CN101995491A

CN101995491A - 适配板、双工位测试机的改装方法和测试方法

Info

Publication number: CN101995491A
Application number: CN2009101946151A
Authority: CN
Inventors: 严大生; 岳青; 屈微微; 郭万瑾
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Priority date: 2009-08-26
Filing date: 2009-08-26
Publication date: 2011-03-30
Anticipated expiration: 2029-08-26
Also published as: CN101995491B

Abstract

本发明提供一种适配板，用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机，包括：蜂窝板，将继电器组件固定于蜂窝板上的插座，以及转接板；所述转接板连接所述继电器组件的引脚，使所述继电器组件的公共引脚连接单工位测试机、所述继电器组件的第一信号引脚连接第一待测芯片的测试端、所述继电器组件的第二信号引脚连接所述第二待测芯片的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位上、所述第二待测芯片位于第二工位上；以及利用所述适配板的双工位测试机、利用所述双工位测试机的测试方法，以及利用所述适配板将单工位测试机改装成双工位测试机的方法。解决了现有技术测试效率低、测试成本高的问题。

Description

适配板、双工位测试机的改装方法和测试方法

技术领域

本发明涉及半导体测试领域，特别涉及一种适配板和双工位测试机的改装方法和测试方法。

背景技术

随着半导体测试行业不断向前发展，测试成本的不断提高。传统的单工位测试已经不再满足现在测试的需要，多工位测试已经成为测试发展的必然趋势。

多工位测试可以有效的缩短探针台托盘上下移动的次数，从而缩短测试时间，节约测试成本，提高生产效率。但是并行多工位测试机的价格比单工位测试机的昂贵，目前，用于测试电源芯片(Power IC)的四台科进(COGENT)测试机都是单工位测试机，这无疑造成了资源的浪费。

因此，有待于提出一种能将单工位测试机改装成双工位测试机甚至多工位测试机的方法。

发明内容

为了解决现有技术中单工位测试机测试时间较长、测量成本很高、测试效率低的问题，本发明提供一种用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机适配板、利用所述适配板的双工位测试机、利用所述双工位测试机的测试方法，以及利用所述适配板将单工位测试机改装成双工位测试机的方法。

根据本发明的一方面，提供一种适配板，用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机，包括：

蜂窝板，将继电器组件固定于蜂窝板上的插座，以及转接板；

所述转接板连接所述继电器组件的引脚，使所述继电器组件的公共引脚连接单工位测试机、所述继电器组件的第一信号引脚连接第一待测芯片的测试端、所述继电器组件的第二信号引脚连接所述第二待测芯片的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位上、所述第二待测芯片位于第二工位上。

优选的，所述继电器组件中的继电器为双刀双掷继电器，能同时测量待测芯片的两种信号。

优选的，所述继电器的型号为TQ2-5V。

优选的，所述继电器组件由三个相同继电器组成，所述三个继电器的第一引脚并联同时接5V电源，所述三个继电器的第十引脚并联同时接控制线。

根据本发明的一方面，还提供一种包括上述任一项所述的适配板的双工位测试机。

根据本发明的一方面，还提供一种利用所述的双工位测试机的测试方法，包括：

将第一待测芯片和第二待测芯片分别放置于所述适配板上的第一工位和第二工位；

测试所述第一待测芯片的信号并记录；

通过继电器激活所述第二待测芯片，测试所述第二待测芯片的信号并记录；

输出所述第一待测芯片和第二待测芯片的测试结果。

根据本发明的一方面，还提供一种利用上述任一项适配板将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，包括：

确定具有双工位测试硬件资源的单工位测试机；

将所述单工位测试机的程序通过继电器组件重新设置，使所述继电器加电时测试第一待测芯片，所述继电器不加电时测试第二待测芯片；

利用蜂窝板、继电器组件、插座以及转接板组装适配板；

连接所述适配板和所述单工位测试机的对应引脚，得到双工位测试机。

优选的，将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，还包括：利用所述双工位测试机进行成品测试。

优选的，所述继电器的型号为TQ2-5V。

本实施例的适配板可以将单工位测试机改装成双工位测试机，所述适配板的价格低廉、组装方便，其约30元左右的成本，但是却可以很大程度的提高测试效率，节约测试成本。

利用本发明的双工位测试机，可以大大节约时间和节省测试成本。

本发明，在单工位测试机内部硬件不变的情况下，通过在单工位测试机的外部加适配板并更改单工位测试机控制程序，实现将单工位测试机改装成串行双工位测试机，从而达到了节省测试资源提高生产效率的目的。

附图说明

图1为本发明适配板的结构示意图。

图2为一种继电器的结构示意图。

图3位继电器组件内继电器的连接方式。

图4为双工位测试流程图。

图5为利用单工位测试机和本发明的双工位测试机进行测试得到的试验数据对照表。

具体实施方式

为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。

为了能很好的利用现有的单工位测试机和测试系统，但同时又能提高测试效率且不增加成本，发明人想到：利用人们常见的资源制作一个适配板，选择具有双工位测试所需要的硬件资源的单工位测试机，在单工位测试机已有的硬件资源不变的情况下，通过在单工位测试机外部连接一个制作的适配板，使原来只能测试单工位的单工位测试机改装成可以进行双工位串行测试的双工位测试机，从而有效地节约测试时间，合理利用测试资源，提高生产效益。

实施例1

本实施例提供一种能将单工位的测试机改装成双工位的测试机的适配板，所述适配板包括：蜂窝板，将继电器组件固定于蜂窝板上的插座，以及转接板；所述转接板连接所述继电器组件的引脚，使所述继电器组件的公共引脚连接单工位测试机、所述继电器组件的第一信号引脚连接第一待测芯片的测试端、所述继电器组件的第二信号引脚连接所述第二待测芯片的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位上、所述第二待测芯片位于第二工位上。

图1为本发明适配板的结构示意图。如图1所示，所述适配板包括：蜂窝板100，将继电器组件130固定于蜂窝板100上的插座(未图示)，以及转接板140；所述转接板140连接所述继电器组件130的引脚，使所述继电器组件130的公共引脚连接单工位测试机150、所述继电器组件130的第一信号引脚连接第一待测芯片110的测试端、所述继电器组件130的第二信号引脚连接所述第二待测芯片120的测试端，所述第一待测芯片位于第一工位(未图示)上、所述第二待测芯片位于第二工位(未图示)上。

所述继电器组件130中的继电器为双刀双掷开关，这样，可以同时测量待测芯片的两种信号。

图2为一种继电器的结构示意图。如果待测芯片为晶圆，待测信号为晶圆的栅极感测信号、栅极压力信号、源极感测信号、源极压力信号、漏极感测信号、漏极压力信号，则所述继电器组件优选的包括三个相同继电器，每个所述继电器的结构如图2所示。所述继电器包括10个引脚，第一引脚1为电源引脚，第十引脚10为控制引脚，当所述第一引脚1连接高电平，所述第十引脚10连接低电平时，第二引脚2、第三引脚3、第八引脚8和第九引脚9接通；当所述第一引脚1和所述第十引脚10不加电时，第三引脚3、第四引脚4、第七引脚7和第八引脚8接通；其中，第二引脚2、第九引脚9、第四引脚4和第七引脚7为信号引脚，第三引脚3和第八引脚8为公共引脚；所述第二引脚2和第九引脚9作为第一信号引脚，所述第四引脚4和第七引脚7所为第二信号引脚。所述继电器可以是市场上型号为TQ2-5V的继电器。

为叙述方便，所述三个相同继电器分别称为第一继电器、第二继电器、第三继电器。图3位继电器组件内继电器的连接方式，所述三个继电器的连接方式如图3所示。

如图3所示，所述三个继电器的第一引脚1并联同时接5V电源，所述三个继电器的第十引脚10并联同时接控制线；第一继电器132的第三引脚3、第八引脚8分别接单工位测试机150信号接口的漏极感应信号(DS，Drain Sense)端、漏极压力信号(DF，Drain Force)端，第二引脚2、第九引脚9分别连接适配板上第一待测芯片110的DS端、DF端，第四引脚4、第七引脚7分别连接适配板上第二待测芯片120的DS端、DF端；第二继电器134的第三引脚3、第八引脚8分别接单工位测试机150信号接口的栅极感应信号(GS，Gate Sense)端、栅极压力信号(GF，Gate Force)端，第二引脚2、第九引脚9分别连接适配板上第一待测芯片110的GS端、GF端，第四引脚4、第七引脚7分别连接适配板上第二待测芯片120的GS端、GF端；第三继电器136的第三引脚3、第八引脚8分别接单工位测试机150信号接口的源极感应信号(SS，SourceSense)端、源极压力信号(SF，Source Force)端，第二引脚2、第九引脚9分别连接适配板上第一待测芯片110的SS端、SF端，第四引脚4、第七引脚7分别连接适配板上第二待测芯片120的SS端、SF端；所述三个继电器的第五引脚5和第六引脚6悬空；

优选的，本实施例中，选用双刀双掷继电器，同时测试每个电极的两种信号，可以很好的利用双刀双掷继电器的资源优势而不造成浪费，且比用单刀单掷继电器方便；但是如果由于资源问题，本发明也可以选用单刀单掷继电器，按照本实施例的方式进行连接，如果采用其他类型的继电器，则根据功能需要，继电器的数量也相应变化。

优选的，本实施例中，所述三个继电器的第一引脚1并联同时接5V电源，所述三个继电器的第十引脚10并联同时接控制线，因为这样比较方便简单，但然，也可以将每个继电器的第一引脚1分别连接5V电源，将第十引脚10分别连接控制线。

实施例2

本实施例提供一种将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，包括：

首先，确定具有双工位测试硬件资源的单工位测试机；

本实施例的所述单工位测试机可以是市场上的科进测试机，其型号为MTWT103，与所述科进测试机配套的探针台可以是UF170型号的MTWP024，配套的探针卡型号可以是P0009-02-02-S0；

其次，将所述单工位测试机的程序通过继电器组件重新设置，使所述继电器加电时测试第一待测芯片，所述继电器不加电时测试第二待测芯片；

图4为双工位测试流程图，如图4所示，所述重新设置的思路为：所述继电器不加电时，依次执行步骤S11、S12，即测试第一待测芯片并传送所述第一待测芯片；当所述继电器加电时，依次执行步骤S13、S14、S15，即通过所述继电器激活第二待测芯片，然后测试所述第二待测芯片并传送所述第二待测芯片；最后，执行步骤S16，即同时输出第一待测芯片和第二待测芯片的测试结果；

再次，利用蜂窝板、继电器组件、插座以及转接板组装适配板；

所述适配板与实施例1中的适配板相同，因此不再阐述；

最后，连接所述适配板和所述单工位测试机的对应引脚，得到双工位测试机。

具体的，当选用的继电器组件的连接方式如图3所示时，适配板上所有的DS端连接单工位测试机探针台的DS端，所有的DF端连接探针台的DF端，适配板上第一待测芯片110的GS端、GF端连接单工位测试机探针卡的第一栅极；适配板上第一待测芯片110的SS端、SF端分别连接单工位测试机探针卡的SS端、SF端；适配板上第二待测芯片120的GS端、GF端连接探针卡的第二栅极，适配板上第二待测芯片120的SS端、SF端分别连接探针卡的SS端、SF端。

优选的，将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，还包括：利用所述双工位测试机进行成品测试。这样，可以验证适配板是否符合预计的功能需求，以及验证适配板与所述单工位测试机的连接线能正常运行。

图5中，VGS(TH)表示晶粒的金属氧化物(MOS)晶体管的开启电压，单位为伏(V)；IGSSF表示，在所述金属氧化物晶体管的源漏极间加正向电流时，源漏极的漏电流，单位为纳安(nA)；IGSSR表示，在所述金属氧化物晶体管的源漏极间加反向电流时，源漏极的漏电流，单位为纳安(nA)；RDSON1、RDSON2、RDSON3为在源漏极间施加不同电流或电压时源漏极间的电阻，单位为毫欧姆(mΩ)；BVDSS表示，所述金属氧化物晶体管的击穿电压，单位为伏(V)；IDSS表示，所述金属氧化物晶体管的漏极的漏电流，单位为纳安(nA)；VFSD表示，所述金属氧化物晶体管的二极管电压，单位为伏(V)。

由图5可知，当测试芯片的总数为41558时，总测试良率：双工位的测试良率比单工位的测试良率大0.12％；源漏极间的电阻：双工位的测试值比单工位测试时总体值大1.5毫欧姆(mΩ)，此值在被允许的范围(5％)内；击穿电流：双工位的测试值比单工位测试值小0.007V；测试用时：在测试相同数量相同规格的待测芯片时，单工位测试机用了583分钟，本发明的双工位测试机用了467分钟，即双工位测试机节约了116分钟。

就此实验而看，当双工位测试机用467分钟时，能节约的时间为116分钟，那么如果测试时利用双工位测试机24小时，将能节约的时间大约为6小时，也就是说如果测试利用一台双工位测试机测试一年，将能节约的时间大约为2190小时。如果晶圆测试一个小时的费用为120元，那么它所带来的经济效益将是：120*2190＝262800元。

因此，利用本发明的双工位测试机，可以大大节约时间和节省测试成本。

实施例3

本实施例提供一种利用实施例2所述的双工位测试机测试待测芯片的方法，包括：

首先，将第一待测芯片和第二待测芯片分别放置于所述适配板上的第一工位和第二工位；

其次，测试所述第一待测芯片的信号并记录；

再次，通过继电器激活所述第二待测芯片，测试所述第二待测芯片的信号并记录；

最后，输出所述第一待测芯片和第二待测芯片的测试结果。

综上所述，在单工位测试机内部硬件不变的情况下，通过在单工位测试机的外部加适配板并更改单工位测试机控制程序，实现将单工位测试机改装成串行双工位测试机，从而达到了节省测试资源提高生产效率的目的。

本发明的适配板的组成元件的选择不限于实施例，本技术领域的技术人员可以在得到本发明启示的基础上选用其他元件来组成所述测试板，本发明的单工位测试机也可以选用相同功能的其它型号的测试机。

Claims

1.一种适配板，用于将单工位的测试机改装成双工位的测试机，包括：

2.如权利要求1所述的适配板，其特征在于，所述继电器组件中的继电器为双刀双掷继电器，能同时测量待测芯片的两种信号。

3.如权利要求2所述的适配板，其特征在于，所述继电器的型号为TQ2-5V。

4.如权利要求1或2所述的适配板，其特征在于，所述继电器组件由三个相同继电器组成，所述三个继电器的第一引脚并联同时接5V电源，所述三个继电器的第十引脚并联同时接控制线。

5.一种包括权利要求1至4中任一项所述的适配板的双工位测试机。

6.一种利用权利要求5所述的双工位测试机的测试方法，包括：

测试所述第一待测芯片的信号并记录；

输出所述第一待测芯片和第二待测芯片的测试结果。

7.一种利用如权利要求1至4中任一适配板将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，包括：

确定具有双工位测试硬件资源的单工位测试机；

利用蜂窝板、继电器组件、插座以及转接板组装适配板；

8.如权利要求7所述的将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，还包括：利用所述双工位测试机进行成品测试。

9.如权利要求7或8所述的将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，其特征在于，所述继电器组件中的继电器为双刀双掷继电器，能同时测量待测芯片的两种信号。

10.如权利要求7或8所述的将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，其特征在于，所述继电器的型号为TQ2-5V。

11.如权利要求7或8所述的将单工位测试机改装成双工位测试机的方法，其特征在于，所述继电器组件由三个相同继电器组成，所述三个继电器的第一引脚并联同时接5V电源，所述三个继电器的第十引脚并联同时接控制线。