CN102130216A - 薄膜太阳电池用槽加工工具及其角度限制结构 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种薄膜太阳电池用槽加工工具及其角度限制结构，在将槽加工工具安装于保持器时，能够通过简单的作业准确地调整角度。该薄膜太阳电池用槽加工工具(16)被保持于保持器(15)，并与保持器(15)一起在集成型薄膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动，从而形成沿一个方向延伸的槽，薄膜太阳电池用槽加工工具(16)具备由保持器(15)保持的工具主体(22)和刀锋部(24)。刀锋部(24)形成于工具主体(22)的前端部，并且在刀锋部(24)的前端具有槽加工用的刀锋(24f、24g)。并且，在工具主体(22)设有角度限制部，以便在工具主体(22)被保持器(15)保持的状态下将刀锋部(24)相对于槽形成方向固定成预定的姿势。
Description
技术领域
本发明涉及槽加工工具，特别地，涉及由保持器保持、并与保持器一起在集成型薄膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动从而形成沿一个方向延伸的槽的加工工具。此外，本发明还涉及用于对该槽加工工具的安装角度进行限制的角度限制结构。
背景技术
作为薄膜太阳电池，例如如专利文献1所示，提供了层叠多层薄膜而形成的集成型薄膜太阳电池。在该专利文献1记载的集成型薄膜太阳电池中，在玻璃等的基板上形成由钼膜构成的下部电极膜，然后将下部电极膜分割为长条状(短冊状)。接着，在下部电极膜上形成化合物半导体膜，该化合物半导体膜包括CIGS(铜铟镓硒)膜等黄铜矿(chalcopyrite)结构化合物半导体膜。接着，进一步，将这些半导体膜的一部分呈带(stripe)状地除去从而将这些半导体膜分割为长条状，并且以覆盖这些半导体膜的方式形成上部电极。接着，最后，将上部电极膜的一部分呈带状地除去来进行分割。
如上所述地操作，从而形成由多个单元电池串联连接而成的集成型薄膜太阳电池。此时，为了将膜的一部分呈带状地除去，使用槽加工工具和剥离工具。槽加工工具和剥离工具经由保持器设置在加工机构的工作台上。并且，当利用槽加工工具形成两个槽之后，利用剥离工具将两个槽之间的薄膜剥离。
专利文献1：日本特开2002-33498号公报
如专利文献1所示，在利用槽加工工具或者剥离工具形成槽并将薄膜剥离时，需要将工具的安装角度设定成与槽的形成方向一致。在未相对于槽的形成方向将工具设定成预定的角度的情况下，存在得不到预期的槽宽、或者因工具的前端形成单侧接触而产生膜的剥落的情况。
为了防止上述那样的因工具的安装角度不准确而发生的不良情况，在更换工具等的时候需要进行工具安装角度的调整作业。具体来说，将工具和保持器安装于工具角度调整用的其他装置，在利用显微镜确认工具的同时进行工具的安装角度的调整。这样的调整作业非常麻烦，而且需要较长的作业时间。
发明内容
本发明的课题在于，在将槽加工工具安装于保持器时，能够通过简单的作业准确地调整角度。
第一技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具被保持于保持器，并与保持器一起在集成型薄膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动，从而形成沿一个方向延伸的槽，该薄膜太阳电池用槽加工工具具备：工具主体，其保持于保持器；和刀锋部。刀锋部形成于工具主体的前端部，并且在刀锋部的前端具有槽加工用的刀锋。并且，在工具主体设有角度限制部，以便在工具主体被保持器保持的状态下将刀锋部相对于槽形成方向固定成预定的姿势。
在此，在工具主体被保持器保持的状态下，利用角度限制部将工具主体固定成预定的姿势。由此，在将工具安装于保持器时，无需使用显微镜等装置，能够简单地始终以恒定的姿势进行安装。并且，由于能够在工具的姿势始终恒定的状态下对槽进行加工，因此能够使所形成的槽的加工质量稳定。
第二技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具为，在第一技术方案的工具中，刀锋部沿薄膜上的槽的形成方向以相同的宽度在预定的长度范围内延伸。此外，在工具主体被保持器保持的状态下，角度限制部使刀锋部的延伸方向与槽形成方向一致。
在此，刀锋部沿槽形成方向以相同宽度延伸。由此，即使刀锋磨损也能够继续进行加工。在这样的结构的工具中，需要使刀锋部的延伸方向与槽形成方向一致。因此，通过角度限制部，能够在工具主体被保持器保持的状态下使刀锋部的延伸方向与槽形成方向一致。
第三技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具为，在第二技术方案的工具中，刀锋部在工具主体的整个宽度范围内延伸。
在该情况下，能够较高地维持刀锋部的强度。此外，即使刀锋进一步磨损，也能够延长工具的可加工寿命。
第四技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具为，在第一至第三技术方案中的任意一种工具中，角度限制部通过使工具主体的至少一部分形成为矩形而构成。在该情况下，由于工具主体的至少一部分为矩形，因此若将该矩形部分插入保持器侧的矩形槽中，则能够以简单的结构限制工具主体的角度。
第五技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具为，在第四技术方案的工具中，工具主体全部形成为矩形，并且该工具主体的一部分发挥作为角度限制部的功能。
在该情况下，由于工具主体自身为矩形，因此无需特别的加工就能够构成角度限制部。
第六技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构是用于将加工工具相对于保持器以预定的安装角度进行装配的结构，该加工工具用于在集成型薄膜太阳电池的薄膜上形成沿一个方向延伸的槽，该薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构具备：工具侧角度限制部，其形成于槽加工工具；和保持器侧角度限制部。保持器侧角度限制部形成于保持器，用于将槽加工工具相对于保持器的安装角度限制为预定的角度。此外，槽加工工具具备：工具主体，其被保持于保持器；和刀锋部。刀锋部形成于工具主体的前端部，并且在刀锋部的前端具有槽加工用的刀锋。并且，在工具主体设有角度限制部，以便在工具主体被保持器保持的状态下将刀锋部相对于槽形成方向固定成预定的姿势。
在此，在槽加工工具被保持器保持的状态下，利用工具侧角度限制部和保持器侧角度限制部将槽加工工具的刀锋部相对于槽形成方向固定成预定的姿势。由此，与上述相同地，能够通过简单的安装作业将槽加工工具相对于保持器始终以恒定的姿势安装。并且，能够使所形成的槽的加工质量稳定。
第七技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构为，在第六技术方案的结构中，刀锋部沿槽的形成方向以相同的宽度在预定的长度范围内延伸。此外，在工具主体被保持器保持的状态下，工具侧角度限制部使刀锋部的延伸方向与槽形成方向一致。
第八技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构为，在第六或第七技术方案的结构中，工具侧角度限制部通过使工具主体的至少一部分或者全部形成为矩形而构成。此外，保持器侧角度限制部是矩形形状的槽，矩形的工具侧角度限制部被嵌入到该矩形形状的槽中。
在此，能够以简单的结构将槽加工工具相对于保持器始终以相同的姿势进行固定。
第九技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构为，在第六技术方案的结构中，工具侧角度限制部是槽，该槽形成于工具主体的端部，并且与槽形成方向平行地形成。此外，保持器侧角度限制部是与形成于工具主体的端部的槽卡合的销。
在此，设于保持器的销与形成于工具主体的端部的槽卡合。通过该槽与销的卡合，能够将槽加工工具相对于保持器始终以恒定的姿势固定。
第十技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构为，在第六技术方案的结构中，工具侧角度限制部是倾斜面，该倾斜面形成于工具主体的端部，并且相对于工具主体的轴线倾斜。此外，保持器侧角度限制部具有与倾斜面抵接的限制面。
在此，通过形成于工具主体的端部的倾斜面与设于保持器的限制面抵接，来将槽加工工具相对于保持器始终以恒定的姿势固定。此外，由于工具主体的倾斜面抵接于保持器侧的限制面，因此能够限制槽加工工具向上方的移动。
第十一技术方案涉及的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构为，在第六技术方案的结构中，工具主体的截面形成为圆形，并且工具侧角度限制部具有平面，该平面形成于工具主体的一部分。此外，保持器具有孔，工具主体被插入到该孔中，保持器侧角度限制部具有：螺纹孔，其相对于保持器的孔正交；和螺纹部件，其与螺纹孔螺合，且该螺纹部件的前端与工具侧角度限制部的平面抵接。
在如上所述的本发明中，能够通过简单的作业准确地调整角度并将槽加工工具装配于保持器。
附图说明
图1是采用了本发明的一个实施方式的刻划(scribe)装置的外观立体图。
图2是第一实施方式所涉及的保持器组装体的主视图。
图3是保持器组装体的侧视图。
图4是第一实施方式的槽加工工具的外观立体图。
图5是第二实施方式所涉及的保持器组装体的侧视图。
图6是第二实施方式的槽加工工具的外观立体图。
图7是第三实施方式的角度限制结构的局部图。
图8是第四实施方式的角度限制结构的局部侧视图。
图9是第四实施方式的槽加工工具的局部外观立体图。
图10是第五实施方式的保持器组装体的主视图。
图11是沿图10的箭头Z方向观察的局部图。
标号说明
15、35、64：保持器；16、36、54、60：槽加工工具；21：矩形槽；22、55、61：工具主体；24、56、62：刀锋部；30、41：螺纹部件；46a、46b、52a：倾斜面；49：槽；49a、49b：限制面；55a：平面部；67：销；70：V形槽。
具体实施方式
图1表示采用了本发明的一个实施方式的集成型薄膜太阳电池用刻划装置的外观立体图。
-第一实施方式-
[刻划装置的整体结构]
该装置具备：工作台1，该工作台1用于载置太阳电池基板W；保持器组装体3，该保持器组装体3设置于刻划头2；两个摄像机4；以及两个监视器5。
工作台1能够在水平面内沿图1的Y方向移动。并且，工作台1能够在水平面内旋转至任意的角度。
刻划头2能够通过移动支承机构6在工作台1的上方沿X、Y方向移动。另外，如图1所示，X方向是在水平面内与Y方向正交的方向。移动支承机构6具有：一对支承柱7a、7b；引导杆8，该引导杆8横跨设置在一对支承柱7a、7b之间；以及马达10，该马达10用于对形成于引导杆8的引导件9进行驱动。刻划头2能够沿着引导件9如前面所述地在X方向移动。并且，在该刻划头2设置有未图示的气缸，保持器组装体3能够通过该气缸沿着直线引导件(linear guide)上下移动。
两个摄像机4分别固定于基座12。各个基座12能够沿着引导件14移动，该引导件14设置于支承座13且沿X方向延伸。两个摄像机4能够上下移动，由各摄像机4拍摄到的图像显示于对应的监视器5。此处，在太阳电池基板W的表面设置有用于确定位置的对准标记。通过利用两个摄像机4拍摄该对准标记来确定对准标记的位置。然后，根据确定出的对准标记的位置来检测载置于工作台1的太阳电池基板W的方向偏移。
[保持器组装体]
保持器组装体3固定于刻划头2的一个面，并且，该保持器组装体3能够与刻划头2一起在X、Y方向移动，并能够相对于刻划头2在上下方向移动。将保持器组装体3取出并在图2和图3中示出。图2是保持器组装体3的主视图，图3是该保持器组装体3的侧视图。
该保持器组装体3具备：保持器15，该保持器15固定于刻划头2；以及槽加工工具16，该槽加工工具16由保持器15保持。此外，在保持器15和槽加工工具16设有角度限制结构，该角度限制结构用于将槽加工工具16相对于保持器15以预定的安装角度安装。
<保持器>
保持器15是板状的部件，其具有安装于刻划头2的第一主面17以及相反侧的第二主面18。并且，在保持器15形成有上下两个贯通孔19。保持器15利用贯通这些贯通孔19的两根螺栓20固定于刻划头2。并且，在保持器15从下方朝上方形成有预定长度的槽21。槽21形成于第二主面18，且该槽21是具有预定深度的矩形形状。并且，在该槽21的上部形成有止挡面21a。槽加工工具16的上端面抵接于该止挡面21a。由此，限制了槽加工工具16朝上方的移动。
<槽加工工具>
槽加工工具16插入于保持器15的矩形槽21，并且，如前面所述，槽加工工具16的上端面抵接于矩形槽21的止挡面21a。槽加工工具16由超硬合金或者烧结金刚石等硬质材料形成，且该槽加工工具16由工具主体22和刀锋部24构成。工具主体22与保持器15的矩形槽21对应地形成为矩形。刀锋部24在工具主体22的前端部与工具主体22形成为一体。如图4所示，刀锋部24具有底面24a、前表面24b和后表面24c、以及左右的侧面24d、24e。底面24a形成为长方形。前表面24b和后表面24c与底面24a正交地向上方延伸，所述前表面24b和后表面与工具主体22的表面处于同一平面。左右的侧面24d、24e从底面24a的长边与底面24a正交地向上方延伸，并且左右的侧面24d、24e相互平行地形成。另外，从工具主体22到左右的侧面24d、24e形成随着朝向下方而变得尖细的倾斜面。
在如上所述的槽加工工具16中，由刀锋部24的底面24a与前表面24b以及该底面24a与后表面24c形成的角部24f、24g分别成为加工基板时的刀锋。刀锋部24以与刀锋24f、24g相同的宽度形成在与工具主体22的宽度相同的长度范围内。由此，即使刀锋24f、24g因加工而磨损，所加工的槽的宽度也不会改变。
并且，在使刀锋部24的前表面24b和后表面24c相对于太阳电池基板W倾斜预定角度的状态下，即，以使刀锋24f或者24g与基板W接触的方式，将包括该槽加工工具16的保持器组装体3安装于刻划头2。
<角度限制结构>
当在基板W的薄膜上形成槽的情况下，使槽加工工具16的刀锋24f或者24g以其刃部与应形成的槽延伸的方向(槽形成方向)正交的方式抵接，并使槽加工工具16沿槽形成方向移动。此外，如前面所述，槽加工工具16的刀锋部24中，刀锋24f、24g沿长边方向(槽形成方向)以相同宽度延伸，从而即使刀锋部24进一步磨损也能够继续使用。由于以上的理由，所以需要限制槽加工工具16的安装角度以使刀锋24f和24g的刃部与槽形成方向正交。
为此，在保持器15和槽加工工具16设置有角度限制结构，以使槽加工工具16相对于保持器15以预定的角度固定。另外，在本实施方式中，如前面所述，将槽加工工具16的角度设定成使刀锋24f、24g的刃部与槽形成方向正交。
以上的角度限制结构包括：形成于保持器15的矩形槽21；和矩形的工具主体22。即，通过将矩形的工具主体22嵌入矩形槽21，能够固定槽加工工具16的刀锋24f、24g相对于保持器15的角度。
此外，角度限制结构除了矩形槽21和矩形的工具主体22以外，还具有固定板26。在固定板26形成有沿横向排列的两个贯通孔27。并且，固定板26利用两根螺栓29固定于保持器15的第二主面18，所述两根螺栓29贯通各个贯通孔27并与保持器15的对应的螺纹孔28螺合。这样，固定板26将插入于保持器15的矩形槽21中的槽加工工具16的上方大致1/3的部分覆盖起来。
并且，在固定板26形成有贯通的螺纹孔26a。螺纹孔26a设置在当固定板26被固定于保持器15的状态下与槽加工工具16相面对的位置。并且，通过使螺纹部件30与该螺纹孔26a螺合，螺纹部件30的前端将槽加工工具16按压向矩形槽21的底面。由此，防止了槽加工工具16从矩形槽21落下。
[动作]
如前面所述，槽加工工具16以底面24a的长边方向沿着槽形成方向(工具移动方向)且刀锋24f或24g与槽形成方向正交的方式设置于刻划头2。并且，槽加工工具16在刀锋部24的前表面24b和后表面24c相对于太阳电池基板W倾斜预定角度的状态下设置于刻划头2。
在以上那样的状态下，每当使工作台1在Y方向移动预定间距后，使保持器组装体3下降，将槽加工工具16的刀锋24f或24g按压于太阳电池基板W的表面。然后，通过使保持器组装体3在X方向移动，来在太阳电池基板W的表面形成沿着X方向的槽。
[特征]
在本实施方式中，将矩形的工具主体22插入保持器15的矩形槽21内，从而限制槽加工工具16的安装角度。由此，能够通过非常简单的结构以及简单的安装作业来将槽加工工具16相对于保持器15始终以恒定的姿势进行安装。因此，利用这样的槽加工工具16形成的槽的加工质量稳定。
并且，槽加工工具16的刀锋部24沿着槽的形成方向以相同的宽度在工具主体22的整体长度范围内连续地延伸。因此，即便刀锋磨损也能够继续进行加工，能够延长工具寿命。
-第二实施方式-
在图5和图6中示出了保持器和槽加工工具的第二实施方式。另外，在该第二实施方式中，除了保持器35和槽加工工具36以外的结构是与第一实施方式相同的结构。
<保持器>
保持器35具有基座板37和支撑块38。基座板37具有安装于刻划头2的第一主面39以及相反侧的第二主面40。并且，与上述相同，在保持器35的基座板37形成有多个贯通孔(未图示)，通过贯通于这些贯通孔中的螺栓，保持器35被固定于刻划头2。
支撑块38固定于基座板37的第二主面40。将支撑块38固定于基座板37的固定方法并未特别限定，可以采用螺栓、焊接、一体形成等方法。在支撑块38形成有沿上下方向贯通的圆形的贯通孔38a。并且，槽加工工具36被插入该贯通孔38a中并且被支撑。另外，用于将插入到支撑块38的贯通孔38a中的槽加工工具36固定的结构与第一实施方式相同。即，利用螺纹孔38b和螺纹部件41将槽加工工具36保持于支撑块38，该螺纹孔38b以从支撑块38的外表面朝向贯通孔38a贯通的方式形成于该支撑块38，所述螺纹部件41与该螺纹孔38b螺合并与槽加工工具36的外周面抵接。
<槽加工工具>
槽加工工具36通过对圆杆进行加工而形成。该槽加工工具36由超硬合金或者金刚石等硬质材料形成，且该槽加工工具36由工具主体42和刀锋部44构成。工具主体42的截面与支撑块38的圆形的贯通孔38a对应地形成为圆形。刀锋部44在工具主体42的前端部与工具主体42形成为一体。刀锋部44的结构与第一实施方式完全相同。即，如图6所示，刀锋部44具有底面44a、前表面44b和后表面44c、以及左右的侧面44d、44e。并且，由刀锋部44的底面44a与前表面44b以及该底面44a与后表面44c形成的角部44f、44g分别成为加工基板时的刀锋，这与第一实施方式也是相同的。
<角度限制结构>
在该第二实施方式中，角度限制结构包括工具侧角度限制部和保持器侧角度限制部。
工具主体侧角度限制部是在工具主体42的上端部形成的突起部46的倾斜面46a、46b。更为详细地来说，从侧面观察，工具主体42的上端部形成为三角形。即，从侧面观察，工具主体42的上端部随着朝向上方而变细，并且在基座板37侧具有第一倾斜面46a，而在相反侧具有第二倾斜面46b。因此，通过该突起部46而形成的第一和第二倾斜面46a、46b沿槽形成方向延伸。另外，槽形成方向也是刀锋部44延伸的方向。
此外，保持器侧角度限制部是设于构成保持器35的基座板37的第二主面40上的定位块48。在定位块48形成有截面呈倒V字形状的槽49。该槽49沿槽形成方向延伸。并且，槽加工工具36的突起部46的第一倾斜面46a和第二倾斜面46b分别与槽49的两侧的壁面(限制面)49a、49b抵接。
这样，通过设于槽加工工具36的倾斜面46a、46b以及设于保持器35的定位块48的槽49的限制面49a、49b，限制了槽加工工具36相对于保持器35的安装角度。此外，通过定位块48限制了槽加工工具36朝上方的移动。
根据这样的实施方式，也能够通过简单的安装作业来将槽加工工具36相对于保持器35始终以恒定的姿势进行安装，能够使通过该槽加工工具36形成的槽的加工质量稳定。此外，与上述相同，能够延长槽加工工具36的工具寿命。
-第三实施方式-
在图7中示出了第三实施方式。在该第三实施方式中，仅保持器侧角度限制部与第二实施方式不同，其他结构与第二实施方式相同。
如图7所示，构成保持器侧角度限制部的定位块52仅具有一个倾斜面52a。该倾斜面52a与上述相同地沿槽形成方向延伸，并且具有与构成工具侧角度限制部的工具主体42的突起部46的倾斜度相同角度的倾斜度。并且，通过使槽加工工具36的突起部46的第一倾斜面46a或者第二倾斜面46b与倾斜面52a抵接，能够限制槽加工工具36相对于保持器35的安装角度、以及该槽加工工具36朝上方的移动。
-第四实施方式-
在图8和图9中示出了第四实施方式。在该第四实施方式中，槽加工工具54通过对圆杆进行加工而形成，该槽加工工具54具有：截面为圆形的工具主体55；和形成于工具主体55的前端部的刀锋部56。由于刀锋部56的结构与上述各实施方式完全相同，因此省略说明。此外，保持器与第二实施方式的保持器35相同，具有支撑块38。在支撑块38设有贯通孔38a和螺纹孔38b。另外，在该第四实施方式中，并未在保持器设置定位块。
如图9所示，工具侧角度限制部由形成于工具主体55的一部分的平面部55a构成。平面部55a通过将工具主体55的外周的一部分沿与轴向正交且与槽形成方向(刀锋的延伸方向)平行的方向切除而形成。
另一方面，保持器侧角度限制部包括构成保持器的支撑块38的螺纹孔38b和螺纹部件41。即，通过使与支撑块38的螺纹孔38b螺合的螺纹部件41的前端抵接于工具主体55的平面部55a，限制了槽加工工具54相对于保持器的安装角度。
如上所述，在该第四实施方式中，通过工具主体55的平面部55a、支撑块38的螺纹孔38b以及与该螺纹孔38b螺合的螺纹部件41，构成了角度限制结构。并且，通过该角度限制结构限制了槽加工工具54相对于保持器在上下方向的移动。
-第五实施方式-
图10和图11示出了第五实施方式。图11是沿图10的箭头Z方向观察的视图。在该第五实施方式中，槽加工工具60通过对圆杆进行加工而形成，该槽加工工具60具有：截面为圆形的工具主体61；和形成于工具主体61的前端的刀锋部62。刀锋部62与上述各实施方式完全相同。此外，除槽加工工具和保持器以外，均为与上述各实施方式相同的结构。
保持器64具有：由长方体形状的块部件构成的基座部件65；支撑块66；以及角度限制用的销67。
在支撑块66沿纵向形成有贯通孔66a，并沿横向形成有螺纹孔66b。与上述各实施方式相同，螺纹孔66b以从支撑块66的外周面贯通至贯通孔66a的方式形成。另外，基座部件65利用两个螺栓69固定于刻划头2。并且，支撑块66利用两个螺栓68固定于基座部件65。
工具侧角度限制部是形成于工具主体61的上端部的V字形状的槽70。该V形槽70与形成于基板表面的槽的方向(刀锋的延伸方向)平行地形成。
另一方面，保持器侧角度限制部由上述的销67构成。槽加工工具60以使工具主体61的V形槽70的两壁面70a、70b抵接于销67的外周面的方式装配于支撑块66。
如上所述，在该第五实施方式中，通过工具主体61的V形槽70和设于保持器64的销67，构成了角度限制结构。并且，通过该角度限制结构，限制了槽加工工具60相对于保持器64朝上方移动。
另外，对插入在支撑块66的贯通孔66a中的槽加工工具60进行固定以使其不向下方落下的结构，与第一实施方式相同。即，通过与支撑块66的螺纹孔66b螺合并与槽加工工具60的外周面抵接的螺纹部件72，将槽加工工具60保持于支撑块66。
[其他实施方式]
本发明并不限定于上述的实施方式，可以不脱离本发明的范围地进行各种变形或者修正。
上述各实施方式中构成角度限制结构的倾斜面、销、槽等的延伸方向并不限定于在各自的图中所示的方向。只要是能够通过它们的抵接来限制槽加工工具的安装角度的结构，则可以形成于任意的方向。
Claims (11)
1.一种薄膜太阳电池用槽加工工具，该薄膜太阳电池用槽加工工具被保持于保持器，并与所述保持器一起在集成型薄膜太阳电池的薄膜上沿一个方向移动，从而形成沿所述一个方向延伸的槽，所述薄膜太阳电池用槽加工工具的特征在于，
该薄膜太阳电池用槽加工工具具备：
工具主体，该工具主体被保持于所述保持器；以及
刀锋部，该刀锋部形成于所述工具主体的前端部，并且在该刀锋部的前端具有用于对所述槽进行加工的刀锋，
在所述工具主体设有角度限制部，以便在所述工具主体被所述保持器保持的状态下将所述刀锋部相对于所述槽形成方向固定成预定的姿势。
2.根据权利要求1所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，
所述刀锋部沿所述薄膜上的槽的形成方向以相同的宽度在预定的长度范围内延伸，
在所述工具主体被所述保持器保持的状态下，所述角度限制部使所述刀锋部的延伸方向与所述槽形成方向一致。
3.根据权利要求2所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，
所述刀锋部在所述工具主体的整个宽度范围内延伸。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，
所述角度限制部通过使所述工具主体的至少一部分形成为矩形而构成。
5.根据权利要求4所述的薄膜太阳电池用槽加工工具，其中，
所述工具主体全部形成为矩形，并且该工具主体的一部分发挥作为所述角度限制部的功能。
6.一种薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构，该薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构是用于将加工工具相对于保持器以预定的安装角度进行装配的结构，该加工工具用于在集成型薄膜太阳电池的薄膜上形成沿一个方向延伸的槽，所述薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构的特征在于，
该薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构具备：
工具侧角度限制部，该工具侧角度限制部形成于所述槽加工工具；以及
保持器侧角度限制部，该保持器侧角度限制部形成于所述保持器，该保持器侧角度限制部用于将所述槽加工工具相对于所述保持器的安装角度限制为预定的角度，
所述槽加工工具具备：
工具主体，该工具主体被保持于所述保持器；以及
刀锋部，该刀锋部形成于所述工具主体的前端部，并且在该刀锋部的前端具有用于对所述槽进行加工的刀锋，
在所述工具主体设有角度限制部，以便在所述工具主体被所述保持器保持的状态下将所述刀锋部相对于所述槽形成方向固定成预定的姿势。
7.根据权利要求6所述的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构，其中，
所述刀锋部沿所述槽的形成方向以相同的宽度在预定的长度范围内延伸，
在所述工具主体被所述保持器保持的状态下，所述工具侧角度限制部使所述刀锋部的延伸方向与所述槽形成方向一致。
8.根据权利要求6或7所述的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构，其中，
所述工具侧角度限制部通过使所述工具主体的至少一部分或者全部形成为矩形而构成，
所述保持器侧角度限制部是矩形形状的槽，所述矩形的工具侧角度限制部被嵌入到该矩形形状的槽中。
9.根据权利要求6所述的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构，其中，
所述工具侧角度限制部是槽，该槽形成于所述工具主体的端部，并且与所述槽形成方向平行地形成，
所述保持器侧角度限制部是与形成于所述工具主体的端部的槽卡合的销。
10.根据权利要求6所述的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构，其中，
所述工具侧角度限制部是倾斜面，该倾斜面形成于所述工具主体的端部，并且相对于所述工具主体的轴线倾斜，
所述保持器侧角度限制部具有与所述倾斜面抵接的限制面。
11.根据权利要求6所述的薄膜太阳电池用槽加工工具的安装角度限制结构，其中，
所述工具主体形成为圆杆状，
所述工具侧角度限制部具有平面，该平面形成于所述工具主体的一部分，
所述保持器具有孔，所述工具主体被插入到该孔中，
所述保持器侧角度限制部具有：螺纹孔，该螺纹孔相对于所述保持器的孔正交；以及螺纹部件，该螺纹部件与所述螺纹孔螺合，且该螺纹部件的前端与所述工具侧角度限制部的平面抵接。
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