CN102072744A - 测定设备用台架 - Google Patents

Abstract

一种可折叠的测定设备用台架，不仅组装简单，而且节省运送空间。该测定设备用台架包括：长条构件(3)，使测定设备(MU)沿着长度方向移动；以及一对第一框体(4)，分别设置于长条构件(3)的两端部，且具有用以使长条构件(3)沿着与长度方向不同的方向移动的导轨(71)，长条构件(3)的两端部构成为沿着各自对应的第一框体(4)的导轨(71)，向互不相同的方向移动，使第一框体(4)彼此的间隔扩大或缩小。

Description

测定设备用台架

技术领域

本发明涉及一种测定设备用台架，该测定设备用台架使可用以对例如玻璃基板或半导体晶圆(wafer)等的测定基板进行检查的测定设备至少在水平面内滑动。

背景技术

以往，如专利文献1所示的测定设备用台架是在实际进行测定的设置场所中被组装。即，从制造工场运送出测定设备用台架的各零件，在设置场所中进行组装。

但是，在空间(space)有限的设置场所中组装各零件的作业复杂，且作业性往往会变差。另外，测定设备用台架若越大，则各零件的重量越大，由此，也存在作业性变差的问题。

另一方面，虽也可考虑在组装之后的状态下进行运送，但测定设备用台架若越大，则不仅会导致对于搬送车辆的装卸量巨大，而且会导致运送空间变大，效率不佳，现实问题是难以在组装之后的状态下运送。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2007-331086号公报

发明内容

因此，本发明是为了一举解决所述问题点而成的发明，主要的预期课题在于提供一种可折叠的测定设备用台架，该测定设备用台架不仅组装简单，而且节省运送空间。

即，本发明的测定设备用台架使测定设备至少在水平面内移动，其特征在于包括：长条构件，使所述测定设备沿着长度方向移动；以及一对第一框体，分别设置于所述长条构件的两端部，且具有用以使所述长条构件沿着与所述长度方向不同的方向移动的导轨(guide rail)，在一个第一框体相对于另一个第一框体而未被固定的状态下，所述长条构件的两端部沿着各自对应的所述第一框体的导轨，向互不相同的方向移动，使所述第一框体彼此的间隔扩大或缩小。

如此，可在将长条构件连结于一对第一框体的状态下进行折叠，在组装阶段，只要使第一框体的间隔扩大即可，因此，可在设置场所中容易地对台架进行组装。另外，由于以折叠状态来进行运送，因此，可节省运送空间。此外，即使例如当在无需使用测定设备用台架的情况下收纳该测定设备用台架时，使第一框体彼此的间隔变窄来进行折叠，借此，可节省收纳空间，再次使用时的组装也容易。

具体而言，为了能够在将长条构件连结于第一框体的状态下进行折叠，较佳为所述长条构件的两端部以可围绕沿着铅垂方向的旋转轴旋转的方式，连结于滑动自如地卡合于所述导轨的滑动构件，在所述一个第一框体相对于另一个第一框体未被固定的状态下，所述长条构件的两端部围绕所述旋转轴而旋转，借此来使所述长条构件的两端部沿着各自对应的所述第一框体的导轨，向互不相同的方向滑动，使所述第一框体彼此的间隔扩大或缩小。如此，当使第一框体扩大或缩小时，长条构件相对于滑动构件而发生旋转，借此，可使过度的力不易施加于导轨以及滑动构件，从而可防止导轨以及滑动构件的故障。

另外，本发明的测定设备用台架较佳为包括旋转限制构件，该旋转限制构件在所述导轨的两侧设置在所述长条构件与所述第一框体之间，限制所述第一框体以所述导轨的延伸方向作为旋转中心而相对于所述长条构件所发生的旋转。如此，当使第一框体扩大或缩小时，第一框体发生倾斜，可防止应力施加于导轨以及滑动构件而导致故障。另外，可对第一框体的斜度进行控制，从而可使第一框体容易地移动。

本发明的测定设备用台架较佳为包括第二框体，该第二框体对所述一对第一框体进行连结固定，使设置于各第一框体的导轨彼此平行，所述第二框体分别设置在所述第一框体的两端部，且包括：可旋转地连结于一个第一框体的端部的第一框架、可旋转地连结于另一个第一框体的端部的第二框架、以及对所述第一框架及所述第二框架进行连结固定的连接框架。如此，不仅可借由第二框体来使导轨彼此平行，而且借由对所述第二框体进行分担支撑，可将各框架予以轻量化，从而可使折叠时以及组装时的作业性提高。另外，可使第二框体(各框架)移动时所通过的区域变小，借此，也可使作业性提高。而且，由于利用连接框架来将第一框架以及第二框架予以连结，因此，可利用连接框架的长度来进行调整，以使导轨平行。

