图；

图12示意性地图示出有单个配送毛细管的蛇形图案的金属化指状物；

图13示意性地图示出一种布局，其中工件路径凹槽的端部外的工件边缘被薄层材料遮盖以防被配送液体即便在配送毛细管被拖过边缘区域的情况下触及工件边缘，该图还示出了冲洗池；和

图14示意性地图示出有金属化指状物沟道的工件，该沟道的宽度随其长度而变化，该沟道能够根据此处的发明用配送的材料处理；

图15示意性地图示出在有六角形排列小坑的工件上的凹槽内配送含液材料的配送毛细弯管；

图16以方块图的形式示出用于理解对准和循迹运行准确度问题的概念；

图17示意性地图示出在有六角形排列小坑的工件上的具有轨迹特征的配送毛细弯管；

图18示意性地图示出在配送端附近的一处位置能支持具有圆面的轨迹特征的毛细管；

图19示意性地图示出在有六角形排列小坑的工件上的具有磁粉轨迹特征的配送毛细弯管，其中工件被吸到磁粉上的金属板支撑；

图20A-20D示意性地顺序示出了双向移动的配送毛细管，如图所示那样它的支撑端相对垂直于工件的平面保持竖直；

图21A-21D示意性地顺序示出了双向移动的配送毛细管，它的支撑端垂直于工件从一个通道向另一个通道旋转；

图22示意性地图示出在一处位置支持平面轨迹特征的毛细管；

图23示意性地图示出在一处位置支持通过在管端粘附导线而制成的轨迹特征的毛细管；

图24示意性地图示出在两处位置沿配送管主长度支持具有圆面的轨迹特征的毛细管；

图25示意性地图示出在两处位置在管配送端附近支持具有平面的轨迹特征的毛细管；

图26示意性地图示出在有六角形排列小坑的工件凹槽内配送含液材料的配送毛细弯管，其中凹槽每三个并排一组排列；

图27示意性地图示出用于通过配送毛细管配送含液材料的装置，示出了三排的三个配送管，其用于将材料处理到沿输送装置通过该排列的工件上；

图27A所示为图27所示装置的端视图；

图27B所示为图27所示装置的平面图；

图28示意性地图示出被球状物和套管接头支撑的相对不可弯曲的配送毛细管；

图29A以平面图的形式示意性地示出在其支撑端附近有卷曲的配送毛细管，其可使相对不可弯曲的管具有易曲性；

图29B以正视图的形式示意性地示出图29A所示的卷曲了的配送毛细管；以及

图30示意性地图示出具有挠性定位元件的装置，该元件是与流体配送元件不同的实体元件。

具体实施方式

本文中所公开的发明涉及将液体、浆料和膏剂及含有液体的其他类似形式的材料涂覆至工件表面上的凹槽（或类似结构）中。本发明尤其涉及在光电吸收剂上形成薄金属化元件，其一般被称作如在上文引用的第PCT/US2008/002058号PCT申请中大体描述的指状物。这种液体、浆料、膏剂等的涂覆在本文以及在上文引用的PCT申请中一般被称作处理。根据本文所公开的发明，液体在压力下经由精细的配送毛细管以潜在精确的受控方式被配送并计量，该配送毛细管通过遵循工件表面上的构形/表面纹理而被机械引导并对准。在一实施例中，工件为其中具有用于金属化的凹槽的硅片。

上文所引用的PCT申请论述对工件的处理，所谓处理工件是指涂覆液体，该液体通常与用户期望在工件特定区域发生的活性、通常为反应性的处理步骤－如电镀或蚀刻相关。该工件具有纹理以使液体可涂覆在液体可到达路径网络构成的一部分区域中。液体的涂覆至少部分地由纹理引导。液体保持不流入设计者不想让处理步骤发生的区域。这种不流入至少部分地归因于表面纹理。此类处理的一个实例在用于将电极供至PV电池表面的PCT申请中被描述。本文中所公开的技术主要用于这种处理应用。

本文公开的发明可用于配送对于处理步骤而言为活性、通常为反应性的材料，还可用于用来阻断后续活性、反应性步骤的材料。因此，它们一般被统称为配送技术。

所配送的材料可以是银墨，银墨的一般成分与制作硅太阳能电池所用且通常由丝网印刷所涂覆的材料相同。尤其有利的方法是仅配送较小量的这种墨以便在工件烧制之后仅形成一金属薄层。虽然这类种子薄层自身不足以负载由太阳能电池产生的电流，但其可接着由电镀，例如镀银来增强。经电镀的金属趋向于受凹槽限制且竖直地增强，而不会较水平地展布。由于仅需要一个种子层，用于该种子层的银墨固体含量比传统的银膏更稀。

参阅图1的示意性显示，太阳能电池140具有纹理表面142。如图所示，用于光陷阱目的的凹槽126跨电池表面自左至右延伸。总线144平行于凹槽126延伸。金属化指状物146与总线144交叉，且垂直于纹理凹槽126延伸。本文所公开的发明适用于与将材料处理到纹理工件的不同区域有关的许多应用，该纹理工件将用于形成这种太阳能电池。它们尤其适用于将材料配送至凹槽（或类似结构）中，该凹槽将被金属化以提供金属化指状物146。

图2示意性地示出工件240的放大部分，如将成为诸如140之类太阳能电池的一部分的硅片。纹理表面242由相邻、重迭的半球部分形成纹理，而非如上文所述及图1所示的平行光陷阱槽形成。该工件可由任意支撑件，如平台、夹盘或其他装置（未示出）适当支撑。图2A所示为诸如用于金属化指状物146的凹槽256（不同于光陷阱槽）的一部分的放大图。

当含有液体的材料从配送毛细管260配送时，使该配送毛细管相对工件240中的凹槽256移动。相对运动由示意性地示出的任意适合的相对运动器件241提供，该器件与配送毛细管260和工件240通过工件支撑件连接，连接方式是使工件240和配送毛细管260可以视需要相对于彼此移动及旋转，例如移动和旋转通过所有六个自由度。（可能使用的会少于所有六个自由度，但所有六个自由度都是能达到的）。在一通用配置中，在配送毛细管与工件之间会存在两个自由度的相对平移运动及零或一个自由度的相对旋转运动。通常，相对运动器件241具有相对于彼此移动的两个部分241a及241b。（如本文所用的术语“移动”意指平移和/或旋转的动作，且如本文所用的术语“运动”意指平移运动及/或旋转运动的称谓）。相对运动驱动机构可以由静止工件（相对地面）及相对于静止工件移动的配送毛细管支撑装置构成，或者可选的是，由静止的配送毛细管支撑装置（相对地面）及相对于静止的配送毛细管支撑装置移动的工件组成，或是两种相对运动的组合，其中配送毛细管支撑装置和工件都相对地面移动。虽然提及相对运动器件240通常具有相对于彼此移动的两个部分，但这些部分241a、241b中的每一部分自身都是高度复杂的，并由相对彼此移动的许多部分构成。

配送毛细管260的机械引导由至少两个机构实现，它们都与凹槽256相互作用并且通常都促成一个效应。将用这一实施例来说明总体原理。

根据一个引导机构，如图2及图2A所示，配送毛细管260机械地在凹槽中循迹而行，极像在磁性及数字媒体出现之前普遍使用的录音记录器中的留声机唱针。在一些情况下，如图2A所示，配送毛细管260足够小以使其能搁置在槽底258，且如图2A所示，凹槽侧壁259用于实现循迹。这种凹槽的形状可以是各种各样的，包括半圆柱形，如图17所示。

在其他情况下，如图3和图3A所示，配送毛细管360大于被处理凹槽356的尺寸，因而搁置在凹槽顶边361上，仍旧实现机械对准。图3示出了具有圆形横截面的配送毛细管360，该圆形横截面的直径大于正处理的晶片中的凹槽356的宽度。

因此，就此而论，配送毛细管的大小可以保证机械地沿由纹理工件表面界定的路径循迹而行。在适当大小的范围的一端，如图2A所示，没有额外轨迹特征的（如下文界定）的简单圆柱体的直径相对凹槽宽度足够小，以便使该管自身完全装配于凹槽的宽度内。因而这种管的大小可以保证机械地沿该路径循迹而行。（在一些情况下，这种相对较小的管可能会有阻塞的问题，但在一些情况下，其可操作而无阻塞，且因此为适用的。阻塞是否为一个问题主要取决于所处理的材料的性质。若含有液体的材料还有颗粒——如颗粒银墨，则小直径毛细管就可能是个问题。若没有颗粒，则小直径的配送毛细管通常就不会对操作构成挑战。）

在这样设定大小以便机械地循迹而行的范围的另一端，为直径比凹槽宽度大若干倍（通常高达约10倍）的管，其也可被视为通过适当设定大小而能够机械地沿路径循迹而行。这种较大的管可以是简单圆柱体，如图3A所示。但可提供额外的轨迹特征，如下文更全面地描述的。图3A未按比例绘制，但其用意是说明该范围之上限的情况，即管的直径大约是待处理凹槽中的凹槽宽度十倍的情况。

因此，图2A及图3A所示两个管的大小和形状都可保证其分别机械地沿与该管相关示出的凹槽循迹而行，正如与凹槽宽度相比较，所有直径都大于图2A所示和小于图3A所示的管（表示约为凹槽宽度十倍的管）一样。

根据第二引导机构，如参照图4和图15示意性地示出，配送毛细管260、1560由于所配送液体264、1564自身的毛细作用而被进一步固持至凹槽，所配送液体264、1564桥接于配送管260、1560的配送端261、1561和工件240、1540之间。

虽然管与工件的相对运动可被控制以使管的配送端261接近于凹槽，这是期望管能遵循的路径，但制造公差及机器准确度将使无约束配送管遵循的路径偏离工件中的实体路径，如凹槽。管的挠性可以实现横向及竖直偏转，以便使管在凹槽中循迹而行，即使没有完全对准时亦如此，如下文所述。

参阅图16可以更全面地理解这一点。设计者建立数学理想工件路径1602，期望沿该路径提供含有液体的材料，例如以便在半导体晶片上建立金属化凹槽。实体工件路径1604，例如凹槽，在工件表面上，例如，经蚀刻、激光机械加工或下文更全面描述的其他技术而建立。通常，会存在实体工件路径1604偏离理想数学工件路径1602的误差Δ₁。举例而言，凹槽制造技术通常会有失真、比例误差及其他定位准确度限制，并且也会类似地存在与工件在实体相对运动驱动机构上的放置相关的有限容差。

如参照图2示意性显示的相对运动驱动机构241经过编程或以其他方式配置可以控制来遵循数学相对运动路径1606。数学相对运动路径1606的设计要考虑配送毛细管的几何形状、实体工件路径、管为了转向而进行的致动旋转、两者之间相对运动的速度等，以使配送毛细管260的配送端261将遵循数学无约束配送端路径1608，其准确地与数学工件路径1602相匹配，例如凹槽256的数学表示。如本文所用的，无约束意指配送端261在被准许接触完全平坦且无摩擦的工件并沿该工件移动（包括如上所述因预负载所致的挠曲）的情况下将会行进的路径。

然而，存在许多会使实体无约束配送端路径1610偏离数学无约束配送端路径1608的误差源，如图16中的误差Δ₂所引起的。举例而言，配送管可以不是完全直的，且相对运动驱动系统将有带宽、马达大小等限制。

由于误差Δ₁与Δ₂的累加效应，实体无约束配送端路径1610偏离实体工件路径1604达误差ε。该误差ε由配送毛细管的挠性来调节，从而允许配送管的配送端261准确地沿实体工件路径1604循迹而行且继续下去。通常，误差ε可以用无约束配送端路径1610与实体工件路径1604之间的横向偏差来表示，其通常垂直于实体工件路径的伸长尺寸且通常在其通常驻留的平面内。误差ε也可以用无约束配送端路径1610与实体工件路径1604之间的竖直偏差表示，例如，由于工件厚度变化而引起的。

毛细管的长度可以根据将要遇到的最大误差ε来选择。因此，若最大误差为100微米，则毛细管可相对较短—仅几毫米长。然而，若最大误差为1毫米，则具有至少10 毫米长度的相对较长的毛细管更为合适。

一个重要考虑因素是防止管在配送端的角度值相对于凹槽自身过高，因为高角度会更容易使管骑在凹槽边缘上并从凹槽脱离。因此，随着最大期望误差增加，管的长度应按比例增加。对于管端相对于凹槽的最大给定角度，偏转与长度之间的比例适用于如悬臂一样挠曲的管或其所搁置在上面的其他结构件的情况。该比例亦适用于被允许在其支撑件处枢转的直管的情况。

提供无约束配送端路径1610与实体工件路径1604之间的未对准误差期望容差度所需的操作参数可以通过检查凹槽中的管的机械特性来估计。工件中的凹槽的侧壁可从非常浅到非常陡（垂直于工件平面）的宽范围内变化。在毛细管与凹槽分离之前可由凹槽施加于毛细管上的最大恢复力将大致与管的预负载决定的管对工件的任何向下作用力成比例。凹槽与毛细管的相对形状将改变预负载力与最大恢复力之间的比例常数。通过假设凹槽壁与工件成45度且在凹槽与管之间没有摩擦，可作出有用的估计。在这种情况下，最大恢复力大致等于任何预负载力。注意这种情况仅当管在垂直及水平方向上具有相同刚度时为真。

因此，可以将配送毛细管以正预负载力压向凹槽来辅助配送毛细管在凹槽中的机械循迹运行。能这样做的任何适当方式均视为在本文所公开发明的范围内。

一种方式是将管用弹簧加载在凹槽上。弹簧加载可用配送毛细管260自身的弹性来实现。举例而言，一种适合的配送毛细管可由具有65微米ID及90微米OD且有5毫米悬臂长度的聚酰亚胺管材制成，它被黏附至一根不锈钢管件的ID。该钢管紧固于一支撑组件中且由其支撑。该配送毛细管以与水平面成通常30度的角度向下安置。弹簧预负载施加的方式是：放低配送毛细管直至其接触工件，然后将配送毛细管支撑组件再放低1毫米，从而使延伸的配送毛细管挠曲。图14（尤其）示意性地示出配送毛细弯管1460。凹槽通常为30-50微米宽，但更小及更大的宽度均是可能的。

图10示出一典型配置（针对下文论述的多管实施例），其具有锚定于支撑组件1065中的钢管1063和从钢管1063延伸的聚合配送管1060。也有可能使用由诸如硼硅酸盐的玻璃制成的配送毛细管。聚合配送管的阻尼高，其与玻璃阻尼相比是有利的。另一适合的候选用品是石英毛细管，其有50微米ID和80微米OD。也可使用金属，如不锈钢。如需要，可通过涂布一薄层聚合物而将阻尼加到这种结构。对于诸如玻璃或金属这类模数较高的材料构成的毛细管，该管必须比聚合管长以便调节相同程度的误差ε。毛细管也可被拉引以使其具有较大直径剖面，该直径剖面逐渐减少至较小直径。例如，硼硅酸盐玻璃可以以这种方式采用本领域已知的方法进行拉引。为避免管的阻塞，使配送材料在进入配送毛细管之前即刻流经过滤器是有利的。过滤器应保留仅大于管内径的一部分的任何粒子。例如，当使用具有100微米ID的管时，过滤器应保留大于10微米的粒子。

根据上文关于恢复力与任何向下作用力之间的关系的论述，若管为圆形的，则在垂直于工件的管平面和平行于工件的平面中的刚度大体相等。因此，管端相对凹槽的最大未对准量将约等于管对工件的预负载距离，所谓预负载距离，意指在预负载状态下工件与管的配送端之间的间隔差，如与松弛、零预负载情况相比较。

虽然利用配送管的固有挠性使配送尖端具有沿凹槽循迹而行的顺应性是方便的，但其他方法也是可能的。举例而言，参阅图28，不漏流体的枢转球窝接头2868、2869可结合一个或多个弹性弹簧元件2880使用以提供所需的顺应度，从而允许配送管2860沿凹槽2856循迹而行。此方法的优点是：关于一给定横向偏移度，配送尖端的局部轴线与工件上的凹槽轴线之间的角度（在平面图中）会比在顺应性来自管的挠性的情况小。

以上效应可通过使其支撑端附近的管部分卷曲来近似实现，如图29A及图29B所示。配送管2960已在其支撑端附近塑性变形以形成大致椭圆形的卷曲区域2969，其特点是在横向方向上的刚度局部减少。这样可以产生使弯曲集中在支撑端附近的局部区域的效应，近似枢轴的行为。其进一步具有使配送管在垂直方向上的刚度大于水平方向的效应，这在如本文其他处所论述的那样是有益的。

出于结合下文所述的建立轨迹的原因，如图18所示，将特征1890模制到管1860上是有益的。这种特征可由环氧树脂或其他聚合物黏着剂制造，其形状由放置管时所抵靠的硅橡胶模构成。

参阅图19示意性示出的有用选项，它是用能够永久磁化的材料颗粒填充这种铸型特征1990。例如，它们可以是磁性氧化铁或稀土磁体材料，如钕铁硼颗粒。在模制之后，该材料可被极化以使南北轴垂直于配送管1960的轴线。这种小型永久磁体可接着用于对配送毛细管提供向下作用力，方式是在工件1940下方放置铁磁材料板1991，如低碳钢板。用这种方式甚至在无需对管1960进行弹簧预加载的情况下仍可对管施加高的向下作用力。当然，磁性预负载还可添加到机械式弹簧预负载上以便增加管的循迹能力。若仅有磁性预负载，则配送管1960可能以凹曲度向工件1940弯曲，与图19所示情况相反。

虽然在大多数图如图2、图4和图5中示出的配送毛细管以相对于待处理的表面成小角度放置，但管的角度变化范围是很宽的。一方面，其可近乎平行于该表面。另一方面，其可完全垂直于该表面。保持管与表面垂直的优点在于可在无需相对于工件旋转管的支撑端的情况下进行双向配送。

举例而言，如参阅图20A-20D示意性地显示，若配送管2060的支撑端2063保持大致上垂直于工件2040的平面，如图所示，垂直，则该管可相对工件的边缘移动（向右，如图20A所示），以便当其接触工件2040时，支撑端2063保持垂直于工件，但配送端2061弯曲不再垂直，从而呈现如图20B所示朝向其尖端弯曲的形状。当该管的配送端横贯工件路径凹槽2056的整个长度时，如图20C所示，其可移出工件2040的端部，然后相对运动的方向反转（向左，如图所示）。毛细管2060再次向工件移动，直至其再次接触边缘（与上文首次提及的边缘相对）且毛细管配送端2061再次挠曲为止，从而相对表面呈现出相同形状的曲线，只不过符号或方向相反，如图20D所示。

如果不去保持配送管的支撑端垂直于工件表面，如参阅图21A-21D示意性地所示，则还有可能使配送毛细管2160的支撑端2163倾斜，相对于工件2140的表面成第一角度，并且接着在管与工件相对运动（向右，如图21B所示）引起管横穿工件2140表面的整个长度且超出之后，配送管2160的支撑端2163可经过垂线而倾斜成一对角，如图21C所示，此时相对运动的方向反转，且横穿在另一方向开始，如图21D所示。虽然显示一简单枢轴，但可使用诸如四连杆的另一适合联动装置，以使得配送尖端在运动期间不在工件平面下方移得较远。倾斜配送管的支撑端2163是否有利取决于管的挠性、管和其移动环境之间的摩擦、相对运动器件的复杂度等。

配送毛细管与纹理中的凹槽自对准并循迹的一个优点在于：配送毛细管驱动机构不需要预对准凹槽来使配送管与配送材料的实体工件路径完全对准地移动，即使实体无约束配送端路径1610没有与实体工件路径1604如此完全地对准也是这样。亦即，在进行配送的机器中无需机器视觉或其他系统。此外，可以适应凹槽间隔或平直度发生的小变化。一般而言，循迹和对准容差是不严格的。

