CN101937972A - 有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件及其制备方法 - Google Patents

有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器及其制作方法，该器件由基底、透明导电薄膜层、有机空穴传输层、有机紫外光敏活性单元、金属电极层以及有机滤光层组成。上述有机滤光层置于金属电极层之上，能够选择性滤除近紫外光，因此当光从此侧入射时，器件仅对深紫外光响应。而当光从透明导电薄膜侧入射时，由于基底和透明导电薄膜对深紫外光的屏蔽作用，器件仅对近紫外光响应。本发明的优点在于通过器件设计，在一个器件中实现了对近紫外和深紫外两个波段紫外光的选择性探测，同时由于紫外光敏活性单元和滤光层均由有机材料组成，器件具有价格低廉、加工方便、可大面积制作等优点。

Description

有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件及其制备方法。
背景技术
紫外光是指波长在400nm以下的电磁辐射，可以分为近紫外光(300-400nm)和深紫外光(300nm以下)。太阳光中就含有紫外光，能到达地球表面的主要是近紫外光。深紫外光由于大气层中臭氧的强烈吸收很难到达地球表面，但它却存在于其它辐射源如电弧、导弹羽烟中。紫外探测器在军事、医药、环境监测等领域都有着广泛的应用，其中针对特定波段选择响应的紫外探测器尤为引人注目。由于不受可见光及其它波段紫外光的干扰，这类探测器往往对探测目标具有很高的针对性。比如在高压输电线路故障点搜寻中，由于故障点往往出现电弧，发出肉眼看不见的深紫外辐射，我们就可以利用深紫外选择响应的紫外成像仪来进行探测。由于不受太阳背景辐射的干扰，搜寻工作即便在白天也可顺利进行，从而可以提高效率，减少损失。
紫外探测器一般由无机半导体材料如氮化镓、碳化硅等制备而成。虽然这类材料具有高的迁移率和良好的稳定性，但是它们的加工工艺复杂，制备成本高昂，因此限制了大面积应用。另一方面，有机半导体由于其低廉的成本和优异的加工性能近年来受到人们的广泛关注并在各种光电器件中得到应用，其中也包括紫外探测器(CN 101345291A，CN 101055205A)。
有机紫外探测器一般以镀有导电氧化铟锡(ITO)薄膜的玻璃同时作为电极和透光窗口，由于ITO玻璃对深紫外光的阻隔作用，这种器件一般只能对近紫外光进行探测。如果以半透明的金属电极作为对电极并使光从此测入射，器件的探测区间也能延伸到深紫外波段。但如果要使器件实现本征的深紫外选择响应，这将对有机材料的共轭尺度有很高的限制，以使其仅对深紫外光产生吸收。在这种限制下，有机材料的选择空间将非常窄，并且也很难有理想的载流子迁移能力，那么最终实现探测的难度也是十分巨大的。目前尚未有关于有机深紫外光探测器的专利和文献报道。
本发明通过材料体系的选择以及器件结构的设计，采用在半透明金属电极层上增加一层有机滤光层的方法，选择性地滤除入射光中的近紫外成分，实现了对深紫外光的选择性响应，而当光从基底侧入射时，器件的近紫外选择响应特性得以保留，从而在一个器件中实现了对近紫外和深紫外两个波段的选择性探测。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件及其制备方法。
有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件包括基底、透明导电薄膜、有机空穴传输层、有机紫外光敏活性单元、金属电极层和有机滤光层；在基底上从下到上依次设有透明导电薄膜、有机空穴传输层、有机紫外光敏活性单元、属电极层和有机滤光层。
所述的基底为石英、玻璃或塑料。所述的有机紫外光敏活性单元的制备方法为：在有机空穴传输层上覆盖一层给体材料层，再在其上覆盖一层受体材料层；或者在有机空穴传输层上覆盖一层给体材料和受体材料的混合层。所述给体材料是三芳胺的衍生物、咔唑的衍生物或芴的衍生物。所述受体材料是三嗪的衍生物、噁二唑的衍生物、菲啰啉的衍生物或吡啶的衍生物。所述混合层中受体材料的质量百分比为10～90％。所述有机紫外光敏活性单元吸收光的波长范围在200～420nm。所述金属电极为铝、镁、钙、钡或银，电极厚度为1～20nm。所述有机滤光层滤除光的波长范围在300～420nm。
有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件的制作方法包括如下步骤：
1)清洗基底和透明导电薄膜层；
2)在导电薄膜层上通过旋涂、真空蒸镀、丝网印刷或喷墨法覆盖一层有机空穴传输层；
3)在有机空穴传输层上通过旋涂、真空蒸镀、丝网印刷或喷墨法覆盖一层有机紫外光敏活性单元；
4)在有机紫外光敏活性单元上通过真空蒸镀法覆盖金属电极层；
5)在金属电极层上覆盖有机滤光层。
本发明的优点在于通过器件结构的设计，在一个器件中实现了对近紫外和深紫外两个波段的选择性探测，同时由于紫外光敏活性单元和滤光层均由有机材料组成，器件具有价格低廉、加工方便、可大面积制作等优点。
附图说明