[发明的效果]

根据以所述方式构成的本发明，可提供可折叠的测定设备用台架，该测定设备用台架的组装简单，且可节省运送空间以及收纳空间。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的测定设备用台架的立体图。

图2是所述实施方式的测定设备用台架的平面图。

图3是所述实施方式的测定设备用台架的侧视图。

图4是所述实施方式的测定设备用台架的正视图。

图5是长条构件的端部的A-A线剖面图。

图6是表示长条构件的端部的构成的侧视图。

图7(A)～图7(C)是表示所述实施方式的第二框体的折叠状态的平面图。

[符号的说明]

2：支撑体             3：长条构件

4：第一框体           5：第二框体

6：X轴移动机构        7：Y轴移动机构

8A、8B：夹具          9：旋转限制构件/脚轮构件

10：限位器            21：支撑体基部

22：支撑体本体        41：脚轮

42：脚要素            51：第一框架

52：第二框架          53：连接框架

53a、53b：连接要素    61、71：导轨

62、72：滑动构件      100：测定设备用台架

200：基板载置平台     721：滑动本体

722：连结体           723：衔接机构

A-A：线               H1、H2：贯通孔

J1：旋转轴            J2：沿着铅垂方向的旋转轴

MU：测定设备          N1：螺钉

W：基板               X、Y、Z：轴

具体实施方式

以下，参照附图来对本发明的测定设备用台架100的一个实施方式进行说明。

本实施方式的测定设备用台架100使用在基板检查系统(system)中，该基板检查系统例如对用于液晶面板(panel)的玻璃基板或用于太阳电池的硅(silicon)基板等的基板W进行检查，在台架内部配置有载置着基板W的基板载置平台(stage)200。而且，测定设备用台架100使测定设备MU在载置于所述基板载置平台200的基板W上至少在水平面内移动。再者，在以下的说明以及附图中，水平面是由X轴方向以及Y轴方向所形成的平面，将铅垂方向设为Z轴方向。

具体而言，如图1～图4所示，所述测定设备用台架100包括：长条构件3，使对测定设备MU进行支撑的支撑体2沿着长度方向(以下也称为X轴方向)滑动；一对第一框体4，分别设置在所述长条构件3的两端部，且具有用以使长条构件3沿着与长度方向正交的方向(以下也称为Y轴方向)滑动的导轨71；以及第二框体5，将所述一对第一框体4予以连结固定，使设置于各第一框体4的导轨71沿着Y轴方向彼此平行。另外，本实施方式的测定设备用台架100借由第一框体4以及第二框体5来形成平面观察时的大致矩形框形状(参照图2)。

特别是如图1所示，支撑体2包括：支撑体基部21，以可在X轴方向上滑动的方式受到设置于长条构件3的上表面及/或侧面的导轨61支撑；以及支撑体本体22(仅图示在图1中)，以可借由未图示的移动机构来在铅垂方向(以下也称为Z轴方向)上滑动的方式而支撑于所述支撑体基部21。可将例如构成膜厚计等的光源以及光检测器等的测定设备MU可装卸地安装于所述支撑体本体22。

支撑体基部21固定在滑动自如地卡合于导轨61的滑动构件62上，该支撑体基部21例如借由时规皮带(timing belt)驱动、滚珠螺杆(ball screw)驱动或线性马达(linear motor)驱动的驱动机构(未图示)而在X轴方向上滑动。再者，借由导轨61、滑动构件62以及驱动机构来形成X轴移动机构6。

特别是如图2以及图4所示，长条构件3是沿着X轴方向延伸的长条状的构件，在将测定设备用台架100予以组装之后的状态下，将该长条构件3的长度方向设为X轴方向。另外，长条构件3的左右两端部(X轴方向两端部)连接于滑动构件72，该滑动构件72滑动自如地卡合在设置于第一框体4的上表面的导轨71上，所述长条构件3的左右两端部例如借由时规皮带驱动、滚珠螺杆驱动或线性马达驱动的驱动机构(未图示)而在Y轴方向上滑动。再者，借由导轨71、滑动构件72以及驱动机构来形成Y轴移动机构7。

特别是如图3所示，第一框体4在侧面观察时(从X轴方向观察时)大致呈矩形状，在上表面上设置有Y轴移动机构7的导轨71，并且下表面上设置有用以使第一框体4移动的脚轮(caster)41、与用以固定第一框体4的可伸缩的脚要素42。而且，当使第一框体4移动时，使脚要素42离开地面，当对第一框体4进行固定时，使脚要素42与地面接触。

