CN102112410B - 基板的保持装置、基板的保持方法以及夹层玻璃的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种利用简单的结构，可高精度确定所保持的基板的位置，充分确保基板的吸附力，能够防止基板脱落的基板的保持装置、基板的保持方法及夹层玻璃的制造方法。将基板近似水平保持，并使其上下移动的基板的保持装置(10)具有：支承体(2)；由支承体(2)支承并吸附基板的至少1个基板吸附体(1)；和在多个部位将基板吸附体(1)的外周部和支承体(2)的从基板吸附体(1)外周部沿水平方向分离的区域连接的带状弹性部件(4)；带状弹性部件(4)在与基板吸附体(1)连接的一端部和与支承体(2)连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、在上下方向薄的带状，按照基板吸附体(1)相对支承体(2)在上下方向相对接近分离的方式变位且在水平方向变位。

Description

基板的保持装置、基板的保持方法以及夹层玻璃的制造方法
技术领域
本发明涉及在制造夹层玻璃等时使用的基板的保持装置、基板的保持方法以及夹层玻璃(laminated glass)的制造方法。
背景技术
以往，公知有一种隔着聚乙烯醇缩丁醛(PVB)等热可塑性透明树脂薄膜或热交联性透明树脂薄膜，通过使用压热器(autoclave)对一对玻璃基板(基板)进行加热、加压使其贴合而构成的夹层玻璃。这样的夹层玻璃由于破碎的玻璃碎片附着在薄膜上而不飞散，所以被作为汽车的风挡玻璃使用，并由于具有良好的抗击穿强度，所以被作为建筑物的窗玻璃(安全玻璃、防暴玻璃)使用。
另外，近年来，提出了一种不需要上述那样的高温、高压环境的夹层玻璃的制造方法。作为这样的夹层玻璃的制造方法，例如公知一种在沿垂直方向对置配置的上下2枚基板之间夹设固化性树脂组成物，在使这些基板彼此紧密层叠的状态下，通过紫外线照射或加热等，使固化性树脂组成物固化的方法。
在专利文献1中，公开了一种通过对在上下2枚基板之间夹设有粘合剂的层叠体进行加压而达到规定的间隙，然后使粘合剂紫外线固化，来制造液晶屏的装置。在该液晶屏制造装置中，对上方的基板进行吸附将其保持在该装置内部的加压板，其水平方向的外周被由不锈钢等薄板金属构成的能够弹性变形的可挠性材料包围支承，通过向在加压板及可挠性材料的上方形成的封闭空间供给流体，使可挠性材料弹性变形，同时使加压板以微米单位向下移动(下降)，对基板整体进行加压。
专利文献1：日本特开2001-209058号公报
但是，在专利文献1的液晶屏制造装置中，由于是以微米单位使加压板向下移动(下降)的结构，所以，存在着例如在需要进行0.1mm以上的向下移动(下降)那样的夹层玻璃的制造中不能使用的问题。即，虽然是包围加压板的可挠性材料通过受到流体的压力负荷而变形，使加压板以微米单位向下移动(下降)，但随着变形，可挠性材料逐渐向其平面方向延展，表观的刚性增加，变得不容易弹性变形，因此，该装置的用途只局限于向下移动(下降)小的情况。
另外，在如专利文献1那样使用流体整体按压基板的结构中，例如当为了保持面积比较大的基板或各种尺寸的基板而使用了多个加压板时，产生了如下的问题。即，如果配置在基板端部的加压板只有一部分面对基板局部接触，则该加压板没有对应的基板的部分在向下方移动的同时大幅倾斜，对基板产生向下方按压的作用，有可能使得所保持的基板发生脱落。
而且，基于这样的理由，只能对规定尺寸的基板使用该装置。并且，虽然可以考虑按照对多个加压板分别供给流体的方式构成装置，但由于需要用于该结构的配管部件和控制部件等，所以产生了装置变得复杂、设备费用增加的新问题。另外，如果取代上述的可挠性材料而使用例如扭力弹簧、或螺旋弹簧等相对下降方向成为螺旋状的部件，则不仅部件构造变得复杂，而且，保持部分在垂直方向的长度增大，部件数量也增多，不能实现小型化。
另外，在夹层玻璃的制造中，希望将对置的一对基板彼此的面方向的相对位置更高精度定位，然后进行贴合。
发明内容
本发明鉴于上述的情况而提出，其目的在于，提供一种使用简单且紧凑的结构，可高精度定位所保持的基板的位置，并能够充分确保基板的吸附力，防止基板脱落的基板的保持装置、基板的保持方法以及夹层玻璃的制造方法。
本发明的发明者针对上述课题得出了下述结论：对于不是专利文献1那样的板状体(可挠性材料)、而是具有弹性的带状、并具有折曲或弯曲的部分的板簧(带状弹性部件)而言，在与该板簧的面垂直的方向(面外方向)会弹性变形，在其他面内方向以及扭转方向，由于高的刚性而具有可抑制变形的作用，并且部件数量少，可实现简单的构造和体积小形化。
即，为了实现上述的目的，本发明采用了以下的结构。
本发明涉及的基板的保持装置用于将基板近似水平保持，并使其上下移动，其特征在于，具有：支承体；由上述支承体支承并吸附上述基板的至少1个基板吸附体；和在多个部位将上述基板吸附体的外周部、和上述支承体的与该基板吸附体外周部沿水平方向分离的区域连接的带状弹性部件；上述带状弹性部件在与上述基板吸附体连接的一端部和与上述支承体连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、且在上下方向薄的带状，按照上述基板吸附体相对上述支承体在上下方向相对接近分离的方式变位、且在水平方向变位。
而且，本发明涉及的基板的保持方法用于将基板近似水平保持并使其上下移动，其特征在于，具备：支承体；由上述支承体支承并吸附上述基板的至少1个基板吸附体；和带状弹性部件，该带状弹性部件在多个部位将上述基板吸附体的外周部和上述支承体的与该基板吸附体外周部沿水平方向分离的区域连接，并在与上述基板吸附体连接的一端部和与上述支承体连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、且在上下方向薄的带状，按照上述基板吸附体相对上述支承体在上下方向相对接近分离的方式变位、且在水平方向变位；包括：使上述支承体下降，让上述基板吸附体与上述支承体相对接近，而使得上述带状弹性部件被压缩，同时在与上述基板吸附体和上述支承体相对接近的方向交叉的一个方向变位，利用上述基板吸附体吸附上述基板的工序；和使上述支承体上升，让上述基板吸附体基于上述基板的重量与上述支承体相对分离，使上述带状弹性部件伸展，同时使上述基板吸附体和上述支承体向与相对分离的方向交叉的上述一个方向的相反方向变位，利用上述基板吸附体保持上述基板的工序。
根据本发明涉及的基板的保持装置和基板的保持方法，在吸附保持基板的基板吸附体与支承体之间，设置有将基板吸附体和支承体连接成在相互接近分离的上下方向能够相对移动的可弹性变形的带状弹性部件。具体而言，带状弹性部件在与基板吸附体连接的一端部和与支承体连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、且在上下方向薄的带状，按照上述基板吸附体相对上述支承体在上下方向相对接近分离的方式变位、且在水平方向变位。由此，能够使基板吸附体和支承体沿接近分离的上下方向相对移动，并且利用比带状弹性部件对上下方向变位的剖面刚性大的对水平方向变位的剖面刚性，限制了两者在水平方向相对移动。另一方面，带状弹性部件的变位部在基板吸附体和支承体沿上下方向大幅分离时，通过向水平方向变形，可防止对上下方向变位的表观刚性提高，上下方向的变位被抑制的情况。这样，能够以简单紧凑的构造，应对基板吸附体在上下方向的大的变位，限制被吸附保持的基板相对支承体向水平方向移动，因此可充分确保基板的位置精度。
而且，由于基板吸附体借助带状弹性部件被支承体支承，所以在基板吸附体吸附基板时，例如即使在基板不具有充分的平坦度、或倾斜的情况下，通过带状弹性部件变形，使基板吸附体沿着基板的形状地紧密抵接，能够充分确保基板吸附体与基板的密接性，从而获得高的吸附力。因此，可防止被吸附保持的基板从基板吸附体脱落的情况。并且，由于能够使基板吸附体所保持的基板向上述接近分离的方向在比较大的范围内移动，所以可应对各种用途。尤其还能够应对基板尺寸大、在保持时容易弯曲的情况；以及基板本身本来就有弯曲的情况等。
另外，在本发明涉及的基板的保持装置中，优选上述带状弹性部件形成为比上述一端部与上述另一端部之间的直线距离长，并且以绕过上述直线距离的直线的方式折曲或弯曲。
根据本发明涉及的基板的保持装置，由于带状弹性部件在与基板吸附体连接的一端部和与上述支承体连接的另一端部之间，比两端部之间的直线距离长，所以，带状弹性部件成为以绕过上述直线距离的直线的方式折曲或弯曲地将两端部之间连接的板簧，能够使基板吸附体和支承体在接近分离的上下方向上高精度地相对移动，并能进一步限制向该接近分离的方向以外的方向相对移动。
另外，在本发明涉及的基板的保持装置中，优选上述带状弹性部件在上述基板吸附体相对上述支承体在接近分离的上下方向相对移动时，与上下方向的相对变位相比，上述一端部和上述另一端部的水平方向的相对变位小。
根据本发明涉及的基板的保持装置，由于对带状弹性部件而言，与上下方向的相对变位相比，上述一端部和上述另一端部的水平方向的相对变位小，所以，能够使基板吸附体和支承体在接近分离的上下方向高精度地相对移动，并能进一步限制向该接近分离的方向以外的方向相对移动。
而且，在本发明涉及的基板的保持装置中，优选对上述带状弹性部件而言，上述一端部侧的形状和上述另一端部侧的形状形成为，在与上述上下方向正交的平面内相互近似线对称，该一端部和该另一端部接近对置配置。
根据本发明涉及的基板的保持装置，由于带状弹性部件的一端部侧的形状与另一端部侧的形状为近似线对称形状，所以，带状弹性部件的一端部侧的刚性和另一端部侧的刚性被设定为近似相同。而且，由于带状弹性部件的一端部与另一端部接近对置配置，所以能够使基板吸附体与支承体的相对移动以更高精度在宽范围内进行。并且，对应于两端部的自由度变小的量，可相应进一步抑制连接基板吸附体的一端部与连接支承体的另一端部的该接近分离的方向以外的相对变位。
另外，在本发明涉及的基板的保持装置中，上述带状弹性部件也可以在与上述上下方向正交的平面内形成为近似环状、近似U字状、近似V字状、近似C字状或近似Ω字状。
而且，在本发明涉及的基板的保持装置中，上述带状弹性部件形成为在与上述上下方向正交的平面内以L字状弯曲的近似环状，上述基板吸附体在外周具有角，上述带状弹性部件的内侧环部弯曲的部位与上述基板吸附体的外周的角连接，上述带状弹性部件的外侧环部弯曲的部位与上述支承体连接。
并且，在本发明涉及的基板的保持装置中，优选上述支承体的与上述带状弹性部件连接的包含该带状弹性部件的另一端部的区域，对于1个上述基板吸附体，有3处以上。
根据本发明涉及的基板的保持装置，由于带状弹性部件可以进一步抑制基板吸附体相对支承体的旋转，所以，能够进一步充分抑制带状弹性部件的连接基板吸附体的一端部和连接支承体的另一端部的上下方向以外的方向的相对变位。
另外，在本发明涉及的基板的保持装置中，也可以在上述支承体下部设置多个由上述基板吸附体与上述带状弹性部件构成的组。
根据本发明涉及的基板的保持装置，由于设置有多个基板吸附体和带状弹性部件的组，所以，即使在吸附保持面积比较大的基板的情况下，也能利用多个基板吸附体充分地确保保持力。而且，由于这些基板吸附体被带状弹性部件支承为能够按照与基板的倾斜匹配密接的方式分别倾动，所以可充分确保各个基板吸附体与基板的密接性，从而可获得更高的吸附力。另外，能够适应各种基板的尺寸。
而且，在本发明涉及的基板的保持装置中，上述支承体形成为覆盖上述基板吸附体的上方，在上述基板吸附体的上面设置有能够弹性变形的阻止部件，上述阻止部件能够与上述支承体抵接。
根据本发明涉及的基板的保持装置，在由基板吸附体吸附基板时，通过使基板吸附体的阻止部件与支承体抵接，能够使基板吸附体更强力地压到基板上而与其密接。因此，能够可靠地提高基板吸附体对基板的吸附力和保持力。
另外，本发明涉及的基板的保持装置也可以被配置在减压气氛中。
根据本发明涉及的基板的保持装置，由于带状弹性部件是进行弹性变形而使基板吸附体与基板密接的简单构造，所以，即使在装置被设置到例如真空等减压气氛中的情况下，也不需要特殊的追加设备，可减少设备费用。另外，由于构造简单、部件数量少且紧凑，所以能够将基板吸附体、支承体和带状弹性部件收纳在比较小的空间内，可以缩小形成减压气氛的区域。因此，可缩短用于形成减压气氛的抽真空等所需要的时间，提高了操作性和生产性。
而且，在减压气氛中，即使例如在垂直方向对面的一对基板之间夹设树脂材料进行了层叠后，以树脂材料未固化的状态进行了大气开放的情况下，由于限制了吸附上方的基板的基板吸附体向该基板的水平方向的移动，所以，可防止因大气开放时的风压等使一对基板彼此在水平方向相对移动而产生偏移。
另外，在本发明涉及的基板的保持装置中，上述基板吸附体可以构成为利用静电吸附力吸附上述基板。
根据本发明涉及的基板的保持装置，由于基板吸附体利用静电吸附力吸附基板，所以能够简单且短时间进行基板的吸附和释放，即使在连续反复吸附多个基板的情况下，也能够稳定地确保吸附力。由此，可提高操作性和生产性。
另外，本发明提供一种夹层玻璃的制造方法，在沿垂直方向对置配置的一对基板之间夹设固化性树脂材料进行层叠，然后使该树脂材料固化来形成夹层玻璃，其特征在于，具备：支承体；由上述支承体支承并吸附一对上述基板中的上基板的至少1个基板吸附体；和带状弹性部件，其在多个部位将上述基板吸附体的外周部、和上述支承体的与该基板吸附体外周部沿水平方向分离的区域连接，在与上述基板吸附体连接的一端部和与上述支承体连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向宽度宽、且在上下方向薄的带状，按照上述基板吸附体相对上述支承体在上下方向相对接近分离的方式变位、且在水平方向变位；包括：使上述支承体下降，让上述基板吸附体与上述支承体相对接近，而使得上述带状弹性部件被压缩，同时在与上述基板吸附体和上述支承体相对接近的方向交叉的一个方向变位，利用上述基板吸附体吸附上述基板的工序；使上述支承体上升，让上述基板吸附体基于上述上基板的重量与上述支承体相对分离，使得上述带状弹性部件伸展，同时在于上述基板吸附体和上述支承体相对分离的方向交叉的上述一个方向的相反方向变位，利用上述基板吸附体保持上述基板的工序；使上述一对基板中的下基板与上述上基板之间夹设由固化性树脂组成物构成的上述树脂材料，并将上述下基板设置成与上述上基板的下方相对向的工序；使上述支承体下降，夹着上述树脂材料将上述下基板与被上述基板吸附体保持的上述上基板密接的工序；和使上述树脂材料固化的工序。
根据本发明涉及的夹层玻璃的制造方法，首先，在基板吸附体的下方分离对置配置了上基板的状态下使支承体下降，如果在基板吸附体与上基板接近，该基板吸附体与上基板的上面抵接之后，进一步使支承体下降，则带状弹性部件在垂直方向被压缩，同时向与基板吸附体和支承体相对接近的方向交叉的一个方向变位，基板吸附体沿着上基板的上面的形状地与之密接。因此，能够可靠地进行基板吸附体的上基板的吸附。
