CN102248287A - 调节激光头的方法和设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及调节激光头的射束轴线的方法以及用于此目的的设备。特别地，本发明涉及允许自动处理调节的方法和设备。根据本发明的方法包括步骤：将激光头(3)引入安装件(8)中；确定射束轴线(2)的设置/实际偏移；确定减小这种偏移所需的运动(6A和/或6B)；以及通过驱动所述调节装置(4)以产生这些调节运动(6A和/或6B)、并且将所述调节运动(6A和/或6B)通过所述调节杆(7)的所述两臂(7A、7B)传送到放置在安装件(8)中的所述激光头(3)，调节所述射束轴线(2)。优选地，通过使用根据本发明的设备(1)执行根据本发明的方法，设备(1)包括用于所述激光头(3)的安装件(8)；调节装置(4)，包括用于调节所述射束轴线(2)的至少一个调节单元(5A、5B)；以及调节杆(7)。

Description

调节激光头的方法和设备

技术领域

本发明涉及调节激光头的射束轴线的方法以及用于此目的的设备。特别地，本发明涉及允许自动处理调节的方法和设备。

背景技术

对于激光可加工材料，常常需要准确定位激光头的射束轴线，以使焦点保持在预定位置。在激光头最初安装后，焦点距这个设定位置的偏移的范围通常分别是该设定位置周围±150微米的区域或该设定位置周围±150微米半径的区域。因此，对于激光头或与其相连的射束引导装置的不可避免的制造公差的补偿来说，射束轴线的调节往往是必要的。此外，如果这种激光头必须卸载或更换(例如为了维护)，那么安装后必须重新调节。还有可能的是，射束轴线的位置在工作过程中也发生改变，例如由于设置处理或温度变化。在这种情况下，生产设备必须停止，直至重新调节后射束轴线再次具有它的设定位置。

已知的系统使用铰链连接的激光头，为此激光头通过螺钉固定至安装件，安装件支撑(可选择地若干个)激光头。然而，这种支撑的缺点在于在没有过多努力的情况下很难将它们设计成永久完全地自由活动。由于使用螺钉，特别是存在几个平行使用的激光头的情况下，即使只有一个激光头需要更换时，也必须卸除整个安装件。如果所有激光头应排列在一起，例如排列成一排时，那么这种调节必须在放置于生产设备的外部的单独的调节平台上进行。

发明内容

因此，本发明的目的是允许简单且快速地更换已调节的激光头，而不需要在安装后重新调节激光头。而且，本发明的目的是在生产设备的工作过程中在不拆卸激光头的情况下允许对激光头的后调节。此外，本发明的目的是以可能的最少努力来支持激光头永久地自由移动。

通过权利要求1的方法以及权利要求8或16的设备分别解决这个目的。在从属权利要求、说明书以及附图中提及了有利的实施方式。

根据本发明，通过使用设备执行调节激光头的射束轴线的方法，所述设备包括用于所述激光头的安装件；调节装置，包括用于调节所述射束轴线的至少一个调节单元；以及调节杆，其纵向延伸被固体铰链分成两个功能臂，其中，所述安装件和所述调节装置设置在所述调节杆的相反臂上，并且所述至少一个调节单元具有不同于所述射束轴线的调节轴线。下面将详细描述这种设备。根据本发明的方法包括以下步骤：

(a)将所述激光头引入所述安装件中；

(b)确定所述激光头的所述射束轴线的设置/实际偏移；

(c)确定减小这种偏移所需的运动；

(d)通过驱动所述调节装置以产生这些调节运动、并且将所述调节运动通过所述调节杆的所述两臂传送到放置在安装件中的所述激光头，对准所述射束轴线。

显然，在执行与调节射束轴线相关的处理步骤(a)至(d)之前，根据步骤(a)，激光头必须被插入根据本发明的设备中。还显然的是，在激光头已经放置在设备中的情况下(例如这种装备的设备是以预安装但尚未调节的方式提供的)，这是可以省略的。

步骤(b)中待执行的实际/设置偏移是由预设的设置值和必须通过测量确定的实际值之间的位置差引起的。例如，实际值可以是射束轴线的角度。然而，优选地，它是表示射束轴线与处理平面的交叉点的位置的X-值或X-Y-值，其中，处理平面被限定为在这个平面中激光射束在工作期间击中激光可加工材料。

只要设备的相应部件的几何形状和激光头之间的距离是已知的(通常情况也是如此)，就可以通过多种方法优选地进行射束轴线位置的确定。此外，如步骤(c)中所提及的，相应补偿运动的确定优选地发生多次。

可选地，这种确定也可以根据实验手册进行。

如果设置/实际偏移和减小该偏移所需的调节运动是已知的，那么根据步骤(d)，驱动调节装置以产生这些调节运动。在对根据本发明的设备的描述中，将详细描述调节装置。

最终，调节运动被传送到激光头，激光头通过杠杆机制放置在安装件中，杠杆机制是由调节杆的两个臂形成的并且优选地是减少的(reduction)，从而实现激光头射束轴线的调节。根据本发明，两个杠杆臂都是由限定旋转区域的固体铰链形成的。通过使用固体铰链，确保了杠杆机制的永久无反冲工作。激光头的安装件特别优选地设计成快速更换机制。因此，简单且快速地更换已调节的激光头是可能的。

根据本发明，存在两个优选实施方式，根据这两个优选实施方式进行设置/实际确定。

根据第一优选实施方式，为此，执行以下步骤：

(b1)将激光可加工材料引入处理平面，所述处理平面垂直于所述激光头的所述射束轴线放置；

(b2)驱动激光头使得标记出现在射束轴线与处理平面的交叉点处的所述激光可加工材料上；

(b3)确定所述标记的实际位置；

(b4)确定所述实际位置与设置位置的所述偏移。

换句话说，将利用激光束可改变的材料带入到安装有根据本发明的设备的生产设备中。通过“测试处理”产生标记，在工作期间，该标记对应于激光头的焦点。通过对标记位置的手动或自动记录以及随后与设置值的比较，可以确定需要哪些调节动作来将有效地实现的期望设置值与实际值相关联。

根据另一优选实施方式，为了设置/实际确定而执行以下步骤：

(b1)将光学测量装置引入处理平面，所述处理平面垂直于所述激光头的所述射束轴线放置；

(b2)驱动激光头使得在射束轴线与处理平面的交叉点处，所述交叉点的实际位置的信号出现在光学测量装置中；

(b3)确定所述实际位置与设置位置的所述偏移。

因此，根据这个实施方式，没有产生标记，但是测量是通过照射相应的光学测量装置进行的，而没有绕道经由激光可加工材料。因此，可选择地，需要降低激光功率、将滤波器引入光路、或使用低功率导向射束从而不损害光学测量装置。然后，只要光学测量装置的测量区域处于处理平面中，测量信号就直接与焦点的实际位置相关。这个实施方式的特别优势是电信号立即呈现。因此，可以以简单的方式建立控制电路，其包括光学测量装置、可选的控制单元、以及调节装置。

进一步特别优选的是，在随后的步骤中，确定实际位置和设置位置之间的偏移是否小于预设限制，并且随后频繁地执行所有步骤，直至该偏移达到所述限制或低于所述限制。每次迭代后，检查剩余偏差是否低于预设限制，并且只有在低于所述限制时才退出重复循环。显然，上述将激光头引入安装件的步骤(a)必须只发生一次，即在执行剩余步骤之前。

在使用光学测量装置的优选情况下，这种迭代调节几乎是实时发生的，因为可连续地测量、计算和调节。

如前所述，特别优选的是，确定减小所述偏移所需的运动、和/或驱动所述调节装置(4)、可选地以及确定所述设置/实际偏移的都是自动发生的。根据激光可加工材料被标记的实施方式，以及根据直接照射光学测量装置的实施方式，这种自动化都是可能的。然而，在第一种情况下，也必须为此提供光学测量装置。然而，光学测量装置不被直接照射，而是以时移的方式记录上述交叉点的位置，即，在激光可加工材料离开激光作用的范围之后进行记录。对此特别合适的是测量相机(例如行扫描照相机)与数字图像处理相结合。

可以提供两个可选方案来调节激光头的射束轴线。

根据一个实施方式，射束轴线的调节发生在将激光头安装到生产设备之前。这在多个已调节的激光头必须保持就绪从而使生产设备的停机时间尽可能短、并且激光头的调节至少部分地手动进行的情况下特别具有优势。

根据另一实施方式，射束轴线的调节发生在将激光头安装到生产设备之后。特别地，在自动调节的情况下，几乎不会有时间上的劣势。

此外，在执行初始调节后，可能需要重新调节射束轴线。因此，根据进一步实施方式，射束轴线的调节发生在生产设备的工作期间。这意味着，上述交叉点或焦点的位置被间歇地或连续地监测，必要时，对其立即校正。

特别优选的是，射束轴线的调节发生在激光可加工材料的运送期间，并且标记是线状的。另外，在这种情况下，可以使用能够被直接照射的光学测量装置，然而，该光学测量装置只在两个相邻材料部分的缺口出现时才传递信号。如果将要对焦点的位置进行连续地监测，或者如果例如生产设备中存在连续材料，那么上述光学测量装置特别适合这种情况下时移地确定实际位置。

本发明还公开了用于调节激光头的射束轴线的设备。根据本发明，这个设备包括用于激光头的安装件；调节装置，其包括用于调节射束轴线的至少一个调节单元；以及调节杆。下面，更精确地描述设备的这些组件。

激光头的安装件用于将激光头固定至根据本发明的设备。相比之下，激光头本身不是设备的组件，但是在功能上指定为设备的组件。

根据本发明，根据本发明的设备包括用于调节射束轴线的至少一个调节单元。利用调节装置，在至少一个调节轴线的方向上产生调节运动。根据本发明，所述至少一个调节轴线不同于射束轴线。这意味着，这些轴线彼此都不共线。

该设备进一步包括调节杆，调节装置位于调节杆的一端，激光头的安装件放置在调节杆的另一端。调节杆的纵向延伸被固体铰链分成两个功能臂。固体铰链限定了旋转区域。因此，安装件和调节装置放置在调节杆的相反臂上。当射束轴线近似垂直时，然后，通过限定，射束轴线的一端位于调节杆的上部区域，并且射束轴线的另一端位于调节杆的下部区域。然而，自然地，利用例如水平的射束轴线的工作也是可能的，使得射束轴线的两端例如位于左手侧和右手侧。此外，调节杆也可以不表现出纵向延伸。唯一至关重要的是，它可以被分为两个杠杆臂，这两个杠杆臂分别由固体铰链或它的旋转区域限定。

由于根据限定的调节杆必须表现出杠杆作用，所以调节杆需要支点。根据本发明，固体铰链用作支点，其位于调节杆的自第一臂到第二臂的过渡位置，如前面已经提到的。通过使用固体铰链代替例如转向节，提供了永久完全无反冲的铰链。而且，这种铰链容易制造，因为它不包含任何移动部件。这导致的进一步优势是：与固体铰链相关的调节杆的预张力允许删去缓冲弹簧，缓冲弹簧用于抵抗调节运动以保持相同的自由活动。根据固体铰链的具体设计，实际的接头功能集中在精确限定的点(支点)，或者分布在固体接头的较大区域上(旋转区域)。然而，不管如何，将调节动作应用到调节杆的一端导致了放置在另一端的激光头的安装件的位置变化。本文中，支点或旋转区域的精确位置是次要的，只要它是可复制的。固体铰链的形状可以是细长的、弯曲的或螺旋形的。它的横截面可以是例如圆形或矩形的，并且它可以沿纵向延伸具有不同的形状。

