CN101878410A - 短相干干涉仪 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于测量样品(P)的彼此轴向间隔设置的多个区域(T1，T2)的短相干干涉仪，所述样品(P)特别地为眼睛(A)，所述干涉仪包括至少一个测量束路径和一个参考束路径(R)，多个单独的测量束通过所述至少一个测量束路径而入射在所述样品(P)上，参考束通过所述参考束路径(R)而被导引，单独的测量束(M1，M2)与所述参考束路径叠加且引起干涉，其中所述单独的测量束(M1，M2)在被入射到所述样品(P)上时相对于彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔(d)，并且所述干涉仪设备(I)使每个单独的测量束(M1，M2)以干涉的方式与所述参考束叠加且将所述束导引到与各自的测量束相关联的检测器(D1，D2，…DN)，其中所述单独的测量束(M1，M2，…MN)被组合成与所述参考束叠加的混合束，在所述混合束中，所述测量束具有不同的相位。

Description

短相干干涉仪
技术领域
本发明涉及用于测量样品的多个轴向间隔区域的短相干干涉仪设备，该样品特别地为眼睛，所述设备具有至少一个测量束路径和一个参考束路径，多个单独的测量束通过所述至少一个测量束路径而入射在样品上，参考辐射通过所述参考束路径而被导引，所述参考束路径与单独的测量束叠加而引起与单独的测量束的干涉，其中单独的测量束在入射到样品上时彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔，并且其中该干涉仪设备具有叠加装置，该叠加装置使每个从样品返回的单独的测量束与参考辐射叠加以引起干涉。
此外，本发明涉及用于测量样品的多个轴向间隔区域的短相干干涉仪设备，该样品特别地为眼睛，所述设备具有至少一个测量束路径，多个单独的测量束通过所述至少一个测量束路径而入射在样品上，其中单独的测量束在被入射到样品上时彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔，并且其中该干涉仪设备使单独的测量束中的至少两个彼此叠加以引起干涉。
背景技术
例如，从WO 2007/065670 A1已知这样的用于使用光学相干X射线断层术来光学成像的短相干干涉仪设备。所提到的第一类型引起多个测量束中的每一个与分离的参考束的干涉，所提到的第二类型使多个单独的测量束成对地叠加，也被称为所谓的“双束”干涉仪。
光学相干域反射测量术(OCDR)用于检测诸如微型光学部件或生物组织(例如人眼)的样品内部的散射中心的位置和尺寸的目的。对于关于光学相干X射线断层术，特别地，关于光学相干域反射测量术的对应文献的综述，可参考US 2006/0109477 A1。主要源自本申请的发明人的该专利申请也涉及光学相干X射线断层术的基本原理。对于OCDR，已知使用快速扫描参考臂的时域OCDR(TD OCDR)和使用固定参考臂的傅里叶域OCDR(FD OCDR)的变量以及对光谱干涉的分析。在采用宽带光源和基于分光计的检测(光谱域或SD OCDR)的样品以及采用光谱扫描光源和宽带检测器(扫描源或SS OCDR)的样品中，对FD OCDR进行再一次求导。
在测量区域的固定链接和测量分辨率方面，光学相干X射线断层术，特别地，FD OCDR形式的光学相干X射线断层术是有问题的。在现有技术中已知许多这样的出版物，它们涉及在几何学上比希望的分辨率高若干个数量级的区域中测量对象。这样的测量任务的一个实例是测量人眼上的区域，例如，检测眼睛前部(例如角膜)以及视网膜上的结构。
从WO 2007/065670 A1已知在眼睛前部以及在眼底中进行眼睛测量的方法，其以熟练的方式组合多个干涉仪设备，这些干涉仪设备中的每一个都是从分离的参考臂和相关的测量臂构建而成。通过对组成一个装置的这些独立的多个干涉仪设备进行改变调制，可以在眼睛中的各个点处同时进行测量。该出版物描述了用于在组合的干涉仪中，例如关于辐射的偏振或其波长对辐射进行求导的各种方法。
在WO 01/38820 A1中也描述了一种这样的类型的求导，但其仅涉及FD OCDR，即，其需要移动元件来调整参考臂长度。在US 2005/0140981或US 6198540中也可找到使用长度变化的多个参考臂的原理，这两篇美国专利申请中的每一者都涉及OCDR且使用不同长度的多个单独调制的参考束路径。
最后，开始时已引用的US 2006/0109477根本不允许检测样品的多个不同轴向间隔区域，而是涉及最大可能的灵敏度，因此与差分信号分析(即，均衡检测)一起使用3×3个相耦合器。
发明内容
从该现有技术，本发明因此基于提供短相干干涉仪设备的目的，与从所使用的OCDR变量的参数(例如，FD OCDR的光谱分辨率)产生的测量区域所允许的情况相比，该短相干干涉仪设备能够被间隔分开更远，其中可以进一步提供特别高的灵敏度，即，甚至可以检测仅仅微弱地反向散射的样品中的点。
根据本发明，通过上述类型的短相干干涉仪设备实现该目的，所述叠加装置具有多个输出，每一个输出馈送给检测器，其中叠加装置接收用于叠加的相同参考辐射且在每一个输出中输出与参考辐射叠加的多个单独的测量束的混合束，每个混合束包含以不同相位与参考辐射叠加的各个比率的单独的测量束。
本发明由此采用具有仅仅一个参考臂的干涉仪。这不仅导致结构简化的优点。另外，在均衡测量与多个测量臂和一个共用参考臂的组合中实现了高的信号灵敏度，因为防止了在多个强参考信号之间的相互作用。这样的相互作用会导致强的宽范围的伪像。在根据本发明的构思中，至多发生两个弱信号的相互作用，即，来自测量臂的信号的相互作用。避免了两个强参考信号的相互作用。
此外，可以实现这样的噪声分量(例如散粒噪声)的降低，参考光分量是该噪声分量的显著或主要成因。如果散粒噪声是最大的噪声源(散粒噪声限制的操作)且测量信号由此相对于参考信号较小，那么信噪比典型地对应于所检测的测量信号光子数，这是因为，信号分量对应于干涉测量与参考光子数的乘积，而噪声分量与参考光的光子数成比例。
如果通过使用多个参考臂而增加参考光分量的数目，则噪声分量与在参考光分量中包含的参考光子的总数相应地增大。然而，信号分量仍仅仅对应于测量光的光子与单个适应的(adapted)参考光分量的光子的乘积。这意味着单独的测量信号的信噪比降低。
比较而言，根据本发明的解决方案使多个测量信号适应于仅仅一个参考臂，在不变的信号水平下，这允许将噪声限制为仅由一个参考光分量引起的成因。
由此，例如，如在现有技术中典型的，如果使用单独地适应于测量信号的两个相同的参考信号来测量两个测量信号，那么相对于使用单独地适应于两个测量信号的仅仅一个参考信号，散粒噪声限制的信噪比差2或3dB。
在双束变化例中，通过这样的用于测量样品(特别地，眼睛)的多个轴向间隔区域的短相干干涉仪设备进一步实现该目的，所述设备具有至少一个测量束路径，多个单独的测量束通过所述至少一个测量束路径而入射在样品上，其中单独的测量束在入射到样品上时彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔，并且其中该干涉仪设备使单独的测量束中的至少两个彼此叠加以引起干涉，该干涉仪设备使这两个单独的测量束中的每一个与另一个以干涉的方式叠加，然后将这两个单独的测量束中的每一个引导到相关联的分离的检测器。
本发明由此使用单独的测量束，这些测量束被单独地轴向延迟，以便在叠加装置之后在相关联的检测器处发生干涉信号。使用参考信号来叠加混合束中的每个单独的测量束以引起干涉，该参考束以单独地变化的相位叠加在混合束中的每个单独的测量束上。该过程进一步允许在干涉仪设备中进行均衡检测，以提高灵敏度和/或确定正交分量。例如，在Podoleanu，Appl.Optics 39，173(2000)，″Unbalanced versus balanced operation in anoptical coherence tomography system″中详细地描述了用于噪声抑制的均衡检测的优点。此外，通过分离的单独的测量束，可以同时检测样品的轴向间隔的区域，其间隔远大于单独的测量束的轴向测量范围。
在如此操作时，可以使单独的测量束的聚焦和偏振状态、以及色散特性适应于样品的特定的相关联的轴向测量区域，以实现最大信号质量。在本申请的申请人作出的US 2006/0171503中描述了为了抑制镜面伪像而有目的地适应用于傅里叶域光学相干X射线断层术的干涉仪中的色散条件的优点。
所述测量辐射优选源自用于执行SS OCDR(即，可调制的)的束源。然而，本发明通常还对于SD OCDR(即，使用非扫描辐射的光谱分析)和/或TD OCDR(其中扫描干涉仪中的干涉条件，例如，调整参考束路径的长度)是可能的且可实现。
可以从共用测量束，即，在叠加装置已经从束源提供的源束分离出测量束路径和参考束路径之后，执行单独的测量束的分离。对于该变化例，优选设置提供测量束的束源，该束源输出源束，并且假设叠加装置将特定强度比率的源束分离成测量束路径和参考束路径。
可以(仅仅)在测量束路径中发生在通向样品的路径中的单独的测量束的分离以及在从样品返回的路径中的组合。特别有利地将透镜装置用于该目的，其将测量辐射分离成单独的测量束、使它们彼此偏移(延迟)、且还以不同的焦距长度将它们聚焦在样品上。
如果使用光瞳分区来提供单独的测量束，则可以获得特别紧凑的透镜装置，该透镜装置的独立的光瞳区域与每个单独的测量束相关联，并且光瞳区域的光学路径长度以及可选地成像质量不同。
这样的透镜装置也可能独立于所述的短相干干涉仪设备，从而可以将透镜设备或装置设置为独立的发明，其将供给的光束分离成单独的光束、使单独的光束相对于彼此延迟、并可选地还将它们不同地聚焦输出，该透镜设备具有分割的光瞳，独立的光瞳区域与每个单独的光束相关联，并且该透镜设备或装置的在独立的光瞳区域中的光学路径长度、色散以及可选地成像质量是不同的。
细化(当然，在短相干干涉仪设备的范围内也是可能的)是特别有利的，其中透镜设备或装置具有带有两个透镜表面的玻璃体，并且在一个透镜侧面实现沿着玻璃体中的光轴延伸的孔。该孔的长度对应于单独的束的相互延迟，因为由此对单独的束产生通过玻璃体的不同光学路径长度。孔基部和该孔被引入其中的透镜表面的光学特性也可以不同。任何不同之处导致单独的束的不同聚焦。
由此，通过孔深度以及孔基部和透镜表面的几何形状的独立地可选择的参数，在对透镜设备或装置的设计中可设定和/或彼此独立地选择单独的束的延迟和聚焦。
为了实现所需要的光学延迟和/或色散条件，还可能用这样的材料完全或部分地填充玻璃体中的腔，该材料具有与剩余的玻璃体相比不同的光学特性，即，特别地，折射和色散系数。
从共用测量束(即，在分离参考束路径之后)产生单独的测量束的另一途径是，叠加装置直接从源束分离单独的测量束。
通常，优选按照特定的强度比率在叠加装置处进行束分离，即，不执行偏振分离，这在现有技术的许多观点中可发现，其原因有两点：一方面，偏振分离器是昂贵的部件，由此使得设备更昂贵。另一方面，其必须随后再次以极大的努力确保偏振分离的单独的测量束再次叠加时具有相同的偏振状态。特别地，在其中单独的测量束的偏振状态有可能通过样品的双折射结构(例如，在经过眼睛中的透镜时)而改变的样品中，这是成问题的。最后，偏振分离通常也被限制为至多两个分离的束，而相反地，强度分离，例如，在使用光纤耦合器时可能的，还可以产生多于两个分离的束。