即，例如即使在上基板的上面的平坦度不充分，或相对水平方向倾斜的情况下，由于基板吸附体沿着上基板的上面的形状密接，所以能够可靠地进行吸附。
另外，在利用基板吸附体吸附了上基板后使支承体上升时，基板吸附体基于上基板的重量与支承体相对分离，带状弹性部件在上下方向伸展，并且向与基板吸附体和支承体相对分离的方向交叉的上述一个方向的反方向变位，使上基板在上下方向上升，并对其进行保持。
即，由于与带状弹性部件的对于上下方向的变位的剖面刚性相比，对于水平方向的变位的剖面刚性大，所以，限制了基板吸附体和支承体的水平方向的相对变位，从而可防止所吸附的上基板向上下方向以外的方向移动，充分确保上基板的水平方向的位置精度。
接着，即使在使支承体下降，夹着固化性树脂材料让上基板与下基板密接时，由于被基板吸附体吸附保持的上基板的移动只在上下方向上，所以可充分确保上基板和下基板的水平方向的相对的位置精度。
而且，由于树脂材料由固化性树脂组成物构成，所以，与以往那样作为树脂材料而使用成膜的树脂薄膜等的情况相比，操作性良好，而且材料的成品率也高。
另外，在本发明涉及的夹层玻璃的制造方法中，可以使用多组上述基板吸附体和上述带状弹性部件来吸附上述上基板。
根据本发明涉及的夹层玻璃的制造方法，由于使用多个基板吸附体和带状弹性部件的组来吸附上基板，所以，例如即使在吸附面积比较大的上基板的情况下，通过使用多个基板吸附体进行吸附，也能够充分地确保吸附力。另外，由于这些基板吸附体按照对应上基板的上面的形状密接的方式分别被带状弹性部件支承为可倾动，所以能够充分确保各个基板吸附体与上基板的密接性，进一步提高吸附力。而且，能够适应各种上基板的尺寸。
另外，在本发明涉及的夹层玻璃的制造方法中，也可以在上述对置配置的工序中，包括利用密封部件包围上述下基板的上述树脂材料的外周，将该下基板对置配置在上述上基板的下方的作业，在上述密接的工序中，包括在减压气氛中夹着上述树脂材料及上述密封部件，将上述一对基板密接的作业，在上述密接的工序与上述固化的工序之间，包括通过增大上述减压气氛的压力，将上述基板彼此压接的工序。
根据本发明涉及的夹层玻璃的制造方法，通过树脂材料的外周被密封部件包围，夹着树脂材料和密封部件将一对基板密接，而形成密封了树脂材料的状态。因此，例如在真空等减压气氛中夹着树脂材料和密封部件将一对基板紧密贴合后，通过大气开放等使减压气氛的压力增大，可将一对基板彼此更强力压接，使树脂材料在一对基板之间无空隙地扩散。由此，能够简单且高精度进行树脂材料向基板间的填充。
根据本发明涉及的基板的保持装置和基板的保持方法，由于使用简单且紧凑的构造，使基板吸附体沿着基板的上面的倾斜密接吸附该基板，所以可获得高的吸附体，能够可靠防止对所吸附的基板进行保持时基板脱落。而且，由于基板吸附体所吸附保持的基板的移动被限制在基板吸附体与支承体接近分离的方向，所以可充分确保基板的位置精度。并且，由于基板吸附体所吸附保持的基板能够在上述接近分离的方向以比较大的范围移动，所以可应用于各种用途。
另外，根据本发明涉及的夹层玻璃的制造方法，由于基板吸附体沿着上基板的形状密接地吸附上基板，所以可获得高的吸附力，能防止上基板的脱落。并且，由于基板吸附体所吸附保持的上基板只能在上下方向移动，所以可充分确保上基板和下基板的水平方向的相对位置精度。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的概略结构的侧剖面图。
图2是从图1的A-A观察的概略俯视图。
图3是对图2的C部进行放大表示的俯视图和侧视图。
图4是表示可设置本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的真空腔的概略结构的侧剖面图。
图5是对本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置中的基板的吸附进行说明的侧剖面图。
图6是对本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置中的基板的保持进行说明的侧剖面图。
图7是对本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的多个静电吸盘与上基板的相对位置进行说明的概略侧剖面图。
图8是从图7的D-D观察的概略俯视图。
图9是表示本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的多个静电吸盘与上基板的相对位置的其他例的概略俯视图。
图10是对图9的E部进行放大表示的俯视图及侧剖面图。
图11是对使用了本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的多个静电吸盘的上基板的保持进行说明的概略侧剖面图。
图12是对使用了本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的多个静电吸盘的上基板的保持进行说明的概略侧剖面图。
图13是对使用了本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的多个静电吸盘的上基板的保持进行说明的概略侧剖面图。
图14是对使用了本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的夹层玻璃的制造步骤进行说明的概略图。
图15是表示本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的板簧部件的其他例的概略俯视图。
图16是表示本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的板簧部件的其他例的概略俯视图。
图中：1、1A-静电吸盘(基板吸附体)；2-支承体；4、31、41、51、61-板簧部件(带状弹性部件)；6-阻止部件；7-真空腔；10-基板的保持装置；11-板簧部件的一端部；12-板簧部件的另一端部；21-上基板(基板)；22-下基板(基板)；23-密封树脂(密封部件)；24-树脂材料；P-夹层玻璃。
具体实施方式
图1是表示本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的概略结构的侧剖面图，图2是从图1的A-A观察的概略俯视图，图3是放大表示图2的C部的俯视图及侧视图，图4是表示可设置本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的真空腔的概略结构的侧剖面图，图5是对本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置中的基板的吸附进行说明的侧剖面图，图6是对本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置中的基板的保持进行说明的侧剖面图，图7是说明本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的多个静电吸盘与上基板的相对位置的概略侧剖面图，图8是从图7的D-D观察的概略俯视图，图9是表示本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的多个静电吸盘与上基板的相对位置的其他例的概略俯视图，图10是放大表示图9的E部的俯视图及侧剖面图，图11～图13是对使用了本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的多个静电吸盘的上基板的保持进行说明的概略侧剖面图，图14是对使用了本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的夹层玻璃的制造步骤进行说明的概略图，图15及图16是表示本发明的一个实施方式涉及的基板的保持装置的板簧部件的其他例的概略俯视图。其中，图1、图4～图7及图10～图14中的基板的保持装置的侧剖面图，表示了从图2的B-B观察的侧剖面。
作为本实施方式的夹层玻璃的制造所使用的一对玻璃基板(基板)，例如可采用作为建筑物或车辆等的窗户材料而通常使用的透明碱石灰组成的玻璃基板。一对基板分别形成为近似矩形形状，面方向的外形尺寸采用相同尺寸。基板的外形尺寸例如为□150mm×300mm～□4000mm×3000mm左右，构成该夹层玻璃的1枚玻璃基板的厚度可以在2～15mm左右的范围内进行各种设定。基板的质量密度为2.5g/cm3左右，例如当1枚玻璃基板的尺寸为4000mm×3000mm、其板厚为6mm时的质量约为180kg。
由于在一对玻璃基板之间夹设有树脂材料，所以优选对这些基板的与树脂材料接触的各个表面中的至少任意一方，预先使用从硅烷化合物或钛化合物中选择出的偶合剂进行处理。即，将偶合剂作为表面处理剂预先涂敷到基板上，通过加热等使其与表面结合。通过使用被如此实施了表面处理的基板，可提高树脂材料与基板的粘接性，提高夹层玻璃的机械强度。
作为树脂材料，可使用具有流动性的固化性树脂材料。作为固化性树脂材料，可列举出：具有基于紫外线等光而固化的性质的光固化性树脂组成物、和具有基于加热而固化的性质的热固化性树脂组成物等固化性树脂材料。作为固化性树脂材料，优选采用含有丙烯酸酯化合物或甲基丙烯酸酯化合物等聚合固化性化合物和光聚合开始剂的光固化性树脂组成物。固化性树脂材料被封入到基板之间，在如后述那样被大气开放后固化。
本实施方式的基板的保持装置在层叠制造将由这样的一对基板及树脂材料构成的夹层玻璃时，将一对基板中的被配置在上方的上基板吸附保持在空中，而且，使所保持的上基板向被配置在下方的下基板下降，并且依次层叠上基板、树脂材料及下基板。
如图1、图2所示，基板的保持装置10具有：吸附上基板(基板)的上面对其进行保持的静电吸盘(基板吸附体)1；覆盖静电吸盘1的上方而形成的支承体2；和配置在静电吸盘1与支承体2之间，将静电吸盘1与支承体2连接并能够弹性变形的多个带状板簧部件(带状弹性部件)4。而且，在支承体2上设置有多个静电吸盘1及这些板簧部件4的组。
静电吸盘1形成为近似方形板状或近似长方体状，例如设定为其外形尺寸为□150mm×150mm，厚度为25mm左右。另外，在静电吸盘1的下面(图1中的下侧的面)上形成有由嵌入了电极图案的聚酰亚胺薄膜等构成的电介质膜1a。静电吸盘1与未图示的高压电源电连接，构成为通过在与对面的上基板之间施加高电压，利用静电吸附力吸附该上基板。
支承体2在由近似矩形板状或近似长方体状构成的主体部2a的下面，具有近似方形框状或近似矩形框状的突出部2b。
板簧部件4例如由厚度为0.1mm以上、1mm以下程度的薄板金属材料或树脂材料等构成，被配置在俯视图上的静电吸盘1的四角附近。另外，板簧部件4的宽度优选例如为5mm以上、100mm以下，更优选为10mm以上、50mm以下。通过利用这样的板簧部件4，由于板簧部件4的宽度明显比厚度大，所以，与使静电吸盘1和支承体2进行上述接近分离的上下方向的弯曲刚性相比，进行该接近分离的方向以外的方向的弯曲刚性及扭转刚性明显增大，能够使静电吸盘1和支承体2在进行上述接近分离的方向相对移动，并且限制其在进行该接近分离的方向以外的方向相对移动。其原因在于，板簧部件4的弯曲刚性与成为对象的剖面的变形方向的长度的3次方成比例，并与和其正交的方向的长度成比例。另外，作为进一步提高针对使板簧部件4的上下面倾斜那样的扭转力的刚性的方法，也可以在板簧部件4的宽度方向的两端部设置厚度厚的部分。
各个板簧部件4具有由板簧要素4A、4B的一对构成的变位部，该变位部按照在图2的俯视图上绕过从支承体2到静电吸盘1的最短距离(直线距离)的直线的方式弯曲形成。各个板簧部件4在俯视图上的外方部分的上面与支承体2的突出部2b的下面连接。
即，板簧部件4在与静电吸盘1和支承体2接近分离的上下方向正交的平面内(水平面内)，整体形成为弯曲成L字状的近似环状，板簧部件4的内方的内侧环部的中央部分(后述的一端部)、即弯曲的部位，在俯视图上与近似矩形的静电吸盘1的外周的角连结，板簧部件4的外方的外侧环部的中央部分(后述的另一端部)、即弯曲的部位，与支承体2连结。另外，支承体2的突出部2b中的与板簧部件4连结的包含板簧部件4的外侧环部的中央部分的区域，是突出部2b在俯视图上的4角的4个部位。
板簧部件4的板簧要素4A、4B中，板簧要素4A在俯视图上被配置于外方侧，板簧要素4B在俯视图上被配置于内方侧。如图3所示，板簧要素4A、4B分别形成为近似带状或近似矩形薄板状，一对板簧要素4A、4B相互接近排列成在俯视图上向近似同一方向延伸，通过将延伸方向的一方(图3中的左方)的端部彼此通过连接部13连接而形成一体。这样，板簧部件4在俯视图上形成近似环状、近似U字状、近似V字状、近似C字状或近似Ω字状。
板簧要素4B的延伸方向的另一方(图3中的右方)端部(一端部)11与静电吸盘1连接，板簧要素4A的延伸方向的另一个端部(另一端部)12与支承体2的突出部2b连接。而且，板簧要素4A的另一端部12与板簧要素4B的另一端部11在俯视图上相互接近地对置配置。
板簧部件4中的一端部11侧的板簧要素4B的形状、和另一端部12侧的板簧要素4A的形状形成为，隔着通过一端部11和另一端部12的中间并与板簧要素4A、4B的延伸方向平行地延伸的假想线L1，相互近似线对称。
如图2所示，在静电吸盘1的上面的近似中央，近似圆板状的阻止台5拆装自如地设置在该上面，在该阻止台5的上面，按照从该阻止台5向上方突出的方式，配置有可弹性变形、由硅酮橡胶或螺旋弹簧等构成的近似环状的阻止部件6。阻止部件6具有充分的弹性，例如在材质是由硅酮橡胶构成的情况下，肖氏硬度(A)被设定为50左右。另外，如图1所示，阻止部件6的上面与支承体2的主体部2a的下面分离。
如图4所示，基板的保持装置10被设置在箱状的能够密封的真空腔7的内部，并可以升降。具体而言，在真空腔7的上面7a上形成有多个贯通孔7b，在这些贯通孔7b中分别插入有向垂直方向延伸的棒状升降轴8。对于这些升降轴8而言，下端与基板的保持装置10的支承体2的主体部2a的上面连接，上端与升降架8b连接而构成一体。
各个升降轴8被收纳在近似蛇腹状或近似筒状的能够向垂直方向自如伸缩的金属波纹管8a中。这些金属波纹管8a的上端与升降架8b密封连接，并且下端与上面7a密封连接，使升降轴8在密封的状态下贯穿贯通孔7b。另外，升降架8b与未图示的升降驱动源连接，能够在垂直方向升降。而且，通过使升降架8b升降，基板的保持装置10能够在密封的真空腔7内沿垂直方向升降。
在真空腔7的底面，与被配置在该底面的上方的各个静电吸盘1对置，立设有多个棒状支承销9。而且，在真空腔7中，设置有用于将放置在支承销9上的基板沿水平方向高精度定位的定位机构(未图示)。
在真空腔7的外部，设置有未图示的真空泵等减压装置，其与该真空腔7连接，通过抽真空，使真空腔7的内部成为真空气氛(减压气氛)。另外，在真空腔7中设置有未图示的开闭气门等，构成为通过将真空气氛下的内部向大气开放，而能够返回到大气压气氛。关于减压度，优选为0.1～1000Pa、更优选为1～100Pa。
下面，对使用基板的保持装置10来吸附保持基板的步骤进行说明。
首先，将要制造的夹层玻璃的一对基板中的上基板21插入到真空腔7内，并且使用定位机构，将该上基板21以定位状态放置到支承销9上。接着，如图5(a)所示，使基板的保持装置10下降，让静电吸盘1的电介质膜1a与上基板21的上面接触。
通过使基板的保持装置10进一步下降，板簧部件4如后述那样弹性变形，并且静电吸盘1的上面的阻止部件6与支承体2的主体部分2a的下面逐渐接近，如图5(b)所示那样，阻止部件6的上面与主体部分2a的下面抵接。
在阻止部件6与主体部分2a抵接的状态下，如果进一步使阻止部件6和支承体2在垂直方向相对移动，则该阻止部件6发生弹性变形，在弹性变形的作用力下，上基板21的上面被强力压向静电吸盘1的电介质膜1a。接下来，通过在该状态下向静电吸盘1与上基板21之间施加高电压，使得静电吸盘1利用静电吸附力吸附上基板21。
这样，由于以被相互按压的方式吸附的电介质膜1a与上基板21的上面的间隔例如小于1μm，所以，与以往那样不使用阻止部件6的弹性变形的作用力，而只依靠静电吸盘1的重量吸附上基板21，电介质膜1a与上基板21的间隔为10μm以上的情况相比，可确保2倍至4倍左右的吸附力。
在上基板21被吸附到静电吸盘的电介质膜1a之后，如图6所示，使基板的保持装置10上升，将上基板21保持在真空腔7内的空中。这里，在如图6(b)所示那样，上基板21的平坦度不充分、或相对水平方向倾斜的情况下，与上基板21抵接的静电吸盘1以沿着上基板21的倾斜的方式使板簧部件4变形倾动，紧密吸附该上基板21，并且以该状态上升，将该上基板21保持在空中。
下面，对板簧部件4的变形动作进行说明。
板簧部件4通过如上述那样将静电吸盘1按压到上基板21上、或支承静电吸盘1和上基板21的重量，如图3(b)所示那样，使板簧要素4B的一端部11和板簧要素4A的另一端部12沿垂直方向相对移动。
即，如图3所示，板簧要素4A、4B相互将一方侧(图3中的左侧)的端部彼此通过连接部13连接，构成一体。因此，连接部13虽然可以在延伸的长度方向(图3中的左右方向)移动，但由于在短边方向(图3(a)中的上下方向)上，板簧要素4A和4B在水平面内的弯曲刚性及扭转刚性高，所以抑制了相对移动。由此，与板簧要素4A、4B的另一方侧(图3中的右侧)分别连接的支承体2和静电吸盘1，在上述长度方向及上述短边方向也被抑制了相互相对移动。
如图3(b)所示，在板簧部件4被施加了使一端部11和另一端部12沿垂直方向接近那样的应力(外力)的情况下，板簧要素4A、4B的连接部13向一方侧(一个方向)变位，同时板簧部件4在垂直方向被压缩，使得一端部11和另一端部12沿垂直方向相互接近。另外，在板簧部件4被施加了使一端部11和另一端部12沿垂直方向分离那样的应力的情况下，板簧要素4A、4B的连接部13向另一方侧(一个方向的反方向)变位，同时板簧部件4在垂直方向伸展，使得一端部11和另一端部12沿垂直方向相互分离。这样，板簧部件4的一端部11和另一端部12只在垂直方向相对移动。
因此，对于板簧部件4的变形而言，从侧面观察时的其一端部11侧的板簧要素4B的弹性变形、和另一端部12侧的板簧要素4A的弹性变形，隔着通过连接部13沿水平方向延伸的假想线L2相互近似线对称地进行。即，通过减小板簧要素4A和板簧要素4B的侧面方向的变形之差，可限制一端部11和另一端部12向垂直方向以外移动。
下面，结合图7～图10，对与上基板21对置的多个静电吸盘1和阻止部件6的配置进行说明。
在本实施方式的基板的保持装置10中，为了吸附保持各种尺寸的上基板21，根据该上基板21的俯视图上的外形，可以对与上基板21面对的各个静电吸盘1的阻止部件6的配置进行各种设定。
设置在各个静电吸盘1的上面侧的阻止部件6可以在静电吸盘1的外形内移动。即，在支承阻止部件6的阻止台5的下面、和面对该下面的静电吸盘1上，分别配置有对置的销和多个孔，通过适当选择插入销的孔，可以进行各种阻止部件6的配置设定。
如图7及图8所示，当多个静电吸盘1在俯视图上全部被配置于上基板21的外形的区域内时，各个阻止部件6的配置可以是任意位置，例如被配置在静电吸盘1的中央。
另外，如图9所示，当多个静电吸盘1中有在俯视图上被越出配置于上基板21的外形区域外时，以如下方式设定该静电吸盘1的阻止部件6的配置。
如图9(a)和图10所示，越出到上基板21的外形区域外的静电吸盘1的阻止部件6被配置成，该阻止部件6在俯视图上遍及周方向整体与上基板21对置。即，如图10所示，通过将上基板21的角部21a配置成从阻止部件6的外周向直径方向稍微突出，将该阻止部件6配置成遍及周方向整体不间断地与上基板21对置。
而且，如图10(b)所示，对应阻止部件6的配置设定，也将对应的支承销9按照其轴线与该阻止部件6的中心在俯视图上重叠的方式对置配置。
如图9(b)中的F部所示那样，在即使改变阻止部件6的配置设定，也不能将该阻止部件6配置成遍及周方向整体与上基板21对置的情况下，将该阻止部件6按照不与上基板21对置的方式配置在该上基板21的外形的区域外。
下面，对使用了按照上基板21的外形配置了阻止部件6的多个静电吸盘1的该上基板21的保持进行说明。
如图8所示，当在多个静电吸盘1全部在俯视图上被配置于上基板21的外形区域内时，如图7所示那样，全部的静电吸盘1分别与上基板21紧密抵接，利用静电保持力将该上基板21吸附保持在空中。
如图11所示，即使在上基板21的平坦度不充分、上基板21的上面的各部倾斜不同的情况下，各个静电吸盘1也能够与上基板21抵接，并且使板簧部件4分别弹性变形，按照沿着上基板21的倾斜的方式密接，将上基板21吸附保持在空中。
如图9(a)所示，当多个静电吸盘1中有在俯视图上被越出配置于上基板21的外形区域外，通过改变该静电吸盘1的阻止部件6的配置，将该阻止部件6配置成在周方向整体与上基板21对置时，如图12所示，全部的静电吸盘1分别与上基板21紧密抵接，将该上基板21吸附保持在空中。
如图9(b)所示，当多个静电吸盘1中有在俯视图上被越出配置于上基板21的外形区域外，并且即使改变该静电吸盘1的阻止部件6的配置，也不能将该阻止部件6配置成在周方向整体与上基板21对置时，通过将该阻止部件6按照在俯视图上不与上基板21对置的方式配置到该上基板21的外形区域外，如图13所示，越出到外方的静电吸盘1A(图13中的右端)不吸附上基板21，其他的静电吸盘1将上基板21吸附保持在空中。
这里，由于吸附保持上基板21的静电吸盘1如图13所示那样，基于上基板21及静电吸盘1的重量使板簧部件4弹性变形，并配置在比静电吸盘1A靠下方，所以在静电吸盘1A的下面与上基板21的上面之间形成有微小的间隙。
下面，对使用了本实施方式的基板的保持装置10的夹层玻璃的制造步骤进行说明。
首先，如图14(a)所示，以将透明的一对基板21、22中的下基板22近似水平配置的状态，在其上面的外周附近，以近似矩形框状涂敷由混合了间隔(spacer)颗粒的高粘性固化性树脂组成物构成的密封树脂(密封部件)23。
接着，如图14(b)所示，在被密封树脂23包围的区域内，近似等间隔地点状涂敷由具有低粘性、且经紫外线照射而固化的性质的固化性树脂组成物构成的树脂材料24。树脂材料24的涂敷，例如被设定为30mm间距左右，涂敷的树脂材料24的分量被预先设定为，在后述的基板21、22之间的密接时，该树脂材料24填充了由密封树脂23和一对基板21、22包围密封的间隙。
关于这些密封树脂23和树脂材料24的供给，例如使用分配器、金属型涂敷机(die coater)等进行。
另一方面，如图14(c)所示，在真空腔7内使用基板的保持装置10，预先如上述那样将上基板21保持在空中。在该状态下，按照与上基板21的下方对置的方式，将在上面涂敷了密封树脂23及树脂材料24的下基板22插入，并使用定位装置对该下基板22进行定位。
接着，将真空腔7密闭，使用减压装置进行抽真空，使该真空腔7的内部减压而形成真空气氛。
然后，利用基板的保持装置10使上基板21下降，夹着密封树脂23及树脂材料24，使一对基板21、22密接层叠。此时，上基板21依靠该上基板21及静电吸盘1的重量，密接按压在下基板22上。
接着，在使静电吸盘1吸附上基板21的上面的状态下，将真空腔7内开放成大气压，使压力增大，当恢复到原来的大气压的状态时，基于被一对基板21、22及密封树脂23密封的树脂材料24的部分的内部压力与外部压力的压力差，基板21、22彼此在垂直方向压接，从而得到层叠体25。另外，即使在大气开放之前在被密封的基板21、22之间残存未被树脂材料24充满的空间，该残存空间的体积也会因大气开放引起对基板21、22的加压而减小，从而可降低在密封的基板21、22之间残存未被树脂材料24填满的空间的可能性。同样，即使在大气开放之前树脂材料24中存在气泡，基于大气开放也容易消除该气泡。
然后，如图14(d)所示，从层叠体25的上基板21侧和下基板22侧，分别使用高压水银灯等均匀地进行紫外线照射，使密封树脂23和树脂材料24固化。这样，制造成夹层玻璃P。
如以上说明那样，根据本实施方式的基板的保持装置10，在吸附保持上基板21的静电吸盘1与支承体2之间，具有将静电吸盘1和支承体2在相互接近分离的垂直方向上连接成能够相对移动的板簧部件4。即，在静电吸盘1和支承体2进行相对移动时，按照在板簧部件4的一端部11和另一端部12之间的部分迂回的方式弯曲形成、由板簧要素4A、4B的一对构成的变位部，在与垂直方向交叉的方向上变位，使静电吸盘1和支承体2在垂直方向上相对移动，并且限制了在垂直方向以外的方向相对移动。这样，由于被静电吸盘1吸附保持的上基板21只在垂直方向移动，所以可充分确保上基板21的水平方向的位置精度。在本发明中，作为4000mm×3000mm的基板的水平方向的位置精度，优选为±0.5mm以内，更优选为±0.1mm以内。
而且，由于静电吸盘1借助板簧部件4被支承体2支承，所以在静电吸盘1吸附上基板21时，例如即使在上基板21的上面不具有充分的平坦度、或相对水平方向倾斜的情况下，由于板簧部件4变形，使静电吸盘1按照沿着上基板21的上面的倾斜的方式紧密抵接，所以，也能够充分确保静电吸盘1与上基板21的密接性，从而可实现高的吸附力。
因此，可防止所保持的上基板21从静电吸盘1脱落的情况。并且，由于能够使静电吸盘1所保持的上基板21沿垂直方向在比较宽的范围内移动，所以可适应于各种用途。
另外，由于板簧部件4的变位部中的一端部11侧的板簧要素4B的形状、与另一端部12侧的板簧要素4A的形状，隔着假想线L1形成为近似线对称，所以变位部的一端部11侧的刚性和另一端部12侧的刚性被设定为近似相同，而且由于板簧部件4的一端部11和另一端部12被接近对置配置，所以静电吸盘1和支承体2的垂直方向的相对移动能够以更高精度在宽范围内进行，可以规定水平方向的移动。
而且，由于设置有多个静电吸盘1和板簧部件4的组，所以，例如即使在吸附保持面积比较大的上基板21的情况下，通过利用多个静电吸盘1进行吸附，也可确保充分的保持力。另外，由于这些静电吸盘1按照沿着上基板21的上面的倾斜密接的方式分别被板簧部件4支承为能够倾动，所以，可充分确保各个静电吸盘1与上基板21的密接性，能够获得更高的吸附力。而且，能够适应于各种上基板21的尺寸。
即，例如在将板簧部件4的弹簧系数设定为2kgf/mm的情况下，即使多个静电吸盘1之间的垂直方向的偏差为0.2mm，吸附力也会降低20％左右，所以可确保充分的基板保持力。
另外，在使用静电吸盘1吸附上基板21时，通过使静电吸盘1的阻止部件6与支承体2的主体部2a抵接，让该阻止部件6弹性变形，能够将静电吸盘1更有力地压向上基板21而与之密接。因此，能够更可靠地提高静电吸盘1对于上基板21的吸附力和保持力。
而且，由于基板的保持装置10是通过板簧部件4变形，使静电吸盘1与上基板21分别密接的简单的结构，所以，不需要如以往那样，使用流体加压方式等，分别控制各个静电吸盘1的垂直方向的移动用的复杂结构和控制。并且，即使在如本实施方式那样被配置在减压气氛中的情况下，也不需要特别的追加设备，可减少设备费用。
另外，由于部件数量少、结构简单，所以能够将静电吸盘1、支承体2及板簧部件4收纳在垂直方向的比较小的空间内，从而可进一步减小成为减压气氛的真空腔7内部区域的区域。因此，能够缩短为了形成减压气氛而进行抽真空等所需要的时间，从而提高了操作性和生产性。
而且，在减压气氛中，当在垂直方向对面的一对基板21、22之间夹着密封树脂23和树脂材料24进行了层叠之后，即使在密封树脂23和树脂材料24未固化的状态下对真空腔7进行大气开放，由于吸附上基板21的静电吸盘1被限制了向上基板21的水平方向的移动，所以，可防止因大气开放时的风压等，使一对基板21、22彼此沿水平方向相对移动而产生偏移。
并且，由于静电吸盘1利用静电吸附力吸附上基板21，所以可简单且短时间进行上基板21的吸附和释放，即使在连续反复吸附多个上基板21那样的情况下，也能够稳定地确保吸附力。由此，可提高操作性和生产性。
另外，由于密封树脂23和树脂材料24由固化性树脂组成物构成，所以，与以往那样作为树脂材料24而使用成膜的树脂薄膜等的情况相比，提高了操作性和材料的成品率。
而且，在减压气氛下夹着密封树脂23及树脂材料24将一对基板21、22密接层叠后，通过将减压气氛大气开放，使压力增大，借助层叠体25，基板21、22彼此被更强力按压，树脂材料24在这些基板21、22之间无空隙地扩散。由此，能够简单且高精度地进行树脂材料24的脱气以及向基板21、22之间的填充。
另外，本发明不限于上述的实施方式，在不超出本发明的主旨的范围内，可以实施各种变更。
例如，在本实施方式中，说明了板簧部件4在一端部11与另一端部12之间的部分，形成由板簧要素4A、4B的一对构成、并按照迂回的方式弯曲的变形部，但板簧部件4只要具有按照迂回的方式弯曲的变位部即可，并不限定于本实施方式。
图15及图16所示的是板簧部件4的其他例，图15中的板簧部件31具有向同一方向延伸的带状板簧要素31A、31B，这些板簧要素31A、31B按照在俯视图上相互重叠的方式，在垂直方向上接近地对置配置。这是板簧部件4的两端部之间的迂回或弯曲不在水平方向而在上下方向的情况。而且，板簧要素31A、31B通过连接部33将延伸方向的一方(图15中的左方)的端部彼此连接，构成一体。并且，板簧要素31B的延伸方向的另一方(图15中的右方)的一端部11与静电吸盘1连接，板簧要素31A的延伸方向的另一方的另一端部12与支承体2连接。
