CN101958228A - 具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台。清洗蚀刻机台的转盘保持在固定水平上，而泄液槽(drain tank)则可以上下移动，以分别将自旋转转盘上晶圆表面因离心力飞散的液体收集排出。其由一组转盘、一组泄液槽及使泄液槽之一移至转盘水平上的升降装置构成。转盘是供吸住晶圆以进行清洗蚀刻及清洗之用，转盘能以各种速度旋转并供应蚀刻液及纯水。多个泄液槽可视蚀刻液的种类或纯水而决定其数，以排出废液。另由排气装置将酸性气体排出。

Description

具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台

技术领域

本发明有关于一种晶圆的清洗蚀刻机台，特别是关于一种具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台，使转盘仅需旋转而勿需升降，泄液槽可视蚀刻液的种类或纯水而升降至转盘处以排出酸液及酸性气体。

背景技术

一般旋转机台可用于涂布光阻，清洗或蚀刻晶圆或基片。清洗或蚀刻晶圆时，自转盘飞溅出来的酸液由泄液槽收集排出，气体则由排气装置排出。一般泄液槽皆固定不动，而转盘可以上下移动，如授予FranzSumnitsch等人的美国专利第4/903,717号专利揭示一种清洗蚀刻机台，其转盘即可上下移动，以选择不同的泄液槽来排出酸液，而排气装置则集中将所有泄液槽的酸性气体排出，各泄液槽容易互相污染。转盘上下移动也须带动转盘上的酸液及纯水导管、喷嘴等，增加构造的复杂性。因此有一种需求，能使转盘勿需升降，而泄液槽可视蚀刻液的种类或纯水而升降至转盘处以排出酸液及酸性气体。

本发明即针对此一需求，提出一种能解决以上缺点的清洗蚀刻机台以将转盘的各种蚀刻酸液或清洗的纯水经由泄液槽排出。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台，使转盘保持在固定水平上，而泄液槽可视蚀刻液的种类或纯水而升降至转盘处以排出酸液及酸性气体，以减少转盘构造的复杂性。

本发明的次一目的在于提供一种具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台，以更简单的方式，使蚀刻酸液或清洗的纯水可分别经由泄液槽收集后排出。

为达成上述目的及其它目的，本发明的第一观点教导一种具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台，使转盘保持在固定水平上，而泄液槽可视蚀刻液的种类或纯水而升降至转盘处以排出酸液及酸性气体，包括：一组转盘，保持在固定水平上，有一个圆形表面以固定一片晶圆，转盘可旋转以蚀刻或清洗该晶圆；一个泄液槽，位于靠近转盘外的同心圆上，泄液槽至少有两组圆形液槽，视蚀刻液的种类或纯水而将适当的圆形液槽升降至转盘处对准，以将转盘排出的酸液分别排放，每一组圆形液槽有一组圆形抽气口连接至一个固定风箱的抽风口以将酸性气体排出；一组固定风箱，具有数个抽风口，一个主抽风排气管，一个次抽风排气管；一个使泄液槽升降至转盘处的升降装置，使其中圆形液槽的一组与转盘在同一水平上，以承接转盘排出的酸液，升降装置为旋转马达带动的升降齿轮或一组气动工具。

附图说明

图1为依据本发明实施例清洗蚀刻机台的示意图。

图2为显示依据本发明实施例清洗蚀刻机台的剖面及透视图。

主要组件符号说明

102 转盘        104 晶圆

106 旋转马达    108 真空吸着机构

110 旋转轴               112 泄液槽

114 圆形液槽             116 限制器

118 抽气口               120 连接口

122 抽风口               124 固定风箱

126 主抽风排气管         128 主排气流道

130 次抽风排气管         132 次排气流道

134、136、138、140导管   142、144、146、148   储槽

150、152、154、156三向阀 160、162、164、166 排液导管

202 升降齿轮

具体实施方式

本发明的以上及其它目的及优点参考以下的参照图示及最佳实施例的说明而更易完全了解。

请参考图1，图1为依据本发明实施例清洗蚀刻机台的示意图。转盘102保持在固定水平上，有一个圆形表面以固定一片晶圆104，转盘102由旋转轴110使其旋转以蚀刻或清洗该晶圆104，晶圆104由真空吸着机构108吸住，或用其它方式如机械握持固定在转盘102上。旋转马达106提供旋转的动力。蚀刻所需的酸性液体或清洗所需的纯水由导管134、136、138、140自储槽142、144、146、148提供。泄液槽112位于靠近转盘外的同心圆上，泄液槽112至少有两组圆形液槽114，本实施例有四组圆形液槽114、115，视蚀刻液的种类或纯水而定。四组圆形液槽114、115由升降装置(见图2)延箭头117升降，将适当的圆形液槽114升降至转盘102的水平处对准，以将转盘102排出的酸液分别排放，本实施例的第二组圆形液槽114对准转盘102。每一组圆形液槽114有一组圆形抽气口118连接至一个固定风箱124的抽风口122以将酸性气体排出，限制器116使飞溅的酸液或纯水不致进入圆形抽气口118而落入圆形液槽114，酸液或纯水则由排液导管160、162、164、166经三向阀150、152、154、156回收至储槽142、144、146、148或进入废液排放管158而排放。如此可充分利用酸液或清洁的纯水。圆形液槽114的一侧有连接口120与固定风箱124的抽风口122连接。酸液产生的酸性气体由圆形抽气口118经由主排气流道128进入主抽风排气管126而排出。其它圆形液槽115的酸性气体由圆形抽气口118经由次排气流道132进入次抽风排气管130而排出，如此可将较强的酸性气体由主抽风排气管126排出，较不易互相污染。

请参考图2，图2为显示依据本发明实施例清洗蚀刻机台的剖面及透视图。转盘102由旋转马达106提供旋转的动力。如图所示，四组泄液槽112由升降装置202使其升降，本实施例的第120对准固定风箱124的抽风口122，使酸性气体由主排气流道128经由主抽风排气管126排出。圆形抽气口118使酸性气体流出。限制器116使飞溅的酸液或纯水不致进入圆形抽气口118而落入圆形液槽114，酸液或纯水则由排液导管(未图示，见图1)排放或回收。

藉由以上较佳的具体实施例的详述，是希望能更加清楚描述本发明的特征与精神，而并非以上述所揭露的较佳具体实例来对本发明的范畴加以限制。相反的，其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的专利范畴内。

Claims (3)

1.一种具有移动式泄液槽的清洗蚀刻机台，使转盘保持在固定水平上，而泄液槽可视蚀刻液的种类或纯水而升降至转盘处以排出酸液及酸性气体，至少包含：

一组转盘，保持在固定水平上，有一个圆形表面以固定一片晶圆，转盘可旋转以蚀刻或清洗该晶圆；

一个泄液槽，位于靠近转盘外的同心圆上，该泄液槽至少有两组圆形液槽，视蚀刻液的种类或纯水而将适当的一组圆形液槽升降至转盘处对准，以将该转盘排出的酸液分别排放，每一组圆形液槽有一组圆形抽气口连接至一个固定风箱的抽风口以将酸性气体排出；

一组固定风箱，具有数个抽风口，一个主抽风排气管，一个次抽风排气管；

一个使该泄液槽升降至该转盘处的升降装置，使其中该圆形液槽的一组与该转盘在同一水平上，以承接该转盘排出的酸液。

2.如权利要求1所述的清洗蚀刻机台，其特征在于：该升降装置为旋转马达带动的升降齿轮。

3.如权利要求1所述的清洗蚀刻机台，其特征在于：该升降装置为一组气动工具。

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