特别是如图2以及图4所示，第二框体5分别设置于各第一框体4的前后两端部(Y轴方向两端部)，该第二框体5包括：第一框架51，可旋转地连结于一个第一框体4的两端部；第二框架52，可旋转地连结于另一个第一框体4的两端部；以及连接框架53，在前后分别对所述第一框架51及所述第二框架52进行连结固定。

第一框架51以及第二框架52例如呈相同的形状，在正面观察时(从Y轴方向观察时)大致呈矩形状。另外，如图2所示，第一框架51以及第二框架52借由上下相对应的两对夹具8A、8B来连结于第一框体4的内侧面。各夹具8A、8B可借由沿着铅垂方向的旋转轴来使第一框架51以及第二框架52旋转。当借由两对夹具8A、8B来将第一框架51以及第二框架52予以连结时，第一框架51以及第二框架52成为连结固定于第一框体4的状态而不会旋转。如此，利用两对夹具8A、8B来对第一框架51以及第二框架52进行固定，借此，可使相对于第一框体4的第一框架51以及第二框架2的位置再现性提高，并且可增大强度。

借由将一个夹具(内侧的夹具)8A解除，可利用另一个夹具(外侧的夹具)8B来使第一框架51以及第二框架52相对于第一框体4而向外侧旋转。借由将另一个夹具(外侧的夹具)8B解除，可利用一个夹具(内侧的夹具)8A来使第一框架51以及第二框架52相对于第一框体4而向内侧旋转。

借此，当折叠该测定设备用台架100时，将外侧的夹具8B解除，沿着第一框体4的内侧面来折叠第一框架51以及第二框架52。另一方面，在使第一框体4的间隔扩大之后，当将基板载置平台200收容在测定设备用台架100内时，将内侧的夹具8A解除，以使第一框架51以及第二框架52向第一框体4的外侧旋转的方式来使第一框体4的间隔扩大。

该连接框架53将第一框架51的自由端部(连接于第一框体4的端部的相反侧的端部)以及第二框架52的自由端部(连接于第一框体4的端部的相反侧的端部)予以连结。该连接框架53包括将第一框架51以及第二框架52的上下分别予以连接的两个连接要素53a、53b。各连接要素53a、53b的端部在两个点处分别固定于第一框架51或第二框架52，使得在水平面方向上，第一框架51以及连接框架53、第二框架52以及连接框架53的相对位置不会发生变化。借此，在借由该连接框架53来将第一框架51以及第二框架52予以连接的状态下，第一框架51以及第二框架52的相对位置不会发生变化，一个第一框体4成为相对于另一个第一框体4而言，相对位置成为不发生变化的固定状态。

而且，如图5以及图6所示，连接着长条构件3的两端部的滑动构件72包括：滑动自如地卡合于导轨71的滑动本体721、以及连结体722，该连结体722以可围绕沿着导轨71的延伸方向的旋转轴旋转的方式而设置于所述滑动本体721，且连结着所述长条构件3的端部。

滑动本体721以及连结体722借由衔接(link)机构723而被连结，该衔接机构723沿着导轨71的延伸方向而具有旋转轴J1。如此，由于滑动构件72包括可围绕沿着导轨71的延伸方向的旋转轴J1旋转的连结体722，因此，构成误差吸收构造，该误差吸收构造在将长条构件3连结于滑动构件72时，将第一框体4的斜度以及高度位置的误差予以吸收，从而使将长条构件3连结于第一框体4的连结作业简单化。

另外，在连结体722的下表面上设置有旋转限制构件9，该旋转限制构件9以包夹导轨71的方式而设置在该导轨71的两侧，将所述旋转限制在规定范围内，所述旋转是第一框体4相对于连结于连结体722的长条构件3，以沿着导轨的延伸方向(Y轴方向)的轴为旋转中心而产生的旋转。

所述旋转限制构件9设置在导轨71的两侧，当第一框体4相对于长条构件3而向X轴方向倾斜时(向内侧倾斜时或向外侧倾斜时)，所述旋转限制构件9与第一框体4的上表面接触，使得第一框体4相对于长条构件3无法进一步旋转。本实施方式的旋转限制构件9由设置在连结体722的下表面的脚轮构件构成。该脚轮构件9在连结体722的前后，设置在导轨71的两侧，针对长条构件3的各端部，共计设置有4个脚轮构件9。另外，当长条构件3以及第一框体4大致成直角的状态(正常状态)时，所述脚轮构件9不与第一框体4的上表面接触。如此，当使第一框体4扩大或缩小时，第一框体4发生倾斜，可使应力施加于导轨71及滑动构件72而导致故障的情况不会发生，从而不会对接下来的使用产生影响。另外，可对第一框体4的斜度进行控制，从而可使第一框体4容易地移动。

此外，长条构件3的两端部连结于滑动构件72的连结体722。更详细而言，长条构件3的两端部以可围绕沿着铅垂方向的旋转轴J2旋转的方式而连结于连结体722。具体而言，如图5以及图6所示，利用螺钉N1来将设置于长条构件3的贯通孔H1与设置于连结体722的贯通孔H2予以连结，借此，长条构件3与连结体722可旋转地被连结。再者，在使用测定设备用台架100时，借由未图示的固定构件来对长条构件3以及连结体722进行固定，使得所述长条构件3以及连结体722不会围绕旋转轴J2旋转。

接着，参照图7(A)～图7(C)来对以所述方式构成的测定设备用台架100的组装方法以及折叠方法进行说明。

首先，左右(X轴方向)相向地配置一对第一框体4。此时，在第一框体4的上表面设置有Y轴移动机构7的导轨71以及滑动构件72。而且，以横跨左右相向地配置的一对第一框体4的方式，将长条构件3载置在滑动构件72的连结板722上，借由螺钉N1来将设置于长条构件3的贯通孔与设置于连结体的贯通孔予以连结。此时，由于连结体722被设置成可围绕沿着Y轴方向的旋转轴J1旋转，因此，第一框体4的斜度以及高度位置的误差被吸收。即，通过连接构件来将长条构件3与第一框体4予以连接，第一框体4以可围绕沿着Y轴方向的旋转轴J1旋转的方式而与所述连接构件接触。

另外，将第二框体5的第一框架51分别连结于一个第一框体4的前后端部(Y轴方向端部)，将第二框体5的第二框架52分别连结于另一个第一框体4的前后端部(Y轴方向端部)。此时，各框架51、52借由内侧的夹具8A而连结于第一框体4，并以沿着第一框体4的内侧面的方式折叠(参照图7(A))。

接着，由于长条构件3的两端部可围绕旋转轴J2旋转，因此，使所述两端部沿着各自对应的第一框体4的导轨71，朝着互不相同的方向而向外侧滑动，从而使第一框体4彼此的间隔变窄。此时，以平面观察时大致呈Z字状(也可称为N字状)的方式，使长条构件3相对于第一框体4倾斜。例如，如图7(B)所示，当长条构件3的一端部(图7中的左侧端部)向上方向滑动时，长条构件3的另一端部(图7中的右侧端部)向与上方向相反的下方向滑动。而且，在折叠之后的状态下，长条构件3的两端部在各自对应的第一框体4的导轨71上，位于其延伸方向上的互不相同的端部。

然后，借由未图示的构件来对第一框体4彼此进行固定并进行运送等。再者，在所述顺序中，借由限位器(stopper)10来对设置于长条构件3的支撑体2进行固定，使得在折叠作业过程中或在运送过程中，支撑体2不会移动而发生故障。

接着，对折叠状态的测定设备用台架100的组装进行说明。

首先，对于折叠成平面观察时大致呈Z字状的测定设备用台架100而言，使一个或两个第一框体4移动，从而使第一框体4彼此的间隔扩大。此时，借由设置在第一框体4的下表面的脚轮41来使第一框体4容易地移动。

此时，长条构件3的两端部沿着各自对应的第一框体4的导轨71，朝着互不相同的方向而向内侧滑动。即，与所述折叠时相反地，在平面观察时，使所述长条构件3的两端部以相对于第一框体4立起的方式而滑动。

然后，使以沿着第一框体4的内侧面的方式而经折叠的第二框体5的第一框架51以及第二框架52向外侧扩大。此时，将基板载置平台200搬入至第一框体4彼此之间。然后，使第一框架51以及第二框架52的自由端部分别相向，并借由连接框架53来进行连接。利用连接框架53来将第一框架51以及第二框架52予以连结，借此，设置于第一框体4的导轨71变得平行。然后，将对支撑体2进行固定的限位器10予以拆除。借此，可将测定设备MU安装于支撑体2来使用该测定设备用台架100。

另外，例如在使用了测定设备用台架100之后，对处于可使用状态的测定设备用台架100进行折叠时，从支撑体2上拆除该测定设备MU，并且借由限位器10来将支撑体2固定于长条构件3。另外，拆除第二框体5的连接框架53，并且拆除内侧的夹具8A，使第二框体5的第一框架51以及第二框架52向外侧扩大，将基板载置平台200搬出。

然后，安装内侧的夹具8A，并且拆除外侧的夹具8B，使第一框架51以及第二框架52向内侧移动，以沿着第一框体4的内侧面的方式进行折叠。

然后，使长条构件3的两端部沿着各自对应的第一框体4的导轨71，朝着互不相同的方向而向外侧滑动，以平面观察时大致呈Z字状(也称为N字状)的方式，使第一框体4彼此的间隔变窄。在折叠之后的状态下，长条构件3的两端部在各自对应的第一框体4的导轨71上，成为位于其延伸方向上的互不相同的端部。借此，该测定设备用台架100被折叠。

<本实施方式的效果>

根据以所述方式构成的本实施方式的测定设备用台架100，在将长条构件3连结于一对第一框体4的状态下进行折叠，在组装阶段，只要使第一框体4的间隔扩大，并借由第二框体5来对第一框体4进行连结固定即可，因此，可在设置场所中容易地对台架进行组装。另外，由于以折叠状态来进行运送，因此，可节省运送空间。此外，即使当例如因无需使用测定设备用台架100而收纳该测定设备用台架100时，使第一框体4彼此的间隔变窄来进行折叠，借此，可节省收纳空间，再次使用时的组装也容易。

<其他变形实施方式>

再者，本发明并不限于所述实施方式。

例如，在所述实施方式中，表示了将测定设备用台架折叠成Z字状(N字状)的例子，但还可将测定设备用台架折叠成倒Z字状(倒N字状)。

另外，在所述实施方式中，在借由内侧的夹具来将第二框体连结于第一框体的状态下进行折叠，但也可以从第一框体上拆除第二框体的状态来对第一框体以及长条构件进行折叠。

而且，所述实施方式的第二框体由第一框架、第二框架以及连接框架构成，但也可不包括连接框架而由第一框架以及第二框架来构成第二框体，并直接将所述第一框架以及第二框架予以连结。另外，第二框体可不由2个以上的框架要素构成，也可由一个构件构成。

此外，所述实施方式的第二框体分别设置在第一框体的两端部，且台架在平面观察时大致呈矩形框状，但第二框体的设置部位不限于此，例如也可以是将一对第一框体的中央部彼此予以连结的部位。

另外，该测定设备用台架也可不包括第二框体。在此情况下，各第一框体例如固定于设置底板。而且，也可在至少一个第一框体未固定于该设置底板的状态下，使第一框体彼此的间隔扩大或缩小。

此外，旋转限制构件并不限于设置在滑动构件侧，也可设置在第一框体侧。

而且，在所述实施方式中，利用长条构件以及连结体的连结构造，长条构件的两端部可围绕沿着铅垂方向的旋转轴旋转，此外，也可在长条构件的两端部或连结体上设置可围绕沿着铅垂方向的旋转轴旋转的构造。

另外，在所述实施方式中，将该测定设备固定在支撑体上，该支撑体则固定于X轴移动机构的滑动构件，但也可将该测定设备直接设置在X轴移动机构的滑动构件上，且将该滑动构件作为支撑体。

此外，本发明不限于所述实施方式，当然可在不脱离本发明的宗旨的范围内进行各种变形。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (3)

1.一种测定设备用台架，使测定设备至少在水平面内移动，其特征在于包括：

长条构件，使所述测定设备沿着长度方向移动；以及

一对第一框体，分别设置于所述长条构件的两端部，且具有用以使所述长条构件沿着与所述长度方向不同的方向移动的导轨，

在一个第一框体相对于另一个第一框体而未被固定的状态下，所述长条构件的两端部沿着各自对应的所述第一框体的导轨，向互不相同的方向移动，使所述第一框体彼此的间隔扩大或缩小。

2.根据权利要求1所述的测定设备用台架，包括：

旋转限制构件，该旋转限制构件在所述导轨的两侧设置在所述长条构件与所述第一框体之间，限制所述第一框体以所述导轨的延伸方向作为旋转中心而相对于所述长条构件所发生的旋转。

3.根据权利要求1或2所述的测定设备用台架，包括：

第二框体，所述第二框体对所述一对第一框体进行连结固定，使设置于各第一框体的导轨彼此平行，

所述第二框体分别设置在所述第一框体的两端部，且包括：可旋转地连结于一个第一框体的端部的第一框架、可旋转地连结于另一个第一框体的端部的第二框架、以及对所述第一框架及所述第二框架进行连结固定的连接框架。

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