在对如此构成的板簧部件31施加了使一端部11和另一端部12沿垂直方向接近那样的应力时，如图15(b)所示，板簧要素31A、31B的连接部33向一方侧变位，同时板簧部件31在垂直方向被压缩，使得一端部11与另一端部12在垂直方向相互接近。另外，在对板簧部件31施加了使一端部11和另一端部12年垂直方向分离那样的应力时，板簧要素31A、31B的连接部33向另一方侧变位，同时板簧部件31在垂直方向延伸，使得一端部11与另一端部12沿垂直方向相互分离。
即，板簧部件31的一端部11和另一端部12被限制成，相互只在垂直方向相对移动，而不在垂直方向以外的方向相对移动。
另外，如图15(b)所示，板簧部件31的变形按照从侧面观察该板簧部件31时的一端部11侧的板簧要素31B的弹性变形、和另一端部12侧的板簧要素31A的弹性变形，隔着通过连接部33向水平方向延伸的假想线L3相互近似线对称的方式进行。
图16(a)中的板簧部件41具有由近似L字带状的板簧要素41A、41B、及近似I字带状的板簧要素41C构成的变位部。板簧要素41A、41B在俯视图上按照相互的短边部分彼此相互接近的方式被对置配置，短边部分延伸的一方(图16中的左方)的端部，分别与按照和该短边部分近似正交的方式延伸的长边部分连接。而且，板簧要素41B的短边部分延伸的另一方(图16中的右方)的端部，成为与静电吸盘1连接的一端部11，板簧要素41A的短边部分延伸的另一方的端部，成为与支承体2连接的另一端部12。
板簧要素41A、41B各自的长边部分，按照将短边部分的一方的端部作为基端，相互向相反方向分离的方式延伸形成。而且，在板簧要素41A、41B的这些长边部分的一方侧，接近地对置配置有板簧要素41C。板簧要素41C的两端通过各自的连接部43，与板簧要素41A、41B的长边部分的各自朝向外方的前端连接。即，板簧部件41形成为通过2个连接部43将板簧要素41A、41B及41C连接成一体。
俯视图上的板簧部件41中的一端部11侧的形状、和另一端部12侧的形状形成为，隔着通过一端部11和另一端部12的中间，与上述短边部分延伸的方向平行地延伸的假想线L4，相互近似线对称。
在对如此构成的板簧部件41施加了使一端部11与另一端部12沿垂直方向接近那样的应力时，2个连接部43在俯视图上向相互分离的方向变位，同时板簧部件41在垂直方向上被压缩，使得一端部11与另一端部12沿垂直方向相互接近。另外，在对板簧部件41施加了使一端部11与另一端部12沿垂直方向分离那样的应力时，2个连接部43在俯视图上向相互接近的方向变位，同时板簧部件41在垂直方向上延伸，使得一端部11与另一端部12沿垂直方向相互分离。这样，一端部11和另一端部12被限制成，相互只能在垂直方向上相对移动，而不能在垂直方向以外的方向上相对移动。
另外，虽然未图示，但板簧部件41的变形按照从侧面观察板簧部件41时的板簧部件41的一端部11侧的弹性变形、和另一端部12侧的弹性变形，隔着通过一端部11和另一端部12的中间并沿水平方向延伸的假想线，相互近似线对称的方式进行。
对于图16(b)中的板簧部件51而言，将板簧要素41A、41B和板簧要素41C连接的各个连接部53，与板簧要素41A、41B的短边部分延伸的方向近似平行地延伸形成。
而且，俯视图上的板簧部件51中的一端部11侧的形状和另一端部12侧的形状形成为，隔着通过一端部11和另一端部12的中间并与上述短边部分延伸的方向平行地延伸的假想线L5，相互近似线对称。
这样构成的板簧部件51也被限制成，一端部11和另一端部12相互只能在垂直方向相对移动，而不能在垂直方向以外的方向相对移动。
另外，虽然未图示，但板簧部件51的变形按照从侧面观察板簧部件51时的板簧部件51中的一端部11侧的弹性变形、和另一端部12侧的弹性变形，隔着通过一端部11和另一端部12的中间并沿水平方向延伸的假想线，相互近似线对称的方式进行。
对于图16(c)中的板簧部件61而言，板簧要素61A形成为近似C字状或近似Ω字状，板簧要素61A的两端成为一端部11和另一端部12。
俯视图上的板簧部件61中的一端部11侧的形状和另一端部12侧的形状形成为，隔着通过一端部11与另一端部12的中间并向与这些一端部11和另一端部12对置的方向交叉的方向延伸的假想线L6，相互近似线对称。
这样构成的板簧部件61也被限制成，一端部11和另一端部12相互只能在垂直方向上相对移动，而不能在垂直方向以外的方向相对移动。另外，虽然未图示，但板簧部件61的变形按照在从图16的上下方向观察的侧视图中，板簧部件61中的一端部11侧的弹性变形、和另一端部12侧的弹性变形，隔着通过一端部11和另一端部12的中间并沿水平方向延伸的假想线，相互近似线对称的方式进行。
在本实施方式中，说明了在支承体2上设置多个静电吸盘1和板簧部件4的组的情况，但并不限于此，也可以只设置一个静电吸盘1和板簧部件4的组。
在本实施方式中，说明了支承体2的突出部2b形成为近似方形框状或近似矩形框状，在支承体2的突出部2b中，与板簧部件4连接的包含板簧部件4的外侧环部的中央部分(另一端部)的区域，成为上述突出部2b的4角的4个部位的情况，但支承体2的突出部2b的与板簧部件4连接的包含板簧部件4的另一端部的区域，只要能够抑制静电吸盘1的旋转即可，例如将支承体2的突出部2b构成近似三角形框状，上述突出部2b的与板簧部件4连接的包含板簧部件4的另一端部的区域，可以是该突出部2b的3个角的3个部位。另外，在突出部2b是近似矩形框状的情况下，也可以将突出部2b的与板簧部件4连接的包含板簧部件4的另一端部的区域，设置到突出部2b的各边中央的4个部位。
另外，关于与支承体2的突出部2b连接的板簧部件、板簧要素的数量，可根据对静电吸盘1与支承体2的突出部2b的水平方向的相对移动怎样程度限制来进行调整。例如，在对水平方向的限制更强的情况下，设置更多的板簧要素。
在本实施方式中，说明了使用静电吸盘1的静电吸附力吸附保持上基板21，但不限定于此，也可以使用粘合力等其他吸附力，吸附保持上基板21。
在本实施方式中，说明了支承体2形成为近似矩形板状或近似长方体状，并覆盖静电吸盘1的上方的情况，但支承体2只要支承静电吸盘1即可，例如也可以将支承体2形成为近似框状或近似梯状，并不覆盖静电吸盘1的上方。
在本实施方式中，说明了设置阻止部件6的情况，但在即使不使用阻止部件6的弹性变形的作用力，也能够充分获得静电吸盘1对上基板21的吸附力的情况下，可以不设置阻止部件6。
在本实施方式中，说明了将基板的保持装置10设置于真空腔7内，在真空腔7内形成真空等减压气氛，使一对基板21、22夹着密封树脂23和树脂材料24密接层叠的情况，但不限于此，也可以将基板的保持装置10设置到大气压气氛中，在该大气压气氛中使一对基板21、22夹着密封树脂23和树脂材料24密接层叠。
在本实施方式中，说明了将板簧部件4的一端部11和另一端部12隔着假想线L1接近地对置配置的情况，但不限于此，也可以不将一端部11和另一端部12对置配置。
在本实施方式中，说明了板簧部件4中的一端部11侧的板簧要素4B和另一端部12侧的板簧要素4A形成为隔着假想线L1近似线对称，但不限定于此。
产业上的可利用性
本发明的基板的保持装置以及基板的保持方法，可用于夹层玻璃、液晶屏等的制造。
另外，在本发明的说明书中，作为公开内容，引用了2008年8月8日提出的日本专利申请2008-206124号的说明书、权利要求书、附图以及说明书摘要的全部内容。

Claims (16)

1.一种基板的保持装置，用于将基板近似水平保持，并使其上下移动，其特征在于，具有：
支承体；
由上述支承体支承并吸附上述基板的至少1个基板吸附体；和
在多个部位将上述基板吸附体的外周部、和上述支承体的与该基板吸附体外周部沿水平方向分离的区域连接的带状弹性部件；
上述带状弹性部件在与上述基板吸附体连接的一端部和与上述支承体连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、在上下方向薄的带状，按照上述基板吸附体相对上述支承体在上下方向相对接近分离的方式变位、且在水平方向变位。
2.根据权利要求1所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述带状弹性部件形成为比上述一端部与上述另一端部之间的直线距离长，并且以绕过上述直线距离的直线的方式弯曲。
3.根据权利要求1所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述带状弹性部件在上述基板吸附体相对上述支承体沿接近分离的上下方向相对移动时，与上下方向的相对变位相比，上述一端部和上述另一端部的水平方向的相对变位小。
4.根据权利要求2所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述带状弹性部件在上述基板吸附体相对上述支承体沿接近分离的上下方向相对移动时，与上下方向的相对变位相比，上述一端部和上述另一端部的水平方向的相对变位小。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述带状弹性部件的上述一端部侧的形状和上述另一端部侧的形状形成为，在与上述上下方向正交的平面内相互近似线对称，该一端部和该另一端部接近地对置配置。
6.根据权利要求5所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述带状弹性部件在与上述上下方向正交的平面内，形成为近似环状、近似U字状、近似V字状、近似C字状或近似Ω字状。
7.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述带状弹性部件形成为在与上述上下方向正交的平面内以L字状弯曲的近似环状，上述基板吸附体在外周具有角，上述带状弹性部件的内侧环部弯曲的部位与上述基板吸附体的外周的角连接，上述带状弹性部件的外侧环部弯曲的部位与上述支承体连接。
8.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述支承体的与上述带状弹性部件连接的包含该带状弹性部件的另一端部的区域，对于1个上述基板吸附体，有3处以上。
9.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板的保持装置，其特征在于，
由上述基板吸附体与上述带状弹性部件构成的组在上述支承体下部设置有多个。
10.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述支承体形成为覆盖上述基板吸附体的上方，
在上述基板吸附体的上面设置有能够弹性变形的阻止部件，
上述阻止部件能够与上述支承体抵接。
11.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板的保持装置，其特征在于，
被配置在减压气氛中。
12.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板的保持装置，其特征在于，
上述基板吸附体为利用静电吸附力吸附上述基板的构成。
13.一种基板的保持方法，用于将基板近似水平保持，并使其上下移动，其特征在于，
具备：支承体；由上述支承体支承并吸附上述基板的至少1个基板吸附体；和带状弹性部件，其在多个部位将上述基板吸附体的外周部和上述支承体的与该基板吸附体外周部沿水平方向分离的区域连接，在与上述基板吸附体连接的一端部和与上述支承体连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、且在上下方向薄的带状，按照上述基板吸附体相对上述支承体在上下方向相对接近分离的方式变位、且在水平方向变位；
包括：使上述支承体下降，让上述基板吸附体与上述支承体相对接近，而使得上述带状弹性部件被压缩，同时在与上述基板吸附体和上述支承体相对接近的方向交叉的一个方向变位，利用上述基板吸附体吸附上述基板的工序；和
使上述支承体上升，让上述基板吸附体基于上述基板的重量与上述支承体相对分离，使得上述带状弹性部件伸展，同时在与上述基板吸附体和上述支承体相对分离的方向交叉的上述一个方向的相反方向变位，利用上述基板吸附体保持上述基板的工序。
14.一种夹层玻璃的制造方法，通过在沿垂直方向对置配置的一对基板之间夹设固化性树脂材料进行层叠，然后使该树脂材料固化来形成夹层玻璃，其特征在于，
具备：支承体；由上述支承体支承并吸附一对上述基板中的上基板的至少1个基板吸附体；和带状弹性部件，其在多个部位将上述基板吸附体的外周部和上述支承体的与该基板吸附体外周部沿水平方向分离的区域连接，在与上述基板吸附体连接的一端部和与上述支承体连接的另一端部之间具有变位部，该变位部形成为在水平方向上宽度宽、在上下方向薄的带状，按照上述基板吸附体相对上述支承体在上下方向相对接近分离的方式变位、且在水平方向变位；
包括：使上述支承体下降，让上述基板吸附体与上述支承体相对接近，而使得上述带状弹性部件被压缩，同时在与上述基板吸附体和上述支承体相对接近的方向交叉的一个方向变位，利用上述基板吸附体吸附上述基板的工序；
使上述支承体上升，让上述基板吸附体基于上述上基板的重量与上述支承体相对分离，使得上述带状弹性部件伸展，同时在与上述基板吸附体和上述支承体相对分离的方向交叉的上述一个方向的相反方向变位，利用上述基板吸附体保持上述基板的工序；
使上述一对基板中的下基板与上述上基板之间夹设由固化性树脂组成物构成的上述树脂材料，并将上述下基板设置成与上述上基板的下方相对向的工序；
使上述支承体下降，夹着上述树脂材料将上述下基板与被上述基板吸附体保持的上述上基板密接的工序；和
使上述树脂材料固化的工序。
15.根据权利要求14所述的夹层玻璃的制造方法，其特征在于，
使用多组上述基板吸附体和上述带状弹性部件来吸附上述上基板。
16.根据权利要求14或15所述的夹层玻璃的制造方法，其特征在于，
在上述对置配置的工序中，包括利用密封部件包围上述下基板的上述树脂材料的外周，将该下基板对置配置到上述上基板的下方的作业，
在上述密接的工序中，包括在减压气氛中央着上述树脂材料和上述密封部件，使上述一对基板密接的作业，
在上述密接的工序与上述固化的工序之间，包括通过使上述减压气氛的减压度增大，将上述基板彼此压接的工序。
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