CN102262075B - 基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法 - Google Patents
基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102262075B CN102262075B CN201110210361.5A CN201110210361A CN102262075B CN 102262075 B CN102262075 B CN 102262075B CN 201110210361 A CN201110210361 A CN 201110210361A CN 102262075 B CN102262075 B CN 102262075B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sample
- laser
- calibration
- object element
- calibration sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma
Abstract
基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法,属于原子发射光谱测量技术领域。该方法通过分光镜将激光分为两束,通过反射镜的反射,使得两束激光的入射方向与样品表面的法线方向呈0°到90°的夹角。激光击打产生的等离子体主要向垂直表面的方向扩展,因此侧面入射的激光受到的等离子体屏蔽作用较弱,有利于更多的激光能量到达样品表面,增加烧蚀的质量;结合在样品表面上方形成气溶胶的技术,优化产生等离子体的实验条件,使得等离子体的产生更容易,电子密度更高。该方法增加了测量的重复性,有利于提高定标模型的拟合优度和预测精度。
Description
技术领域
本发明涉及一种基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法,属于原子发射光谱测量技术领域。
背景技术
激光诱导击穿光谱技术(Laser-induced breakdown spectroscopy,简称LIBS),又称激光诱导等离子光谱技术,是二十世纪后期发展起来的一种全新的物质元素分析技术。激光诱导击穿光谱技术的工作原理是:强激光脉冲作用下,样品表面的物质被激发成为等离子体并迅速衰减,在衰减过程中辐射出特定频率的光子,产生特征谱线,其频率和强度信息包含了分析对象的元素种类和浓度信息。激光诱导击穿光谱技术运行成本低,测量速度快,具有高灵敏度、无需或者需要很少的样品预处理和实现多元素测量等优点,并且无辐射危害,在工业生产中具有极大的发展潜力。
但是,由于激光诱导击穿光谱技术的激光作用点很小,烧蚀物质的量很少,对于不均匀,各向异性的物质基体效应非常明显;同时,激光能量的波动,等离子体温度、电子密度等物理参数的不同导致激光诱导击穿光谱技术测量的重复精度较低;另外,环境参数的影响以及仪器内部元器件本身的电子噪声等都易对LIBS产生干扰;因此利用激光诱导击穿光谱技术直接测量样品的测量精度不能得到保证,限制了激光诱导击穿光谱技术在生产实际中的应用。
对样品做简单的预处理,例如通过对样品粉末压制成型可以增加激光诱导击穿光谱技术测量的重复性,对样品研磨、混合均匀可以降低基体效应的影响,但是这样仍然无法完全消除测量的不确定度以及各种干扰,直接测量也无法达到工业生产需要的精度,样品的预处理方法需要进一步研究。
发明内容
本发明的目的是提供一种基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法,具体来说,是利用激光诱导击穿光谱技术,通过分光镜将入射激光分为两束,分别从不同的角度射向样品表面,再结合在样品表面上方形成气溶胶的方法,改善测量条件,达到提高元素浓度测量精度的目的。
本发明的技术方案是:
一种基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法,包括了如下步骤:
1)将样品中欲测量的元素定为目标元素;以目标元素质量浓度已知的一组样品作为定标样品,首先利用压片机将定标样品压制成型,然后在定标样品紧贴表面的上方形成一层与定标样品成分完全相同的气溶胶;
2)利用激光诱导击穿光谱系统进行检测:以脉冲激光器为激发光源,从激光器出射的激光首先经过分光镜分为两束激光,通过反射镜的反射,使得两束激光的入射方向与样品表面的法线方向呈0°~90°的夹角,两束激光均经过聚焦透镜聚焦后作用于定标样品的表面或者表面下方,在聚焦点产生等离子体,等离子体产生的辐射光信号被采集透镜所收集,通过光纤并经过光谱仪处理后转化成电信号而被计算机采集,得到定标样品的特征光谱图,从特征光谱图中得到目标元素的特征谱线强度Ic;
3)用定标样品中目标元素的特性谱线强度Ic与目标元素质量浓度C组成数据对(C,Ic),并针对多个样品得到多组数据对,然后根据单变量定标方法拟合出定标曲线,定标曲线的横轴是C元素质量浓度,纵轴是Ic;
4)对目标元素质量浓度未知的待测样品进行检测时,首先按照步骤1)和步骤2)所述的方法对待测样品进行处理,得到目标元素的特征谱线强度I′c,然后代入步骤3)中得到的定标曲线,求出待测样品中目标元素的浓度C′。
上述技术方案中,所述步骤1)中气溶胶的形成方法包括以下两种,分别为:
第一:对任意一种定标样品或者待测样品,首先利用压片机将其压制成型,再取另一部分研磨成亚微米级颗粒,与保护气体混合均匀形成气溶胶,然后通过喷嘴将气溶胶喷射到已经压制成型的定标样品或者待测样品表面上方,所述的保护气体为空气、氮气或惰性气体;
第二:对任意一种定标样品或者待测样品,首先利用压片机将其压制成型,置于有进出气口的容器中,再取另一部分研磨成亚微米级颗粒,均匀撒布于已经压制成型的定标样品或者待测样品表面,控制保护气体的流量,使得容器中形成比较稳定的气溶胶。
本发明具有以下优点及突出性效果:
首先,本发明利用分光后调整角度击打的技术,使得激光击打的后续能量受等离子体的屏蔽作用减弱,从而使得更多的能量被用于物质等离子体化,增加了烧蚀的效率,其次,本发明基于气溶胶与激光能量之间的相互作用机理,降低了物质等离子化所需的能量阈值,创造了良好的激发条件;综合以上两种方法,使得激光烧蚀形成的等离子体更加均匀,更加符合局部热平衡(LTE)条件,从而增加测量的重复性,提高激光诱导击穿光谱技术的测量精度。
附图说明
图1是本发明的激光诱导击穿光谱系统结构框图。
图2是分光法示意图
图3是本发明方案的流程图。
图中:1-脉冲激光器;2-分光镜;3-聚焦透镜;4-样品;5-采集透镜;6-光纤7-光谱仪;8-计算机;9-入射激光;10-反射镜;11-等离子体;
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
本发明提供的一种基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法,该方法包括了如下步骤:
1)将样品中欲测量的元素定为目标元素;以目标元素质量浓度已知的一组样品作为定标样品,首先利用压片机将定标样品压制成型,在定标样品表面上方形成气溶胶,气溶胶的形成方式可以采用以下两种:
第一:对任意一种定标样品或者待测样品,首先利用压片机将其压制成型,再取另一部分研磨成亚微米级颗粒,与保护气体混合均匀形成气溶胶,然后通过喷嘴将气溶胶喷射到已经压制成型的定标样品或者待测样品表面上方。所述的保护气体为空气、氮气或惰性气体;
第二:对任意一种定标样品或者待测样品,首先利用压片机将其压制成型,置于有进出气口的容器中,再取另一部分研磨成亚微米级颗粒,均匀撒布于已经压制成型的定标样品或者待测样品表面,控制保护气体的流量,使得容器中形成比较稳定的气溶胶。
2)利用如图1所示的激光诱导击穿光谱系统进行检测:以脉冲激光器1为激发光源,从激光器出射的激光首先经过分光镜2分为两束激光,通过反射镜10的反射,使得两束激光的入射方向与样品表面的法线方向呈0°~90°的夹角,两束激光均经过聚焦透镜3聚焦后作用于定标样品4的表面或者表面下方,在聚焦点产生等离子体,等离子体产生的辐射光信号被采集透镜5所收集,通过光纤6并经过光谱仪7处理后转化成电信号而被计算机8采集,得到定标样品的特征光谱图,从特征光谱图中得到目标元素的特征谱线强度Ic;
3)用定标样品中目标元素的特性谱线强度Ic与目标元素质量浓度C组成数据对(C,Ic),并针对多个样品得到多组数据对,然后根据单变量定标方法拟合出定标曲线,定标曲线的横轴是C元素质量浓度,纵轴是Ic;
4)对目标元素质量浓度未知的待测样品进行检测时,首先按照步骤1)和步骤2)所述的方法对待测样品进行处理,得到目标元素的特征谱线强度I′c,然后在定标曲线上查出对应点(C′,I′c),对应点的横坐标C′即为目标元素的浓度C′。
实施例:
以利用激光诱导击穿光谱技术测量煤中C元素为例,对基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法进行阐述。
1)首先使用各元素质量浓度已知的十种标准煤样品进行分析,各煤炭样品的主要元素的质量浓度和挥发份含量如表1所示;利用本发明技术方案中所述的方法,分别对样品进行处理。
表1.标煤样品成分
2)使用激光诱导击穿光谱系统对煤样进行检测:以脉冲激光器1为激发光源,从激光器出射的激光首先经过分光镜2分为两束激光,通过反射镜10的作用从与样品表面的法线呈45°夹角射向样品表面,两束激光分别经过聚焦透镜3聚焦后作用于样品表面或者表面下方(如图2所示),在聚焦点产生等离子体,等离子体产生的辐射光信号被采集透镜5所收集,通过光纤6并经过光谱仪7处理后转化成电信号而被计算机8采集,得到C元素质量浓度已知的一组标准煤炭样品的光谱谱线,进一步得到煤炭标准样品中各种元素的特征谱线强度。
3)用定标样品中C元素的特性谱线强度Ic与C元素质量浓度C组成数据对(C,Ic),并针对多个样品得到多组数据对,然后根据单变量定标方法拟合出定标曲线,定标曲线的横轴是C元素质量浓度,纵轴是Ic,所得定标曲线的拟合优度为0.92。
4)对待测煤炭样品中C元素质量浓度进行检测时,首先运用步骤1)和步骤2)的方法进行处理,得到C元素的特征谱线强度,然后利用步骤3)的定标曲线读出待测煤炭样品中C元素的浓度。
为了验证方法的准确性,当使用各元素质量浓度分别为C 78.98%,H 4.95%,N 1.38%的煤样作为待测样品,经过检测后得到其碳元素的质量浓度是77.32%,测量相对误差为2.1%,可见这种方法精度较高,可以符合生产需要。
本发明的工作原理为:
激光诱导击穿光谱技术是指当强脉冲激光经过聚焦照射到样品上时,样品会在瞬间被气化成高温、高密度的等离子体,处于激发态的等离子体会对外释放出不同的射线。等离子体发射光谱谱线对应的波长和强度分别反映所测对象中的组成元素和其浓度大小。该技术具有高检测灵敏度,而且成本较低,可以同时对多种元素进行分析等优点。
气溶胶的作用是本专利的一个出发点。在气溶胶环境下,粒子能够充分蒸发,降低机体效应的影响;另外,粒子与等离子体的相互作用在等离子的演化过程中占主导地位,而激光直接与样品粒子的相互作用很少,如果在纯的气体环境下,等离子体内的主要成分将是气体组分。因此,制作与样品组分完全相同的气溶胶环境,有利于增加等离子体中的样品含量,增强待测元素的LIBS信号,从而减小测量的相对标准偏差(RSD),增强实验的重复性。
分光法的优点是在相同的激光能量下,调整激光入射角度,降低等离子体屏蔽作用,起到增加样品烧蚀质量的效果。一般认为,等离子体在扩散过程中,在垂直于样品表面的方向上,等离子与粒子的相互作用最强,产生的电子密度更高,结合本发明的坑洞或者腔体的空间限制作用后,等离子体在垂直表面的方向上能量更加集中,电子密度也进一步增加;为了降低等离子体屏蔽作用,本发明采用分光法,将入射激光分为两束,与垂直表面的法线方向呈一定角度射到样品表面,在同样的激光能量下,可以有更多的能量与样品表面发生作用,提高能量的利用率,增加烧蚀质量,从而降低激光诱导击穿光谱技术测量的不确定度。
Claims (1)
1.基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法,其特征是该方法包括如下步骤:
1)将样品中欲测量的元素定为目标元素;以目标元素质量浓度已知的一组样品作为定标样品,首先利用压片机将定标样品压制成型,然后在定标样品紧贴表面的上方形成一层与定标样品成分完全相同的气溶胶;
所述在定标样品紧贴表面的上方形成一层与定标样品成分完全相同的气溶胶的方法包括以下两种:
第一:对任意一种定标样品或者待测样品,首先利用压片机将所述样品压制成型,再取另一部分研磨成亚微米级颗粒,与保护气体混合均匀形成气溶胶,然后通过喷嘴将气溶胶喷射到已经压制成型的定标样品或者待测样品表面上方;所述的保护气体为空气、氮气或惰性气体;
第二:对任意一种定标样品或者待测样品,首先利用压片机将所述样品压制成型,置于有进气口和出气口的容器中,再取另一部分研磨成亚微米级颗粒,均匀撒布于已经压制成型的定标样品或者待测样品表面,控制保护气体的流量,使得容器中形成比较稳定的气溶胶;
2)利用激光诱导击穿光谱系统进行检测:以脉冲激光器(1)为激发光源,从激光器出射的激光首先经过分光镜(2)分为两束激光,通过反射镜(10)的反射,使得两束激光的入射方向与样品表面的法线方向呈0°~90°的夹角,两束激光均经过聚焦透镜(3)聚焦后作用于定标样品(4)的表面或者表面下方,在聚焦点产生等离子体,等离子体产生的辐射光信号被采集透镜(5)所收集,通过光纤(6)并经过光谱仪(7)处理后转化成电信号而被计算机(8)采集,得到定标样品的特征光谱图,从特征光谱图中得到目标元素的特征谱线强度Ic;
3)用定标样品中目标元素的特性谱线强度Ic与目标元素质量浓度C组成数据对(C,Ic),并针对多个样品得到多组数据对,然后根据单变量定标方法拟合出定标曲线,定标曲线的横轴是C元素质量浓度,纵轴是Ic;
4)对目标元素质量浓度未知的待测样品进行检测时,首先按照步骤1)和步骤2)所述的方法对待测样品进行处理,得到待测样品中目标元素的特征谱线强度I′c,然后代入步骤3)中得到的定标曲线,求出待测样品中目标元素的浓度C′。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110210361.5A CN102262075B (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法 |
EP11858912.6A EP2677301B1 (en) | 2011-02-18 | 2011-08-30 | Method and system for improving precision of element measurement based on laser-induced breakdown spectroscopy |
PCT/CN2011/079129 WO2012109892A1 (zh) | 2011-02-18 | 2011-08-30 | 基于激光诱导击穿光谱提高元素测量精度的方法和系统 |
US14/000,356 US9121756B2 (en) | 2011-02-18 | 2011-08-30 | Method and system for improving precision of element measurement based on laser-induced breakdown spectroscopy |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110210361.5A CN102262075B (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102262075A CN102262075A (zh) | 2011-11-30 |
CN102262075B true CN102262075B (zh) | 2013-10-30 |
Family
ID=45008786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110210361.5A Active CN102262075B (zh) | 2011-02-18 | 2011-07-26 | 基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102262075B (zh) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102788772B (zh) * | 2012-07-13 | 2014-07-16 | 国电燃料有限公司 | 基于双脉冲激光的粉状物质元素含量测量方法 |
CN102788771B (zh) * | 2012-07-13 | 2014-07-16 | 国电燃料有限公司 | 基于激光诱导击穿光谱的粉状物质元素含量测量方法 |
CN103123320B (zh) * | 2012-11-27 | 2015-06-17 | 四川大学 | 基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析方法及实施装置 |
CN103063623A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-04-24 | 清华大学 | 一种提高激光诱导击穿光谱元素测量精度的方法 |
CN103616351A (zh) * | 2013-11-26 | 2014-03-05 | 中国科学院广州地球化学研究所 | 激光诱导击穿光谱分析仪和方法 |
CN104374752B (zh) * | 2014-11-17 | 2017-01-11 | 浙江大学 | 基于共线激光诱导击穿光谱的作物营养元素快速检测方法 |
CN105784682B (zh) * | 2016-05-10 | 2019-02-15 | 中国科学院光电研究院 | 一种激光诱导击穿光谱检测装置及检测方法 |
CN106645375B (zh) * | 2016-12-29 | 2019-05-10 | 华中科技大学 | 一种克服激光诱导击穿光谱中基体干扰的元素分析方法 |
CN110582155A (zh) * | 2018-06-08 | 2019-12-17 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 等离子体启辉的检测装置及方法、工艺腔室 |
CN109100334A (zh) * | 2018-07-06 | 2018-12-28 | 南京理工大学 | 一种检测稻谷中重金属元素含量的装置 |
CN109142239A (zh) * | 2018-07-23 | 2019-01-04 | 合肥金星机电科技发展有限公司 | 冰铜倒渣控制系统 |
CN110296974A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-10-01 | 钇斯特激光科技(天津)有限责任公司 | 定量libs激光系统及定量方法 |
CN113310969A (zh) * | 2021-04-22 | 2021-08-27 | 清华大学 | 一种基于时间调制改善激光诱导击穿光谱可重复性的方法 |
CN113310861B (zh) * | 2021-05-28 | 2022-05-17 | 中国矿业大学 | 基于电火花诱导击穿光谱的粉尘成分检测装置及方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5781289A (en) * | 1996-11-05 | 1998-07-14 | Sabsabi; Mohamad | Method and apparatus for rapid in situ analysis of preselected components of homogeneous solid compositions, especially pharmaceutical compositions |
CN101915753A (zh) * | 2010-07-30 | 2010-12-15 | 浙江师范大学 | 基于遗传神经网络的激光诱导击穿光谱定量分析方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6741345B2 (en) * | 2001-02-08 | 2004-05-25 | National Research Council Of Canada | Method and apparatus for in-process liquid analysis by laser induced plasma spectroscopy |
US7113277B2 (en) * | 2003-05-14 | 2006-09-26 | Lockheed Martin Corporation | System and method of aerosolized agent capture and detection |
KR101211024B1 (ko) * | 2007-06-27 | 2012-12-11 | 광주과학기술원 | 입자집속관을 구비하는 레이저 유도 플라즈마 분광분석장치 |
-
2011
- 2011-07-26 CN CN201110210361.5A patent/CN102262075B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5781289A (en) * | 1996-11-05 | 1998-07-14 | Sabsabi; Mohamad | Method and apparatus for rapid in situ analysis of preselected components of homogeneous solid compositions, especially pharmaceutical compositions |
CN101915753A (zh) * | 2010-07-30 | 2010-12-15 | 浙江师范大学 | 基于遗传神经网络的激光诱导击穿光谱定量分析方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
LIBS技术在土壤重金属污染快速测量中的应用;王建伟,等;《化学进展》;20080824;第20卷(第7/8期);第1166-1170页 * |
王建伟,等.LIBS技术在土壤重金属污染快速测量中的应用.《化学进展》.2008,第20卷(第7/8期), |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102262075A (zh) | 2011-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102262075B (zh) | 基于分光法的激光诱导击穿光谱测量元素浓度的方法 | |
CN102788771B (zh) | 基于激光诱导击穿光谱的粉状物质元素含量测量方法 | |
CN103175808B (zh) | 激光诱导击穿光谱分析系统及其方法 | |
CN102798625B (zh) | 粉状物质元素含量的激光诱导击穿光谱测量方法 | |
CN101949852B (zh) | 一种基于光谱标准化的煤质在线检测方法 | |
CN102507512A (zh) | 一种红外紫外双脉冲激光诱导击穿光谱在线原位检测方法 | |
JP6044045B2 (ja) | 固体元素の高分解能マッピングおよび分析装置 | |
WO2012005775A1 (en) | Laser induced breakdown spetroscopy instrumentation for real-time elemental analysis | |
CN105718749B (zh) | 一种基于大数据库辨识的煤质特性分析方法 | |
CN102590157B (zh) | 元素光谱分析方法及采用该方法的激光元素勘探设备 | |
CN103954593A (zh) | 基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置 | |
CN108169092B (zh) | 大气颗粒物重金属及其同位素在线探测装置及其方法 | |
CN105241851A (zh) | 基于激光诱导击穿光谱技术的固体粉末在线检测装置 | |
Zhao et al. | Review of methodological and experimental LIBS techniques for coal analysis and their application in power plants in China | |
CN104931474A (zh) | 水泥生料品质在线激光检测装置及方法 | |
CN103792215A (zh) | 一种快速测量钢铁中碳元素含量的方法 | |
CN202351175U (zh) | 红外紫外双脉冲激光诱导击穿光谱在线原位检测装置 | |
CN111239072A (zh) | 一种精确测量燃烧气体温度的方法 | |
CN101545862B (zh) | 一种检测空气中悬浮铅含量的装置 | |
CN103063622B (zh) | 便携式快速元素成分分析仪 | |
CN103543131B (zh) | 一种基于双脉冲和空间限制作用提高元素测量精度的方法 | |
CN109001182A (zh) | 封闭容器中酒精含量的拉曼光谱无损测定方法 | |
CN109387482A (zh) | 同位素测量装置 | |
CN113189125A (zh) | 一种xrf辅助libs的煤炭发热量高重复性检测方法 | |
CN111289497B (zh) | 一种瞬稳态激光诱导击穿光谱检测系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |