CN201562036U - 一种适配板及测试机 - Google Patents

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Abstract

一种适配板,用于将单工位测试机扩展为串行多工位测试机,包括:蜂窝板及固定于所述蜂窝板上的继电器组件,所述继电器组件包括多个继电器组,每个所述继电器组包含3个继电器,所述每个继电器的电源引脚并连连接电源,所述每个继电器组内的继电器的控制引脚并联连接至测试机的同一控制信号线,所述每个继电器组内的各个继电器的公共引脚分别连接测试机上不同种类的测试信号接口,所述每个继电器组对应连接探针卡上不同测点的测试信号接口,所述每个继电器组内的各个继电器的第二信号引脚分别连接探针卡同一测点上不同种类的测试信号接口,所述每个继电器连接的探针卡测试信号接口和连接的测试机测试信号接口为对应的同类测试信号接口。本实用新型可有效地节约测试时间。

Description

一种适配板及测试机
技术领域
本实用新型涉及半导体集成电路测试领域,特别涉及一种可将测试机由单工位测试扩展为串行多工位测试的适配板和可进行串行多工位测试的测试机。
背景技术
随着半导体测试行业不断向前发展,测试成本的不断提高。传统的单工位测试已经不再满足现在测试的需要,多工位测试已经成为测试发展的必然趋势。
多工位测试可以有效的缩短探针台托盘上下移动的次数,从而缩短测试时间,节约测试成本,提高生产效率。但是并行多工位测试机的价格比单工位测试机的昂贵,目前,用于测试电源芯片(Power IC)的四台科进(COGENT)测试机都是单工位测试机,这无疑造成了资源的浪费。
因此,有待于提出一种能将单工位测试机改装成多工位测试机的方法。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种适配板及测试机,以解决将现有单工位测试机改装为串行多工位测试机的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种适配板,用于将单工位测试机扩展为串行多工位测试机,包括:蜂窝板及固定于所述蜂窝板上的继电器组件,所述继电器组件包括多个继电器组,每个所述继电器组包含3个继电器,所述每个继电器的电源引脚并连连接电源,所述每个继电器组内的继电器的控制引脚并联连接至测试机的同一控制信号线,所述每个继电器组内的各个继电器的公共引脚分别连接测试机上不同种类的测试信号接口,所述每个继电器组对应连接探针卡上不同测点的测试信号接口,所述每个继电器组内的各个继电器的第二信号引脚分别连接探针卡同一测点上不同种类的测试信号接口,所述每个继电器连接的探针卡测试信号接口和连接的测试机测试信号接口为对应的同类测试信号接口。
可选的,继电器组件中的继电器为双刀双掷继电器。
可选的,所述继电器的型号为TQ2-5V。
本实用新型还提供一种包括上述的适配板的测试机。
本实用新型利用人们常见的继电器制作了一个适配板,在测试机已有的硬件资源不变的情况下,通过在测试机外部连接制作出的适配板,使原来只能测试单工位的测试机扩展成可以进行串行多工位测试的测试机,减少了探针台托盘上下移动的次数,从而有效地节约测试时间,合理利用测试资源,提高生产效益且测试结果稳定可靠。
附图说明
图1为本实用新型的适配板的结构示意图;
图2为本实用新型所采用的一种继电器的结构示意图;
图3为本实用新型适配板的内部电路连接示意图;
图4为采用本实用新型的适配板后的测试流程示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
本实用新型所述的适配板及测试机可广泛应用于半导体集成电路的测试领域,并且可以利用多种替换方式实现,下面是通过较佳的实施例来加以说明,当然本实用新型并不局限于该具体实施例,本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用新型的保护范围内。
其次,本实用新型利用示意图进行了详细描述,在详述本实用新型实施例时,为了便于说明,示意图不依一般比例局部放大,不应以此作为对本实用新型的限定。
本实用新型的设计思路是利用人们继电器制作一个适配板,选择具有多工位测试所需要的硬件资源的测试机,在测试机已有的硬件资源不变的情况下,该适配板与测试机的不同测试信号接口连接,同时该适配板还与探针卡上的不同测点相连接,探针卡的每一测点具有不同的测试信号接口。通过该适配板的连接可实现探针卡上不同测点可依次完成信号测试,并将测试结果传输至测试机,从而使原来只能测试单工位的测试机扩展成可以进行串行多工位测试的测试机,有效地节约测试时间,合理利用测试资源,提高生产效益。
请参阅图1,图1为本实用新型的适配板的结构示意图。如图1所示,本实用新型的适配板包括:
蜂窝板100;
固定于所述蜂窝板100上的继电器组件110,所述继电器组件110包括多个继电器组(图1中所示的继电器组件110中包含4个继电器组,分别为继电器组201至继电器组204),每个继电器组包含3个继电器,即整个继电器组件110包括12个继电器(如图1中所示的继电器301至继电器312)。
所述继电器为双刀双掷开关。请参阅图2,图2为本实用新型所采用的一种继电器的结构示意图。如图2所示,该继电器包括10个引脚,第一引脚1为电源引脚,第十引脚10为控制引脚,当所述第一引脚1连接高电平,所述第十引脚10连接低电平时,第二引脚2、第三引脚3、第八引脚8和第九引脚9接通;当所述第一引脚1和所述第十引脚10不加电时,第三引脚3、第四引脚4、第七引脚7和第八引脚8接通;其中,第二引脚2、第九引脚9、第四引脚4和第七引脚7为信号引脚,第三引脚3和第八引脚8为公共引脚;所述第二引脚2和第九引脚9作为第一信号引脚,所述第四引脚4和第七引脚7为第二信号引脚,第五引脚5和第六引脚6悬空。所述继电器可以是市场上型号为TQ2-5V的继电器。
请参阅图3,图3为本实用新型适配板的内部电路连接示意图。如图3所示,每个继电器的第一引脚并联同时接5V电源;继电器301、302、303的第十引脚10并联连接控制信号线1,继电器304、305、306的第十引脚10并联连接控制信号线2,继电器307、308、309的第十引脚10并联连接控制信号线3,继电器311、312、313的第十引脚10并联连接控制信号线4;继电器301、304、307、310的第三引脚3和第八引脚8分别连接测试机信号接口的DS(漏极感应信号,Drain Sense)端和DF(漏极压力信号,Drain Force)端,继电器302、305、308、311的第三引脚3和第八引脚8分别连接测试机信号接口的GS(栅极感应信号,Ga te Sens e)端和GF(栅极压力信号,Gate Force)端,继电器303、306、309、312的第三引脚3和第八引脚8分别连接测试机信号接口的SS(源极感应信号,Source Sense)端和SF(源极压力信号,Source Force)端;继电器301、304、307、310的第四引脚4并联连接探针卡的DS端,第七引脚7并联连接探针卡的DF端;继电器302、305、308、311的第四引脚4并联连接探针卡的GS端,第七引脚7并联连接探针卡的GF端;继电器303、306、309、312的第四引脚4并联连接探针卡的SS端,第七引脚7并联连接探针卡的SF端。
本实用新型还提供一种包括上述的适配板的测试机。
请参阅图4,图4为采用本实用新型的适配板后的测试流程示意图。如图4所示,开始测试后,测试机的控制信号线1首先驱动适配板第一继电器组工作,第一继电器组驱动探针卡第一部位测点进行测试;其后,测试机的控制信号线2、控制信号线3和控制信号线4依次驱动适配板第二继电器组、第三继电器组和第四继电器组,依次完成探针卡第二部位测点、第三部位测点、第四部位测点的测试;最后,通过适配板将探针卡各部位测点的测试结果反馈给测试机,并将测试结果显示出来。
显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (4)

1.一种适配板,用于将单工位测试机扩展为串行多工位测试机,包括:蜂窝板及固定于所述蜂窝板上的继电器组件,所述继电器组件包括多个继电器组,每个所述继电器组包含3个继电器,所述每个继电器的电源引脚并连连接电源,所述每个继电器组内的继电器的控制引脚并联连接至测试机的同一控制信号线,所述每个继电器组内的各个继电器的公共引脚分别连接测试机上不同种类的测试信号接口,所述每个继电器组对应连接探针卡上不同测点的测试信号接口,所述每个继电器组内的各个继电器的第二信号引脚分别连接探针卡同一测点上不同种类的测试信号接口,所述每个继电器连接的探针卡测试信号接口和连接的测试机测试信号接口为对应的同类测试信号接口。
2.如权利要求1所述的适配板,其特征在于,继电器组件中的继电器为双刀双掷继电器。
3.如权利要求2所述的适配板,其特征在于,所述继电器的型号为TQ2-5V。
4.一种包括权利要求1至3中任一项所述的适配板的测试机。
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