CN102135550A - 探针卡 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种探针卡，其包含具有相对的一第一表面与一第二表面的一电路板、固定于电路板的第一表面的多根探针以及至少一螺旋调整机构。至少一螺旋调整机构包含一固定装置及一螺旋装置。固定装置具有一螺孔，其中该固定装置固定于该电路板。螺旋装置包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该螺孔中，且该端面位在该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相对于该第一表面进退移动。本发明的探针卡具有设置在探针卡的电路板上的可调整倾斜度的螺旋调整机构，构造简单、使用方便。

Description

探针卡

技术领域

本发明涉及一种探针卡，特别是一种在固定探针的电路板上具有调整水平机构的探针卡。

背景技术

当晶片上的集成电路元件完成制作后，在进行后续封装流程前，需经过晶片测试流程，以淘汰不良的集成电路元件，使封装的良率提高。一般而言，晶片测试的方法是利用多根探针相对应地接触集成电路元件上的电接点(Pad)，藉此测量集成电路元件的电性特性，以判别集成电路的良莠。

在进行晶片测试时，各探针需施以一定的接触压力，使其尖端穿刺接点表面上的氧化物，在碰触接点金属表面后，才可完成电性特性测试所需的连接。然而，多根探针同时进行测试时，可能因其与待测集成电路元件间的倾斜，而导致部分探针无法和其相对应的接点进行良好的接触，而影响到测试的精确度。

传统上，探针的倾斜调整是通过承载探针的探针座上的调整机构。然则，这些常见的调整机构通常过于复杂，而且使用上不甚方便。再者，这些调整机构固设于测试机台中，在长期的重复使用下易产生磨耗，而将影响其调整的精准度。

鉴于常见的调整机构的缺陷，因此有必要对其进行改良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种探针卡，其调整机构简单，且使用方便。

本发明一实施范例公开一种探针卡，其包含一电路板、多根探针以及至少一螺旋调整机构。电路板具有相对的一第一表面与一第二表面。多根探针固定于该电路板的该第一表面。至少一螺旋调整机构包含一固定装置及一螺旋装置。固定装置具有一螺孔，其中该固定装置固定于该电路板。螺旋装置包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该螺孔中，且该端面位在该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相对于该第一表面进退移动。

本发明一实施范例另公开一种探针卡，其包含一电路板、多根探针以及至少一螺旋调整机构。电路板具一表面。多根探针固定于该电路板的该表面。至少一螺旋调整机构包含一座体、一内斜楔、一外斜楔及一调整螺丝。座体包含一开口和一容置空间，座体设置于该电路板的该表面上，其中该开口形成于该座体背向该电路板的该表面上，且连通该容置空间。内斜楔收容于该容置空间。内斜楔具有一第一斜面，该第一斜面朝向该开口。内斜楔被建构以于该容置空间内往该第一斜面的倾斜方向上移动。外斜楔具一第二斜面与一端面。外斜楔以该第二斜面面向该第一斜面的方式与该内斜楔相叠设置，其中该第二斜面与该端面位于该外斜楔的相反两侧。调整螺丝在该倾斜方向上以螺接的方式设于该座体且与该内斜楔相连接。

本发明的探针卡具有设置在探针卡的电路板上的可调整倾斜度的螺旋调整机构，构造简单、使用方便。

附图说明

图1显示本发明的一实施范例的探针卡与支撑件的立体示意图；

图2与图3显示图1内容的分解示意图；

图4显示图1的探针卡与支撑件的俯视示意图；

图5显示图4中沿A-A剖面线的剖视图；

图6显示图5中圆圈区域B的局部放大图；

图7显示本发明的另一实施范例的探针卡与螺旋调整机构的立体示意图；

图8显示图7的探针卡与螺旋调整机构的仰视图；

图9显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的立体图；

图10显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的内斜楔的立体示意图；

图11显示本发明的一实施范例的内斜楔与外斜楔的组合示意图；

图12显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的侧视图；

图13显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的主视图；及

图14显示本发明的一实施范例的螺旋调整机构的固定方式的示意图。

其中，附图标记说明如下：

1a、1b        探针卡

2             支撑件

11a、11b      螺旋调整机构

12            电路板

14            支撑物

16            探针

18            下表面

19            上表面

21            端壁

22            开孔

23            内表面

24            支撑表面

26            固定件

27            螺丝

28            凹槽

111           螺旋装置

112           座体

113           内斜楔

114           外斜楔

115           调整螺丝

116           容置空间

117           底面

118           开口

119           弹性体

120           螺孔

121             贯穿孔

1111a、1111b    端面

1121            螺孔

1131            第一斜面

1141            第二斜面

1142            本体

具体实施方式

图1显示本发明的一实施范例的一探针卡1a与一支撑件2的立体组合示意图，而图2与图3显示图1的分解示意图。参照图1至图3所示，本发明的一实施范例公开的探针卡1a可具一圆形形状，但本发明不限于此。探针卡1a包含一电路板12、一支撑物14以及多根探针16。电路板12具有一下表面18，支撑物14固设于电路板11的下表面18上，探针16固定于支撑物14上。电路板12上可设有多个接点(未绘示)，多根探针16电性连接至相对应的多个接点，使得通过电路板11可提供多根探针16测试信号。

再参照图1至图3所示，探针卡1a可收容于一呈盖状的支撑件2之内，该支撑件2具有一端壁21，一凹陷的支撑表面24设置于端壁21的内表面23上，该支撑件2另具有一开孔22，该开孔22形成于支撑表面24上。

参照图5所示，电路板12以多根探针16朝向该开孔22的方式放置于支撑件2内。当探针卡1a安放于支撑件2上后，多根探针16可穿过该开孔22凸出于支撑件2的端壁21外。而且，由于支撑表面24的径宽可略大于探针卡1a的径宽，使得电路板12可完全放置在支撑表面24上。

参照图4至图5，探针卡1a另包含多个螺旋调整机构11a，多个螺旋调整机构11a设置在电路板12上且位于可抵靠支撑表面24的部分，这些螺旋调整机构11a可彼此等距设置，但本发明不限于前述配置。

参照图5与图6所示，多个贯穿孔121相对应于这些螺旋调整机构11a设置于电路板12上。各螺旋调整机构11a包含一螺旋装置111及一固定装置112。螺旋装置111具有一端面1111a及设置于其外表面上的外螺纹，其中各螺旋装置111穿设于相对应的贯穿孔121内，而其端面1111a位于电路板12的下表面18侧，使螺旋装置111的端面1111a可顶抵支撑件2的支撑表面24。固定装置112设置于电路板12的上表面19上，各固定装置112包含一贯穿螺孔1121，其中该螺旋装置111上的外螺纹螺合于该螺孔1121。此外，在另一实施例中，固定装置112可设置或固定于电路板12的下表面18。

各固定装置112可固定于电路板12的上表面19，使得当旋转螺旋装置111时，端面1111a可相对于下表面18做进退移动，而改变其凸出于电路板12的下表面18的高度，从而调整电路板12与支撑表面24间的间距。若同时令环设于电路板12的多个螺旋装置111的端面1111a凸出不同高度，即可调整电路板12的水平。本案实施例中，螺旋装置111可为一调整螺丝，其可具0.1至0.5厘米(millimeter)的节距，但本发明不以此为限。固定装置112的固定方式可为使用黏胶、焊锡或螺丝固定，但本发明不以此为限。

参照图7至图9，在另一实施例中，探针卡1b包含多个螺旋调整机构11b，这些螺旋调整机构11b固定于电路板12的下表面18上，且相对于支撑件2的支撑表面24设置。这些螺旋调整机构11b可彼此等距配置，然本发明不以此为限。

参照图9所示，各螺旋调整机构11b包含一座体112、一内斜楔113、一外斜楔114及一调整螺丝115。座体112包含一容置空间116，容置空间116为座体112的底面117下凹而形成。内斜楔113收容于容置空间116，调整螺丝115以螺接的方式设于座体112且与内斜楔113相连接，其中调整螺115设置于内斜楔113的第一斜面1131的倾斜方向上。通过旋转调整螺丝115，可使内斜楔113于容置空间116的内部，在内斜楔113的第一斜面1131的倾斜方向(箭头″X″所示的移动方向)上移动。

再者，座体112的底面117具有一开口118，开口118通连容置空间116。外斜楔114包含一本体1142，本体1142具一端面1111b，其中外斜楔114被部分收容于座体112的容置空间116中，且本体1142的端面1111b经由开口118凸出于座体112的底面117。本体1142的形状可与座体112的开口118的形状配合，以拘限外斜楔114仅能于开口1118朝向的方向上移动。换言之，移动上受拘限的外斜楔114，使端面1111b仅可相对于电路板12的下表面18做进退的移动。在一实施例中，前述座体112包含金属或工程塑料，但本发明不以此为限。

参照图10至图12所示，内斜楔113具有一第一斜面1131，外斜楔114具有一第二斜面1141，其中该第二斜面1141与端面1111b位于外斜楔114的相反两侧。内斜楔113的第一斜面1131被设置为朝向容置空间116的开口118，而外斜楔114以其第二斜面1141面向内斜楔113的第一斜面1131与内斜楔113相叠设置。

参照图12所示，由于内斜楔113的第一斜面1131的倾斜角度与外斜楔114的第二斜面1141的倾斜角度可相同，因此当内斜楔113移动时，可使端面1111b相对于电路板12的下表面18仅做进退移动。此外，在本实施例中，内斜楔113可以旋转调整螺丝115来推动，而相对于调整螺丝115所在的另一侧上可设置弹性体119。因此，当调整螺丝115旋转使内斜楔113往弹性体119方向移动时，弹性体119可被压缩；而当调整螺丝115旋转而往弹性体119反向上移动时，弹性体119可同时将内斜楔113推向调整螺丝115，从而使内斜楔113可做来回移动。弹性体119可为弹簧，但本发明不以此为限。调整螺丝115可以螺接的方式设于座体112。即，如图9所示，座体112上设置可螺合该调整螺丝115的螺孔120，而调整螺丝115可以螺接的方式设于该螺孔120中。利用调整螺丝115与螺孔120间的配合，可达到移动内斜楔113的目的。

参照图10、图11与图13所示，内斜楔113的第一斜面1131与外斜楔114的第二斜面1141间可彼此嵌接。在本实施例中，第二斜面1141上可形成鸠尾榫结构，相对应地，在第一斜面1131上可形成与该鸠尾榫结构配合的鸠尾槽结构。在另一实施例中，鸠尾榫结构可形成于第一斜面1131上，而鸠尾槽结构可形成于第二斜面1141上。在其它实施例中，内斜楔113的第一斜面1131与外斜楔114的第二斜面1141间可以其它结构如工字型等相嵌接。

参照图14所示，各螺旋调整机构11b设置于电路板12的下表面18，而在电路板12的上表面19，相对应于各螺旋调整机构11b之所在，可设置固定件26。固定件26可利用如黏胶等固定于上表面19，但本发明不以此为限。电路板12可包含多个贯穿孔121，这些贯穿孔121相应于这些螺旋调整机构11b设置，固定件26与各螺旋调整机构11b可分别设置于相对应的贯穿孔121的相对两侧。如图14所示，螺旋调整机构11b的座体112与固定件26可分别设有螺孔，螺丝27穿设于相对应的贯穿孔121并以其两端分别螺入座体112与固定件26的螺孔，从而使各螺旋调整机构11b固定于电路板12。

参照图7与图14所示，电路板12的下表面18上可形成多个凹槽28，各螺旋调整机构11b可先行设置于相对应的凹槽28内，之后以前述方法固定于电路板12上。在其它实施例中，各螺旋调整机构11b可以黏着的方式固定。

相较于现有技术，本发明的各实施例公开的各探针卡具有可调整倾斜度的螺旋调整机构。由于螺旋调整机构构造简单，且设置在探针卡的电路板上，因此可充分解决现有的调整机构所具有的问题。

本发明的技术内容及技术特点已公开如上，然而本领域技术人员仍可能基于本发明的教示及所公开的内容而做种种不背离本发明精神的替换及修饰。因此，本发明的保护范围应不限于实施范例所公开的内容，而应包括各种不背离本发明的替换及修饰，并以权利要求书的界定为限。

Claims (15)

1.一种探针卡，包含：

一电路板，具有相对的一第一表面与一第二表面；

多根探针，固定于该电路板的该第一表面；以及

至少一螺旋调整机构，被建构以调整该电路板的水平，该至少一螺旋调整机构包含：

一固定装置，具有一螺孔，其中该固定装置固定于该电路板；及

一螺旋装置，包含一端面，其中该螺旋装置以螺接的方式设于该螺孔中，且该端面位于该电路板的该第一表面侧，使得当该螺旋装置被旋转时，该端面可相对于该第一表面进退移动。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其中该电路板包含至少一贯穿孔，该贯穿孔相对应于该至少一螺旋调整机构设置，其中该固定装置固定于该第二表面，而该螺旋装置穿设于该贯穿孔。

3.根据权利要求2所述的探针卡，其中该至少一螺旋调整机构包含多个螺旋调整机构，其中所述螺旋调整机构彼此等距设置。

4.根据权利要求3所述的探针卡，其中该螺旋装置为一调整螺丝。

5.根据权利要求4所述的探针卡，其中该调整螺丝包含0.1至0.5厘米的节距。

6.根据权利要求1所述的探针卡，其中该固定装置以黏胶、焊锡或螺丝固定。

7.一种探针卡，包含：

一电路板，具一表面；

多根探针，固定于该电路板的该表面；以及

至少一螺旋调整机构，被建构以调整该电路板的水平，该至少一螺旋调整机构包含：

一座体，包含一开口和一容置空间，该座体设置于该电路板的该表面，其中该开口形成于该座体背向该电路板的该表面上，且连通该容置空间；

一内斜楔，收容于该容置空间，该内斜楔具有一第一斜面，该第一斜面朝向该开口，该内斜楔被建构以于该容置空间内往该第一斜面的倾斜方向上移动；

一外斜楔，具一第二斜面与一端面，该外斜楔以该第二斜面面向该第一斜面的方式与该内斜楔相叠设置，其中该第二斜面与该端面位于该外斜楔的相反两侧；及

一调整螺丝，在该倾斜方向上以螺接的方式设于该座体且与该内斜楔相连接。

8.根据权利要求7所述的探针卡，其中该至少一螺旋调整机构包含多个螺旋调整机构，其中所述螺旋调整机构彼此等距设置。

9.根据权利要求7所述的探针卡，其中该外斜楔的外形与该开口相配合。

10.根据权利要求7所述的探针卡，其中该内斜楔与该外斜楔彼此嵌接。

11.根据权利要求10所述的探针卡，其中该内斜楔与该外斜楔彼此以鸠尾榫与鸠尾槽嵌接。

12.根据权利要求7所述的探针卡，其中该探针卡还包含一固定件与一螺丝，其中该电路板包含至少一贯穿孔，该固定件与该至少一螺旋调整机构分别设置于该贯穿孔的相对两侧，该螺丝锁固该固定件与该至少一螺旋调整机构。

13.根据权利要求7所述的探针卡，其中该电路板还包含至少一凹槽，该至少一螺旋调整机构设置于该凹槽内。

14.根据权利要求7所述的探针卡，其中该至少一螺旋调整机构以一黏胶黏着于该电路板的该表面。

15.根据权利要求7所述的探针卡，其中该座体的材质为金属或工程塑料。

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