虽然配送毛细管一旦在实体工件路径凹槽内之后就会留在其中，但它必须首先找到凹槽。实现此举的一种便利方式是提供引入特征，如参阅图5A、图5B示意性地所示。这些引入特征从独立的凹槽556的端部辐射出，且可以采取在工件表面内为升高的人字纹或楔形凹陷的形式。这些引入特征在通行开始时对准配送毛细管，但一旦毛细管已行进至凹槽直剖面中时，它们就不再提供恢复力。例如，图5A显示工件540上的三角形引入特征566。配送毛细管560将沿三角形引入特征566的一个壁置放，且拖向中心然后进入凹槽556。这种引入特征是如本文所用术语的对准引导件的一种形式，在下文将论述至少其他的一种。一般而言，对准引导件辅助将配送毛细管安置在凹槽内，并将其保持在那里或在其移位时将其恢复至凹槽内。

图5B所示是引入特征567的可选形式，它由会聚至待处理的凹槽556的两个引入凹槽567a和567b构成。这种引入特征在纹理处理不能很好地适合于蚀刻延伸区域，如，图5A中的566时是有利的。配送管将由凹槽567a或567b中的一个卡住且将其侧向推以使循迹进入凹槽556。辐射式过渡区567r对凹槽556是外切弧，可辅助轻轻推动管循轨迹567a或567b中的一个进入凹槽556，从而便管在引入轨迹与凹槽556的接合处从凹槽突起的机会最小化。为清楚起见，图5B没有显示光陷阱纹理。

用以增强毛细管在凹槽中循迹而行的另一方式是使用不为圆形的配送毛细管。下文所述为配送毛细管非圆形端部的若干轨迹特征。例如，如图6示意性地所示，具有一大致椭圆形横截面且长轴线垂直配置的配送毛细管660会比具有相同横截面积的圆形管更深地装入凹槽656中，并因而提高循迹运行能力。用以制作这种大致椭圆形横截面的一种方式是提供卷曲或压扁的管。举例而言，管可通过诸如在两个辊子之间挤压而部分地压平管，使管塑性变形。接着，在压平的区域内切开该管，由此建立两个管部分，每一个都有具有大致椭圆形横截面的端部。

如参阅图7示意性地所示，还可能提供具有圆形横截面的配送毛细管760，但其具有切割成一斜角的尖端757，这样也能在凹槽中实现更好的循迹而行。所得形状与垂直切割的喷嘴相比尖端更尖，并且更尖的尖端会更容易地在凹槽中循迹而行。此外，可将尖端弄皱折以便做成锄形的尖端，那样循迹仍然较精确。

还可能提供具有在配送毛细管底部有突起横截面的配送毛细管。由于进一步阻止了配送毛细管跳出凹槽，该突起增强了轨迹性。

一种类型的轨迹特征，如本文中所用的一样，呈突起形式，并且可以利用上述结构，而且还可结合提供将配送毛细管推入半导体表面的正向作用力达成对上述结构的双重利用。浇铸突起特征1890、1790在上文提及且分别示于图18和图17，其可由磁性颗粒填充。这种浇铸特征1790的大小和形状的确定也可保证在凹槽1756内机械地循迹而行，与上文刚刚讨论的斜角或折皱尖端几乎一样。事实上，若将浇铸特征模制到配送管1760、1860的尖端上，例如如上所述，是环氧的，则其可以是任何适于完全接合凹槽1756的形状及大小。举例而言，图18显示配送管1860底部（如图所示）一大体圆形的柱体1890，其有一修圆面1893。图22显示配送管2260上一类似成形的特征2290，但其有一平坦面2293。

一个适用的选择是使用耐磨粒子填充该浇铸特征，如，二氧化硅粒子或另一种陶瓷粒子。通过这种方式，所述轨迹特征不会由于长期使用而磨损。

如参阅图23所示，轨迹特征亦可通过将小直径引线2390黏附至配送管2360的端部制成。该引线可为金属的、陶瓷的或聚合的。例如，可用环氧树脂将25微米直径的不锈钢引线粘结到100微米外径的聚酰亚胺管侧。该引线充当轨迹特征，它在与工件接触的时候具有非常好的耐磨蚀性。

制造具有轨迹特征的毛细管的另一方式是挤压或拉伸具有适当横截面的塑料管。拉伸是一种尤其有利的方法。所选聚合物的杆被机器加工成所要横截面的放大型式。加热杆端并将其拉伸到所要的最终尺寸。

因此，一些合理的轨迹特征包括，但不限于：管的配送端处的模制凸块或其他形状；非圆横截面配送端，如椭圆形横截面管，或管配送端；斜角切割配送端尖端；锄形尖端和在配送端底部有突起的管。所述管可以没有模制凸块，取而代之有一已经机器加工的一体凸块，或都该一体凸块通过卷曲管端来提供。如上文所界定，经定大小且成形得以机械地沿工件路径循迹而行的圆形横截面管被视为自身构成本文所用术语指谓的轨迹特征，甚至在没有任何额外轨迹特征，如外部突起时亦如此。

该轨迹特征可仅存在于管的配送端处1861、2261、2361，如图18、图22和图23所示，或如图25所示在针对两个平坦面特征的2590₁、2590₂处，或如图24所示在针对沿管的一些长度或整个长度的两个修圆面特征的2490₁、2490₂处。更可取地，该轨迹特征可以按某种方式定大小并成形以便机械地沿界定于纹理工件表面中的路径循迹而行。因此，轨迹特征的横向尺寸有益地约等于或小于其意欲处理的凹槽的横向尺寸。其目的在于良好地装配在凹槽中并提供很高的用于循迹的恢复力，甚至当毛细管自身显著大于凹槽时亦如此。

出于与双向处理有关的原因，如上文结合图20和图21所述，进一步如图24和图25所示，轨迹特征2490₁、2490₂存在于配送毛细管2460的一个直径D的相对端d₁、d₂上可以是有益的。图24所示轨迹特征沿管的外部主长平行于配送毛细管2460的轴线，它有修圆面。图25所示轨迹特征2590₁、2590₂仅在配送端2561附近，具有平坦面。

轨迹特征帮助配送管在第一方向沿工件通行期间在凹槽内机械地循迹而行，其中挠性管配送端相对工件倾斜成第一角度α，或成有第一符号曲率的曲线（如，凹陷向左，如图20A所示），且在直径D的一端在位置d₁处接触工件。接着，如上文所述，相对运动机构可反转方向。挠性管配送端挠曲，然后相对工件倾斜成第二角度-α和/或具有与第一符号相反符号的第二曲率（例如，凹陷向右，如图20D所示）。还有，之后接触点为在配送管直径d与d₁相反的一端d₂处。相对运动器件接着在与第一横贯方向相反的方向上拖拉配送管，以使接触点d₂在整个下一通路中保持与表面的接触。在第二通路末端，相对运动器件再次反转方向，而点d₁再次变成接触点。

在一些情况下，在配送管端的横截面圆周周围的一个、两个或更多，例如，四个位置中提供轨迹特征可能是有益的。在一些情况下，管的配送端可以有非圆形横截面。在这种情况下，将这种形状横截面的宽度称作直径可能不恰当。如本文中所用，横切宽度或横截面幅度应意指横穿此横截面面积的距离。

在轨迹特征沿配送管的长度延伸的情况下，如图24中在2490₁、2490₂处所示，单一轨迹特征和双轨迹特征两者均具有以下优点：配送管在管垂直于工件的平面中的刚度高于管在平行于工件位移中的刚度。以此方式，针对给定量的预负载位移，管的配送端2461与凹槽的最大可允许未对准将大于原本在圆形管情况下的最大可允许未对准。

一般而言，可关注提供不同轴线具有不同刚度的配送管，特别是在工件平面中的刚度不同于垂直于工件的刚度的配送管。虽然添加外部轨迹特征会具有这种效果，但是否并入轨迹特征都可能是理想的。可能需要提供不同刚度但不修改尖端处的形状。举例而言，配送毛细管可经共同挤压或其他方式制造而在圆周的不同区段具有不同的材料性质。可选的是，沿一条这种线路，而非其他线路可以存在较厚的壁部分，或者可存在沿一条这种线路黏附的一条带或某其他材料，但所沿线路并不在中心轴线的相对侧。亦可将诸如纤维之类的加强件模制到毛细管之在管顶部及底部的壁中，以便增加管的垂直刚度。可沿一条或多条线路提供聚合物珠粒或胶，等等。

当有轨迹特征和/或当使该管在垂直方向上的刚度高于水平方向时，最大恢复力仍与任意预负载力成比例。然而，与上文所述较为简单的情况不同，最大恢复力会较大甚至显著大于预负载力。

液体与凹槽表面之间的润湿角必须控制在可允许范围内。若液体过湿，则可能爬过凹槽的边缘在所要区域外的区域中润湿。若液体过于不湿润，则液体将在其被配送至凹槽后分解成珠粒。然而，润湿角的范围很宽，会使操作成功。流体的流变能力也能在该过程中起到作用。可能需要使流体切断稀化从而使流体能够被推过配送毛细管，但一旦其在凹槽中，粘度就会增加且流体保留在其被配送的位置。还可能需要流体具有屈服应力——低于该应力流体就不会再移动。这将进一步确保流体保留于凹槽内。然而，凹槽内的一些流动可以是理想的，以便使液体能够流出从而填充凹槽，包括接触凹槽侧壁。流体在凹槽中的运动也可通过液体传播媒介的蒸发而停止。晶片在配送操作期间可保持高温以便进一步促进这种蒸发。一旦流体在凹槽中即限制流体运动的另一机制是在将液体配送至凹槽中后使液体凝固、絮凝、胶凝或交联。

絮凝、胶凝和交联可归因于在配送前短时间内在待配送材料中混合的化学试剂。可选的是，引起絮凝、胶凝或交联的化学试剂可在围绕工件的环境中。例如，若工件保持在二氧化碳层下，则所配送的水基材料的pH值会快速下降——此效应可用以实现絮凝、胶凝或交联。膨胀剂或切断稠化流体会是有利的，因为由管配送的流体柱不太可能夹断和形成小滴。在沉积的横截面小于配送管内径横截面的情况下，这尤为重要。

凹槽附近的光陷阱纹理的性质也可帮助界定并保留金属化区域边缘的清晰轮廓。若此凹槽外部的工件为平坦的，则限制是可能的。然而，如果凹槽的边缘升高，或者如果凹槽外部的工件为降低的，则限制会变得更强。

已发现，若如图3A所示，达到壁359顶端的凹槽356的边缘361是尖的且在两侧上具有相对陡的斜坡，则沉积材料会保留在凹槽内，且不润湿工件的相邻上表面。这种情况可如图3A所示的那样而达成，其中在边缘361的一侧上的壁359处有陡的斜坡，并且陡壁由光陷阱纹理凹坑343形成，光陷阱纹理凹坑343形成纹理表面342。已发现在一些情况下，如果凹坑在邻近壁359顶上边缘的地方间隔较近，则不会润湿。而在其他情况下，若凹坑间隔得较远，进而在壁359和被移除的凹坑之间留下较大的月牙边平坦表面，则会发生不希望的上表面润湿情况。这也可以用图15中稍微不同的情况来说明，图15显示配送毛细管1560沿凹槽1556移动、配送含有液体的材料1564，该配送毛细管1560颈状收缩，填充凹槽，但不会溢出凹槽边缘1571进入凹坑1543的六角形排列1542。在图15中如图所示，凹槽1556f被显示为填充有材料，而凹槽1556e保持为空。

已发现能防止上表面发生不需要润湿的另一几何形状示意性地显示于图26中。相邻主凹槽2656的每一侧都提供一额外凹槽2656s。因为相邻凹槽2656s的壁从中介边缘2661陡峭地下降，所以在边缘的每一侧上都有陡峭倾斜的表面，并且沉积材料2664不会润湿出边缘。这种结构也示意性地示于由发明人安德鲁·M. 加博和理查德·L. 华莱士在2009年4月17日提交的名为《在太阳能电池中形成扩散层的方法和用这种方法制成的太阳能电池》的第PCT/US2009/02422号PCT申请中的图8A-8D及图14，其公开内容以引用方式完全并入本文中。

流体至配送毛细管材料的润湿也可被控制用来减少流体润湿配送毛细管外部的趋势。

经由配送毛细管的流速应更好地被控制。所需的大致流速可通过计算待填充凹槽的横截面面积并乘以配送毛细管的横穿速度来估计。例如，若待填充液体的半圆柱形凹槽具有30微米宽度，则横截面面积为3.5×10^-6 cm²。若此配送毛细管以10 cm/s的速度横穿，则所需流速为.002 cc/min。流动可通过向液体施加压力来调节，其中流动由配送毛细管中液体的黏滞压力降控制。举例而言，液力接至配送毛细管支撑端的材料容积可能会被加压。也可使用其他计量方法，如，计量泵。

能够进行处理的速度对于该过程的经济性而言是重要的。配送毛细管在凹槽上之速度可以相当高，确定可以高达2 m/s，而且可能高达10 m/s。存在可能限制这种速度的若干因素。举例而言，若待配送的材料具有高黏度，则其配送速率可受到限制。

以令人满意的轨迹控制移动工件和/或配送毛细管的能力是重要的。（如上文所述，实体无约束配送端路径1610可与实体工件路径1604稍许未对准，因为在凹槽中循迹而行的机械式及毛细管作用力会补偿某个误差度ε。

可提供另一形式的对准引导件，如果配送管已移出凹槽，这种对准引导件是有帮助的。这种形式的对准引导件在本文中通常被称作恢复特征或导向特征。

如图8所示，可提供与配送用的设计凹槽856相邻的纹理边界。这些纹理边界就是对角线凹槽867的对准引导件，其类似于上文参阅图5A说明的三角形引入特征566，它会导引或使移位行进的配送毛细管860恢复回至预期凹槽856路径中（亦被称作图16中的实体工件路径1604）。这些对准引导件在本文中也被具体地称作恢复特征。配送毛细管860的尖端在围绕设计凹槽856的定向纹理867上的移动在尖端上生成一偏斜力，（因构形而产生的摩擦力和法向力的组合），其趋向于将配送毛细管860向预期路径驱动。这种恢复力通过尖端跨表面纹理中的对角线定形的恢复特征组件的移动而产生。导向特征在配送凹槽856的任一侧上镜像而设。

能够对移动配送管尖端生成偏斜摩擦力的许多纹理可提供可能的导向、恢复特征。线性凹槽仅为这些特征的小类别。

因此，纹理半导体主体的表面引入特征和恢复（导向）特征在本文中被统称为对准引导件。

有了诸如上文所述特征的引入特征，可无需沿配送用的预期实体工件路径1604设置分离界定的凹槽856。预期实体工件路径1604之后会由横跨配送用的实体工件路径1604纹理材料的两个相对形成的集合之间的会聚线界定。

图9A所示图案与图8图案类似，但没有实体工件路径1604凹槽。有凹穴的图案，它是与线相邻的彼此的镜像。针对图9A所示设计，若配送毛细管大体上从左下方向右上方移动，则实体工件路径将处于半球形凹穴对角行的会聚处，如毛细管所置放处所示。图上未示出的可选设计类似于图9A所示。该图案可为横脊。

图9B所示设计类似于上文结合图9A所述，除了存在横脊的形状外，横脊会聚于凹槽956上，提供于实体工件路径1604处。所示流体配送至凹槽中。

上述纯对角线特征并不是唯一的将行进的配送毛细管尖端偏斜导向的特征。其他还包括以不同间隔来间隔的凹坑、z形脊图案及通过跳行引导的凹槽。

包括对准引导件的晶片纹理表面，如类似于图13所示的引入特征和如图8、图9A及图9B所示的恢复特征，可以以任意适合的方式建立。对这些特征中的一些而非全部特征的特别有吸引力的通用技术总合的描述见由发明人本杰明·F. 玻利托、霍利·G.盖茨及伊曼纽尔· M. 萨克思在2009年4月17日提出的名为《不规则表面的楔形图案压印》的第PCT/US2009/02423号PCT申请，其在2009年10月22日以案号WO 2009/128946公布，本文通过引用将其全部公开结合进来。用于制造这类特征的一种额外的有吸引力的技术是激光划片。

PCT/US2009/02423案公开了用于光电用途及其他用途的具有图案的工件，它的制作方式是将挠性印模按压在覆盖工件，如晶片，的抗蚀材料薄层上。抗蚀剂改变相位或变得可流动，流动离开压印位置，露出工件，工件经受一些成形处理，通常为蚀刻。移除由印模暴露的部分，并保留受抗蚀剂保护的部分。典型工件为硅，和典型抗蚀剂为蜡。本文所述工件纹理包括延伸凹槽、断续、间隔凹坑，及其组合及中间物。可类似地提供诸如本文中就引入特征及恢复特征所述纹理中的一些的额外纹理。可使用压板或旋转制图形装置。粗糙和不规则的工件可由延伸的印模件调整。抗蚀剂可首先涂覆至工件、印模或大致同时涂覆于分散位置或任一者的整个表面上。抗蚀剂可在需要时对工件完全除湿。

如图10和图10A所示，为获得高速率，可使用多个配送毛细管1060a-1060o，其各自在用于单个1060a-1060o的分离凹槽1056中配送。例如，若晶片有100个指状物1056，则可使用100个配送毛细管1060，以使材料在一次通路被配送至晶片的100个指状物。这100个配送毛细管可安置成单列。或如图10对较小数目Y个管（如图所示，22）示意性地所示，可使用Y个配送毛细管1060a将材料在十次通路中配送到晶片的10 × Y个指状物，其中配送毛细管在通路之间横向递增。

或如参阅图27、图27A（端视图）及图27B（平面图）示意性地所示，配送毛细管2760横列可排成一行，其中每一横列相对每一其他横列横向移位（如从图27A可见），以便在工件2740经过整个组件的所有横列2760a-2760c之后，每一凹槽都已被处理。它们可分离成组，例如10、20或25个，沿配送装置与工件的相对运动方向间隔开。为使该图明了，仅显示各自具有三个配送管的三横列2760a、2760b和2760c。然而，可能的是有多个各自有许多配送管的横列，如上文所述。

图10A显示从钢管1063延伸的聚合配送毛细管1060。钢管1063固定于支撑组件1065，该支撑组件1065本身连接至相对运动驱动机构，未示出。

无论是使用单一配送毛细管，还是多个配送毛细管，通过处理排成一行的若干晶片都能增加速率。这样做的优点（针对配送管在工件上往复的情况）在于，在每一往复行进开始及结束时加速及减速配送毛细管所花费的时间会减少至总处理时间的较小分率。

如图10A所示的多重配送毛细管器件中的挑战是：不管管直径或长度的变化是否小或是管中有无可能沉积聚积物，都要保持配送管与配送管之间的流动速率相同。尤其值得注意的方法是独立控制每个毛细管的温度并因此改变液体的流变能力和流速。这对于黏度通常随温度增加而急剧地减小的膏状材料尤其有效。因此，若发现从某特定管来的流量低，则可增加该管的温度。通过围绕管的小型加热器的作用或用灯照射该管能够改变温度。沉积于管上的导电涂层可以通过射频线圈连接来进行加热。可选的是，可将管上的导电薄膜用作电阻加热器。这种导电膜可直接沉积在聚合管材料和玻璃管材料上。必须在金属管上设置绝缘层。流速亦可借助热手段原位判定，例如，测量在配送管一个区域的局部化热源与管下游后续温度测量器件之间的穿行时间，或测量由已知热功率输入引起的流体温度升高情况。测量和控制可由同一装置实现。

可选的是，如参阅图11和图11A示意性地所示，多个工件，如，晶片1140a-1140c可安置在具有平顶的鼓状物1170的面上，且其中鼓状物在箭头指示的方向上连续旋转。配送毛细管（图11A）可接着在平行于鼓状物的轴线X（鼓状物绕其旋转）的方向上横穿，同时向内和向外移动（移向晶片和移离晶片）以提供随着横穿单个晶片所需的升高和下降。钢管1163支撑配送毛细管，并接至在图11处示意性显示的较大体积主体1167，如，注射针筒。

可以达到高速率的方式还有生成如图12所示蛇纹金属化指状凹槽1256并使单个配送毛细管1260以大体恒定的速度将材料配送至整个蛇纹凹槽（该图上没有示出引入特征）。

优点是可防止反应液体接触到晶片的边缘（主要避免电分流路径）。如到现在所描述的那样，实施配送过程时跨晶片边缘拖拉配送尖端，从而使边缘暴露给反应流体。可选的是，如图13示意性地所示，边缘可由薄层掩模材料1382（例如，纸带）遮蔽以防止液体接触晶片的边缘。虽然可以做得到，但没有必要将这层结合至晶片表面。对准边缘并不是关键的，但该掩模不能完全覆盖用于指状物之凹槽1356的引入特征1366，否则它们会失去效力。该掩模材料可以是一次性的或清洁的和再利用的。同样的遮蔽原理可用于凹槽的末端处，从而再次防止在电池最边缘处配送。沿电池长度延伸的纸带掩模材料可同时遮蔽多个毛细管。可选的是，在蛇纹路径实施例中，仅有一个入口和一个出口需要遮蔽。

配送毛细管的尖端可在尖端附近的外表面上累积材料。能发生这种情况是因为向后润湿至配送毛细管外表面上的流体材料。它也可能是管与凹槽边缘之间毛细作用的结果，其中在配送期间在凹槽内循迹而行。周期性地清洁配送管外表面以保持所配送材料边缘界定清晰是有利的。这种清洁可通过几种方式或单独或组合实现。一种方式是使尖端横穿材料条带或衬垫。例如，上文结合图13所述的掩模材料1382也可具有清洁尖端的功能。掩模材料1382可由具有少许表面粗糙度的吸附剂材料制成，以帮助从毛细管外部移除任何材料。经移除的材料之后被掩模材料吸收。例如，具有足够吸收性的纸或非纺织聚合物织物会有作用。此方法的优点是尖端在配送管在工件上的每个通路之前被清洁。可选的是，清洁条带或衬垫可以是额外的材料片并且未整合至掩模条带中。

尖端也可通过在清洁池1386中进行周期性浸渍来清洁，例如，清洁池1386可以是邻近工件配置的超声清洁池。配送毛细管1360可沿由点线及箭头指示的路径横穿。配送毛细管1360可确定地浸入液池1386中，例如通过相对运动器件241（图2）的垂直运动。或者，设计者可利用配送管1360的挠性，并可安排行进路径以便在配送毛细管在液体贮集器处时，尖端浸没于液体1386中。随着配送毛细管接近贮集器的外边缘1388，管偏转，并且接着当它到达液体1386时，折入液体中并通过超声发生器1390的作用清洁。该管沿点线继续向前，遇到贮集器的内边缘1392，挠曲，并最终从液体退出，且被向前拉向工件。这种超声清洁站可沿工件的一个或两个边缘定位。浸渍时间可以短，甚至小于一秒，以使得运动不被中断。

图14示意性地显示一工件，如具有横截面变化的用于金属化指状物的凹槽1446的晶片1440。每单位长度凹槽所配送的流体量可以在精确控制下变化，方式是改变配送尖端相对晶片的速度，或调整配送压力。理想的方法是改变金属化指状物的横截面，因为金属化指状物负载的电流比较高度地接近总线1444（电流收集点1445）。由于金属化指状物1446较宽，为优化减少的电阻功率损失和电池面积遮蔽之间的权衡，在较接近总线的地方具有较大横截面的金属化指状物几何形状具有优势。理想的形状是抛物线，如从上方观察到的那样，因为功率损失与电流平方成比例，其会朝向总线线性增加。

所配送流体的增加流速可以通过增加指状物的宽度来调节，以确保通过毛细作用将流体保持于凹槽中。

方法已在本文关于在作为工件的分散晶片上制作太阳能电池的上下文中进行了描述。这种方法也可应用于较大形式的工件，甚至是连续辊应用。这种方法也可应用于除了太阳能电池制作之外的电子应用。

虽然在先前所述的实施例中，使配送尖端的实体定位具有必要的循迹顺应性的挠性件和流体载运管为同一物体，但这并不是本文所公开发明的必要特性。在一些情况下，使用被分离的流体载运管在配送端处附着的引线或其他纯机械式组件来提供顺应定位可能是有利的。例如，一些配送材料可以不与具有必要顺应度及磨耗性质的管材化学兼容。举例而言，侵蚀性材料可经由软惰性管，例如，PTFE配送，且该配送管可在配送端处连接至较适合的顺应定位特征，如，由金属、石英或碳纤维构成的实心杆。参阅图30，具有循迹端3081和支撑端3082的挠性定位件3080在循迹端处连接至流体配送管3060的配送端3061，以使循迹端3081沿工件3040中的凹槽3056循迹而行，并且配送端3061将流体配送至凹槽3056中。管3060的来源端液压接至流体贮集器3090。

在许多情况下，如本文所述，配送管的直径小，而且用于对小特征进行处理。出于此原因，在本公开中大量使用术语毛细管。然而，可以理解的是，本发明的实施范围可以变化，而且较大特征也可由较大的管来处理，较大管可被简单地称为管而非毛细管。

本公开说明和公开一种以上发明。所述发明在本公开的权利要求书及相关文件中有详细解释，不仅包括所申请内容，而且包括如在基于本公开的任何专利申请执行期间所开发的。发明人旨在要求将所有不同的发明限定在如后面所确定的现有技术所允许的范围内。本文所述特征皆不是本文所公开的每一发明所必需的。因此，发明人的意图是，本文所述但未在基于本公开的任何专利的任何特定权利要求书提出的特征皆不应并入任何此类权利要求书中。

举例而言，本发明采用多个挠性管并且其各自独立或成小组进行温度控制，该发明可独立于任何其他发明使用，特别是任何类型的轨迹特征或对准引导件。蛇纹凹槽可用于工件中，没有引入特征或恢复特征。

一些硬件组件或步骤组在本文中被称作发明。然而，这样并非是承认任何这类组件或组都是必要的专利性差异发明，尤其是如涉及专利申请中审查的发明数目或发明单一性的法律及规章所考虑的范围。其旨在说明发明实施例的快捷方式。

同此提交发明摘要。所强调的是，所提供的发明摘遵守发明摘要所需的规则，允许审查者及其他检索者快速确定技术公开内容的标的。提交摘要时应理解，它不被用于解释或限制权利要求的范畴或意义，如专利局的规则所规定的那样。

先前论述应理解为说明性的且不应视为以任何意义进行限制。虽然已参考优选实施例对发明进行了特别显示和说明，但本领域技术人员会理解，可在不脱离如权利要求界定的本发明精神和范畴的情况下对其在形式和细节上进行各种改变。

下文权利要求中的所有手段或步骤加功能元件的对应结构、材料、动作和等效物旨在包括用于和如具体主张的其他权利要求元件组合在一起执行功能的任何结构、材料或动作。

概述

在本文中公开的许多发明，包括具有不同级别组合的装置及方法。

其中一发明的基本实施例为一种用于将含有液体的材料配送至半导体工件纹理表面的装置，该装置包括具有支撑端和配送端的挠性管，该配送端包括机械轨迹特征。

相关实施例可进一步包括挠性不如该挠性管的主体，挠性管的支撑端紧固并液压连接至该挠性较弱的主体。

在一重要实施例情况下，该轨迹特征包括在该管横截面幅度上至少一端处的突起。该突起可包含耐磨材料和/或吸磁材料。

该突起可包括黏附至该挠性管的主体。该突起可以与该挠性管整合为一体，其至少部分地由与形成该挠性管材料相同的材料制成。

该挠性管具有长轴线和横向幅度，其中长轴线大致上垂直于横向幅度。该轨迹特征的横向幅度通常小于该管的横向幅度。

在一适用实施例的情况下，轨迹特征可包括两个轨迹特征，每个都是在至少一个横截面幅度的相对端处的突起，或四个突起，在两个正交横截面幅度的相对端上各一个。轨迹特征可包括大致上平行于挠性管轴线、沿该管外侧、该管外侧的一行、两行或四行延伸的肋。

其他相关实施例可具有配送端，配送端的横截面的第一横截面幅度大于垂直于该第一横截面幅度的横截面幅度。该较大横截面幅度可有益地配置成大致垂直于工件的平面。在此实施例情况下，该挠性管配送端具有一横截面形状，该横截面形状在该第一横截面幅度的一端处具有一突起。

在许多这类实施例情况下，该配送端的形状可以从由下列部分构成的组里选择：斜角；具有突起部分的主要部分；圆；椭圆；部分扁平的圆。

通常，挠性管的挠性经选择可以使该管的配送端机械地沿一实体工件路径循迹而行，而不管在配送端遵循的实体无约束配送端路径与实体工件路径之间的误差。

该挠性管可包含的材料选自由以下各项构成的组：聚合物、聚酰亚胺、玻璃、石英、金属和不锈钢。该挠性管可以是涂层的管。

通常存在多个额外的挠性管，其中每一个紧固至该管支撑件。若如此，可以有温度控制器热连接至该多个管中的每一个，其中每一个可以是独立控制的。举例而言，每一温度控制器可以是定位能照射各管的灯。每个管可包括导电涂层。每一温度控制器可以是射频线圈。

通常，该挠性管配送端的横截面具有沿第一维度配置的宽度，该宽度具有大致平行于该管和工件之间相对运动方向的分量，该宽度大于垂直于该第一维度的配送端的第二宽度。

一般而言，挠性管的挠性可以使管的配送端遵循实体工件路径相对于平坦平面路径的任何偏离。

本文发明的相关重要实施例是一种用于将含有液体的材料配送至半导体工件纹理表面的装置。该装置包括：配置成支撑工件的工件支撑件；相对运动器件；和具有支撑端和配送端的挠性配送管（大体如上文所述），该配送端包括轨迹特征，支撑端经由管支撑件连接至相对运动器件。该相对运动器件的配置可以引起该管的配送端与该工件支撑件相对的沿实体配送端路径的相对运动，选择该管的挠性要使在进行所述相对运动的时候，管的配送端机械地沿被支撑件支撑的工件的纹理表面的实体工件路径循迹而行。该轨迹特征的大小和形状可以确保其机械地沿工件纹理表面界定的实体工件路径循迹而行。该管可在其配送端处有非圆形的横截面。

该管也可具有刚刚结合前述重要实施例提及的额外件中的任一件。

也可存在支撑该工件的主体，该主体由吸磁材料吸引。突起可以包含保持永磁矩的磁性材料。

该实体工件路径具有最小特性宽度，轨迹特征的特性宽度小于该实体工件路径的最小特性宽度。管的适用直径小于约十倍的实体工件路径特性宽度。

材料传递装置可连接至挠性管，其配置成将含有液体的材料传递至挠性管。该材料传递装置可包括计量泵。或者，该材料传递装置可包括液压连接至配送管支撑端的所述材料的加压容积。

该工件支撑件可包括固定架，该固定架保持至少两个彼此相对固定以使每个的实体工件路径大致共线的工件。该固定架可包括鼓状物，绕其周边有工件定位台。

还可有益地存在相邻于该工件支撑件的流体清洁池。

本文公开的发明的一个非常重要的实施例是一种具有图案的工件，在其上沉积有含液体的材料，该工件包括：具有第一表面的半导体主体；对该第一表面定边界的周边边缘；和在该第一表面上的实体工件路径，其包括至少一个具有比垂直尺寸相对较长的尺寸的凹槽，该工件进一步包括至少一个对准引导件。

在这种实施例情况下，含有液体的材料由具有配送端的配送管沉积。该至少一个凹槽具有经选定的大小及形状，可确保机械地使该配送端循迹而行，且在垂直于凹槽长维度的方向上向配送管施加与趋向于分离配送端与凹槽的任何力相反的恢复力。该至少一个凹槽可包括多个大致平行的凹槽。或者，该至少一个凹槽可包括蛇纹凹槽，其至少反转方向一次。在该蛇纹凹槽的至少一端上有掩模。

在至少每一凹槽具有两个端的情况下，在每个这种端处可存在掩模。

一般而言，至少一个对准引导件可包括在该凹槽至少一端处的引入特征，且这里，如上文所述，至少一个凹槽可包括多个平行凹槽。这种引入特征可包括的特征选自以下特征组：开放三角空间、人字纹、楔形物、一对相对实体工件路径的外切弧及一对成角度的凹槽。

此外，（或者可选的是），在本文发明一非常有用的实施例情况下，该至少一对准引导件包括相邻于该实体工件路径的恢复特征，包括相邻且沿该实体工件路径的多个恢复特征。所述恢复特征可包括选自凹槽和凹坑组的特征，其中凹槽与工件路径斜对，凹坑沿与工件路径斜对的线配置。

关于另一相关实施例，发明是一种工件，对该工件至少一个凹槽中具有两个末端，且每一端处的宽度小于该两个末端之间位置的宽度。

在另一实施例情况下，至少一个凹槽遵循一抛物线，如俯视可见。

发明的高度理想的实施例是适合作为太阳能收集器的半导体主体，如，硅。

本文的又一发明为一种具有图案的半导体物品，该物品包括：有第一表面的半导体主体；对该第一表面定边界的周边边缘；和在该第一表面上的至少一个凹槽，它的尺寸比垂直尺寸相对较长，该工件进一步包括至少一个对准引导件，它的凹槽大致沿其整个长度承载金属化件。所述至少一个凹槽可便利地包括多个大致平行的凹槽，且每个凹槽或许多凹槽都可承载金属化件。或者，该至少一个凹槽包括蛇纹凹槽，其至少反转方向一次。该主体当然可以是太阳能收集器。

具有金属化件的多个平行凹槽可包括金属化指状物。在一值得注意的实施例中，与至少一个指状物相交，存在一个宽于指状物的总线金属化件。该金属化指状物可有益地在总线交叉处具有比金属化指状物的至少一端大的横截面面积。

在该实施例情况下，如上文所述其他实施例一样，至少一个对准引导件可包括在该凹槽至少一端处的引入特征。该引入特征包括的特征选自以下特征组：人字纹、楔形物，相对实体工件路径的外切弧、及一对成角度的凹槽、开放三角空间。

该至少一个对准引导件也可包括或可选地包括与至少一个凹槽相邻的恢复特征，通常为相邻并沿该凹槽的多个恢复特征。

本文又一非常重要的发明是一种用于将含有液体的材料提供至半导体工件纹理表面的方法。该方法包括以下步骤：提供具有界定实体工件路径的纹理表面的半导体工件；提供具有支撑端和配送端的挠性管，该配送端的大小和形状可确保机械地沿该实体工件路径循迹而行；接合挠性管的配送端与该实体工件路径；在该配送端和纹理表面之间建立正接触作用力；将含有液体的材料提供至挠性管且使含有液体的材料从该管配送至工件的纹理表面；和使该管的配送端与该工件路径相对沿实体无约束配送端路径进行相对运动，同时含有液体的材料沿该实体工件路径被配送到工件上。

引起相对运动的步骤可包括引起这样一种运动使得该实体无约束配送端路径相对实体工件路径偏离误差ε，同时管的挠性经选择可以不管该误差ε如何，管的配送端机械地沿该实体工件路径循迹而行。

建立正接触作用力的步骤可包括朝向纹理表面对挠性管的配送端加预负载，方式是使挠性管的支撑端进一步向纹理表面前进，在管与工件已接触之后，将一挠曲施加至该管。

可选的是，或者另外，建立正接触作用力的步骤可包括确立使挠性管与纹理表面路径彼此吸引的磁力。

在一典型实施例中，实体工件路径包括凹槽。

一般而言，存在与工件路径相关的至少一个对准引导件。该至少一个对准引导件可包括一个或多个恢复特征。

所述至少一个对准引导件可包括引入特征，其中典型的引入特征选自由以下特征构成的组：人字纹、楔形凹陷、三角凹陷，一对相对实体工件路径的外切弧和一对成角度的凹槽。

在本文发明的另一重要形式情况下，该工件进一步包括边缘，工件路径向该边缘延伸。可以有掩模材料来覆盖相邻于该边缘至少直至该工件路径的一部分工件。若如此，则引起相对运动的步骤可包括沿工件路径且在掩模材料上方移动管的支撑端，而且其中当配送端在该掩模材料上方的同时进行配送含有液体的材料的步骤，以使材料被配送至该掩模材料上。

在工件一个位置上的相对运动的速度与另一位置处相比有可能发生变化。

通常有用的是，在管的配送端经过一工件路径后且在使其经过另一工件路径之前，使管的配送端穿过清洁池。

含有液体的材料的流动可通过施加压力来有益地调节。

在最典型的情况下，提供至少两个工件，它们对准以使每一个的实体工件路径大致上共线，其中引起相对运动的步骤包括：同时引起管的支撑端与该至少两个工件中的每一个之间进行相对运动，并使挠性管的配送端与该至少两个工件中的第一个的实体工件路径接合，然后再与该至少两个工件中的另一个接合，无需在行进末端使相邻于工件中第一个的配送管显著减速，也无需使相邻于该至少两个工件中另一个的配送管加速。

发明点

本文所述发明的下列方面将在这里进行说明，并且这部分是为确保其被提及。它们被称为发明点，而且虽然它们看起来类似于权利要求，但并不是权利要求书。然而，在将来的某个时刻，申请人会保留对本申请及任何相关申请的这些发明点中的任何一项及全部项提出专利要求的权利。

A1. 一种用于将含有液体的材料配送至半导体工件的纹理表面的装置，该装置包括：

a. 配置成支撑工件的工件支撑件；

b. 相对运动器件；

c. 具有支撑端和配送端的挠性配送管，该配送端包括轨迹特征，该支撑端经由管支撑件连接至相对运动器件；

d. 该相对运动器件配置成使管的配送端沿实体无约束配送端路径进行与工件支撑件相比较的相对运动，管的挠性选择为使得在轨迹特征与由支撑件支撑的工件的纹理表面的实体工件路径接合以及相对运动器件致动时，管的配送端机械地沿实体工件路径循迹而行。

A2. 如发明点1的装置，轨迹特征的大小和形状设定为机械地沿由工件的纹理表面限定的实体工件路径循迹而行。

A3. 如发明点1的装置，管在其配送端处有非圆形横截面。

A4. 如发明点1的装置，进一步包括挠性低于挠性管的主体，挠性管的支撑端紧固至并液压地连接至挠性较低的主体。

A5. 如发明点1的装置，轨迹特征包括在该管的横截面幅度的至少一端处的突起。

A6. 如发明点5的装置，该突起包含耐磨材料。

A7. 如发明点5的装置，该突起包含吸磁材料。

A8. 如发明点7的装置，进一步包括被吸到磁吸材料上的主体，其设置成朝向支撑件吸引吸磁材料。

A9. 如发明点5的装置，该突起包括保持永磁矩的磁性材料。

A10. 如发明点5的装置，该突起包括黏附至挠性管的主体。

A11. 如发明点5的装置，该突起包括与挠性管整合为一体的主体，其至少部分地由与形成挠性管相同的材料形成。

A12. 如发明点5的装置，该挠性管具有长轴线和大致垂直于长轴线的横向幅度，该轨迹特征的横向幅度小于管的横向幅度。

A13. 如发明点5的装置，该实体工件路径具有最小特性宽度，该轨迹特征的特性宽度小于实体工件路径的最小特性宽度。

A14. 如发明点5的装置，该实体工件路径具有特性宽度，该管的直径小于该实体工件路径的特性宽度的大约十倍。

A15. 如发明点5的装置，该轨迹特征包括两个轨迹特征，每个轨迹特征都是在至少一个横截面幅度的相对端处的突起。

A16. 如发明点15的装置，该轨迹特征包括四个突起，在两个正交横截面幅度的相对端处各一个。

A17. 如发明点1的装置，该轨迹特征包括沿该管的外侧、大致平行于该挠性管的轴线延伸的肋。

A18. 如发明点17的装置，该轨迹特征包括沿该管的相对侧延伸的肋。

A19. 如发明点1的装置，该配送端的横截面有第一横截面幅度，该第一横截面幅度大于垂直于该第一横截面幅度的横截面幅度。

A20. 如发明点19的装置，该较大横截面幅度配置成大致垂直于工件的平面。

A21. 如发明点19的装置，该挠性管配送端具有一横截面形状，该横截面形状在第一横截面幅度的一端处具有突起。

A22. 如发明点1的装置，该配送端的形状选自以下形状组：斜角、具有突起部分的主要部分、圆、椭圆、部分扁平的圆。

A23. 如技术方案1的装置，挠性管的挠性选择为使管的配送端能够机械地沿实体工件路径循迹而行，而不管该实体工件路径与实体无约束配送端路径之间的误差如何。

A24. 如发明点1的装置，该挠性管包含的材料选自由以下材料组：聚合物、聚酰亚胺、玻璃、石英、金属及不锈钢。

A25. 如发明点1的装置，该挠性管包括涂层的管。

A26. 如发明点1的装置，进一步包括多个额外的挠性管，其中每个挠性管都紧固至管的支撑件。

A27. 如发明点26的装置，进一步包括热连接至多个管中每个管的温度控制器。

A28. 如发明点27的装置，每个温度控制器包括可独立控制的控制器。

A29. 如发明点27的装置，每个温度控制器包括加热器。

A30. 如发明点28的装置，每个温度控制器包括定位成能照射在各个管上的灯。

A31. 如发明点27的装置，每个管包括导电涂层。

A32. 如发明点27的装置，温度控制器包括射频线圈。

A33. 如发明点1的装置，该挠性管包含聚酰亚胺材料。

A34. 如发明点1的装置，该挠性管包含石英材料。

A35. 如发明点1的装置，该挠性管配送端的横截面的幅度沿第一维度配置，该幅度具有大致平行于该管与工件之间相对运动方向的分量，该幅度大于垂直于该第一维度的配送端的第二幅度。

A36. 如发明点1的装置，该挠性管的挠性使得该管的配送端能够遵循实体工件路径相对平坦平面路径的任何偏离。

A37. 如发明点1的装置，进一步包括连接至挠性管的材料传递装置，其配置成将含有液体的材料传递至该挠性管。

A38. 如发明点37的装置，该材料传递装置包括计量泵。

A39. 如发明点37的装置，该材料传递装置包括液压连接至配送管的支撑端的这种材料的加压容积。

A40. 如发明点37的装置，该工件支撑件包括固定架，该固定架维持至少两个相对于彼此固定的工件以使每个工件的实体工件路径大致上共线。

A41. 如发明点40的装置，该固定架包括鼓状物，鼓状物具有绕其周边的工件定位台。

A42. 如发明点A1的装置，进一步包括相邻该工件支撑件的流体清洁池。

A43. 一种用于将含有液体的材料配送至半导体工件的纹理表面的装置，该装置包括具有支撑端及配送端的挠性管，该配送端包括机械轨迹特征。

A44. 如发明点43的装置，所述轨迹特征的大小和形状设定为机械地沿纹理工件表面限定的实体工件路径循迹而行。

A45. 如发明点43的装置，该管在其配送端处具有非圆形横截面。

A46. 如发明点43的装置，进一步包括挠性小于挠性管的主体，该挠性管的支撑端紧固至并液压连接至挠性较小的主体。

A47. 如发明点43的装置，该轨迹特征包括在该管的横截面幅度的至少一端处的突起。

A48. 如发明点47的装置，该突起包含耐磨材料。

A49. 如发明点47的装置，该突起包含吸磁材料。

A50. 如发明点47的装置，该突起包含磁性材料。

A51. 如发明点47的装置，该突起包括黏附至该挠性管的主体。

A52. 如发明点47的装置，该突起包括与该挠性管整合为一体的主体，其至少部分地由也形成该管的材料形成。

A53. 如发明点47的装置，该挠性管具有长轴线和大致垂直于长轴线的横向幅度，该轨迹特征的横向幅度小于该管的横向幅度。

A54. 如发明点47的装置，该路径具有最小特性宽度，该轨迹特征的特性宽度尺寸小于该实体工件路径的最小特性宽度。

A55. 如发明点47的装置，该实体工件路径具有特性宽度，该管的直径小于该实体工件路径的特性宽度的大约十倍。

A56. 如发明点47的装置，该轨迹特征包括两个轨迹特征，每个轨迹特征都是在至少一个横截面幅度的相对端处的突起。

A57. 如发明点56的装置，该轨迹特征包括四个突起，在两个正交横截面幅度的相对端处各一个。

A58. 如发明点43的装置，该轨迹特征包括沿管的外侧、大致平行于该挠性管的轴线延伸的肋。

A59. 如发明点58的装置，该轨迹特征包括沿该管相对侧延伸的肋。

A60. 如发明点43的装置，该配送端的横截面具有第一横截面幅度，该第一横截面幅度大于垂直于该第一横截面幅度的横截面幅度。

A61. 如发明点60的装置，该挠性管配送端的横截面的形状在该第一横截面幅度的一端处具有突起。

A62. 如发明点60的装置，该配送端的形状选自下列形状组：斜角、突起部分、圆、椭圆、部分扁平的圆、在一侧上有突起的形状。

A63. 如发明点43的装置，该挠性管的挠性选择为使该管的配送端能机械地沿实体工件路径循迹而行，而不管由该配送端遵循的实体无约束配送端路径与实体工件路径之间的误差如何。

A64. 如发明点43的装置，挠性管包含的材料选自下列材料组：聚合物、聚酰亚胺、玻璃、石英、金属、不锈钢。

A65. 如发明点43的装置，该挠性管包括涂层的管。

A66. 如发明点43的装置，进一步包括：

a. 配送组件；

b. 如发明点43所提及的多个额外装置，其中每个装置紧固在配送组件中。

A67. 如发明点66的装置，进一步包括热连接至如发明点101所提及的多个装置中的每一个的温度控制器。

A68. 如发明点67的装置，每一温度控制器包括可独立控制的控制器。

A69. 如发明点67的装置，每一温度控制器包括加热器。

A70. 如发明点68的装置，每一温度控制器包括定位成照射在各个管上的灯。

A71. 如发明点67的装置，每个管包括导电涂层。

A72. 如发明点67的装置，温度控制器包括射频线圈。

A73. 一种具有图案的工件，该工件上将被沉积含有液体的材料，该工件包括：

a. 具有第一表面的半导体主体；

b. 限定该第一表面的边界的周边边缘；

c. 该第一表面上的实体工件路径，该路径包括具有相对垂直尺寸较长的尺寸的至少一个凹槽，该工件进一步包括至少一个对准引导件。

A74. 如发明点73的工件，其中含有液体的材料将由具有配送端的配送管沉积，该至少一个凹槽的大小和形状选定为机械地沿该配送端循迹而行，并在垂直于凹槽长度尺寸的方向上向配送管施加与趋向于使配送端和凹槽分离的任何力相反的恢复力。

A75. 如发明点73的工件，该至少一个凹槽包括多个大致平行的凹槽。

A76. 如发明点73的工件，该至少一个凹槽包括蛇纹凹槽，其至少反转方向一次。

A77. 如发明点76的工件，进一步包括在该蛇纹凹槽的至少一端处的掩模。

A78. 如发明点73的工件，该至少一个对准引导件包括在该凹槽的至少一端处的引入特征。

A79. 如发明点78的工件，该至少一个凹槽包括多个平行凹槽。

A80. 如发明点78的工件，引入特征包括选自由以下各项组成的集合的特征：开放三角空间、人字纹、楔形物、相对实体工件路径的外切弧、一对成角度的凹槽、三角形物。

A81. 如发明点73的工件，该至少一个对准引导件包括相邻于该实体工件路径的恢复特征。

A82. 如发明点81的工件，该至少一个对准引导件包括相邻于且沿该实体工件路径的多个恢复特征。

A83. 如发明点81的工件，恢复特征所包括的特征选自由凹槽和凹坑构成的集合，其中凹槽与工件路径斜对，凹坑沿与工件路径斜对的线布置。

A84. 如发明点73的工件，每个至少一个凹槽具有两个端部，进一步包括在每个所述端部处的掩模。

A85. 如发明点73的工件，凹槽中的至少一个有两个端部，且其在每一端处的宽度小于两端部之间位置处的宽度。

A86. 如发明点73的工件，从上方观察至少一个凹槽遵循抛物线的一部分。

A87. 如发明点73的工件，该半导体主体包括适合作为太阳能收集器的半导体。

A88. 如发明点73的工件，该半导体包括硅。

A89. 一种具有图案的半导体物品，该物品包括：

a. 具有第一表面的半导体主体；

b. 限定该第一表面的边界的周边边缘；

c. 该第一表面上的至少一个凹槽，该凹槽的尺寸比垂直尺寸相对较长，该工件进一步包括至少一个对准引导件，该凹槽沿其大致整个长度承载金属化件。

A90. 如发明点89的半导体物品，该至少一凹槽包括多个大致平行的凹槽。

A91. 如发明点89的半导体物品，该至少一个凹槽包括蛇纹凹槽，其至少反转方向一次。

A92. 如发明点89的半导体物品，该至少一个对准引导件包括在该凹槽的至少一端处的引入特征。

A93. 如发明点92的半导体物品，该引入特征包括的特征选自以下特征组：人字纹、楔形物、相对实体工件路径的外切弧和一对成角度的凹槽。

A94. 如发明点89的半导体物品，该至少一个对准引导件包括与该至少一个凹槽相邻的恢复特征。

A95. 如发明点94的半导体物品，该至少一个对准引导件包括相邻于且沿着该凹槽的多个恢复特征。

A96. 如发明点90的半导体主体，所述具有金属化件的多个平行凹槽包括金属化指状物，其进一步包括与指状物中的至少一个交叉的、比指状物宽的总线金属化件。

A97. 如发明点96的半导体主体，该金属化指状物在与总线相交的位置具有比金属化指状物的至少一端更大的横截面面积。

A98. 如发明点89的半导体主体，该主体包括太阳能收集器。

A99. 一种用于将含有液体的材料提供至半导体工件的纹理表面的方法，该方法包括以下步骤：

a. 提供半导体工件，该半导体工件具有限定实体工件路径的纹理表面；

b. 提供具有支撑端和配送端的挠性管，该配送端的大小和形状设定为机械地沿实体工件路径循迹而行；

c. 接合挠性管的配送端与实体工件路径；

d. 在配送端与纹理表面之间建立正接触作用力；

e. 将含有液体的材料提供至该挠性管且使含有液体的材料从该管配送至工件的纹理表面；以及

f. 使管的配送端与工件路径相比做相对运动，以使配送端机械地沿实体工件路径循迹而行，同时含有液体的材料沿该实体工件路径被配送至工件上。

A100. 如发明点99的方法，引起相对运动的步骤包括使该配送端遵循实体无约束配送端路径，该实体无约束配送端路径相对于实体工件路径偏离一定误差，该管的挠性选择为不管该误差如何，该管的配送端机械地沿该实体工件路径循迹而行。

A101. 如发明点99的方法，建立正接触作用力的步骤包括朝纹理表面对挠性管的配送端加预负载，所述加预负载的方式是在管与工件接触后使挠性管的支撑端进一步向纹理表面前进、将挠曲施加至该管。

A102. 如发明点99的方法，建立正接触作用力的步骤包括建立使挠性管与纹理表面路径彼此吸引的磁力。

A103. 如发明点99的方法，实体工件路径包括凹槽。

A104. 如发明点99的方法，进一步包括与该工件路径相关的至少一个对准引导件。

A105. 如发明点104的方法，至少一个对准引导件包括引入特征。

A106. 如发明点104的方法，至少一个对准引导件包括恢复特征。

A107. 如发明点105的方法，引入特征选自以下特征组：升高的人字纹、楔形凹陷、三角凹陷、相对实体工件路径的外切弧和一对汇合的成角度凹槽。

A108. 如发明点99的方法，该工件进一步包括：

a. 边缘，工件路径朝该边缘延伸；

b. 掩模材料，其覆盖与至少直至工件路径的边缘相邻的工件的一部分。

A109. 如发明点99的方法，进一步包括以下步骤：改变在工件的一处位置与另一处位置相比较的相对运动的速度。

A110. 如发明点108的方法，其中引起相对运动的步骤包括沿工件路径且在掩模材料上方移动管支撑端，而且其中当配送端在掩模材料上方时进行配送含有液体的材料的步骤，以使材料被配送至掩模材料上。

A111. 如发明点108的方法，进一步包括以下步骤：在该管的配送端已沿一个工件路径经过后且在使其沿另一工件路径通行前，使该管的配送端穿过清洁池。

A112. 如发明点99的方法，进一步包括通过施加压力来调节含有液体的材料的流动。

A113. 如发明点99的方法，进一步包括以下步骤：提供至少两个工件，所述工件被对准为使得每个工件的实体工件路径大致共线，其中引起相对运动的步骤包括：使管的支撑端与至少两个工件中的每一个之间同时进行相对运动，以及使挠性管的配送端与至少两个工件中的第一个的实体工件路径接合，并且接着与该至少两个工件中的另一个的实体工件路径接合，而无需在行进末端使相邻于该工件中第一个的配送管显著减速，也不需要使相邻于该至少两个工件中的另一个的配送管加速。

A114. 如发明点99的方法，该工件路径包括蛇形路径，引起相对运动的步骤包括引起具有大致恒定的速度量值的相对运动。

本文公开的发明已被描述，要主张的权利要求见权利要求书。

Claims (35)

1.一种用于将含有液体的材料配送至半导体工件的纹理表面的装置，所述装置包括：

a. 配置成支撑工件的工件支撑件；

b. 相对运动器件；

c. 具有支撑端和配送端的挠性配送管，所述配送端包括轨迹特征，所述支撑端经由管支撑件连接至所述相对运动器件；

d. 所述相对运动器件配置成使所述管的配送端相比于所述工件支撑件沿实体无约束配送端路径做相对运动，所述管的挠性被选择为使得在所述轨迹特征与由所述支撑件支撑的工件的纹理表面的实体工件路径接合且所述相对运动器件致动时，所述管的配送端机械地沿所述实体工件路径循迹而行。

2.如权利要求1的装置，所述轨迹特征的大小和形状设定为机械地沿所述工件的纹理表面限定的实体工件路径循迹而行。

3.如权利要求1的装置，所述轨迹特征包括在所述管的横截面幅度的至少一端处的突起。

4.如权利要求3的装置，所述实体工件路径具有最小特性宽度，所述轨迹特征具有小于所述实体工件路径的最小特性宽度的特性宽度。

5.如权利要求3的装置，所述实体工件路径具有特性宽度，所述管的最大横截面幅度小于所述实体工件路径的特性宽度的约十倍。

6.如权利要求1的装置，所述挠性管的挠性被选择为使所述管的配送端能够机械地沿所述实体工件路径循迹而行，而不管所述实体工件路径与所述实体无约束配送端路径之间的误差如何。

7.如权利要求1的装置，进一步包括多个额外的挠性管，其中每个挠性管都紧固至所述管的支撑件。

8.如权利要求1的装置，所述工件支撑件包括固定架，所述固定架维持至少两个相对于彼此固定的工件以使每个工件的实体工件路径大致共线。

9.一种用于将含有液体的材料配送至半导体工件的纹理表面的装置，所述装置包括具有支撑端和配送端的挠性管，所述配送端包括机械轨迹特征。

10.如权利要求9的装置，所述轨迹特征的大小和形状设定为机械地沿纹理工件表面限定的实体工件路径循迹而行。

11.如权利要求9的装置，所述管在其配送端处具有非圆形横截面。

12.如权利要求9的装置，所述轨迹特征包括在所述管的横截面幅度的至少一端处的突起。

13.如权利要求12的装置，所述突起包含耐磨材料。

14.如权利要求12的装置，所述突起包含吸磁材料。

15.如权利要求12的装置，所述挠性管具有长轴线和大致垂直于该长轴线的横向幅度，所述轨迹特征的横向幅度小于所述管的横向幅度。

16.如权利要求12的装置，所述轨迹特征包括两个轨迹特征，每个轨迹特征都是在所述至少一个横截面幅度的相对端处的突起。

17.如权利要求9的装置，所述轨迹特征包括沿所述管的外侧、大致平行于所述挠性管的轴线延伸的肋。

18.如权利要求9的装置，所述挠性管所含材料选自以下材料组成的集合：聚合物、聚酰亚胺、玻璃、石英、金属及不锈钢。

19.一种具有图案的工件，所述工件上将被沉积含有液体的材料，所述工件包括：

a. 具有第一表面的半导体主体；和

b. 所述第一表面上的实体工件路径，该实体工件路径包括至少一个凹槽，所述凹槽的尺寸比垂直尺寸的相对较大，所述工件进一步包括至少一个对准引导件。

20.如权利要求19的工件，所述至少一个凹槽包括多个大致平行的凹槽。

21.如权利要求19的工件，所述至少一个对准引导件包括在所述凹槽的至少一端处的引入特征。

22.如权利要求21的工件，所述至少一个凹槽包括多个大致平行的凹槽。

23.如权利要求21的工件，所述引入特征包括选自以下各项组成的集合的特征：开放三角空间、人字纹、楔形物、相对实体工件路径的外切弧及一对成角度的凹槽。

24.如权利要求19的工件，所述至少一个对准引导件包括相邻于所述实体工件路径的恢复特征。

25.如权利要求19的工件，每个所述至少一个凹槽具有两个端部，该工件进一步包括在至少一个所述端部处的掩模。

26.一种具有图案的半导体物品，所述物品包括：

a. 具有第一表面的半导体主体；和

b. 所述第一表面上的至少一个凹槽，所述凹槽具有比垂直尺寸相对更长的尺寸，所述工件进一步包括至少一个对准引导件，所述凹槽沿其大致整个长度承载金属化件。

27.如权利要求26的半导体物品，所述至少一个凹槽包括多个大致平行的凹槽。

28.如权利要求26的半导体物品，所述至少一个对准引导件包括在所述凹槽的至少一端处的引入特征。

29.如权利要求28的半导体物品，所述引入特征包括选自以下各项组成的集合的特征：开放三角空间、人字纹、楔形物、相对实体工件路径的外切弧以及一对成角度的凹槽。

30.如权利要求26的半导体物品，所述至少一个对准引导件包括相邻于所述至少一个凹槽的恢复特征。

31.一种用于将含有液体的材料提供至半导体工件的纹理表面的方法，所述方法包括以下步骤：

a. 提供半导体工件，该半导体工件具有限定实体工件路径的纹理表面；

b. 提供具有支撑端和配送端的挠性管，所述配送端的大小和形状设定为机械地沿所述实体工件路径循迹而行；

c. 接合所述挠性管的配送端与所述实体工件路径；

d. 在所述配送端与所述纹理表面之间建立正接触作用力；

e. 将含有液体的材料提供至所述挠性管并使含有液体的材料从所述管配送至所述工件的纹理表面；和

f. 使所述管的配送端相比于所述工件路径做相对运动，以使得所述配送端机械地沿所述实体工件路径循迹而行，同时含有液体的材料沿所述实体工件路径被配送至所述工件上。

32.如权利要求31的方法，使产生相对运动的步骤包括使所述配送端遵循实体无约束配送端路径，所述实体无约束配送端路径相对于所述实体工件路径偏离一定误差，所述管的挠性被选择为使得不管该误差如何，所述管的配送端总是机械地沿所述实体工件路径循迹而行。

33.如权利要求31的方法，建立正接触作用力的步骤包括：将所述挠性管的配送端朝所述纹理表面加预负载，该加载方式是在所述管与工件接触之后使所述挠性管的支撑端进一步朝所述纹理表面前进、将挠曲施加至所述管。

34.如权利要求31的方法，所述实体工件路径包括凹槽。

35.如权利要求31的方法，进一步包括以下步骤：在所述管的配送端已沿一个工件路径穿过之后且在使其沿另一个工件路径穿行之前，使所述管的配送端穿过清洁池。

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