CN101883305B - 振膜和应用该振膜的硅基麦克风 - Google Patents
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Abstract
一种振膜，其包括：振动部，所述振动部设有自其外周向振动部中心凹陷的至少两个凹槽，所述振膜还包括与振动部相连且部分收容于凹槽内的连接部和与连接部相连的支撑部，所述支撑部与振动部间设有第一间隙，连接部与振动部的凹槽间设有第二间隙。本发明通过在振动部上设置凹槽并利用连接部分别将振动部的凹槽和支撑部连接起来，又通过第一、第二间隙来控制空气阻尼，增加了振膜的振动面积，从而提高应用该振膜的硅基麦克风的灵敏度。本发明另提供了一种利用上述振膜的硅基麦克风。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种振膜，尤其涉及一种应用于硅基麦克风上的振膜。
【背景技术】
随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone，简称MEMS)，相关技术中，硅基麦克风包括基底、背板和振膜。所述振膜是硅基麦克风的重要部件，其包括振动部和自振动部的外周向远离振动部延伸的支撑部。
上述结构的振膜，相对减少了振膜的振动面积，从而降低了硅基麦克风的灵敏度。
因此，有必要提供一种新的振膜以克服上述缺陷。
【发明内容】
本发明要解决的技术问题在于提供一种增大振动面积的振膜。
本发明通过这样的技术方案解决上述的技术问题：
一种振膜，其包括振动部，所述振动部设有自其外周向振动部中心凹陷的至少两个凹槽，所述振膜还包括与振动部相连且部分收容于凹槽内的连接部和与连接部相连的支撑部，所述支撑部与振动部间设有第一间隙，连接部与振动部的凹槽间设有第二间隙。
优选的，所述连接部呈条形。
优选的，所述连接部由至少一个侧壁和连接该侧壁的圆弧组成。
优选的，当连接部设有两个以上侧壁时，所述连接部的侧壁彼此平行设置。
优选的，所述振动部呈方形。
优选的，所述支撑部亦呈方形。
优选的，所述振动部呈圆形。
优选的，所述支撑部亦呈圆形。
优选的，所述支撑部将振动部完全包围。
一种硅基麦克风，该硅基麦克风包括如上所述的振膜。
与现有技术相比较，本发明具有以下优点：本发明通过在振动部上设置凹槽并利用连接部分别将振动部的凹槽和支撑部连接起来，又通过第一、第二间隙来控制空气阻尼，增加了振膜的振动面积，从而提高应用该振膜的硅基麦克风的灵敏度。
【附图说明】
图1为本发明的振膜第一种实施方式的示意图；
图2为本发明的振膜第二种实施方式的示意图；
图3为图2所示A部分的放大图；
图4为本发明的振膜第三种实施方式的示意图；
图5为本发明的振膜第四种实施方式的示意图。
【具体实施方式】
下面结合附图详细说明本发明的具体结构。
本发明的第一种实施方式：
如图1所示，本发明的振膜100，其包括振动部1，所述振动部1设有自其外周向振动部1中心凹陷的至少两个凹槽11，所述振膜100还包括自与振动部1相连且部分收容于凹槽11内连接部2和与连接部2相连的支撑部3，所述支撑部3与振动部1间设有第一间隙4，连接部2与振动部1的凹槽11间设有第二间隙5。所述振动部1呈方形，支撑部3亦呈方形且支撑部3将振动部1完全包围。所述连接部2呈条形。
本发明的第二种实施方式：
如图2和图3所示，本发明的第二种实施方式与第一种实施方式大体相同，不同点在于振膜100的连接部2由至少一个侧壁21和连接该侧壁21的圆弧22组成。当连接部2设有两个以上侧壁21时，所述连接部的侧壁21彼此平行设置。
本发明的第三种实施方式：
如图4所示，本发明的第三种实施方式与第一种实施方式大体相同，不同点在于所述振动部1呈圆形，支撑部2亦呈圆形。
本发明的第四种实施方式：
如图5所示，本发明的第四种实施方式与第二种实施方式大体相同，不同点在于所述振动部1呈圆形，支撑部2亦呈圆形。
本发明还提供了一种硅基麦克风，该硅基麦克风包括如上所述的振膜。
本发明通过在振动部上设置凹槽并利用连接部分别将振动部的凹槽和支撑部连接起来，又通过第一、第二间隙来控制空气阻尼，增加了振膜的振动面积，从而提高应用该振膜的硅基麦克风的灵敏度。
以上所述仅为本发明的较佳实施方式，本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
Claims (10)
1.一种振膜，其包括：振动部，其特征在于：所述振动部设有自其外周向振动部中心凹陷的至少两个凹槽，所述振膜还包括与振动部相连且部分收容于凹槽内的连接部和与连接部相连的支撑部，所述支撑部与振动部间设有第一间隙，所述连接部与振动部的凹槽间设有第二间隙。
2.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于：所述连接部呈条形。
3.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于：所述连接部由至少一个侧壁和连接该侧壁的圆弧组成。
4.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于：当连接部设有两个以上侧壁时，所述连接部的侧壁彼此平行设置。
5.根据权利要求1或2或3所述的振膜，其特征在于：所述振动部呈方形。
6.根据权利要求5所述的振膜，其特征在于：所述支撑部亦呈方形。
7.根据权利要求1或2或3所述的振膜，其特征在于：所述振动部呈圆形。
8.根据权利要求7所述的振膜，其特征在于：所述支撑部亦呈圆形。
9.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于：所述支撑部将振动部完全包围。
10.一种硅基麦克风，其特征在于：该硅基麦克风包括如权利要求1所述的振膜。
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