CN101200052A - 研磨垫打磨器 - Google Patents

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CN101200052A CNA2006101195619A CN200610119561A CN101200052A CN 101200052 A CN101200052 A CN 101200052A CN A2006101195619 A CNA2006101195619 A CN A2006101195619A CN 200610119561 A CN200610119561 A CN 200610119561A CN 101200052 A CN101200052 A CN 101200052A
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Inventor
瞿治军
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Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
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Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种研磨垫打磨器，包括研磨垫打磨器手臂，研磨垫打磨器打磨头，研磨垫打磨器打磨盘。研磨垫打磨器打磨头中设有位置传感器，位置传感器和主机之间设有继电器，位置传感器测试打磨盘和位置传感器之间的距离，当测得距离小于设定值，主机停止并发出报警。研磨垫打磨器打磨头上设有遮挡片，遮光传感器和主机相连接，遮光传感器检测到打磨头旋转动作有异常主机停止并发出报警。本发明通过增加位置传感器和遮光传感器判断打磨盘的上下及旋转动作是否正常，当出现异常运动主机则停止工作并进行报警。本发明可以在设备发生异常时立刻停止工作并报警，能够减少因为设备异常带来的损失，增加产品的成品率，降低生产成本，提高生产效率。

Description

研磨垫打磨器
技术领域
本发明涉及集成电路生产制造领域，尤其涉及一种集成电路生产制造领域的研磨垫打磨器。
背景技术
研磨垫打磨器是化学机械抛光工艺中对研磨垫打磨的工具，包括研磨垫打磨器手臂，固定在研磨垫打磨器手臂端部的研磨垫打磨头，设置在研磨垫打磨头下方的研磨垫打磨器打磨盘，研磨垫打磨器打磨盘有上下动作和旋转动作。研磨垫打磨器打磨盘通过上下动作来接触掩膜垫和离开掩膜垫，当研磨垫打磨器打磨盘向下动作和掩膜垫相接触之后，研磨垫打磨器打磨盘进行旋转动作打磨掩膜垫。掩膜垫打磨器的上下及旋转动作决定了其所打磨的掩膜垫的质量的好坏和所做产品成品率的高低。
随着集成电路的不断发展，半导体器件对层间膜的平坦化效果和均一性的要求也不断提高。现有设备上的研磨垫打磨器对其上下动作和旋转动作没有监视，如果研磨垫打磨器上下动作和旋转动作发生异常，设备不会停止和报警，这样会导致处理的产品残膜异常、均一性变差，造成很大的损失。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种研磨垫打磨器，能够对研磨垫打磨器打磨盘的上下和旋转动作进行监测，可以在研磨垫打磨器的动作发生异常时停止动作，减少因为继续异常动作而造成的损失。
为解决上述技术问题，本发明一种研磨垫打磨器的技术方案是，包括研磨垫打磨器手臂，固定在研磨垫打磨器手臂端部的研磨垫打磨器打磨头，设置在研磨垫打磨器打磨头下方的研磨垫打磨器打磨盘，所述的研磨垫打磨器打磨头中设有通孔，位置传感器通过固定件垂直于研磨垫打磨器打磨盘设置在通孔中，位置传感器通过信号线和主机相连接，并且位置传感器和主机之间设有继电器，当主机的可编程控制器发出研磨垫打磨器打磨盘下降的信号时，继电器导通，位置传感器测试掩膜垫打磨器打磨盘和位置传感器之间的距离，若所测得距离大于设定值，传感器信号线无输出信号，若所测得距离小于设定值，传感器信号线输出信号到主机的可编程控制器，主机停止并发出报警，研磨垫打磨器打磨头上设有遮挡片，检测遮挡片的遮光传感器固定设置在研磨垫打磨器手臂上，遮光传感器通过信号线和主机相连接，当主机的可编程控制器发出信号并使研磨垫打磨器打磨盘旋转一转，遮挡片挡住遮光传感器一次，遮光传感器产生一个电压脉冲信号，该电压脉冲信号通过信号线传输到主机的可编程控制器，可编程控制器记录脉冲数量，和主机的设定量进行比较，当可编程控制器记录的脉冲数量超过主机的设定量，可编程控制器输出导通信号给主机，主机停止并发出报警。
本发明通过在研磨垫打磨头中固定设有位置传感器测试研磨垫打磨器打磨盘上下动作的距离，在研磨垫打磨头上设有遮挡片，并在研磨垫打磨器手臂上设置遮光传感器监测研磨垫打磨器打磨盘的旋转动作，当发生不良动作，主机会停止动作并报警，从而减少打磨过程中不良品的出现几率，减少损失的发生。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述：
图为本发明掩膜垫打磨器结构示意图。
具体实施方式
如图所示，本发明研磨垫打磨器，研磨垫打磨器打磨头通过其固定部分30固定在研磨垫打磨器手臂20上，研磨垫打磨器打磨盘10位于研磨垫打磨器打磨头下方。
研磨垫打磨器打磨头中设有通孔110，位置传感器70通过固定件80垂直于研磨垫打磨器打磨盘10设置在通孔110中。位置传感器70为反射型传感器，并且位置传感器的检知距离为15mm。并且位置传感器70的检知距离为15mm。打磨盘10在上死位时距离位置传感器70的检知头部10cm，在下死位时距离位置传感器70的检知头部30cm。位置传感器70头部设有一经过掩膜垫打磨器打磨头固定部分30以及掩膜垫打磨器手臂20的通道150，该通道150与持续吹出氮气的管道90相连接。研磨垫打磨器打磨头的齿轮100上设有遮挡片40，检测遮挡片的遮光传感器50通过固定件60固定设置在研磨垫打磨器手臂20上。
位置传感器70通过信号线300和主机400相连接，并且位置传感器70和主机400之间设有继电器130，当主机400的可编程控制器500发出研磨垫打磨器打磨盘10下降的信号时，继电器400导通，位置传感器70测试掩膜垫打磨器打磨盘10和位置传感器70之间的距离，若所测得距离大于设定值，传感器信号线300无输出信号，若所测得距离小于设定值，传感器信号线300输出信号到主机400的可编程控制器500，主机400停止并发出报警。
遮光传感器50通过信号线200和主机400相连接，遮光传感器为对射型传感器。当主机400的可编程控制器500发出信号并使研磨垫打磨器打磨盘10旋转一转，遮挡片40挡住遮光传感器50一次，遮光传感器50产生一个电压脉冲信号，该电压脉冲信号通过信号线200传输到主机400的可编程控制器500，可编程控制器500记录脉冲数量，和主机400的设定量进行比较，当可编程控制器500记录的脉冲数量不同于主机400的设定量，可编程控制器500输出导通信号给主机500，主机500停止并发出报警。
本发明研磨垫打磨器通过增加位置传感器检测掩膜垫打磨器打磨盘和位置传感器之间的距离，判断掩膜垫打磨器打磨盘的上下运动是否正常，还通过增加遮光传感器记录掩膜垫打磨器打磨盘的旋转次数，判断掩膜垫打磨器打磨盘的旋转次数是否符合设定值，当掩膜垫打磨器打磨盘的上下运动或旋转运动不符合正常值，主机则停止工作并进行报警。本发明可以在设备发生异常时立刻停止工作并报警，能够减少因为设备异常带来的损失，增加产品的成品率，降低生产成本，提高生产效率。

Claims (5)

1.一种研磨垫打磨器，包括研磨垫打磨器手臂，固定在研磨垫打磨器手臂端部的研磨垫打磨器打磨头，设置在研磨垫打磨器打磨头下方的研磨垫打磨器打磨盘，其特征在于，所述的研磨垫打磨器打磨头中设有通孔，位置传感器通过固定件垂直于研磨垫打磨器打磨盘设置在通孔中，位置传感器通过信号线和主机相连接，并且位置传感器和主机之间设有继电器，当主机的可编程控制器发出研磨垫打磨器打磨盘下降的信号时，继电器导通，位置传感器测试掩膜垫打磨器打磨盘和位置传感器之间的距离，若所测得距离大于设定值，传感器信号线无输出信号，若所测得距离小于设定值，传感器信号线输出信号到主机的可编程控制器，主机停止并发出报警，研磨垫打磨器打磨头上设有遮挡片，检测遮挡片的遮光传感器固定设置在研磨垫打磨器手臂上，遮光传感器通过信号线和主机相连接，当主机的可编程控制器发出信号并使研磨垫打磨器打磨盘旋转一转，遮挡片挡住遮光传感器一次，遮光传感器产生一个电压脉冲信号，该电压脉冲信号通过信号线传输到主机的可编程控制器，可编程控制器记录脉冲数量，和主机的设定量进行比较，当可编程控制器记录的脉冲数量不等于主机的设定量，可编程控制器输出导通信号给主机，主机停止并发出报警。
2.如权利要求1所述的研磨垫打磨器，其特征在于，位置传感器为反射型传感器。
3.如权利要求1所述的研磨垫打磨器，其特征在于，位置传感器的检知距离为15mm，并且打磨盘在上死位时距离位置传感器检知头部10cm，在下死位时距离位置传感器检知头部30mm。
4.如权利要求1所述的研磨垫打磨器，其特征在于，遮光传感器为对射型传感器。
5.如权利要求1所述的研磨垫打磨器，其特征在于，位置传感器头部设有一经过掩膜垫打磨器打磨头和掩膜垫打磨器手臂的通道，该通道与持续吹出氮气的管道相连接。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102245350A (zh) * 2008-12-12 2011-11-16 旭硝子株式会社 研磨装置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法
CN102310358A (zh) * 2010-07-08 2012-01-11 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 化学机械研磨设备及使用该化学机械研磨设备的研磨方法
CN103419134A (zh) * 2012-05-24 2013-12-04 上海宏力半导体制造有限公司 一种采用接近开关的平台调节器
CN109731786A (zh) * 2019-01-24 2019-05-10 广州二十四度橙园智能装备科技有限公司 一种自动分果排序装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CN102245350B (zh) * 2008-12-12 2016-01-20 旭硝子株式会社 研磨装置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法
CN102310358A (zh) * 2010-07-08 2012-01-11 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 化学机械研磨设备及使用该化学机械研磨设备的研磨方法
CN103419134A (zh) * 2012-05-24 2013-12-04 上海宏力半导体制造有限公司 一种采用接近开关的平台调节器
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