根据优选的实施方式，调节轴线以及射束轴线相互垂直设置。这意味着，可选地，三个轴线与直角坐标系的三个空间方向相匹配。如果除此以外，满足两个调节动作之一指向或者反向待处理对象的线性传输方向，那么可特别简单地确定减少已知设置/实际偏差所需的调节动作。

根据调节动作，固体铰链被弯曲和/或扭曲。因此，固体铰链也可以称为弯曲扭转铰链。因此，根据优选的实施方式，由弯曲扭转铰链形成固体铰链，弯曲扭转铰链利用其一端牢牢地固定至调节杆7，并且可利用其另一端11B固定至拱座。固体铰链可以螺钉旋拧、焊接、或粘接至调节杆，并且它可以由与调节杆相同的材料或其他材料组成。而且，它可以与调节杆形成一体。

由于根据本发明优选的固体铰链是线状或弯曲杆状，所以没有与调节杆连接的端部必须用作供座，从而可以提供根据本发明所需的铰链功能。为此，这个端部以这种方式连接生产设备的一部分，使得它被不可移动地固定。相反，另一端部可以在某些边界中与调节杆一起自由摆动。

在特别优选的实施方式中，激光头的安装件被设计成快换紧固件。为此，各种结构是可能的。特别优选的是，这种快换紧固件包括突出物和锁定机制，突出物在调节杆的下端部沿激光头方向延伸并且提供限定的位置边缘，锁定机制沿调节杆的纵向方向是可移动的并且可以固定至调节杆。在对进行参考的附图的描述中，给出动作的确切模式。

在某些情况下，可能需要向激光头传送液体和/或气体介质(诸如磷酸或氦气)。因此，根据特别优选的实施方式，固体铰链或弯曲扭转铰链具有至少一个介质通道。这个介质通道具有适合的流体接口，其允许介质无损地传递进入介质通道，并且无损地传递出介质通道。这种结构的重要优势在于，当更换激光头时，不需要额外的步骤来接合相应的介质源。由此导致更换时更快、更安全的程序。

为了确保调节单元的可调节性，至少一个调节单元包括滚花螺钉和/或机动化的驱动，其中机动化的驱动是优选的，因为这使得调节处理能够自动进行。

根据进一步的实施方式，调节装置只包括一个具有偏心马达的调节单元。调节装置以这种方式放置在调节杆的一端并且与其相互作用，从而通过翻滚运动使调节运动与传输方向相同或相反、与传输方向成对角、以及以这些方向的组合方向成为可能。

根据进一步的实施方式，旋转区域以这种方式放置，即，使得在调节装置和激光头的射束轴线与处理平面的交叉点之间可实现10∶1的杠杆。由此减小对激光头运动的调节运动。必须遵循的是，杠杆作用与调节杆双臂的长度比无关，但是第二(下)臂的长度由旋转区域距实际处理平面的距离取代。根据调节所需的精度，杠杆也可以比10∶1更小或更大。

为了使调节过程能够自动进行并且提高精度，根据特别优选的实施方式，根据本发明的设备进一步包括用于确定激光头调整的光学测量装置，和/或用于驱动和可选地控制调节装置的控制单元。如上所述，这种光学测量装置可适于利用激光射束直接照射，或用于时移地记录由射束产生的标记。在一个设备中两个变体的组合也是可以的。以这种方式，通过与控制单元相互作用，可以为调节装置构建控制电路，其允许对激光头的射束轴线进行主要自动的调节。

本发明进一步公开了用于在太阳能电池上生成选择性发射极路径的生产设备的多激光块。这种多激光块用于将若干个激光头及其调节装置集中到容易操作的单元中。因此，根据本发明的多激光块包括多个邻接放置的如上限定的设备，其中，这些设备中的每一个都能够单独对准。以这种方式，激光头中的每一个都可以在不将其从生产设备拆卸的情况下以及在不延长生产设备停机时间的情况下进行调节。

根据本发明的方法和设备相比于现有技术具有多个优势。通过使用固体铰链来代替普通的接头，提供了永久完全无反冲的铰链。它固有的预张力允许省略调节单元的区域中的缓冲弹簧。通过使用快换紧固件，可以快速更换单一激光头。通过在调节杆上提供相应的位置边缘以及与紧固件相互作用的激光头的相应几何特征，在安装之后不必重新调节激光头。通过优选地自动调节以及与光学测量装置相结合，即使在连续操作过程中，也可实现对激光头的射束轴线的后调节。

附图说明

图1示出了根据本发明的具有多个设备的多激光块。

图2示出了根据本发明的设备上的能够手动操作的滚花螺钉详细视图。

图3示出了通过使用根据本发明的设备可实现的不同的射束轴线。

图4示出了根据本发明具有两个内部介质通道的设备的弯曲扭转铰链。

具体实施方式

为了更加形象化，如图1所示的组件中的一个单独设备被图示为稍稍深一些。

在设备1的上部区域中，放置了调节装置4。设备1的上部区域还包括两个调节单元5A、5B，其被设计为滚花螺钉。滚花螺钉位于调节杆7的上端部。激光头3放置在调节杆7的下端部。激光头3通过安装件8可拆卸地固定至调节杆7，安装件8被设计为快换紧固件。快换紧固件主要由突出物9A和锁定机制9B组成，突出物9A在调节杆7的下端部沿激光头3的方向延伸并且提供了限定的位置边缘，锁定机制9B沿调节杆7的纵向方向是可移动的并且可以固定至调节杆7。首先，将激光头3与突出物9A接合，用于将激光头3安装至多激光块。然后，调节激光头3使得激光头3的后壁平靠调节杆7。随后，将锁定机制9B在激光头3的方向沿着调节杆7的纵向方向移动，直到激光头3被锁定机制9B夹紧从而固定至调节杆7。为此，锁定机制9B包括钳制突出物9C，其与激光头3的上部边缘相互作用。最后，将锁定机制9B本身通过螺丝固定至调节杆7。以这种方式，可以简单且快速地更换单一激光头3，而不必重新调节其射束轴线2(点划线)。

固体铰链11放置在调节杆7A处，靠近调节杆7A的下端部，其实现旋转接头的功能。固体铰链11限定或包括旋转区域10。根据所描述的优选实施方式，固体铰链11由弯曲扭转铰链形成，或者固体铰链11由弯曲扭转铰链组成。弯曲扭转铰链11利用其一端11A牢牢地固定至调节杆7，并且可利用其另一端11B固定至拱座(abutment)。在描述的实施方式中，另一端11固定至供应块13，供应块13转而紧紧附接至周围的生产设备(未示出)，从而形成用于弯曲扭转铰链11以及与其相连的调节杆7的拱座。

贯穿旋转区域10并且垂直于调节杆7的纵轴放置的平面将调节杆7分为两臂，即第一臂7A和第二臂7B。这两臂7A和7B之间的杠杆的尺寸被设置为在调节装置4和与激光头3的射束轴线2与处理平面(未示出)的交叉点12对应的焦点之间设置10∶1的杠杆。旋转区域10不必精确地放置在在调节杆7的纵轴上或激光头3的射束轴线2上；如图所示，旋转区域10还可以设置于这些轴线的外面。因为激光头3固定至调节杆7的下部，所以第二臂7B的位置变化也对激光头3的位置产生直接影响，因此影响其射束轴线2。因此，放置在调节杆7的一端上的调节单元5A、5B的运动以10∶1的比例导致焦点12的位移，使得对第二臂7B的位置的微调以及由此对焦点12的位置的微调成为可能。通过调节杆7本身的材料产生调节所必需的预张力，在调节期间调节杆7本身是以受控的方式弯曲的。由于这个预张力，滚花螺钉不需要任何埋头螺母、缓冲弹簧等。

图2示出了根据本发明的设备1的细节视图。视图方向对应于图1的方向。通过转动调节单元5A，上端部可见的调节杆7在调节运动6A的方向上弯曲。调节力沿着调节轴线6A′作用。在基板(未示出)的运送沿着调节轴线6A′的方向发生的情况下，激光头的射束轴线(都未示出)可以改为这种运送方向或与这种运送方向相反。

然而，通过转动调节单元5B，调节杆7在调节运动6B的方向上弯曲，因此，与调节运动6A的方向成对角。调节力作用在调节轴线6B′的方向上。因此，激光头的射束轴线(都未示出)可以改为垂直于所述运送方向。通过这种方式，可以调节单个激光头的轨迹以及若干激光头彼此之间的横向距离。此外，在描述的实施方式中，调节轴线6A′、6B′以及射束轴线彼此垂直。因此，调节运动的特别简单的预计算是可能的，例如在自动控制的情况下，这是基于激光可加工材料上焦点的期望位置和实际位置之间设置/实际比较的。在未描述的可选实施方式中，滚花螺钉由机动化的驱动器代替。

在图3中，描述了调节不同射束轴线可能性，通过使用根据本发明的设备这些都是可实现的。图中示出了调节杆7、设计为弯曲扭转铰链并具有描绘为实心圆的旋转区域10的固体铰链11、用作拱座的供应块13、虚线轮廓的激光头3、以及也以虚线绘制的三个射束轴线2、2′、2″。通过操作调节装置(未示出)，垂直表示的射束轴线2可以分别变成相应的偏转射束轴线2′或2″。事实上，固体铰链11的旋转区域10既不位于三个射束轴线2、2′、2″的交叉点，也不在激光头3内；然而，如图所示，这并不是问题，因为通过倾斜如图3所示的在旋转区域10周围的激光头3也可以实现偏转射束轴线2′、2″。

图4示出了根据本发明的设备的弯曲扭转铰链11的特别优选实施方式的截面图的详细视图。弯曲扭转铰链11包括若干个(这里是两个)在其中延伸的介质通道14。介质通道14进一步贯穿供应块13，并且随后通过固体铰链11。介质通道14终止于调节杆7的支撑表面，该支撑表面是提供给以虚线轮廓表示的激光头3。然后，在介质通道内输送的介质被激光头接收。在那里，它们例如用于形成射束和/或处理支撑(都未示出)。

附图标记列表

1          设备

2          射束轴线

3          激光头

4          调节装置

5A、5B     调节单元

6A、6B     调节运动

6A′、6B′ 调节轴线

7          调节杆

7A         第一臂

7B         第二臂

8          安装件

9A         突出物

9B         锁定机制

9C         钳制突出物

10         支点

11         固体铰链、弯曲扭转铰链

11A        弯曲扭转铰链的一端

11B        弯曲扭转铰链的另一端

12         交叉点、焦点

13         供应块

14         介质通道

Claims (16)

1.一种通过使用设备(1)调节激光头(3)的射束轴线(2)的方法，所述设备(1)包括用于所述激光头(3)的安装件(8)，调节装置(4)，包括用于调节所述射束轴线(2)的至少一个调节单元(5A、5B)，以及调节杆(7)，所述调节杆的纵向延伸被固体铰链(11)分成两个功能臂(7A、7B)，其中，所述安装件(8)和所述调节装置(4)设置在所述调节杆(7)的相反臂(7A、7B)上，并且所述至少一个调节单元(5A、5B)具有不同于所述射束轴线(2)的调节轴线(6A′、6B′)，所述方法包括以下步骤：

(a)将所述激光头(3)引入所述安装件(8)中；

(b)确定所述激光头(3)的所述射束轴线(2)的设置/实际偏移；

(c)确定减小这种偏移所需的运动(6A和/或6B)；

(d)通过驱动所述调节装置(4)以产生这些调节运动(6A和/或6B)、并且将所述调节运动(6A和/或6B)通过所述调节杆(7)的所述两臂(7A、7B)传送到放置在安装件(8)中的所述激光头(3)，对准所述射束轴线(2)。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述设置/实际确定通过以下步骤发生：

(b1)将激光可加工材料引入处理平面，所述处理平面垂直于所述激光头(3)的所述射束轴线(2)放置；

(b2)驱动激光头(3)使得标记出现在射束轴线(2)与处理平面的交叉点(12)处的所述激光可加工材料上；

(b3)确定所述标记的实际位置；

(b4)确定所述实际位置与设置位置的所述偏移。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述设置/实际确定通过以下步骤发生：

(b1)将光学测量装置引入处理平面，所述处理平面垂直于所述激光头(3)的所述射束轴线(2)放置；

(b2)驱动激光头(3)使得在射束轴线(2)与处理平面的交叉点(12)处，所述交叉点的实际位置的信号出现在所述光学测量装置中；

(b3)确定所述实际位置与设置位置的所述偏移。

4.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，在随后步骤中，确定所述实际位置和所述设置位置之间的所述偏移是否小于预设限制，并且随后频繁地执行所有步骤，直至所述偏移达到所述限制或低于所述限制。

5.如任一前述权利要求所述的方法，其中，确定减小所述偏移所需的运动、和/或驱动所述调节装置(4)、可选地以及确定所述设置/实际偏移的都是自动发生的。

6.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，所述调节所述射束轴线(2)发生在将所述激光头(3)安装在生产设备之前或之后，和/或发生在生产设备工作期间。

7.如权利要求6所述的方法，其中，所述调节所述射束轴线(2)发生在激光可加工材料的运送期间，并且所述标记是线状的。

8.一种用于调节激光头(3)的射束轴线(2)的设备(1)，包括：

用于所述激光头(3)的安装件(8)；

调节装置(4)，包括用于调节所述射束轴线(2)的至少一个调节单元(5A、5B)；以及

调节杆(7)，其纵向延伸被固体铰链(11)分成两个功能臂(7A、7B)，

其中，所述安装件(8)和所述调节装置(4)设置在所述调节杆(7)的相反臂(7A、7B)上，并且

所述至少一个调节单元(5A、5B)具有不同于所述射束轴线(2)的调节轴线(6A′、6B′)。

9.如权利要求8所述的设备，其中，所述调节轴线(6A′、6B′)和所述射束轴线(2)彼此垂直。

10.如权利要求8或9所述的设备，其中，所述固体铰链(11)由弯曲扭转铰链形成，所述弯曲扭转铰链利用其一端(11A)牢牢地固定至所述调节杆(7)，并且能够利用其另一端(11B)固定至拱座。

11.如权利要求10所述的设备，其中，所述弯曲扭转铰链(11)具有至少一个介质通道(14)。

12.如权利要求8至11中任一项所述的设备，其中，所述至少一个调节单元(5A、5B)包括滚花螺钉和/或机动化的驱动器。

13.如权利要求12所述的设备，其中，所述调节装置(4)只包括一个具有偏心马达的调节单元(5A)。

14.如权利要求8至13中任一项所述的设备，其中，支点区域(10)被设置为使得在所述调节装置(4)和所述激光头(3)的所述射束轴线(2)与处理平面的交叉点(12)之间能够实现10∶1的杠杆比率。

15.如权利要求8至14中任一项所述的设备，进一步包括用于确定所述激光头(3)的方向的光学测量装置，和/或进一步包括用于驱动和可选地控制所述调节装置(4)的控制单元。

16.一种多激光块，用于在太阳能电池上产生选择性的发射极路径的生产设备，包括多个邻接放置的如权利要求8至15中任一项所限定的设备(1)，其中，这些设备(1)中的每一个都能够单独对准。

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