CN101928630B - 一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法 - Google Patents
一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101928630B CN101928630B CN 201010175731 CN201010175731A CN101928630B CN 101928630 B CN101928630 B CN 101928630B CN 201010175731 CN201010175731 CN 201010175731 CN 201010175731 A CN201010175731 A CN 201010175731A CN 101928630 B CN101928630 B CN 101928630B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mortar
- kilogram
- kilograms
- cutting
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 title claims abstract description 31
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000013530 defoamer Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 13
- 239000013543 active substance Substances 0.000 claims description 10
- 229960003511 macrogol Drugs 0.000 claims description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 6
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 claims description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 claims description 3
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 239000000654 additive Substances 0.000 abstract description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 abstract 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 abstract 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 abstract 2
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 1
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 abstract 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 abstract 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 5
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- -1 polyoxyethylene Polymers 0.000 description 5
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 4
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 2
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003306 harvesting Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012946 outsourcing Methods 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
- 244000017160 saligot Species 0.000 description 1
- 235000009165 saligot Nutrition 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Curing Cements, Concrete, And Artificial Stone (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
本发明提供了一种新型的用于太阳能硅片线切割砂浆生产方法。该切割砂浆生产使用了一种特殊的加工方式将不同用途和目的添加剂(a.聚乙二醇、b.微粒(碳化硅,氧化铈,磨粉)c.分散剂、d.表面活性剂、e.消泡剂、f.金属腐蚀抑制剂、g.纳米成膜剂)用分时,分步,添加和合成方式加工成切割或抛光砂浆,该方法能提高砂浆中的碳化硅微粒在聚乙二醇或水中的稳定性、悬浮性及再分散能力，同时提高切割效率,确保切片工艺长期稳定,产品优率提高，降低切割综合成本，是一种节约型和高回报率的硅片线切割砂浆。
Description
技术领域
本发明涉及一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法。
背景技术
中国光伏发电产业近五年已迎来了快速发展的新阶段。在“小太阳工程”和LED产业的发展及照明等项目及世界光伏市场的有力拉动下，我国光伏发电产业迅猛发展。太阳能硅片切割设备投入近三年成几倍及几十倍的投入运行。其中切割砂浆的需求量已经达到约500---800吨/天。
使用碳化硅微粉作为介质在太阳能硅片线切割过程中，整个机理是利用碳化硅颗粒的坚硬特性和锋利菱角将硅棒逐步截断，因此切割砂浆的主要特性具有良好的流动性，碳化硅颗粒能够在切割砂浆体系中均匀稳定的分散，均匀地包覆在高速运动中的钢线表面,均匀平稳的使碳化硅微粒作用于硅棒表面，同时及时带走切割热和破碎颗粒，保证硅片的表面质量。
随着整个太阳能行业的发展，对太阳能硅片切割砂浆提出了更高的要求。现今传统硅片切片厂家的砂浆生产均采用外购切割液和碳化硅砂。在切片生产区自行小批量配制来满足切片机台的需求。存在的主要问题是,切割液市场品种多,品质不稳定，每次人工配砂量少造成批次多，人为因素影响大。生产管理成本及仓储成本高，造成切片机台切割能力不强,不稳定等缺点，但是为了适应未来市场发展需要和降低应用成本，整个行业都在为了提高硅片质量和降低切割成本而做着不懈的努力。
发明内容
本发明的要解决的技术问题是提供一种高效稳定低成本的太阳能硅片切割砂浆的制作方法,以解决前述现有技术中存在的技术问题。
本发明的切割液切割砂浆的组合物可选择使用的重量百分比为： a) 聚乙二醇 、b) 水 、c) 分散剂 、d) 表面活性剂 、e) 消泡剂、f) 金属腐蚀抑制剂 、g) 纳米成膜剂、h) 碳化硅微粒。
