CN102225593A - 金刚石线锯装置 - Google Patents

金刚石线锯装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102225593A
CN102225593A CN2011101128691A CN201110112869A CN102225593A CN 102225593 A CN102225593 A CN 102225593A CN 2011101128691 A CN2011101128691 A CN 2011101128691A CN 201110112869 A CN201110112869 A CN 201110112869A CN 102225593 A CN102225593 A CN 102225593A
Authority
CN
China
Prior art keywords
diamond
cutting
wire
shape
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2011101128691A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102225593B (zh
Inventor
宋京新
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CHUANGYUAN DIAMOND Co Ltd GUILIN
Guilin Champion Union Diamond Co Ltd
Original Assignee
CHUANGYUAN DIAMOND Co Ltd GUILIN
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CHUANGYUAN DIAMOND Co Ltd GUILIN filed Critical CHUANGYUAN DIAMOND Co Ltd GUILIN
Priority to CN201110112869.1A priority Critical patent/CN102225593B/zh
Publication of CN102225593A publication Critical patent/CN102225593A/zh
Priority to JP2013527467A priority patent/JP5576987B2/ja
Priority to EP12776681.4A priority patent/EP2679364B1/en
Priority to AU2012247998A priority patent/AU2012247998B2/en
Priority to RU2013116724/03A priority patent/RU2558561C2/ru
Priority to BR112013013844A priority patent/BR112013013844A2/pt
Priority to PCT/CN2012/071788 priority patent/WO2012146084A1/zh
Priority to CA2810304A priority patent/CA2810304A1/en
Priority to KR1020137006755A priority patent/KR101483892B1/ko
Priority to US13/479,261 priority patent/US20120272943A1/en
Application granted granted Critical
Publication of CN102225593B publication Critical patent/CN102225593B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/0007—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires
    • B23D57/0023—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires with a plurality of saw wires or saw wires having plural cutting zones
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
    • B23D61/18—Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
    • B26D1/00—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor
    • B26D1/01—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor involving a cutting member which does not travel with the work
    • B26D1/547—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor involving a cutting member which does not travel with the work having a wire-like cutting member
    • B26D1/553—Cutting through work characterised by the nature or movement of the cutting member or particular materials not otherwise provided for; Apparatus or machines therefor; Cutting members therefor involving a cutting member which does not travel with the work having a wire-like cutting member with a plurality of wire-like cutting members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/08—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with saw-blades of endless cutter-type, e.g. chain saws, i.e. saw chains, strap saws

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Forests & Forestry (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Sawing (AREA)

Abstract

本发明公开了一种切割硅锭的金刚石线锯装置，由金刚石锯丝相互平行缠绕在成组的导线轮上形成的线网的网面构成多层切割网面，各层切割面上的金刚石锯丝上下对齐，按切割顺序，各层切割网面金刚石锯丝的直径逐渐增大，其中金刚石锯丝的线径逐渐增粗，而其上附着的金刚石磨粒尺寸逐渐减小。本发明采用多组金刚石锯丝切割网面依次切割硅片的方法，将硅片的切割、精磨和抛光分工序由不同性质的金刚石锯丝按不同的运行参数完成，以获得更高的硅材料利用率，满足切割线缝越来越窄、硅片切割朝更薄发展要求。

Description

金刚石线锯装置
(一)技术领域：
本发明涉及脆硬非金属材料加工装置，具体说是一种切割硅锭的金刚石线锯装置。
(二)背景技术：
将单晶硅或者多晶硅的固体硅锭切割成硅片是太阳能光伏电池制造的关键工艺，硅锭首先被切成方块，然后被切成很薄的硅片。目前应用最常见、最为成熟的切片设备为多线锯，多线锯的工作区设置一组平行导线轮，锯丝相互平行缠绕在导线轮上形成一个以一定线速度运行的“口”字形切割线网(如图1所示)，该切割线网的上、下水平线网面为硅锭切割面，硅锭被固定于切割台上，切割台垂直通过上、下水平切割网面，多线锯边切割边向锯丝供应磨粒悬浮液的游离磨料，使硅锭被切割成硅片。
采用线锯机的切割方式，相比传统带锯切割、内圆锯片切割，在技术上有了极大的进步，但仍然存在着磨粒悬浮液对切割面上产生的表面裂纹及损伤层深度不易控制、磨粒和硅粉屑分离困难、作业环境恶劣、效率较低等问题。
固结磨料金刚石微粒线锯切割是试图解决上述问题所提出的新的加工方法，从目前的研究成果来看，固结磨粒金刚石微粒线锯具有硅粉屑易回收处理、作业环节好、切割表面损伤小、效率高、切片薄、偏厚均匀等优势。
所述固结磨料金刚石微粒线锯的固结方式主要有①树脂结合剂(含金属和非金属芯线)固结，②机械挤压(金属芯线)固结，③钎焊(金属芯线)固结，④电镀电沉积金属(金属芯线)固结等，各固结磨料金刚石微粒线锯具有不同的特点，但缺陷也明显：
①、树脂结合剂固结磨料金刚石微粒线锯，加工表面质量好，但效率不高，并且树脂耐热性差，固结强度较低，线锯线径易磨损，切缝变化大，硅片将可能因厚薄超差而增加后续加工成本。
②、机械挤压固结磨料金刚石微粒线锯，加工效率高，但芯线受到挤压破坏，强度下降而影响寿命，并且加工的表面粗糙度也难以保证。
③钎焊(金属芯线)固结磨料金刚石微粒线锯，加工效率高，但钎焊过程中温度高，破坏了芯线的强度和韧性，并且制造工艺复杂量产难度大。
④电镀电沉积金属(金属芯线)固结磨料金刚石微粒线锯，线径保持性好，加工质量尚不能够尽如人意，并且线锯易断造成切割成本较高。
在国内，上述四大类产品，部分在硅料切方得到应用，但在硅料切片的应用尚未得到普及，其主要原因是的金刚石多线锯采用同一种线丝对硅锭进行一次性切割加工，难以同时满足硅片表面质量、效率、寿命、性价比等指标要求，另外配套的设备性能及加工工艺也不尽完善。
(三)发明内容：
本发明的目的是提供了一种在切割硅片过程中用不同特性的金刚石线锯形成多次切割，满足硅片表面质量、效率、寿命、性价比等指标要求的金刚石线锯装置。
能够实现上述目的的金刚石线锯装置，包括金刚石锯丝，所不同的是沿切割进给方向，在一个切割工作面中，前后至少布置两条金刚石锯丝，或在一个以上相平行的切割工作面中，前后至少布置两组金刚石锯丝，同组中的金刚石锯丝相互平行形成一层切割网面；后一条或后一组金刚石锯丝的直径大于或等于前一条或前一组金刚石锯丝的直径。
所述切割网面是由一条或一条以上的长线金刚石锯丝于一组导线轮上缠绕而形成。
所述一组导线轮至少由两个导轮构成扁“方”形网面，或由三个导轮构成“三角”形网面，也可以由更多导线轮构成“多边”形网面。
按常规四个导线轮于四角设置而构成“方”形线网，所述“方”形线网为二组或二组以上，各组“方”形线网通过组合构成二层或二层以上切割网面。
以二层或三层切割网面为例：
所述两组“方”形线网嵌套成“回”形，或两组“方”形线网按沿切割进给方向前后排布。
所述三组“方”形线网相互嵌套；或由另一组“方”形线网沿切割进给方向排布于嵌套成“回”形的两组线网位置之前、后。
后一条或后一组金刚石锯丝的线径可等于但最好大于前一条或前一组金刚石锯丝的线径，后一条或后一组金刚石锯丝上附着的金刚石磨粒尺寸可等于但最好小于前一条或前一组金刚石锯丝上附着的金刚石磨粒尺寸。
相邻金刚石锯丝或相邻切割网面之间为平行关系，为更好消除金刚石锯丝的前次切割在硅片表面形成的切痕，相邻金刚石锯丝或相邻切割网面之间也可以形成一个夹角。
在硅片强度足够时，相邻金刚石锯丝或相邻切割网面的运行方向可以为同向，但为保持切割的稳定性，相邻金刚石锯丝或相邻切割网面的运行方向最好相反。
根据金刚石加工的基本原理，金刚石的粒径对切割效率和表面粗糙度起到决定性的作用，采用较粗的金刚石可以提高切割效率，但是表面粗糙度较差；采用较细的金刚石可以获得较好的表面粗糙度，但是切割效率却受到很大影响，因此各金刚石锯丝可以使用不同的参数独立运行，实现不同的金刚石锯丝对硅片的切割、精磨和抛光。因此采用本发明的技术方案，根据不同的切割、粗磨和精磨需求在不同的切割线网有选择性的安排与工艺对应的金刚石锯丝，使其线径和金刚石的粒径大小与工艺相适应，既提高切割效率，又满足表面粗糙度要求，使之适应硅片的切割朝着越来越大、越来越薄的方向发展。
本发明的优点：
本发明采用多组金刚石锯丝切割网面依次切割硅片的方法，将硅片的切割、精磨和抛光分工序由不同特性的金刚石锯丝按不同的运行参数完成，由于切割、精磨和抛光的加工余量依次大幅度下降，加工过程中对硅片的剪切力依次大幅度下降，有利于薄片的生成，从而可以获得更高的硅材料利用率，满足切割线缝越来越窄、硅片切割朝更大更薄发展要求，解决了金刚石粒度无法兼顾切割效率和表面粗糙度等问题，使金刚石粒度的选择更加广泛。
(四)附图说明：
图1为传统线锯机中，一种金刚石锯丝缠绕在一组(四个)导线轮上形成的一组“口”形线网的立体结构示意图。
图2为图1的正视图。
图3为本发明第一种实施方式的结构示意图。
图4为本发明第二种实施方式的结构示意图。
图5为本发明第三种实施方式的结构示意图。
图6为本发明第四种实施方式的结构示意图。
图7为本发明第五种实施方式的结构示意图。
图8为图3、图4、图5中，三种不同金刚石锯丝于同一硅缝中进行切割、精磨和抛光加工的示意图。
图号标识：1、固定硅棒的切割台；2、金刚石锯丝；3、导线轮。
(五)具体实施方式：
以三层切割网面和二层切割网面为例说明本发明金刚石线锯装置的技术方案。
1、三层切割网面切割硅片的工艺由上下对齐的三种金刚石锯丝2分别对同一硅缝进行切割、精磨和抛光，每层切割网面由一种长线金刚石锯丝2缠绕在一组导线轮3上形成的一组线网的网面形成，每组导线轮3按四角位置设置而形成“方”形线网，如图1、图2所示，“方”形线网中对应于固定硅棒的切割台1的上网面和下网面为切割网面。
A、三层切割网面的构成由三种金刚石锯丝2缠绕在三组导线轮3上形成的三组线网的网面形成，三组线网相互嵌套，如图3、图8所示，三层切割网面由下方三根金刚石锯丝2形成，固定硅棒的切割台1置于三层切割网面下方，切割、精磨和抛光顺序自外而内。
B、三层切割网面的构成由三种金刚石锯丝2缠绕在三组导线轮3上形成的三组线网的网面形成，二组线网相互嵌套成“回”形，“回”形线网上方为“方”形线网，如图4、图8所示，三层切割面由“方”形线网的下方金刚石锯丝2和“回”形线网上方二根金刚石锯丝2形成，固定硅棒的切割台1置于三层切割网面下方，切割、精磨和抛光顺序从“回”形线网自内而外，再经“方”形线网的下方金刚石锯丝2。
C、三层切割面的构成由三种金刚石锯丝2缠绕在三组导线轮3上形成的三组线网的网面形成，二组线网相互嵌套成“回”形，“回”形线网下方为“方”形线网，如图5、图8所示，三层切割面由“回”形线网下方二根金刚石锯丝2与“方”形线网的上方金刚石锯丝2形成，切割台1置于三层切割网面下方，切割、精磨和抛光顺序经“方”形线网的上方金刚石锯丝2后，再从“回”形线网自外而内。
上述A、B、C各项中，按切割顺序，各层切割面金刚石锯丝2的直径逐渐增大，其中金刚石锯丝2的线径逐渐增粗，其上附着的金刚石磨粒尺寸逐渐减小。
2、二层切割网面切割硅片的工艺由上下对齐的二种金刚石锯丝2分别对同一硅缝进行切割和磨削，每层切割网面由一种金刚石锯丝2缠绕在一组导线轮3上形成的一组线网的网面形成，每组导线轮3按四角位置设置而形成“方”形线网，如图1、图2所示，对应于固定硅棒的切割台1的上网面和下网面为切割面。
D、二层切割网面的构成由二种金刚石锯丝2缠绕在二组导线轮3上形成的二组线网的网面形成，二组线网相互嵌套成“回”形，如图6所示，二层切割面由下方二根金刚石锯丝2形成，固定硅棒的切割台1置于二层切割网面下方，切割和磨削顺序自外而内。
E、二层切割面的构成由二种金刚石锯丝2缠绕在二组导线轮3上形成的二组线网的网面形成，二组线网按上下位置排布成“吕”形，如图7所示，二层切割面由上方“方”形线网的下方的金刚石锯丝2和下方“方”形线网的上方金刚石锯丝2形成，切割台1置于二层切割网面下方，切割和磨削顺序经下方“方”形线网上方金刚石锯丝2至上方“方”形线网的下方金刚石锯丝2。
上述D、E各项中，按切割顺序，第一层切割网面金刚石锯丝2的直径逐渐增大，其中第二层金刚石锯丝2的线径大于第一层金刚石锯丝2的线径，第二层金刚石锯丝2线径上附着的金刚石磨粒尺寸小于第一层切割面金刚石锯丝2线径上附着的金刚石磨粒尺寸。
上述A、B、C、D、E各项中，相邻切割网面之间形成一定的夹角，相邻切割网面的运行方向相反。
上述实施例，仅为对本发明的目的、技术方案和有益效果作进一步详细说明的具体个例，本发明并非限定于此。凡在本发明公开的范围之内所做的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.金刚石线锯装置，包括金刚石锯丝(2)，其特征在于：沿切割进给方向，在一个切割工作面中，前后至少布置两条金刚石锯丝(2)，或在一个以上相平行的切割工作面中，前后至少布置两组金刚石锯丝(2)，同组中的金刚石锯丝(2)相互平行形成一层切割网面；后一条或后一组金刚石锯丝(2)的直径大于或等于前一条或前一组金刚石锯丝(2)的直径。
2.根据权利要求1所述的金刚石线锯装置，其特征在于：所述切割网面由一条或一条以上长线金刚石锯丝(2)于一组导线轮(3)上缠绕而形成。
3.根据权利要求2所述的金刚石线锯装置，其特征在于：所述一组导线轮至少由两个导线轮(3)构成扁“方”形网面，或由三个导线轮(3)构成“三角”形网面，也可以由更多导线轮(3)构成“多边”形网面。
4.根据权利要求3所述的金刚石线锯装置，其特征在于：所述一组导线轮(3)于四角设置而构成“方”形线网。
5.根据权利要求4所述的金刚石线锯装置，其特征在于：所述“方”形线网为二组或二组以上，各组“方”形线网通过组合构成二层或二层以上切割网面。
6.根据权利要求5所述的金刚石线锯装置，其特征在于：所述两组“方”形线网嵌套成“回”形，或两组“方”形线网按沿切割进给方向前后排布。
7.根据权利要求5所述的金刚石线锯装置，其特征在于：所述三组“方”形线网相互嵌套；或由另一组“方”形线网沿切割进给方向排布于嵌套成“回”形的两组线网位置之前、后。
8.根据权利要求1～7中任意一项所述的金刚石线锯装置，其特征在于：后一条或后一组金刚石锯丝(2)的线径大于或等于前一条或前一组金刚石锯丝(2)的线径，后一条或后一组金刚石锯丝(2)上附着的金刚石磨粒尺寸小于或等于前一条或前一组金刚石锯丝(2)上附着的金刚石磨粒尺寸。
9.根据权利要求1～7中任意一项所述的金刚石线锯装置，其特征在于：相邻金刚石锯丝(2)或相邻切割网面之间有一个夹角。
10.根据权利要求1～7中任意一项所述的金刚石线锯装置，其特征在于：相邻金刚石锯丝(2)或相邻切割网面的运行方向相同或相反。
CN201110112869.1A 2011-04-29 2011-04-29 金刚石线锯装置 Active CN102225593B (zh)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110112869.1A CN102225593B (zh) 2011-04-29 2011-04-29 金刚石线锯装置
EP12776681.4A EP2679364B1 (en) 2011-04-29 2012-02-29 Diamond wire saw device
JP2013527467A JP5576987B2 (ja) 2011-04-29 2012-02-29 ダイヤモンドワイヤソー装置
AU2012247998A AU2012247998B2 (en) 2011-04-29 2012-02-29 Diamond wire saw device
RU2013116724/03A RU2558561C2 (ru) 2011-04-29 2012-02-29 Алмазная проволочная пила
BR112013013844A BR112013013844A2 (pt) 2011-04-29 2012-02-29 dispositivo de fio de serra diamantado
PCT/CN2012/071788 WO2012146084A1 (zh) 2011-04-29 2012-02-29 金刚石线锯装置
CA2810304A CA2810304A1 (en) 2011-04-29 2012-02-29 Diamond wire saw device
KR1020137006755A KR101483892B1 (ko) 2011-04-29 2012-02-29 다이아몬드 와이어 톱 장치
US13/479,261 US20120272943A1 (en) 2011-04-29 2012-05-23 Diamond wire saw device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201110112869.1A CN102225593B (zh) 2011-04-29 2011-04-29 金刚石线锯装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102225593A true CN102225593A (zh) 2011-10-26
CN102225593B CN102225593B (zh) 2014-03-05

Family

ID=44806610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110112869.1A Active CN102225593B (zh) 2011-04-29 2011-04-29 金刚石线锯装置

Country Status (9)

Country Link
EP (1) EP2679364B1 (zh)
JP (1) JP5576987B2 (zh)
KR (1) KR101483892B1 (zh)
CN (1) CN102225593B (zh)
AU (1) AU2012247998B2 (zh)
BR (1) BR112013013844A2 (zh)
CA (1) CA2810304A1 (zh)
RU (1) RU2558561C2 (zh)
WO (1) WO2012146084A1 (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012146084A1 (zh) * 2011-04-29 2012-11-01 桂林创源金刚石有限公司 金刚石线锯装置
CN103252846A (zh) * 2012-02-15 2013-08-21 应用材料瑞士有限责任公司 金刚石线锯装置和方法
CN104669455A (zh) * 2015-02-11 2015-06-03 无锡中硅新材料股份有限公司 一种多线切割设备的线网走线结构
CN105873723A (zh) * 2014-01-09 2016-08-17 株式会社钢臂功科研 加工件的切断方法
CN107263739A (zh) * 2017-08-09 2017-10-20 福州天瑞线锯科技有限公司 一种双条金刚石环形线锯驱动机构
CN108527507A (zh) * 2018-05-17 2018-09-14 海南汇帑实业投资有限公司 植物纤维果片（椰纤果）分片、颗粒切割机械及生产工艺
CN112372855A (zh) * 2020-11-04 2021-02-19 陕西历史博物馆(陕西省文物交流中心) 一种壁画砌体剥离设备
CN113226640A (zh) * 2019-01-15 2021-08-06 信越半导体株式会社 工件的切断方法及线锯
CN114454362A (zh) * 2021-07-13 2022-05-10 青岛高测科技股份有限公司 硅棒切割方法、设备及系统
CN114454360A (zh) * 2021-08-19 2022-05-10 青岛高测科技股份有限公司 硅棒切割方法、设备及系统
CN114833955A (zh) * 2022-05-31 2022-08-02 青岛高测科技股份有限公司 一种线切割机

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014034088A (ja) * 2012-08-10 2014-02-24 Sharp Corp ワイヤソー、ワイヤソーにより製造された半導体基板
DE102016211883B4 (de) 2016-06-30 2018-02-08 Siltronic Ag Verfahren und Vorrichtung zur Wiederaufnahme des Drahtsägeprozesses eines Werkstückes nach einer unplanmäßigen Unterbrechung
CN111546519A (zh) * 2020-05-12 2020-08-18 天津中环领先材料技术有限公司 一种改善大直径硅圆片几何参数的切割工艺
CN114193344B (zh) * 2021-12-16 2022-08-09 广东佳硕尼龙丝科技有限公司 一种超细研磨丝的加工系统及加工方法
CN117604717B (zh) * 2023-12-08 2024-05-31 嘉兴睿创新材料有限公司 大壁厚管状碳碳复合材料预制体及其切割方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10264143A (ja) * 1997-03-27 1998-10-06 Mitsubishi Materials Shilicon Corp ワイヤソーおよびインゴット切断方法
US6234159B1 (en) * 1997-09-11 2001-05-22 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FüR HALBLEITERMATERIALIEN AG Wire saw and process for cutting off shaped articles
US6941940B1 (en) * 2000-05-31 2005-09-13 Memc Electronic Materials, S.P.A. Wire saw and process for slicing multiple semiconductor ingots
CN1788965A (zh) * 2004-11-23 2006-06-21 希特隆股份有限公司 晶棒的切割方法及其装置
CN1953835A (zh) * 2004-05-18 2007-04-25 Rec斯坎沃佛股份有限公司 砂线切割
JP2008114318A (ja) * 2006-11-02 2008-05-22 Eiko Yamada ソーワイヤー及びワイヤーソー
JP2009274167A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Toyo Advanced Technologies Co Ltd ワイヤソー
CN101850579A (zh) * 2009-03-31 2010-10-06 小松Ntc株式会社 工件切断方法以及工件切断用线材卷绕宽度变更装置
JP2010253652A (ja) * 2009-04-28 2010-11-11 Kanai Hiroaki マルチソーマシン及び切断加工方法
CN202029257U (zh) * 2011-04-29 2011-11-09 桂林创源金刚石有限公司 金刚石线锯装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT244825B (de) * 1963-11-12 1966-01-25 Siporex Int Ab Verfahren zum Zerschneiden halbplastischer Körper
ITFI20050166A1 (it) * 2005-07-22 2007-01-23 Andrea Corsi Attrezzatura per la segagione di materiali lapidei
DE102008030826A1 (de) * 2008-06-30 2009-12-31 Wacker Schott Solar Gmbh Drahtsägevorrichtung
DE202008008720U1 (de) * 2008-06-30 2008-09-11 Wacker Schott Solar Gmbh Drahtsägevorrichtung
CN102225593B (zh) * 2011-04-29 2014-03-05 桂林创源金刚石有限公司 金刚石线锯装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10264143A (ja) * 1997-03-27 1998-10-06 Mitsubishi Materials Shilicon Corp ワイヤソーおよびインゴット切断方法
US6234159B1 (en) * 1997-09-11 2001-05-22 WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FüR HALBLEITERMATERIALIEN AG Wire saw and process for cutting off shaped articles
US6941940B1 (en) * 2000-05-31 2005-09-13 Memc Electronic Materials, S.P.A. Wire saw and process for slicing multiple semiconductor ingots
CN1953835A (zh) * 2004-05-18 2007-04-25 Rec斯坎沃佛股份有限公司 砂线切割
CN1788965A (zh) * 2004-11-23 2006-06-21 希特隆股份有限公司 晶棒的切割方法及其装置
JP2008114318A (ja) * 2006-11-02 2008-05-22 Eiko Yamada ソーワイヤー及びワイヤーソー
JP2009274167A (ja) * 2008-05-14 2009-11-26 Toyo Advanced Technologies Co Ltd ワイヤソー
CN101850579A (zh) * 2009-03-31 2010-10-06 小松Ntc株式会社 工件切断方法以及工件切断用线材卷绕宽度变更装置
JP2010253652A (ja) * 2009-04-28 2010-11-11 Kanai Hiroaki マルチソーマシン及び切断加工方法
CN202029257U (zh) * 2011-04-29 2011-11-09 桂林创源金刚石有限公司 金刚石线锯装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012146084A1 (zh) * 2011-04-29 2012-11-01 桂林创源金刚石有限公司 金刚石线锯装置
CN103252846A (zh) * 2012-02-15 2013-08-21 应用材料瑞士有限责任公司 金刚石线锯装置和方法
CN103252846B (zh) * 2012-02-15 2015-09-02 应用材料瑞士有限责任公司 金刚石线锯装置和方法
CN105873723A (zh) * 2014-01-09 2016-08-17 株式会社钢臂功科研 加工件的切断方法
CN104669455A (zh) * 2015-02-11 2015-06-03 无锡中硅新材料股份有限公司 一种多线切割设备的线网走线结构
CN107263739A (zh) * 2017-08-09 2017-10-20 福州天瑞线锯科技有限公司 一种双条金刚石环形线锯驱动机构
CN108527507A (zh) * 2018-05-17 2018-09-14 海南汇帑实业投资有限公司 植物纤维果片（椰纤果）分片、颗粒切割机械及生产工艺
CN113226640A (zh) * 2019-01-15 2021-08-06 信越半导体株式会社 工件的切断方法及线锯
CN112372855A (zh) * 2020-11-04 2021-02-19 陕西历史博物馆(陕西省文物交流中心) 一种壁画砌体剥离设备
CN114454362A (zh) * 2021-07-13 2022-05-10 青岛高测科技股份有限公司 硅棒切割方法、设备及系统
CN114454359A (zh) * 2021-07-13 2022-05-10 青岛高测科技股份有限公司 硅棒切割方法、设备及系统
CN114454359B (zh) * 2021-07-13 2024-05-14 青岛高测科技股份有限公司 硅棒切割方法、设备及系统
CN114454360A (zh) * 2021-08-19 2022-05-10 青岛高测科技股份有限公司 硅棒切割方法、设备及系统
CN114833955A (zh) * 2022-05-31 2022-08-02 青岛高测科技股份有限公司 一种线切割机
CN114833955B (zh) * 2022-05-31 2024-02-02 青岛高测科技股份有限公司 一种线切割机

Also Published As

Publication number Publication date
CN102225593B (zh) 2014-03-05
EP2679364B1 (en) 2016-04-20
EP2679364A1 (en) 2014-01-01
EP2679364A4 (en) 2014-03-19
CA2810304A1 (en) 2012-11-01
KR20130047755A (ko) 2013-05-08
AU2012247998B2 (en) 2015-11-19
RU2013116724A (ru) 2014-10-20
WO2012146084A1 (zh) 2012-11-01
RU2558561C2 (ru) 2015-08-10
AU2012247998A1 (en) 2013-05-02
JP2014500151A (ja) 2014-01-09
JP5576987B2 (ja) 2014-08-20
BR112013013844A2 (pt) 2016-09-13
KR101483892B1 (ko) 2015-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102225593B (zh) 金刚石线锯装置
CN102528942B (zh) 一种高效金刚石钻头
CN101554757A (zh) 一种晶体硅块切割方法
CN103817811A (zh) 一种硅棒的多线切割方法
WO2017133286A1 (zh) 一种锯条倾斜切割花岗岩、石英石排锯的刀头及其配方
CN1907649A (zh) 可控成分结构具有三维排列磨粒的研磨和切割工具的制造方法
CN202029257U (zh) 金刚石线锯装置
US20120272943A1 (en) Diamond wire saw device
CN203228320U (zh) 切割石材的金刚石锯片刀头
CN106626111A (zh) 固定磨粒丝锯以及固定磨粒丝的修整方法
CN207432033U (zh) 一种石材仿形加工用磨边轮
CN201095165Y (zh) 金刚石刀头
CN103331826B (zh) 一种新型金刚石刀头及其制备方法
CN208788354U (zh) 一种砂布轮
JP4711693B2 (ja) バンドソー型切断機と、それを用いた半導体鋳塊切断方法
CN205522000U (zh) 金刚石刀头
CN206351498U (zh) 一种切片机
CN206084801U (zh) 一种纹理自冷式磨轮
CN202826103U (zh) 一种硅块切割装置
CN202079330U (zh) Cbn烧结钢材切割刀头
CN204844504U (zh) 一种多层复合式金刚石刀头
CN219648840U (zh) 一种金刚石刀头、金刚石锯片
CN210704361U (zh) 金刚石刀头
CN203344193U (zh) 一种新型金刚石刀头
CN201566049U (zh) 一种金刚石锯片的刀头

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant