CN102032774A - 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件 - Google Patents

无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件 Download PDF

Info

Publication number
CN102032774A
CN102032774A CN2010105236703A CN201010523670A CN102032774A CN 102032774 A CN102032774 A CN 102032774A CN 2010105236703 A CN2010105236703 A CN 2010105236703A CN 201010523670 A CN201010523670 A CN 201010523670A CN 102032774 A CN102032774 A CN 102032774A
Authority
CN
China
Prior art keywords
steel wire
silicon wafer
support leg
sintering furnace
resistance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2010105236703A
Other languages
English (en)
Inventor
孙铁囤
荀建华
刘志刚
高玉山
潘盛
姚伟忠
陈琼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd
Original Assignee
Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd filed Critical Changzhou EGing Photovoltaic Technology Co Ltd
Priority to CN2010105236703A priority Critical patent/CN102032774A/zh
Publication of CN102032774A publication Critical patent/CN102032774A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)
  • Furnace Charging Or Discharging (AREA)

Abstract

一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,包括金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉,钢丝托脚焊接在金属套上,在金属套上设有螺纹孔,限位螺钉旋接在金属套上螺纹孔中,在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐酸、化学稳定、耐热震性能良好的优点,用它作为硅片托架主体杆,空心管结构吸热量少。在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于陶瓷具有很高的熔点和很好的耐磨性,从硅片背面粘附的铝浆不易与之形成尖锐合金体,能降低传输过程中的破损率。这样既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求,又降低了硅片在烧结过程中由于与金属接触导致硅片被金属离子玷污。

Description

无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件
技术领域:
本发明涉及一种太阳能电池片无网带烧结炉,尤其涉及硅片传输装置。
背景技术:
目前,国内外的太阳能电池生产制造厂家主要使用欧美企业所生产的烧结炉,这类烧结炉结构都是网带式隧道烧结炉,在烧结炉的纵向上依次设有预热排胶区、升温区、烧结区和降温区,在不同区域布置不同密度的加热灯管,以此来控制各区域的温度,印刷电极的硅片通过网带传输,依次经过烧结炉的不同炉温区,完成预热排胶、升温、烧结和降温的电极烧结过程,虽然这种网带式隧道烧结技术比较成熟,但整个烧结炉的纵向占地面积大,需要设计很长的炉体才能保证硅片在隧道传输过程中的预热排胶、升温、烧结、降温过程,由于高温烧结区的工艺温度需要在850-950℃之间,因此需要设计2-3米的隧道长度才能达到如此高的温度,这使得网带式烧结炉的体积庞大。若缩小则无法满足烧结工艺要求。另外,耐高温网带在运转的过程中,需要绕炉体内外循环运转,网带部分伴随硅片接受升温和降温的过程,因此,在运转过程中,网带会从炉内携带出大量的热量,而这部分热量将全部作为损耗,不仅造成了大量能量的浪费,而且也升高了工作环境温度,为此,申请人研制了一种太阳能电池片无网带烧结炉,它能很好地克服现有网带式隧道烧结炉存在的不足,这种设备占地面积小,热效率高,耗电量少,节能效果显著。
所述太阳能电池片无网带烧结炉,包括进料台1、隧道式烧结箱2、出料台3、硅片输送装置4和炉体架5,如图1所示,硅片输送装置4设置在进料台1和出料台3之间,且位于隧道式烧结箱2中,硅片输送装置4包括固定托架和移动托架,固定托架的两端分别固定在进料台1和出料台3中的固定底板上,移动托架的两端分别固定在由复升降机构和往复平移机构驱动的滑动板上,移动托架在往复升降机构和往复平移机构双重作用下,带动移动托架周期性地完成上升、前移、下降和后退动作,从而将放置在固定托架上的硅片逐步向前搬移。在这种无网硅电池片烧结炉中,无论固定托架还是移动托架都必须能长时间在850-950℃的高温环境下稳定工作,因此托架主体杆采用石英玻璃管,硅片托脚部件用钢质材料制成,这样就在如此温度条件下正常工作,
虽然硅片与钢质托脚之间为点接触或短线段接触,但是硅片背面的铝浆仍会在烧结过程中粘附在金属支架上,金属铝与钢质托脚在高温下会形成合金,在托脚接触点的上端形成球形的金属物质。不仅会导致碎片率的上升,还需要花费较大的人力和物力以及时间去维护,同时硅片仍然会由于与钢质托脚接触被金属离子玷污。
发明内容:
本发明的目的是提供一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件。
本发明所采用的技术方案是:
所述无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,其特征是:它包括金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉,钢丝托脚焊接在金属套上,在金属套上设有螺纹孔,限位螺钉旋接在金属套上的螺纹孔中,在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。
进一步,在金属套上还设有开口。
由于石英玻璃管具有强度高、耐高温、膨胀系数低、耐酸、化学稳定、耐热震性、电绝缘性能良好的优点,它很适合作为硅片托架的主体杆,空心管结构吸热量少。硅片托脚部件由金属套、钢丝托脚、陶瓷涂层和限位螺钉组成,钢丝托脚焊接在金属套上,在金属套上设有螺纹孔,限位螺钉旋接在金属套上螺纹孔中,在钢丝托脚的外表面上设有陶瓷涂层。由于陶瓷具有很高的熔点和很好的耐磨性,从硅片背面粘附的铝浆不易与之形成尖锐合金体,能降低传输过程中的破损率。这样既满足了托脚应具备的强度、耐高温、耐磨损要求,降低硅片在烧结过程中由于与金属接触导致硅片被金属离子玷污。在金属套上开设开口,便于金属套在石英玻璃管的套装;在金属套上开设螺纹孔,在石英玻璃管上开设定位孔,都是为了便于用限位螺钉将金属套固定在石英玻璃管上。
附图说明:
图1为无网带硅电池片烧结炉的结构示意图;
图2为本发明的结构示意图;
图3为本发明安装在石英玻璃管上的结构示意图;
图中:1-进料台;2-隧道式烧结箱;3-出料台;4-硅片输送装置;5-炉体架;41-金属套;42-钢丝托脚;43-陶瓷涂层;44-限位螺钉;45-螺纹孔;46-开口;47-石英玻璃管。
具体实施方式:
下面结合说明书附图说明本发明的具体实施方式:
所述无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,如图2~图3所示,它包括金属套41、钢丝托脚42、陶瓷涂层43和限位螺钉44,钢丝托脚42焊接在金属套41上,在金属套41上设有螺纹孔45和开口46,限位螺钉44旋接在金属套41上螺纹孔45中,在钢丝托脚42的外表面上设有陶瓷涂层43。在实际使用过程中,本发明通过金属套41套装在石英玻璃管47上。

Claims (2)

1.一种无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,其特征是:它包括金属套(41)、钢丝托脚(42)、陶瓷涂层(43)和限位螺钉(44),钢丝托脚(42)焊接在金属套(41)上,在金属套(41)上设有螺纹孔(45),限位螺钉(44)旋接在金属套(41)上的螺纹孔(45)中,在钢丝托脚(42)的外表面上设有陶瓷涂层(43)。
2.根据权利要求1所述无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件,其特征是:在金属套(41)上还设有开口(46)。
CN2010105236703A 2010-10-29 2010-10-29 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件 Pending CN102032774A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010105236703A CN102032774A (zh) 2010-10-29 2010-10-29 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010105236703A CN102032774A (zh) 2010-10-29 2010-10-29 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102032774A true CN102032774A (zh) 2011-04-27

Family

ID=43885989

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010105236703A Pending CN102032774A (zh) 2010-10-29 2010-10-29 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102032774A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2217208Y (zh) * 1993-10-26 1996-01-10 冶金工业部重庆钢铁设计研究院 适宜细长件高温加热的步进炉
US6402507B1 (en) * 2000-10-20 2002-06-11 Cast Masters, Inc. Tunnel furnace roller assembly
WO2005040706A1 (en) * 2003-10-21 2005-05-06 Outokumpu Technology Oy A pipe segment for a transfer line for transporting hot particulate material
CN1758418A (zh) * 2004-10-04 2006-04-12 日本碍子株式会社 连续式热处理炉以及热处理方法
CN1920458A (zh) * 2005-08-26 2007-02-28 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法
CN200949998Y (zh) * 2006-06-29 2007-09-19 苏州汇科机电设备有限公司 太阳能电池板烧成炉
CN201858872U (zh) * 2010-10-29 2011-06-08 常州亿晶光电科技有限公司 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2217208Y (zh) * 1993-10-26 1996-01-10 冶金工业部重庆钢铁设计研究院 适宜细长件高温加热的步进炉
US6402507B1 (en) * 2000-10-20 2002-06-11 Cast Masters, Inc. Tunnel furnace roller assembly
WO2005040706A1 (en) * 2003-10-21 2005-05-06 Outokumpu Technology Oy A pipe segment for a transfer line for transporting hot particulate material
CN1758418A (zh) * 2004-10-04 2006-04-12 日本碍子株式会社 连续式热处理炉以及热处理方法
CN1920458A (zh) * 2005-08-26 2007-02-28 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 制造太阳能电池用的燧道炉传送带及其制造方法
CN200949998Y (zh) * 2006-06-29 2007-09-19 苏州汇科机电设备有限公司 太阳能电池板烧成炉
CN201858872U (zh) * 2010-10-29 2011-06-08 常州亿晶光电科技有限公司 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201672799U (zh) 环保型高效低烧损铝金属熔化保温炉
CN202329094U (zh) 一种辊道式太阳电池硅片烧结炉
CN202337808U (zh) 一种自动化热处理设备
CN206751644U (zh) 一种基于高频电磁的加热装置
CN201858873U (zh) 五管式硅片输送装置
CN201858872U (zh) 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件
CN201395616Y (zh) 复合热回收型连续等温球化退火炉
CN208817996U (zh) 一种拼装式高温加热炉的炉膛结构
CN102062529B (zh) 一种无网带硅电池片烧结炉
CN102032774A (zh) 无网带烧结炉的蒸镀陶瓷硅片托脚部件
CN201858876U (zh) 石英玻璃管硅片托架部件
CN102032777B (zh) 石英玻璃管硅片托架部件
CN208432089U (zh) 一种小型回转窑
CN205074640U (zh) 一种钎焊炉用加热装置
CN102958857A (zh) 配有用于玻璃钢化和材料热处理的加热系统的熔融石英辊
CN110513970A (zh) 一种节能鞋业生产用烘箱
CN102052829B (zh) 硅片移动托架的升降机构
CN203857799U (zh) 一种节能高效斜式钒氮合金窑炉
CN201248152Y (zh) 应用于电熔炉上的电热棒
CN201858874U (zh) 硅片移动托架的升降机构
CN201779979U (zh) 直热式锌合金熔化炉
CN205074634U (zh) 一种钎焊炉用马弗定位装置
CN201059665Y (zh) 钢化电炉用陶瓷辐射板
CN201858869U (zh) 一种无网带硅电池片烧结炉
CN204923865U (zh) 一种电阻炉

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20110427