图1是本发明的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器的结构示意图，自下而上依次由基底1、透明导电薄膜2、有机空穴传输层3、有机紫外光敏活性单元4、金属电极层5以及有机滤光层6组成；
图2是可在本发明中用作有机滤光层6的有机薄膜的透射光谱，插图中给出了可选的活性染料的分子结构，染料A为2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐，染料B为2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐的氯代物。将一种或两种染料掺到聚乙烯醇薄膜中即可得到这种有机薄膜。从谱图中可以看到，该薄膜能够有效滤除入射光中的近紫外成分，但是能够透过深紫外光；
图3是本发明的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器的光谱响应谱图，从谱图中可以看到，当光从基底1侧入射时，器件仅对近紫外光产生响应，而当光从有机滤光层6侧入射时，器件仅对深紫外光产生响应。
具体实施方式
如图1所示，有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件包括基底1、透明导电薄膜2、有机空穴传输层3、有机紫外光敏活性单元4、金属电极层5和有机滤光层6；在基底1上从下到上依次设有透明导电薄膜2、有机空穴传输层3、有机紫外光敏活性单元4、属电极层5和有机滤光层6。
所述的基底1为石英、玻璃或塑料。其上镀有氧化铟锡或氟掺氧化铟锡透明导电薄膜层2作为电极，由此形成的导电基底能够滤除深紫外光，从而当光从此侧入射时，器件仅能对近紫外光产生响应。
所述有机空穴传输层3是具有空穴传输能力，能将有机光敏活性单元4产生的空穴传输到透明导电薄膜2，有机空穴传输层3可以是聚苯胺衍生物(PEDOT:PSS)，但不限于此。可以通过旋涂、真空蒸镀、丝网印刷、喷墨法覆盖于透明导电薄膜层2之上。
所述有机紫外光敏活性单元4吸收光的波长范围在200～420nm。所述金属电极为铝、镁、钙、钡或银，电极厚度为1～20nm。所述有机滤光层6滤除光的波长范围在300～420nm。所述的有机紫外光敏活性单元4的制备方法为：在有机空穴传输层3上覆盖一层给体材料层，再在其上覆盖一层受体材料层；或者在有机空穴传输层3上覆盖一层给体材料和受体材料的混合层。所述给体材料是三芳胺的衍生物、咔唑的衍生物或芴的衍生物。所述受体材料是三嗪的衍生物、噁二唑的衍生物、菲啰啉的衍生物或吡啶的衍生物。所述混合层中受体材料的质量百分比为10～90％。
所述有机滤光层6的活性成分可以是菁类染料，如2，7-二烷基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐及其氯代物，但不限于此。可以将这些活性染料分散在聚乙烯醇溶液中成膜，最后覆盖在金属电极层5之上。
有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件的制作方法，包括如下步骤：
1)清洗基底1和透明导电薄膜层2；
2)在导电薄膜层2上通过旋涂、真空蒸镀、丝网印刷或喷墨法覆盖一层有机空穴传输层3；
3)在有机空穴传输层3上通过旋涂、真空蒸镀、丝网印刷或喷墨法覆盖一层有机紫外光敏活性单元4；
4)在有机紫外光敏活性单元4上通过真空蒸镀法覆盖金属电极层5；
5)在金属电极层5上覆盖有机滤光层6。
通过如下实施例对本发明作进一步的详述：
实施例1：
将镀有氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜的玻璃基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用丝网印刷的方法制备厚度约为40nm的PEDOT:PSS空穴传输层，120℃下烘烤15分钟后取出。选择聚乙烯基咔唑(PVK)和二(4-(2-(4，6-二苯基-1，3，5-三嗪))苯基)-二苯基硅烷(NSN)分别作为电子给体材料和电子受体材料，先在PEDOT:PSS上用旋涂的方法制备厚度约为30nm的PVK，再在PVK薄膜上用真空蒸镀的方法制备厚度约为30nm的NSN，以上两层构成平面异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为1nm的半透明铝电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐的氯代物作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于铝电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例2：