本发明所提到的制作过程可区分为各种添加剂在不同时间段和添加不同类型的添加剂的量及固定的程序。它的工艺过程将直接影响到砂浆中碳化硅的均匀分散和悬浮稳定性。
本发明所提到的分时过程是确保不同阶段加入的添加剂g) c) d) 能有效地分散进入砂浆中的碳化硅微粒h),同时使其不可再逆回及微粒凝聚发生。
本发明所提到的添加时的合成方式,该方式在特定的时段及时生成纳米膜使微粒能持久分散于砂浆体系中。
本发明的技术方案是：称取规定量的聚乙二醇、纳米成膜剂、分散剂、表面活性剂、消泡剂、金属腐蚀抑制剂、碳化硅微粒；
a.将规定量的纳米成膜剂缓慢加入到规定量的聚乙二醇中，边搅拌边加入用20分钟时间；
b. 将规定量的分散剂慢慢滴加到聚乙二醇中，持续搅拌30分钟后同时将规定量的碳化硅微粒用特殊装置,分时和分段加入规定量的聚乙二醇中,
c. 同时将规定量的表面活性剂和规定量的消泡剂分多管路随加碳化硅的速度在3小时间滴加完成，
d. 最后将规定量的金属腐蚀抑制剂滴加进砂浆中充分搅拌2小时,再将已形成的砂浆搅拌一小时后检测砂浆密度和粘度。
本砂浆制作方式是建立在大量实验数椐和生产切片结果后制定而成，由计算机控制各路管路分别按程序完成全部砂浆制作过程。
分散剂一般为5000-10000分子量的苯乙烯类多聚物、表面活性剂一般为环氧化合物 、消泡剂一般为甲基硅油乳化液、金属腐蚀抑制剂一般为无机盐类、纳米成膜剂一般为苯乙烯类多聚物。
本发明的积极效果是：1、切割液稳定性佳；2、切割优良品率高；3、价格低；4、切割能力强；5. 非常好的再分散能力。
具体实施方式
下面通过具体实施例来详细介绍本发明的功效。
实施例1 配制1646kg线切割砂浆
称取1100公斤聚乙二醇200, 纳米成膜剂18公斤，分散剂0.8公斤，表面活性剂0.5公斤，消泡剂0.5公斤,金属腐蚀抑制剂0.2公斤, 碳化硅微粒500公斤。
a.将18公斤纳米成膜剂缓慢加入到1100公斤聚乙二醇200中，边搅拌边加入用20分钟时间；
b. 将0.8公斤分散剂慢慢滴加到聚乙二醇200中，持续搅拌30分钟后同时将500公斤碳化硅微粒用特殊装置,分时和分段加入1100公斤聚乙二醇200中,
c. 同时将0.5公斤表面活性剂和0.5公斤消泡剂分多管路随加碳化硅的速度在3小时间滴加完成，
d. 最后将0.2公斤金属腐蚀抑制剂滴加进砂浆中充分搅拌2小时,再将已形成的砂浆搅拌一小时后检测砂浆密度和粘度。
上述的分散剂为5000-10000分子量的苯乙烯类多聚物、表面活性剂为环氧化合物 、消泡剂为甲基硅油乳化液、金属腐蚀抑制剂为无机盐类、纳米成膜剂为苯乙烯类多聚物。
本砂浆制作方式是建立在大量实验数椐和生产切片结果后制定而成，由计算机控制各路管路分别按程序完成全部砂浆制作过程。
按上述工序得到砂浆密度为1.620克/毫升，粘度295cp/25℃。
使用相同量实施例2与现有市场切割液配好砂浆进行静置比较，观察SiC的沉降高度。
| 静置1天 | 静置3天 | 静置5天 | 静置7天 | 重新摇晃 | |
| 实施例1 | 9.9cm | 9.8cm | 9.5cm | 9.0cm | SiC 重新分散 |
| 市场切割液 | 7.0cm | 5.4cm | 5.2cm | 5.2cm | SiC 的不能重新自分散 |
从表中数据可以看出，本发明的切割液比一般切割液有更好更持久地分散能力，非常好的稳定性能，并且再分散性非常好。
Claims (1)
1.一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法，其特征在于，称取1100公斤聚乙二醇200，纳米成膜剂18公斤，分散剂0.8公斤，表面活性剂0.5公斤，消泡剂0.5公斤，金属腐蚀抑制剂0.2公斤，碳化硅微粒500公斤；
a.将18公斤的纳米成膜剂缓慢加入到1100公斤聚乙二醇200中，边搅拌边加入用20分钟；
b.将0.8公斤分散剂慢慢滴加到聚乙二醇200中，持续搅拌30分钟后同时将500公斤碳化硅微粒用特殊装置，分时和分段加入1100公斤聚乙二醇200中；
c.同时将0.5公斤表面活性剂和0.5公斤消泡剂分多管路随加碳化硅的速度在3小时滴加完成；
d.最后将0.2公斤金属腐蚀抑制剂滴加进砂浆中充分搅拌2小时，再将已形成的砂浆搅拌一小时后检测砂浆密度和粘度；
其中，所述分散剂为5000-10000分子量的苯乙烯类多聚物、表面活性剂为环氧化合物、消泡剂为甲基硅油乳化液、金属腐蚀抑制剂为无机盐类、纳米成膜剂为苯乙烯类多聚物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010175731 CN101928630B (zh) | 2010-05-19 | 2010-05-19 | 一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010175731 CN101928630B (zh) | 2010-05-19 | 2010-05-19 | 一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101928630A CN101928630A (zh) | 2010-12-29 |
| CN101928630B true CN101928630B (zh) | 2013-01-09 |
Family
ID=43368064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201010175731 Active CN101928630B (zh) | 2010-05-19 | 2010-05-19 | 一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101928630B (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101948710B (zh) * | 2010-09-03 | 2013-01-30 | 上海甲冠半导体科技有限公司 | 一种新太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法 |
| CN102041138B (zh) * | 2011-01-17 | 2011-12-07 | 西安华晶电子技术股份有限公司 | 提高硅晶线切割砂浆利用率的添加剂及其制备和使用方法 |
| TWI640619B (zh) * | 2015-02-10 | 2018-11-11 | 達興材料股份有限公司 | 一種切割製程用的水性切割液的添加劑及其製備方法 |
| CN106753705A (zh) * | 2016-11-16 | 2017-05-31 | 晶科能源有限公司 | 一种线剖砂浆添加剂及一种线剖方法 |
| CN107325870A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-11-07 | 常州赛蓝光伏技术有限公司 | 利用废硅泥回收制备切割用砂浆液的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6054422A (en) * | 1999-02-19 | 2000-04-25 | Ppt Research, Inc. | Cutting and lubricating composition for use with a wire cutting apparatus |
| CN1858169A (zh) * | 2006-05-31 | 2006-11-08 | 河北工业大学 | 半导体硅材料水基切削液 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003042340A1 (en) * | 2001-11-14 | 2003-05-22 | Ppt Research, Inc. | A cutting and lubricating composition for use with a wire cutting apparatus |
| US7985719B2 (en) * | 2008-04-28 | 2011-07-26 | Ward Irl E | Cutting and lubricating composition for use with a wire cutting apparatus |
-
2010
- 2010-05-19 CN CN 201010175731 patent/CN101928630B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6054422A (en) * | 1999-02-19 | 2000-04-25 | Ppt Research, Inc. | Cutting and lubricating composition for use with a wire cutting apparatus |
| CN1858169A (zh) * | 2006-05-31 | 2006-11-08 | 河北工业大学 | 半导体硅材料水基切削液 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101928630A (zh) | 2010-12-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101928630B (zh) | 一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法 | |
| CN102212412B (zh) | 一种磨料经过表面活性剂处理的水基切削液及其制备方法 | |
| CN103571333B (zh) | 一种混合磨料碱性蓝宝石衬底材料cmp抛光液及其制备方法 | |
| CN108239484B (zh) | 一种蓝宝石抛光用氧化铝抛光液及其制备方法 | |
| CN102071090B (zh) | 一种用于太阳能硅片的线切割液 | |
| CN105505229A (zh) | 一种金属抛光用复合抛光液及其制备方法 | |
| CN102174294A (zh) | 硬盘磁头的抛光液及其制备方法 | |
| CN102433191B (zh) | 一种碳化硅切割液及其使用方法 | |
| CN106147617A (zh) | 一种多晶金刚石水基抛光液及其制备方法 | |
| CN105368324A (zh) | 油性金刚石研磨液 | |
| CN102796460A (zh) | 一种二氧化硅基cmp抛光液及其制备方法 | |
| CN103937414A (zh) | 一种计算机硬盘盘基片的精抛光液 | |
| CN103484026A (zh) | 高效陶瓷抛光液及其制备方法 | |
| CN103695149B (zh) | 一种硅片切割液 | |
| CN102041138B (zh) | 提高硅晶线切割砂浆利用率的添加剂及其制备和使用方法 | |
| CN102041137B (zh) | 多(单)晶硅切割液 | |
| CN109439425A (zh) | 一种金刚线冷却切割液及其制备方法 | |
| CN105273823B (zh) | 一种多线硅片切割水溶性切削液及其制备方法 | |
| CN104498142A (zh) | 一种硅片切割液及其制备方法 | |
| CN103756573A (zh) | 低划伤钻石研磨液 | |
| CN102009977B (zh) | 线切割用高纯超细碳化硅微粉水力溢流分级专用分散剂及其制备和使用方法 | |
| CN114230217A (zh) | 一种水泥助磨剂 | |
| CN102533126B (zh) | 研磨组成物及其用途 | |
| CN101948710B (zh) | 一种新太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法 | |
| CN102234379A (zh) | 一种用于降低太阳能硅片切割砂浆中新碳化硅砂料使用量的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SHANGHAI JIAGUAN SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO., LTD Free format text: FORMER OWNER: LANXI DESHENGLONG ELECTRONIC MATERIAL CO., LTD. Effective date: 20120229 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 032110 JINHUA, ZHEJIANG PROVINCE TO: 201203 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI |
|
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20120229 Address after: 201203 No. 3999 East China Road, Shanghai, Pudong New Area Applicant after: SHANGHAI JIAGUAN SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO.,LTD. Address before: 032110 Jiangnan hi tech Industrial Park, Jinhua, Zhejiang, Lanxi Applicant before: LANXI DESHENGLONG ELECTRONIC MATERIAL Co.,Ltd. |
|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20231206 Address after: 201306 Room 102, building 1, No. 336, Tianjiao Road, Lingang New District, China (Shanghai) pilot Free Trade Zone, Pudong New Area, Shanghai Patentee after: Shanghai shengyongcheng Semiconductor Technology Co.,Ltd. Address before: No. 3999 Huadong Road, Pudong New Area, Shanghai, March 2012 Patentee before: SHANGHAI JIAGUAN SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY CO.,LTD. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |