CN102245350A - 研磨装置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种研磨装置，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向所述研磨工具与所述被研磨物之间供给研磨液一边利用所述研磨工具研磨所述被研磨物，所述研磨装置的特征在于，具备：AE传感器，安装在支承所述研磨工具或所述被研磨物的板上；异常检测部，基于来自所述被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从所述AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常；及警告单元，当由所述异常检测部检测到所述被研磨物的异常时发出警告。

Description

研磨装置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法

技术领域

本发明涉及在加工玻璃板等时检测加工中的玻璃板等上产生的破裂等的异常的研磨装置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法。

背景技术

在玻璃板的制造工序中，对玻璃板实施切断、倒角、开孔、研磨、加热成形、风冷强化等各种加工。例如，用于LCD或OLED等平板显示器(FPD)的玻璃板由于其表面的微小的凹凸或弯曲成为影响图像的主要原因，而通过研磨装置对玻璃板的表面的一部分或整体进行研磨。

为了进行此种研磨，已知有一种研磨装置，其具备：保持并输送玻璃板的移动研磨头；及配置在该研磨头下方的多个研磨平台。根据该研磨装置，通过移动研磨头对玻璃板进行输送，并通过多个研磨平台依次对玻璃板进行研磨。

然而，在研磨装置对玻璃板的研磨中，玻璃板偶尔会发生破裂。这种情况下，当在玻璃板破裂的状态下继续进行研磨加工时，因破裂的玻璃片而对研磨垫造成损伤。然后，在生产工序中进行依次研磨多个玻璃板的连续的研磨时，会产生对后续的玻璃板带来坏影响这一不良情况。因此，希望提前检测玻璃板的破裂并迅速地使研磨装置停止。

在专利文献1中公开有一种检测研磨加工中的玻璃板的破裂的破裂检测装置。该玻璃破裂检测装置通过麦克风30收集研磨加工中产生的加工声音，并通过滤波器从收集到的加工声音中提取规定的频率(3kHz以上)的声波，关于该提取的声波，对当前的声波水平和距当前过去规定时间内的正常声波水平进行比较，从而判定玻璃板的破裂。

专利文献1：日本国特开2006-35343号公报

发明内容

然而，专利文献1的破裂检测装置通过声音来检测研磨加工中的玻璃板的破裂，只能检测玻璃板破裂成粉碎的状态下的声音，而无法检测破裂发生的初始阶段(裂纹等的微小破裂、缺陷)的声音。而且，容易受到周边的声音频率成分的噪声的影响。

玻璃板成为细片而破裂时，如上所述会对研磨垫造成损伤，且用于将其除去的清扫作业会花费几小时。因此，由于复原作业所需的时间、生产工序中的研磨作业发生中断，因此存在运转率下降的缺点。

需要说明的是，由于在破裂发生的初始阶段产生的极小的声音被研磨装置周边的噪音所覆盖，因此几乎无法检测。而且，即使监视员总是监视研磨加工中的玻璃板，监视员也不可能通过耳朵与周围的声波水平区分开地直接听到该声音来检测研磨中的玻璃板的破裂。

本发明鉴于此种情况而作出，其目的在于提供一种通过检测研磨中的被研磨物的破裂等的异常的发生的初始阶段，而能够缩减研磨工具的受损害或清扫作业等引起的中断时间，并抑制不需要的损失时间的发生的研磨装置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法。

即，本发明提供一种研磨装置，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向研磨工具与被研磨物之间供给研磨液一边利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨装置的特征在于，具备：AE传感器，安装在支承研磨工具或被研磨物的板上；异常检测部，基于来自被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常；及警告单元，当由所述异常检测部检测到被研磨物的异常时发出警告。

另外，本发明提供一种研磨方法，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向研磨工具与被研磨物之间供给研磨液一边利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨方法的特征在于，在支承研磨工具或被研磨物的板上安装AE传感器，异常检测部基于来自被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常，当由所述异常检测部检测到被研磨物的异常时，警告单元发出警告。

所述研磨工具是研磨垫且所述被研磨物是玻璃板时，例如适合于LCD或OLED用的母玻璃基板的研磨。

另外，当所述研磨工具是修整砂轮且所述被研磨物是研磨垫时，适合于研磨垫的修整作业。

另外，本发明提供一种使用上述的研磨方法来进行玻璃板的加工的玻璃板的制造方法。

在本发明中，从研磨中的玻璃板或修整中的研磨垫产生的弹性波通过研磨液中而总是被AE(acoustic emission：声发射)传感器检测到，该信息总是输出至异常检测部。异常检测部中预先设定有确认玻璃板产生了裂纹等微小破裂、缺陷的阈值和研磨垫的适当修整效率阈值。当在研磨中来自AE传感器的输出值超过所述阈值时，即，异常检测部检测到玻璃板产生了裂纹等微小破裂、缺陷时，或者，在修整中来自AE传感器的输出值低于所述阈值时，警告单元发出警告。

并且，玻璃研磨中，在发出警告的同时，控制部使研磨装置停止。由此，能够检测修整效率下降等的异常发生和玻璃板的破裂的初始阶段，因此能够在玻璃板破碎成粉碎之前检测到玻璃板的破裂并使研磨装置停止。由此，根据本发明，能够将研磨垫的受损害或清扫作业等引起的中断时间抑制成最小限度。或者不用通过手工进行异常检测后的处理，而能够使用机械装置及计算机控制而实现大致自动化。

在玻璃板的研磨工序中，研磨垫和玻璃板进行相对复杂的旋转/滑动动作，总是产生大的机械振动并进行连续运转。而且，来自电动机或电源系统的电磁波噪声的产生也存在于工序附近。因此，本发明中的AE传感器能够检测到玻璃板的通常的研磨中产生的低水平的弹性波或不可避免的噪声成分。在此种环境下，将正常状态下的弹性波检测作为玻璃板的破裂的情况并判断为发生异常的情况有可能会胡乱地干扰研磨工序。

因此，在本发明中，基于实验值或经验值来设定所述阈值。还具有根据指定的范围的过去实际最大值，将该最大值加上某加法值后得到的值作为阈值的自动阈值调整功能，并能够选择采用哪个阈值。将检测到超过所选择的阈值的信号成分的情况判定为“异常”。在图3的事例中，将1.000V设定为阈值。当研磨装置稳定地正常运转时，以使其噪声水平成为0.1V以下的方式设定检测回路的耐噪声设计、信号放大率等。

在本发明中，在研磨中的玻璃板产生裂纹等微小破裂、缺陷时，对所述玻璃板进行瞬时检测并使研磨装置暂时停止，这种情况具有意义。在以往的方式中，无法忽视研磨头、研磨垫的清扫作业花费的时间。然而，根据本发明，由于玻璃板未破碎，因此该清扫作业花费的时间短，在几十分钟以内就足够。由此，能够大幅度地缩短生产工序中的研磨装置的中断时间。在本发明中，微小破裂等是指例如图8所示，在大型的母玻璃基板的极小部分少量产生几cm～几10cm以内的裂纹或贯通玻璃板的表里那样的短裂纹的状态。

此外，在本发明中，在将所述研磨垫保持于研磨平台上的板上安装有AE传感器。由此，AE传感器能够可靠地检测研磨中产生的弹性波。而且，在研磨装置中，使用水或浆液作为研磨液，因此使AE传感器的被绝缘的检测面以外的金属部分与由研磨平台保持的板进行物理接触或经由水或浆液进行电接触时，存在电噪声进入AE传感器而无法判别微小水平的异常信号的可能性。因此，优选在AE传感器上安装用于防水及绝缘的树脂制(绝缘性)的罩盖。

另外，不是将AE传感器的检测面直接安装在板上，从所述防水的观点出发，优选经由与AE传感器的检测面相接并覆盖大致整体的金属制的罩盖而安装在板上。此时，从提高微小水平的异常发生的检测精度的观点出发，而设置将AE传感器的检测面按压到所述金属制的罩盖上的弹簧等施力单元。

在本发明中，优选在通过所述异常检测部检测到玻璃板的破裂后，使所述玻璃板的研磨装置停止。该流程图如图7所示。即，设置玻璃板的破裂检测装置(S1)，开始玻璃板的加工(S2)，并在检测到玻璃板的微小水平的破裂时使研磨装置停止(S3)，进行研磨部件的检查(S4)，使研磨装置复原(S5)。

例如，构成为，由异常检测部检测到玻璃板的破裂发生的初始阶段时，集中控制研磨装置整体的控制部使研磨装置停止即可。由此，不需要监视员进行的研磨装置的监视这一人工作业。而且，在连续的研磨时，能够防止对其他玻璃板的影响，因此能分别提高玻璃板的品质、运转率及成品率。此外，使研磨装置停止时，优选使玻璃板与研磨头一起从研磨垫上升(退避)。由此，能够容易地从研磨头取出破裂发生的初始阶段的玻璃板。

在本发明中，所述AE传感器优选从浸透在所述研磨垫中的研磨液经由所述板而检测出来自玻璃板的弹性波。作为所述研磨液，在研磨玻璃板时优选使用含有氧化铈或二氧化硅的浆液，在修整研磨垫时优选使用水。

研磨垫通常为聚氨酯制，聚氨酯自身难以传递弹性波，但由于聚氨酯制的研磨垫中浸透有研磨液，因此能够通过AE传感器从该研磨液经由板可靠地检测出来自玻璃板的弹性波。作为研磨液的供给单元，优选为在研磨平台和板上形成多个研磨液供给孔并从这些研磨液供给孔向研磨垫供给研磨液的单元。由此，能够均匀地对研磨垫整体供给水或浆液。

在本发明中，AE传感器优选形成于板上，并安装在板的从研磨平台向侧方突出的突出片的下表面。

在从研磨平台向侧方突出的板的突出片的下表面上安装AE传感器时，能够防止旋转中的研磨头与AE传感器发生碰撞的情况。而且，作为AE传感器的安装位置，也可以在研磨平台的中央部形成贯通孔，并经由该贯通孔将AE传感器的检测面安装在板上。若如此在研磨平台的中央部安装AE传感器，则玻璃板的破裂位置与AE传感器之间的距离变短的情况较多，因此提高弹性波的检测灵敏度。

安装的AE传感器的数目根据玻璃板的尺寸适当决定即可。例如，优选对一边为3000mm×3000mm以上的玻璃板安装两个以上的AE传感器。

由于安装多个AE传感器时的AE传感器的安装位置提高检测灵敏度，因此优选相对于玻璃板大致均等地配置。例如，安装两个AE传感器时，优选隔着玻璃板将AE传感器对称安装。

在本发明中，从所述AE传感器向异常检测部输出的频带利用滤波器设定在100～200kHz的范围内。

在玻璃板的研磨装置的周边设有玻璃板的切断装置、倒角装置、输送装置、二次研磨装置等各种装置。需要排除来自这些装置的机械振动引起的小于100kHz的频率的弹性波。而且，需要排除电噪声引起的超过200kHz的频率的弹性波。

因此，在本发明中，设从AE传感器向异常检测部输出的频带的下限值为100kHz，因此能够防止所述机械振动的弹性波引起的误检测，而且，设上限值为200kHz，因此能够防止所述电噪声的弹性波引起的误检测。如此，通过选择作为对象的频带并设定规定的阈值，而能够实现与周围的噪声成分的区分。

需要说明的是，上限值越高，AE传感器的输出越衰减，因此不优选。而且，既可以在AE传感器自身内置滤波器，也可以将来自AE传感器的输出经由滤波器向异常检测部输出。作为滤波器，优选使用鉴别器。

[发明效果]

如以上说明所示，根据本发明，利用AE传感器来检测研磨中的被研磨物的破裂等的异常发生的初始阶段，因此能够将研磨工具、被研磨物的受损害或清扫等引起的中断时间抑制成最小限度。

其结果是，能够提高研磨工序中的连续运转，并改善生产工厂的效率。而且，能够在较早的阶段检测到微小水平的异常发生，因此能够预防研磨装置或研磨垫的破损，能够使装置的维护容易。

附图说明

图1是本发明的研磨装置的立体图。

图2是图1的研磨装置的主要部分放大剖视图。

图3是表示来自AE传感器的输出波形和阈值的波形图。

图4是AE传感器的放大立体图。

图5(A)是由树脂制罩盖覆盖的AE传感器的立体图，图5(B)是从下方观察到的金属制罩盖的立体图，图5(C)是从上方观察到的金属制罩盖的立体图。

图6是表示AE传感器的另一安装位置的研磨装置的局部剖视图。

图7是本发明的玻璃板的制造方法的流程图。

图8是表示玻璃板的微小水平的破裂的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的研磨装置及研磨方法以及玻璃板的制造方法的优选的实施方式。

图1是表示实施方式的研磨装置10的立体图。而且，图2是表示示出研磨装置10的主要部分结构的放大剖视图。

该研磨装置10是将制造成矩形形状的玻璃板G{例如，一边为2000×2200mm～2200×2600mm，厚度为0.7mm，FPD用途的由无碱玻璃系材料构成的利用浮法制造的研磨前的玻璃板(例如，AN100。)}研磨成液晶显示器用玻璃板所需的平面度的研磨装置。

其结构包括：研磨头16，经由片状的保持部件14在所述研磨头的下表面保持玻璃板G；及研磨平台22，经由铝制的板18在所述研磨平台的上表面保持研磨垫20。玻璃板G被具有自身吸附作用的由支承件等构成的保持部件14保持，并利用研磨头16将被研磨面A压紧到研磨垫20上，从而将被研磨面A研磨成需要的平面度。

在研磨中，如图2所示，使氧化铈水溶液等研磨液即浆液通过贯通研磨平台22和板18而形成的多个研磨液供给孔24、24…，从研磨垫20的下表面侧供给。由此，研磨垫20成为被浆液浸渍的状态，在该状态下研磨玻璃板G。研磨液供给孔24、24…密集且均匀地形成在研磨平台22和板18上。

因此，向研磨垫20均匀地供给浆液。需要说明的是，作为研磨垫20，例如使用发泡聚氨酯类型或起毛皮革类型的垫，并粘贴在板18上。

另外，在与作为被研磨物的玻璃板G的相对的关系中，研磨垫20可以为一个，但由于对应于玻璃板G的尺寸而其尺寸也增大，因此也可以将多个分割研磨垫组合而形成一个研磨垫20。

此外，在研磨平台22上贯通形成有多个吸引孔26、26…，这些吸引孔26、26…经由阀与未图示的抽吸泵连接。因此，通过打开所述阀，而将抽吸泵的吸引力向吸引孔26、26…传递，因此将板18吸附保持在研磨平台22的上表面。而且，通过关闭所述阀，而解除抽吸泵的吸引力，因此在研磨垫20的状态检查或更换时，能够从研磨平台22将研磨垫20与板18一起卸下。

如图1所示，在研磨头16的上部中央固定有主轴28，在该主轴28上连结有旋转/升降装置30。旋转/升降装置30通过对研磨装置10整体进行集中控制的控制部32而控制成适合于玻璃板G的研磨的转速及下降动作(按压力)。

另一方面，研磨装置10具备AE(acoustic emission：声发射)传感器34、异常检测部36及警报器(警告单元)38。AE传感器34为了良好地检测玻璃板G的初始阶段的破裂，而使用共振频率为140～150kHz的传感器。上述的共振频率优选设定在应检测的频带的大致中央附近。并且，该AE传感器34安装在板18上。而且，异常检测部36基于来自研磨中的玻璃板G的弹性波通过浆液而被AE传感器34检测到时从AE传感器34发出的输出信号，检测研磨中的玻璃板G的初始阶段的破裂。此外，警报器38由控制部32控制成当由异常检测部36检测到玻璃板G的初始阶段的破裂时发出警告。

然而，表示由AE传感器34检测到的弹性波的信号通过前置放大器40放大规定量，并通过后述的鉴别器42仅提取规定的频带的信号，利用PLC(Power Line Communication)等高速通信方式将该信号发送至异常检测部36。异常检测部36由装入有算法的CD-ROM等记录介质构成，该算法是用于判定研磨中发生的玻璃板G的初始破裂的算法。而且，向PLC传递信号的电缆44绕过变频调速电动机、动力线等容易成为噪声源的位置而配线。

另一方面，由研磨装置10对玻璃板G进行研磨中产生的弹性波总是通过浆液而被AE传感器34检测出，该信息总是输出至异常检测部36。在异常检测部36中预先设定有用于确认玻璃板G产生了裂纹等微小破裂、缺陷的阈值。

图3示出来自表示所述阈值(1V)的AE传感器34的输出信号。来自AE传感器34的输出值超过所述阈值(1V)时，即，异常检测部36检测到玻璃板G产生的裂纹等微小破裂、缺陷等的异常。接着，警报器38发出警告。在从警报器38发出警告的同时，通过控制部32自动地使研磨装置10立即停止。

由此，根据实施方式的研磨装置10，能够利用AE传感器34来检测玻璃板G的破裂发生的初始阶段，而且，此时自动地使研磨装置10立即停止，因此能够在玻璃板G破碎成粉碎之前检测到玻璃板G的破裂。由此，根据该研磨装置10，能够将研磨垫20的检查、清扫作业及更换作业等引起的中断时间抑制成最小限度。

需要说明的是，AE传感器34也对玻璃板G的通常的研磨中产生的低水平的弹性波进行检测，但连此种弹性波也判定为检测到破裂的弹性波的情况有可能会胡乱扰乱研磨工序。因此，在实施方式的研磨装置10中，将基于实验值或经验值的所述阈值(1V)或通过自动阈值调整功能算出的值设定作为阈值。

另外，即使在研磨中的玻璃板G上产生裂纹等微小破裂、缺陷的情况下，也需要使研磨装置10暂时停止，而对保持部件14、研磨头16、研磨垫20进行清洁。然而，一般玻璃板G突然破碎的情况少而微小水平的破裂或缺陷在最初产生的情况的概率高，因此该清扫作业和复原作业花费的时间在几十分钟内就足够。由此，能够大幅地缩短中断时间。

此外，在实施方式的研磨装置10中，在将研磨垫20保持于研磨平台22的板18上安装AE传感器34。由此，AE传感器34能够准确地检测研磨中产生的弹性波。

另外，在研磨装置10中，由于在玻璃板G的研磨时使用浆液，因此有可能会产生因板18与AE传感器34的除AE传感器检测面34A之外的部分的导通所产生的电噪声。为了防止该电噪声，而优选在图4所示的AE传感器34上安装图5(A)所示的用于防水及绝缘的树脂制的罩盖46。该罩盖46覆盖AE传感器34的除检测面34A之外的部分。此外，不是将AE传感器34的检测面34A直接安装在板18上，而如图5(B)、5(C)所示，从防水和防止因浆液引起的电导通的观点出发，优选经由与AE传感器34的检测面34A相接并覆盖大致整体的金属制的罩盖48而安装在板18上。此时，从提高检测精度的观点出发，优选设置将AE传感器34的检测面34A按压到罩盖48上的弹簧等施力单元(未图示)。

对图5(B)、5(C)进行说明，图5(B)是从下方观察到的罩盖48的立体图，图5(C)是上方观察到的罩盖48的立体图。该罩盖48是底部打开的箱体，在所述罩盖48的顶板48A的下表面中央部经由所述施力单元按压固定有AE传感器34的检测面34A。

另外，在顶板48A上隔着AE传感器34的安装部48B而在两侧形成有螺母部48C、48C。并且，以与螺母部48C、48C对应的方式在板18上形成有贯通孔(未图示)，使螺栓(未图示)通过这些贯通孔并与螺母部48C、48C紧固，从而将罩盖48固定在板18上。

此外，以如下的方式构成研磨装置的系统，即，从图1的警报器38发出警告时，对研磨装置10整体进行集中控制的控制部32使研磨装置10停止。

由此，不需要监视员对研磨装置10的监视。而且，在连续的研磨时，能够阻止发生异常后对后续的其他玻璃板G的影响，因此玻璃板G的品质、运转率及成品率分别提高。而且，在研磨装置10停止时，控制部32优选以使玻璃板G与研磨头16一起从研磨垫20上升(退避)的方式控制旋转/升降装置30。由此，能够容易地将发生破裂的初始阶段的玻璃板G从研磨头16取出。

另外，AE传感器34从研磨垫20所浸透的浆液经由板18检测来自玻璃板G的弹性波。图6示出玻璃板G的破裂检测原理。在研磨中的玻璃板G上，在点P发生初始阶段的破裂时，来自点P的弹性波如图中的虚线所示在玻璃板G中传播，接着传播给浆液所浸透的研磨垫20，然后，向板18传播而被AE传感器34检测到。

研磨垫20通常是聚氨酯制，聚氨酯自身难以传递弹性波，但聚氨酯制的研磨垫20中浸透有浆液。因此，来自点P的弹性波从该浆液经由板18而被AE传感器34可靠地检测到。

另一方面，如图1所示，AE传感器34安装在形成于板18上并从研磨平台22向侧方突出的突出片18A的下表面。如此将AE传感器34安装在从研磨平台22向侧方突出的板18的突出片18A的下表面时，能够防止旋转中的研磨头16与AE传感器34碰撞。

在图1中，图示了AE传感器的数目为一个的情况，但如上所述，安装的AE传感器的数目优选根据玻璃板的大小而适当决定。

另外，作为AE传感器34的安装位置，也可以如图6所示，在研磨平台22的中央部形成贯通孔22A，并经由该贯通孔22A将双点划线所示的AE传感器34的检测面34A安装在板18的下表面。若如此在研磨平台22的中央部安装AE传感器34，则能够缩短玻璃板G的破裂位置与AE传感器34之间的距离。通过取得此种配置结构，而提高弹性波的检测灵敏度。

此外，从AE传感器34向异常检测部36输出的频带利用鉴别器(滤波器)42设定在100～200kHz的范围内。在研磨装置10的周边设置有玻璃板G的切断装置、倒角装置、开孔装置等各种装置，需要排除来自这些装置的机械振动引起的频率(小于100kHz)的弹性波，而且，需要排除电噪声引起的频率(超过200kHz)的弹性波。

因此，在实施方式的研磨装置10中，由于设从AE传感器34向异常检测部36输出的频带的下限值为100kHz，因此能够防止所述机械振动的弹性波引起的误检测。而且，由于上限值为200kHz，因此能够防止所述电噪声的弹性波引起的误检测。需要说明的是，上限值越高AE传感器34的输出越衰减，因此不优选。而且，也可以在AE传感器自身内置用于提取所述频带的频率的滤波器。

本发明并不局限于上述的实施例，也能够适用于FPD以外的电子装置，例如，光学元件用玻璃基板、玻璃盘、太阳电池等的基板加工。

另外，在实施方式中，例示了研磨垫20作为研磨工具，并例示了玻璃板G作为被研磨物，但并不局限于此，也能够适用于将修整砂轮(平面状的电沉积金刚石板)作为研磨工具、将研磨垫20作为被研磨物而通过修整砂轮来修整研磨垫20的装置。该装置的结构是在图2中将玻璃板G置换成修整砂轮，因此这里省略图示。

另外，修整研磨垫20时，使用水作为研磨液，在修整时产生的来自研磨垫20的弹性波通过水被AE传感器34检测到。并且，来自AE传感器34的信息总是输出至异常检测部36，在异常检测部36中预先设定有研磨垫20的适当修整效率下限的阈值。当异常检测部36检测到研磨垫20的修整效率的下降时，警报器38发出警告。

详细地并参照特定的实施方式说明了本发明，但本领域技术人员可知不脱离本发明的精神和范围而能够施加各种变更、修改。

本申请基于2008年12月12日提出申请的日本专利申请2008-317269，并作为参照而将其内容引用于此。

标号说明：

10    研磨装置

14    保持部件

16    研磨头

18    板

20    研磨垫

22    研磨平台

22A   贯通孔

24    研磨液供给孔

26    吸引孔

28    主轴

30    旋转/升降装置

32    控制部

34AE  传感器

34A   检测面

36    异常检测部

38    警报器

40    前置放大器

42    鉴别器

44    PLC电缆

46    罩盖

48    罩盖

48A   顶板

48B   安装部

48C   螺母部

Claims (17)

1.一种研磨装置，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向研磨工具与被研磨物之间供给研磨液一边利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨装置的特征在于，具备：

AE传感器，安装在支承研磨工具或被研磨物的板上；

异常检测部，基于来自被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常；及

警告单元，当由所述异常检测部检测到被研磨物的异常时发出警告。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，

所述研磨工具是研磨垫，所述被研磨物是玻璃板。

3.根据权利要求1所述的研磨装置，其中，

所述研磨工具是修整砂轮，所述被研磨物是研磨垫。

4.根据权利要求2所述的研磨装置，其中，

当由所述异常检测部检测到所述玻璃板的异常时，利用控制所述研磨装置的控制部使研磨装置停止。

5.根据权利要求2或4所述的研磨装置，其中，

所述AE传感器从浸透到所述研磨垫中的所述研磨液经由所述板而检测来自所述玻璃板的弹性波。

6.根据权利要求2、4或5中任一项所述的研磨装置，其中，

所述研磨垫经由所述板被研磨平台保持，

所述AE传感器形成于所述板上，并安装在从所述研磨平台向侧方伸出的突出片的下表面。

7.根据权利要求2、4、5或6中任一项所述的研磨装置，其中，

从所述AE传感器向所述异常检测部输出的频带利用滤波器设定在100～200kHz的范围内。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的研磨装置，其中，

来自所述被研磨物的弹性波通过所述研磨液而被所述AE传感器检测出。

9.一种研磨方法，使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动，并且一边向研磨工具与被研磨物之间供给研磨液一边利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨方法的特征在于，

在支承研磨工具或被研磨物的板上安装AE传感器，

异常检测部基于来自被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从AE传感器发出的输出信号，检测研磨中的异常，

当由所述异常检测部检测到被研磨物的异常时，警告单元发出警告。

10.根据权利要求9所述的研磨方法，其中，

所述研磨工具是研磨垫，所述被研磨物是玻璃板。

11.根据权利要求9所述的研磨方法，其中，

所述研磨工具是修整砂轮，所述被研磨物是研磨垫。

12.根据权利要求10所述的研磨方法，其中，

当由所述异常检测部检测到所述玻璃板的异常时，利用控制部控制所述研磨装置，使研磨装置停止。

13.根据权利要求10或12所述的研磨方法，其中，

所述AE传感器从浸透到所述研磨垫中的所述研磨液经由所述板而检测来自所述玻璃板的弹性波。

14.根据权利要求10、12或13中任一项所述的研磨方法，其中，

所述研磨垫经由所述板被研磨平台保持，

所述AE传感器形成于所述板上，并安装在从所述研磨平台向侧方伸出的突出片的下表面。

15.根据权利要求10、12、13或14中任一项所述的研磨方法，其中，

从所述AE传感器向所述异常检测部输出的频带利用滤波器设定在100～200kHz的范围内。

16.根据权利要求9～15中任一项所述的研磨方法，其中，

来自所述被研磨物的弹性波通过所述研磨液而被所述AE传感器检测出。

17.一种玻璃板的制造方法，其特征在于，使用权利要求9、10、12～16中任一项所述的研磨方法进行玻璃板的加工。

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