将镀有ITO透明导电薄膜的塑料基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用喷墨法制备厚度约为20nm的PEDOT:PSS空穴传输层，110℃下烘烤20分钟后取出。选择聚(3，6-(N-正辛基咔唑)-alt-4，4′-四苯基硅)(OCz-TPS)和2，4，6-三苯基三嗪(TAZ)分别作为电子给体材料和电子受体材料，将给体材料和受体材料以重量比1∶9混合后溶解在氯仿中，配制成6mg/mL的溶液，在PEDOT:PSS上用旋涂的方法制备厚度约为80nm的具有本体异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为20nm的半透明镁电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐的氯代物作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于镁电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例3：
将镀有ITO透明导电薄膜的玻璃基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为10nm的PEDOT:PSS空穴传输层，100℃下烘烤25分钟后取出。选择2，7-二(3，5-二苯基苯)-9，9-二苯基芴(PFP)和4-(2-(4，6-二苯基-1，3，5-三嗪))苯基-三苯基硅烷(NS)分别作为电子给体材料和电子受体材料，先在PEDOT:PSS上用真空蒸镀的方法制备厚度约为20nm的PFP，再在PFP薄膜上用真空蒸镀的方法制备厚度约为40nm的NS，以上两层构成平面异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为12nm的半透明钙电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐的氯代物作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于钙电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例4：
将镀有FTO透明导电薄膜的石英基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在FTO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为15nm的PEDOT:PSS空穴传输层，120℃下烘烤10分钟后取出。选择聚(3，6-(N-(2-乙基)己基咔唑)-alt-4，4′-四苯基硅)(EHCz-TPS)和3，3，5′，5′-四(3-(3-吡啶)苯)联苯(BP4mPy)分别作为电子给体材料和电子受体材料，先在PEDOT:PSS上用丝网印刷的方法制备厚度约为25nm的EHCz-TPS，再在EHCz-TPS薄膜上用真空蒸镀的方法制备厚度约为40nm的BP4mPy，以上两层构成平面异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为15nm的半透明钡电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐的氯代物作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于钡电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例5：
将镀有FTO透明导电薄膜的玻璃基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在FTO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为40nm的PEDOT:PSS空穴传输层，130℃下烘烤15分钟后取出。选择2，2-二(N，N-二苯胺基)-9，9-螺二芴(Spiro-BPA)和1，3，5-三(3-(3-吡啶)苯)苯(TmPyPB)分别作为电子给体材料和电子受体材料，先在PEDOT:PSS上用真空蒸镀的方法制备厚度约为35nm的Spiro-BPA，再在Spiro-BPA薄膜上用真空蒸镀的方法制备厚度约为30nm的TmPyPB，以上两层构成平面异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为8nm的半透明银电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐的氯代物作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于银电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例6：
将镀有ITO透明导电薄膜的石英基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为50nm的PEDOT:PSS空穴传输层，120℃下烘烤25分钟后取出。选择二(4-(N，N-二对甲苯胺基)苯)环己烷(TAPC)和1，3-二(3，5-二(3-吡啶)苯基)苯(BmPyPhB)分别作为电子给体材料和电子受体材料，在PEDOT:PSS上用真空混合蒸镀的方法制备厚度约为60nm的混合薄膜，在制备过程中，通过控制蒸发速度，实现给体材料和受体材料以重量比9∶1混合，形成具有本体异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为18nm的半透明镁电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐的氯代物作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于镁电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例7：
将镀有ITO透明导电薄膜的玻璃基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为45nm的PEDOT:PSS空穴传输层，120℃下烘烤10分钟后取出。选择聚(4-乙烯基三苯胺)(PVTPA)和2，9-二甲基-4，7-二苯基-1，10-菲啰啉(BCP)分别作为电子给体材料和电子受体材料，先在PEDOT:PSS上用丝喷墨法制备厚度约为40nm的PVTPA，再在PVTPA薄膜上用真空蒸镀的方法制备厚度约为15nm的BCP，以上两层构成平面异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为5nm的半透明银电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐的氯代物作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于银电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例8：
将镀有ITO透明导电薄膜的玻璃基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为55nm的PEDOT:PSS空穴传输层，150℃下烘烤20分钟后取出。选择聚(2，7-(9，9-二己基)芴-alt-4，4′-四苯基硅)(DHF-TPS)和1，3-二(5-(2-(4-叔丁基苯)-1，3，4-噁二唑))苯(OXD-7)分别作为电子给体材料和电子受体材料，先在PEDOT:PSS上用真空蒸镀的方法制备厚度约为30nm的DHF-TPS，再在DHF-TPS薄膜上用真空蒸镀的方法制备厚度约为30nm的OXD-7，以上两层构成平面异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为10nm的半透明铝电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐及其氯代物作为滤光活性染料，将两种染料以质量比1∶8分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于铝电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例9：
将镀有ITO透明导电薄膜的塑料基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为40nm的PEDOT:PSS空穴传输层，120℃下烘烤15分钟后取出。选择聚(3，6-(N-正辛基咔唑)-alt-4，4′-四苯基硅)(OCz-TPS)和2-(4-联苯基)-5-(4-叔-丁基苯基)-1，3，4-噁二唑(Bu-PBD)分别作为电子给体材料和电子受体材料，将两者以重量比1∶1混合后溶解在氯仿中，配制成6mg/mL的溶液，在PEDOT:PSS上用旋涂的方法制备厚度约为60nm的具有本体异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为10nm的半透明钙电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于钙电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例10：
将镀有ITO透明导电薄膜的塑料基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为40nm的PEDOT:PSS空穴传输层，120℃下烘烤15分钟后取出。选择聚(3，6-(N-正辛基咔唑)-alt-4，4′-四苯基硅)(OCz-TPS)和2-(4-联苯基)-5-苯基-1，3，4-噁二唑(PBD)分别作为电子给体材料和电子受体材料，将两者以重量比1∶1混合后溶解在氯仿中，配制成6mg/mL的溶液，在PEDOT:PSS上用旋涂的方法制备厚度约为60nm的具有本体异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为10nm的半透明钙电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于钙电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例11
将镀有ITO透明导电薄膜的石英基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在ITO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为50nm的PEDOT:PSS空穴传输层，120℃下烘烤25分钟后取出。选择二(4-(N，N-二对甲苯胺基)苯)环己烷(TAPC)和4，7-二苯基-1，10-菲啰啉(PBhen)分别作为电子给体材料和电子受体材料，在PEDOT:PSS上用真空混合蒸镀的方法制备厚度约为60nm的混合薄膜，在制备过程中，通过控制蒸发速度，实现给体材料和受体材料以重量比9∶1混合，形成具有本体异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为18nm的半透明镁电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于镁电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。
实施例12：
将镀有FTO透明导电薄膜的玻璃基底依次用洗涤剂、异丙醇、乙醇、丙酮超声洗涤10分钟后，用去离子水漂洗并烘干。在FTO透明导电薄膜上用旋涂的方法制备厚度约为40nm的PEDOT:PSS空穴传输层，130℃下烘烤15分钟后取出。选择2，2-二(N，N-二苯胺基)-9，9-螺二芴(Spiro-BPA)和2-(2-萘基)-4，7-二苯基-1，10-菲啰啉(HNBhen)分别作为电子给体材料和电子受体材料，先在PEDOT:PSS上用真空蒸镀的方法制备厚度约为35nm的Spiro-BPA，再在Spiro-BPA薄膜上用真空蒸镀的方法制备厚度约为30nm的HNBhen，以上两层构成平面异质结结构的有机紫外光敏活性单元。最后，用真空蒸镀的方法制备厚度约为8nm的半透明银电极。选择2，7-二甲基-3，6-二氮杂环庚-1，6-二烯高氯酸盐作为滤光活性染料，将其分散在聚乙烯醇的水溶液中，然后烧铸在石英片上，干燥后得到有机滤光薄膜，并用紫外光固化树脂粘附于银电极侧，得到如图1所示的有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器。

Claims (10)

1.一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件，其特征在于包括基底(1)、透明导电薄膜(2)、有机空穴传输层(3)、有机紫外光敏活性单元(4)、金属电极层(5)和有机滤光层(6)；在基底(1)上从下到上依次设有透明导电薄膜(2)、有机空穴传输层(3)、有机紫外光敏活性单元(4)、属电极层(5)和有机滤光层(6)。
2.根据权利要求1所述的一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件，其特征在于所述的基底(1)为石英、玻璃或塑料。
3.根据权利要求1所述的一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件，其特征在于所述的有机紫外光敏活性单元(4)的制备方法为：在有机空穴传输层(3)上覆盖一层给体材料层，再在其上覆盖一层受体材料层；或者在有机空穴传输层(3)上覆盖一层给体材料和受体材料的混合层。
4.根据权利要求3所述的一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件，其特征在于所述给体材料是三芳胺的衍生物、咔唑的衍生物或芴的衍生物。
5.根据权利要求3所述的一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件，其特征在于所述受体材料是三嗪的衍生物、噁二唑的衍生物、菲啰啉的衍生物或吡啶的衍生物。
6.根据权利要求3所述的有机紫外光敏活性单元4的制备方法，其特征在于所述混合层中受体材料的质量百分比为10～90％。
7.根据权利要求1所述的一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件，其特征在于所述有机紫外光敏活性单元(4)吸收光的波长范围在200～420nm。
8.根据权利要求1所述的一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件，其特征在于所述金属电极为铝、镁、钙、钡或银，电极厚度为1～20nm。
9.根据权利要求1所述的一种有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件，其特征在于所述有机滤光层(6)滤除光的波长范围在300～420nm。
10.一种如权利要求1所述有机近紫外/深紫外双波段紫外光探测器件的制作方法，其特征在于包括如下步骤：
1)清洗基底(1)和透明导电薄膜层2)；
2)在导电薄膜层(2)上通过旋涂、真空蒸镀、丝网印刷或喷墨法覆盖一层有机空穴传输层(3)；
3)在有机空穴传输层(3)上通过旋涂、真空蒸镀、丝网印刷或喷墨法覆盖一层有机紫外光敏活性单元(4)；
4)在有机紫外光敏活性单元(4)上通过真空蒸镀法覆盖金属电极层(5)；
5)在金属电极层(5)上覆盖有机滤光层(6)。
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