CN102133728A - 晶片单面抛光机防撞减压装置 - Google Patents
晶片单面抛光机防撞减压装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102133728A CN102133728A CN 201010583075 CN201010583075A CN102133728A CN 102133728 A CN102133728 A CN 102133728A CN 201010583075 CN201010583075 CN 201010583075 CN 201010583075 A CN201010583075 A CN 201010583075A CN 102133728 A CN102133728 A CN 102133728A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cylinder
- polishing machine
- buffering device
- oil cylinder
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
本发明抛光机的缓冲装置，特别是晶片单面抛光机的防撞缓冲装置，属于抛光机械技术领域。本缓冲装置的特征是，在与气缸活塞杆成一体的上磨盘转轴上连接有减振传动杆，在传动杆的行程上、下止点分别安装有阻尼油缸，阻尼油缸内装有复位的压力弹簧，阻尼油缸的液压油接口接于储油器上。本发明结构简单，可以承受很大的气缸压力和较长的行程，缓冲气缸在上下行程止点产生的冲击，减轻抛光头的冲击力量，保证半导体晶片的抛光质量，并延长抛光机的使用寿命。
Description
技术领域
本发明为抛光机的缓冲装置，特别是晶片单面抛光机的防撞缓冲装置，属于抛光机械技术领域。
气缸运动终止时的缓冲装置，让快速运动的气缸以逐步减速停下，以求得运动的平稳无冲击。
背景技术
传统的抛光机都是以气缸运动来实现上抛光头的提升及下降，并保持压力前行抛光，这类传统抛光机对于常见的金属零件或光学零件的加工是正常的。但是，在半导体晶片的抛光过程中，没有缓冲的情况下，当气缸运动到行程的上下二个端头时，就会产生冲击，这样就会造成摔坏抛光盘和破坏抛光晶片的后果，长时间运行还会损坏机器设备，使抛光机不能正常的工作，因此传统抛光机不能适用于半导体晶片的抛光。
发明内容
本发明缓冲装置所要解决的问题是提供一种晶片单面抛光机防撞减压装置，其结构简单但却可以缓冲气缸在上下行程止点产生的冲击，有利于保证半导体晶片的抛光质量，并延长抛光机的使用寿命。
本发明技术解决此问题的方法是：在与气缸活塞杆成一体的上磨盘转轴上连接有减振传动杆，在传动杆的行程上、下止点分别安装有阻尼油缸，阻尼油缸内装有复位的压力弹簧，阻尼油缸的液压油接口接于储油器上。
所述的传动杆通过一连接板与转轴的上端连接，并且采用二根传动杆对称安装在连接板上。
所述的阻尼油缸的下缸体与气缸的支座成一体，缸内安装的压力弹簧采用圆柱螺旋弹簧。
本发明的工作原理是：当气缸中的转轴运动到终点时，撞上阻尼油缸的活塞，由于阻尼油缸的液压油接口只能让设定量的液压油通过，迫使气缸中转轴下移速度降低，直至终点。当气缸中转轴向上运动时，阻尼油缸中的活塞在弹簧的作用下回位，液压油重新被吸回到油缸中。
本发明的有益效果是：采用了活塞式液压压力油循环方式的阻尼油缸，可以承受很大的气缸压力和较长的行程，缓冲抛光头的冲击力量，保证半导体晶片的抛光质量，并延长抛光机的使用寿命。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的阻尼油缸结构示意图
图中各标号为：气缸上盖01、气管接口02、气缸套03、上气室04、支座05、下盖06、转轴07、上磨盘连接法兰08、轴承09、液压油接口10、压力弹簧11、活塞12、密封圈13、密封圈14、传动杆15、轴承16、连接板17。
具体实施方式
参见图1、2，上磨盘的转轴07与气缸活塞杆成一体，装入气缸套03中，转轴07的上端连接一连接板17，连接板17两侧对称安装二根传动杆15，在传动,15的行程上、下止点分别安装阻尼油缸，阻尼油缸的下缸体直接设置在气缸的支座05上，阻尼油缸内装有复位的压力弹簧11，阻尼油缸的液压油接口10接于储油器（图中未画）上。阻尼油缸的缸内安装的压力弹簧11采用圆柱螺旋弹簧，一端触压在缸底，另一端触压在活塞12的内孔中。
气缸中转轴07向下运动时，带动连接板17一起运动，通过穿过气缸体外面的导孔，减振作用的传动杆15向下运动。当碰上阻尼油缸的活塞12时，活塞12继续向下运动，将油缸里的油通过液压油接口的限流孔推回储油器，调节流量，控制油缸活塞的运动速度。当转轴07提起后，油缸活塞12在压力弹簧11作用下弹起，将储油器里的油重新吸入阻尼油缸，完成复位。
Claims (3)
1.一种晶片单面抛光机防撞减压装置，其特征是：在与气缸活塞杆成一体的上磨盘转轴上连接有减振传动杆，在传动杆的行程上、下止点分别安装有阻尼油缸，阻尼油缸内装有复位的压力弹簧，阻尼油缸的液压油接口接于储油器上。
2.按权利要求1所述的晶片单面抛光机防撞减压装置，其特征是：传动杆通过一连接板与转轴的上端连接，并且采用二根传动杆对称安装在连接板上。
3.按权利要求2所述的晶片单面抛光机防撞减压装置，其特征是：阻尼油缸的下缸体与气缸的支座成一体，缸内安装的压力弹簧采用圆柱螺旋弹簧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010583075 CN102133728A (zh) | 2010-12-11 | 2010-12-11 | 晶片单面抛光机防撞减压装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010583075 CN102133728A (zh) | 2010-12-11 | 2010-12-11 | 晶片单面抛光机防撞减压装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102133728A true CN102133728A (zh) | 2011-07-27 |
Family
ID=44293723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201010583075 Pending CN102133728A (zh) | 2010-12-11 | 2010-12-11 | 晶片单面抛光机防撞减压装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102133728A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111376128A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-07-07 | 李万春 | 一种外圆磨床 |
| CN112658878A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-16 | 上饶市恒泰光学设备制造有限公司 | 一种三轴准球芯精磨研磨装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4007560A (en) * | 1974-09-03 | 1977-02-15 | Jmj Werkzeugmaschinen Gmbh Fuer Feinbearbeitung | Two wheel lapping machine |
| US4135890A (en) * | 1976-10-06 | 1979-01-23 | Essilor International Cie Generale D'optique | Machines for surfacing lenses |
| CN1047463A (zh) * | 1989-05-10 | 1990-12-05 | 凯斯勒特殊机器制造有限公司 | 断开连杆的方法和设备 |
| CN2558485Y (zh) * | 2002-08-02 | 2003-07-02 | 中山市富山玻璃机械有限公司 | 一种玻璃立式钻孔机主轴电控气动进给装置 |
| CN201300309Y (zh) * | 2008-10-06 | 2009-09-02 | 宁波市鄞州思可达传动件有限公司 | 自动进给仪表车床 |
| CN201940890U (zh) * | 2010-12-11 | 2011-08-24 | 昆明台兴精密机械有限责任公司 | 晶片单面抛光机防撞减压装置 |
-
2010
- 2010-12-11 CN CN 201010583075 patent/CN102133728A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4007560A (en) * | 1974-09-03 | 1977-02-15 | Jmj Werkzeugmaschinen Gmbh Fuer Feinbearbeitung | Two wheel lapping machine |
| US4135890A (en) * | 1976-10-06 | 1979-01-23 | Essilor International Cie Generale D'optique | Machines for surfacing lenses |
| CN1047463A (zh) * | 1989-05-10 | 1990-12-05 | 凯斯勒特殊机器制造有限公司 | 断开连杆的方法和设备 |
| CN2558485Y (zh) * | 2002-08-02 | 2003-07-02 | 中山市富山玻璃机械有限公司 | 一种玻璃立式钻孔机主轴电控气动进给装置 |
| CN201300309Y (zh) * | 2008-10-06 | 2009-09-02 | 宁波市鄞州思可达传动件有限公司 | 自动进给仪表车床 |
| CN201940890U (zh) * | 2010-12-11 | 2011-08-24 | 昆明台兴精密机械有限责任公司 | 晶片单面抛光机防撞减压装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111376128A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-07-07 | 李万春 | 一种外圆磨床 |
| CN111376128B (zh) * | 2020-04-30 | 2021-10-22 | 安徽中材新材料科技有限公司 | 一种外圆磨床 |
| CN112658878A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-16 | 上饶市恒泰光学设备制造有限公司 | 一种三轴准球芯精磨研磨装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202140372U (zh) | 一种带缓冲装置的液压油缸 | |
| CN102345652A (zh) | 一种缓冲型气缸 | |
| CN201940890U (zh) | 晶片单面抛光机防撞减压装置 | |
| CN102672986A (zh) | 双盘双电机驱动摩擦压力机 | |
| CN102133728A (zh) | 晶片单面抛光机防撞减压装置 | |
| CN201447331U (zh) | 举升装置 | |
| CN209800416U (zh) | 一种可微调带缓冲且密封自动补偿的油缸 | |
| CN207333130U (zh) | 一种电磁柱塞泵 | |
| CN201434036Y (zh) | 一种冲压模用氮气弹簧 | |
| CN202645910U (zh) | 一种石油钻井泥浆泵 | |
| CN104747536A (zh) | 非定位式液压节流缓冲机构 | |
| CN211051631U (zh) | 一种全自动振磨机 | |
| CN103277288A (zh) | 直线电机驱动的隔膜压缩机 | |
| CN102825539B (zh) | 用于高速往复运动部件的液压配重装置 | |
| CN202467787U (zh) | 一种游梁式双变节能抽油机 | |
| CN103009671A (zh) | 一种高速压力机球头间隙调整机构 | |
| CN210557639U (zh) | 一种拐臂动作缓冲装置 | |
| CN203321937U (zh) | 缓冲油缸 | |
| CN202348146U (zh) | 一种抽油杆减震器 | |
| CN202528497U (zh) | 一种液压机的缓冲装置 | |
| CN202866734U (zh) | 油田抽油杆密封装置 | |
| CN105060076A (zh) | 一种具有双重减震效果的电梯轿底高效减震装置 | |
| CN206360962U (zh) | 带防转导套装置的大型液压缸 | |
| CN202391706U (zh) | 柱塞泵的止推板和变量头装配结构 | |
| CN202118254U (zh) | 一种新型液压油缸 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20110727 |