因此，在本发明的细化中，优选地，所述测量束路径具有对于单独的测量束不同的长度的单独的测量束路径，并且所述叠加装置将源束的特定强度分量分离成单独的测量束路径。所述叠加装置还可以可选地将源束的特定强度分量分离成参考束路径。
可以使用3×3光纤耦合器或两个组合的2×2光纤耦合器而特别简单地按照强度比率来执行源束向单独的测量束和(如果不使用双束模式)参考束的分离，如在例如已经引用的本申请的发明人之一作出的US2006/0109477 A1中所述。关于这种光纤耦合器的操作方式、构造以及性能，通过参考明确地将该出版物的公开内容并入这里。
叠加装置在其每个输出处输出至少两个单独的测量束的混合束，每个所述测量束都与参考束叠加，其中在与参考束叠加处，为每个单独的测量束引起单独的相移，所述单独的相移具有这样的结果：单独的测量束在叠加时经历相对于参考束不同的相位调整。例如，如果使用所提到的2×2光纤耦合器，相移为180°，从而，如上所述，可以特别有利地实现均衡检测。
每个检测器由此接收多个单独的测量束的混合束，使用不同的相对相位调整来使每个测量束与参考束叠加。单独的测量束可以对混合束具有基本相同的贡献，但在混合束中不对称的组成也是可能的，其中在混合束中单独的测量束之一具有不相称的比率，特别地，大于90％。当然，比率的这种增加是以其他单独的测量束为代价的。
对测量区域信号的同时检测允许在间隔测量中补偿由任何轴向样品移动引起的位置误差。例如，在Yun等人的Opt.Express 12，2977(2004)，″Motion artifacts in optical coherence tomography with frequency-domainranging″中，描述了轴向样品移动对FD OCT的不利影响。
可选地，可以设置阻断元件，其遮蔽除了一个测量束之外的单独的、多个或所有单独的测量束，以便在该阻断元件被激活时，仅仅一个单独的测量束仍与参考束叠加。
如果单独的测量束的叠加(与参考束的叠加，或者在双束变化例的情况下，与至少一个其他单独的测量束的叠加)表明小于50％的损耗，则实现了特别高的检测精度。在现有技术的途径中，不能实现该特征，这是因为，例如，极化分离或光谱分离在其中引起更高的损耗。
利用检测器的每两个的差分读出，实现特别高的灵敏度。该已描述的均衡检测在US 2006/0109477 A1中也进行了描述，其全部公开内容也在此引入作为参考。
当然，干涉的信号质量以及由此在样品中可被检测的甚至是微弱散射的对象的灵敏度是产生干涉的单独的测量束可根本具有的干涉程度的函数。当然，为了该目的，偏振状态显著，这是因为，例如，众所周知，正交线性偏振的束根本不能彼此干涉。因此，优选在测量束路径中设置偏振控制器，所述控制器对所有单独的测量束起作用，并且使单独的测量束的偏振状态彼此均衡，和/或在叠加单独的测量束之前(如果不使用双束模式)使它们均衡为参考束的偏振状态。也可以将法拉第旋转器用于单独的测量束和参考臂中，以实现在叠加时偏振状态的自动适应。在US 7126693中描述了样品中的法拉第旋转器和OCT干涉仪的参考臂。
通过将测量束光瞳分离成单独的测量束且使样品对单独的测量束的偏振状态的影响充分均匀，优选将单个偏振控制器用于均衡至用于与单独的测量束叠加的参考辐射的偏振状态。
对于其中从源束直接分离单独的测量束的实施例，有利地在以这种方式产生的每个单独的测量束路径中设置偏振控制器，从而由此设置的偏振控制器使单独的测量束的偏振状态在单独的测量束的叠加之前彼此均衡。与其中所有单独的测量束仍共同地传播的测量束路径的一部分中的中心偏振控制器相比，现在可以进行对用于每个单独的测量束的偏振状态的单独的适应。如果不使用双束模式，则均衡同样被再次定向为参考束路径的偏振状态。
当然，特别优选所述设备是为使用扫描辐射源的OCDR(SS OCDR)而实现的，因此优选其对应的实施例。
该设备允许在比例如在利用扫描辐射源的光谱线宽的SS OCDR中、在利用干涉仪的参考臂的调整路径的TD OCDR中以及在利用检测的光谱分辨率的SD OCDR中的预定测量范围所允许的间隔更远地被轴向间隔分开的区域中检测样品。因此，优选单独的测量束的轴向偏移大于分别由干涉仪设备的扫描范围和由光谱分离和检测所给出的测量范围。
当然，这里描述的根据本发明的设备的变化例还可以被实现用于横向扫描样品，特别地，用于成像。为了该目的，优选设置至少一个扫描装置，以通过样品和至少一个单独的测量束的横向相互移位而扫描样品。
该扫描装置由此可有效用于单独的测量束中的至少一个。对于在眼睛上的应用，由此优选进行对眼睛水晶体(eye lens)的成像，包括确定其形状和位置(水晶体的倾斜，即，光轴与视轴之间的角度，水晶体后表面的曲率、水晶体前表面的曲率)。在视网膜的区域中成像也是可能的，特别地，在中央凹的区域中。
用于单独的测量束中的至少一个的扫描装置有利地还允许组合测量，该组合测量超出了简单的间隔测量或形貌检测。如果测量移动的物体，例如人眼，则总是存在这样的问题，即，在测量过程期间的眼睛移动导致恶化。这在使用光学相干X射线断层术进行扫描时特别地不幸。根据本发明的设备允许使用单独的测量束之一来检测到参考点(例如角膜顶端或视网膜基部)的距离，并且从任何距离改变获得对样品(例如眼睛)的移动的测量。然后可以将参考点的移动用于校正从样品的另一区域的同时横向扫面获得的所测量的数据。
在该途径的有利细化中，不仅检测参考点的轴向位置，而且还检测其横向位置。例如，角膜顶端的横向移动。然后不仅可能关于所研究的样品的轴向移位，而且还关于横向移位，进行校正。可以三维地跟踪用于通过扫描物体的另一区域而执行的三维成像的参考点，并且可以关于参考点的移动而三维地校正对应的测量数据。
因此，优选该设备具有对应的控制单元，其通过使用单独的测量束检测参考点的轴向位置或者通过使用独立地扫描的单独的测量束检测参考点的三维位置来执行上述参考，并且控制该设备。
很明显，如果未相反地标注，则不仅可以在所公开的组合中，而且还可以在其他组合或可选地单独地，利用上述特征或特性以及下面将说明的特征或特性，而不离开本发明的范围。合适的控制单元被设置用于执行该设备中的任何方法步骤。还应注意，以下的基于SS OCDR的描述不限于该OCDR原理。本发明还类似地适于SD OCDR或TD OCDR。当然，在SS OCDR中发生的对源的扫描被对叠加辐射的光谱分析所替代，或者被对参考束路径的调整所替代。
附图说明
下面参考附图为了示例的目的更详细地说明本发明，这些附图还公开了本发明的重要特征。在附图中：
图1示出具有用于同时检测眼睛的两个不同区域的均衡检测的SSOCDR干涉仪；
图2示出与图1类似的干涉仪，但图1的干涉仪的测量束路径被改变，以更大地利用照射辐射，并且执行对从眼睛的各个区域的测量辐射的广泛单独的测量；
图3示出与图2的干涉仪类似的干涉仪的示意性示例；
图4示出与图3类似的示例，其中表明分束器的作用；
图5示出与图4类似的干涉仪示例，但为双束干涉仪的实施例；
图6示出与图4类似的示意性示例，但为具有均衡检测的干涉仪设备；
图7示出与图6类似的干涉仪设备，但具有对样品的附加横向扫描；
图8示出与图7类似的干涉仪设备，但作为双束干涉仪；
图9a示出在图1的干涉仪中的分束器的示意图；
图9b示出具有根据图9a的各种分束器的旋转器轮；
图10-12示出在图2-8的干涉仪中的分束器的示意图；
图13-15示出与图1类似的OCDR干涉仪，该结构允许精确的均衡检测，干涉读出检测器之间的相移精确地为180°；
图13示出具有完全均衡检测的结构；
图14示出具有透射式参考束路径的图13的结构的替代结构；
图15示出与图14类似的结构，但具有不同地实现的叠加装置；以及
图16示出与图15类似的结构，但具有两个独立的测量束路径。
具体实施方式
图1示意性示出用于SS OCDR的干涉仪。辐射来自束源Q，该束源被扫描且其线宽小于30pm，例如，优选≤26pm，或者在另一实施例中优选＜15pm或甚至≤13pm。这样的束源在现有技术中是已知的，且例如在开始已提到的US 2006/0109477 A1中进行了描述。因此，关于这一点，参考该文献。干涉仪I用于检测样品P上的不同子区域T1和T2的目的，在示例性实施例中，该样品为眼睛A。当然，替代眼睛，还可以使用干涉仪I来检测任何任意的非生物技术特征，这是因为干涉仪I通常检测位于子区域T1和T2中的散射中心的位置和散射强度。在本说明书由此参考关于眼睛A的应用的范围内，这仅仅是示例性的，不应理解为限制性的。
在图1和2中，子区域T1和T2被示出为点。这仅仅是用于更好地观察。由于辐射源Q的扫描，子区域在一范围内延伸，当然，该范围沿着辐射的入射轴延伸。然而，SS OCDR中的最大测量深度没有大到足以在一个扫描过程中既检测到子区域T1也检测到子区域T2，其中SS OCDR中的最大测量深度受到扫描的辐射源Q的线宽的限制。子区域之间的间隔d太宽而不能用于该目的。例如，在使用其中心波长为约1μm且线宽在10pm至200pm的范围的扫描的辐射源对眼睛进行测量时，可以实现约35.2mm的扫描深度，该扫描深度仅仅对应于可能的眼睛长度的一部分，因为其多个轴向偏移子区域是对关于眼睛的应用有利的。
通过光纤1而将激光束源Q的辐射导引到耦合器K，该耦合器用作叠加装置且将在下面更详细解释。耦合器K将来自光纤1的辐射的一部分分支出来成为参考束路径R，该参考束路径主要通过光纤2而实现，在光纤2的一端处设置反射镜装置(例如，通过光纤的终端反射)。来自光纤1的辐射的另一部分被馈送到以光纤4开始的测量束路径M。
然而，耦合器K不仅引起激光源Q的辐射的耦合(其由此提供用于干涉仪I的源束)，而且还引起从测量束路径M返回的测量辐射与从参考束路径R返回的参考辐射的分布和叠加。耦合器K使来自参考束路径R的参考辐射与来自光纤4的测量辐射叠加，且将叠加后的辐射以相同的比率输出到光纤3和光纤5中。由此发生干涉的信号被检测器D1和D2收集，并且随后通过使用差分放大器13的均衡检测而被放大。
由于耦合器K的物理特性，每个检测器D1和D2接收到与来自参考束路径的辐射叠加的测量束的混合束，单独的测量束在与来自参考束路径R的辐射叠加时经历了在耦合器的输入III与IV之间的相对相移。单独的测量束以相等比率被包含在混合束中。
由此，耦合器K既对原始束的分离起作用，也对参考束与测量辐射的叠加起作用。测量辐射由单独的测量束构成(如下面解释的)该耦合器具有终端I-VI。
例如，通过耦合器K将供给到终端I的辐射中的80％导引到终端II，20％导引到终端IV，0％导引到终端VI，因为在本结构中，耦合到光纤6的辐射不被进一步利用。
通过耦合器K，将在终端IV处返回的测量辐射中的20％导引到终端I，即，回到源，并且在每种情况下40％被导引到终端III和终端V。由此将测量束路径中的80％的辐射强度用于干涉。
被供给到终端II的辐射中的10％被导引到终端III，10％被导引到终端V，80％被导引到终端I。
图1的干射仪I由此使用高百分比的来自测量束路径的辐射，但仅仅使用从激光束源Q馈送到光纤1中的20％的强度。这是相当不成问题的，因为使用高功率激光束源Q比补偿大测量信号损耗要简单得多。由于耦合器K的构造，在参考束路径R中提供了相对大强度过量的辐射，该辐射仍可以用于其他方式，例如，用于激光束源Q的光谱校准或者用于触发信号记录。
测量束路径M始于光纤4。其接着包括偏振控制器7，该偏振控制器7确保从测量束路径M返回的辐射在其偏振特性方面适应于参考辐射，以便提供最大干涉能力。
使用单片分束器8从光纤4分离在测量束路径M中的被导引到样品P的辐射，该单片分束器8提供已提到的单独的测量束M1和M2，测量束M1和M2相对于彼此延迟。通过用于单独的测量束M1和M2的不同的玻璃路径，由单片分束器8实现该延迟，这将在下面更详细解释。该延迟被调制为间隔d，眼睛A上的区域T1和T2相距该间隔d(从耦合器到样品和背面)。这种类型的测量束路径M的均匀的总长度被调制为参考束路径R的长度。
此外，单片分束器还引起变化的聚焦，即，其确保最终将单独的测量束M2聚焦在区域T2中且将单独的测量束M1聚焦在区域T1中。如下面更详细解释的，通过单片分束器8实现这一点，因为不同的折射表面对单片分束器8的输出侧的单独的测量束M1和M2有效。
为了能够关闭单独的测量束中的一个，例如单独的测量束M1或M2，可选地设置可移动的光阑(stop)24作为阻断元件，例如，其遮蔽特定的单独的测量束。为了阻断单独的测量束M1，光阑24被实现为使其遮住其中单片分束器8提供单独的测量束M1的光瞳区。对比而言，为单独的测量束M2设置不同的或额外的光阑24，该光阑被实现为环状屏的形式且仅仅允许单独的测量束M1通过。
与已经在结构上或功能上进行了描述的部件对应的部件在附图中具有相同的参考标号且因此可选地不再进行解释。
至此，描述了具有扫描的光源的SS OCDR的示例性实施例。然而，如果将宽带光源(例如超辐射二极管(SLD))用作辐射源Q且将检测器D实现为光谱仪，则可以获得短相干干涉仪设备的SD OCDR变化例，其等效地具有所述优点。从US 2004/0239943可知用于正交分量确定的具有多个参数的干涉仪设备。如果保持宽带源Q，且实现参考臂R，以便其光学长度可被快读变化，实现干涉仪设备的TD OCDR变化例。例如，在US6654127中描述了用于快速改变参考臂的光学长度(快速扫描光学延迟线RSOD)的合适设备。
图2示出图1的干涉仪的修改结构。这里，发生激光束源Q的辐射的更大利用，因此，如果激光束源Q的功率的安全性限制或边界条件(如线宽、扫描范围和扫描速度)指示这一点，即，例如，如果希望利用具有特别低功率的激光工作，则图2的结构是特别有用的。
图2的干涉仪I的与图1的干涉仪中的在结构上和/或功能上对应的元件具有相同的参考标号，不再进行重复解释。这适用于所有附图。根据图2的干涉仪I与图1所示的结构的不同之处主要在于两方面。一方面，测量束路径M被不同地实现。另一方面，在图2所示的结构中没有检测器D1和D2的差分读出，因此没有均衡检测。
测量束路径M的差异基于这样的事实，即，耦合器K将来自光纤1的激光束源Q的源束耦合到光纤4(即，耦合器K的终端IV)以及光纤VI(即，耦合器K的终端VI)中。由此，单独的测量束的产生不是从现有的共用测量束执行，而是直接发生在分束器处，在该情况下为耦合器K处。如已在图1中解释过的，单独的测量束M1、M2分别通过偏振控制器7.1或7.2而传播，这确保了最终在从样品A返回之后单独的测量束具有彼此相同且最重要的是与参考束R相同的偏振方向。透镜9.1和9.2确保将单独的测量束聚焦在样品的特定的区域T1和T2上。
单独的测量束所经过的路径长度彼此相等，即，从耦合器K的终端IV直到区域T1的光程长度等于从终端VI直到区域T2的光程长度(并且两者都等于参考束路径R的光程长度)。这在图2中用光纤4、6中的不同环线示意性示出。
在图2的干涉仪I的优选实施例中，耦合器K的耦合系数如下：供给到终端I的源束的分布为将60％分配到终端II，终端IV和VI各自被分配20％。源束的强度，即，激光束源Q的功率由此被利用了40％，因此是图1的干涉仪I的两倍。
返回到终端IV的单独的测量束M1中的80％被导引到终端III，20％被导引到终端I。对终端V发生0％的反馈。类似地，对于在终端VI处的单独的测量束M2也是如此，其中的80％被导引到终端V且由此进入光纤5，并且20％返回到源，即，返回到终端I和光纤1。如果在终端IV与V之间仅仅0％被实现为具有不利作用，则还可以使用小于或等于5％(特别地，4％)的耦合度。终端VI与V之间的耦合度于是相应地从80％降低。
由此，单独的测量束M1和M2的强度的80％被导引到特定的相关联的检测器D1和D2。
终端II的60％被耦合到终端I，20％被耦合到终端V和VI，并且20％被耦合到终端III和IV。
通过检测器D1和D2的单独的检测允许分别在区域T1或T2中检测特定的散射强度，而不干涉影响特定的其他区域。如果在1.05μm的波长下从2mW的样品处激光辐射上限开始，以及如果源输出5mW，则通过耦合器K的能量分配特别有利。于是，分配给终端III和V的所述对称分布是最优的，该终端III和V经由光纤3和5而与检测器D1和D2连接。
图2的耦合器K还具有关于图1已描述的耦合器的这样的特性，即，使在输入IV和VI处的光辐射与在输入II处的参考束路径以不同的相对相位调整叠加，并且，当然，将其作为混合束而中转至输入V和III中的每一者。由此，这里，其还在输出V处被混合束：在终端VI处的信号与在终端II处的信号叠加，并且在终端IV处的信号与在终端II处的信号叠加。在两个终端VI和IV处，混合束的信号以不同的相对相位调整与来自终端II的参考辐射叠加。
然而，与图1的耦合器K相比，图2的耦合器引起不对称的混合束，在该不对称的混合束中，来自终端VI或IV之一的信号在混合束中具有不成比例的比率，特别地，大于90％或95％。在图2的结构中，这导致来自光纤6的与参考辐射叠加的信号以90％或95％被包含在光纤5中，而以不同的相对相位调整被叠加到参考辐射的来自光纤4的信号仅以10％或5％被包含。类似地，光纤3也是如此，该光纤3主要导引来自光纤4和2的叠加信号。图2由此示出在耦合器K的输出V和III处的不均等构成的混合束的实例。
图3以示意性示例示出图1和2的干涉仪结构。在示意性示例的干涉仪I中，参考标号v表示延迟路线，参考标号O表示光学装置，参考标号F表示光纤，并且参考标号A表示输出。特定的下标使这些变量与特定的单独的测量束相关联，如基于图1和2已经对检测器D和单独的测量束M所进行的。这可等同地应用于在样品P上检测的区域T1，T2，...，TN。
使用光纤耦合器K(其也可以通过多个耦合器的组合实现)，由光纤1中的激光辐射源Q提供的原束的一部分被分离为单独的测量束M1，M2，...，MN而进入光纤F1，F2，...，FN。通过光学手段在由此获得的每个单独的测量束路径中发生单独的延迟v1，v2，...，vN，以便从耦合器K直到样品的特定区域T1，T2，...，TN的光程长度对于所有单独的测量束M1，M2，...，MN都相等。在单独的测量束路径中的对应的光学装置O1，O2，...，ON照射将被检测的子区域T1，T2，...，TN，吸收向后散射的光，并将其中转至光纤F和耦合器K。
在图3的示意图中，与光学装置O无关地指定延迟v。延迟v的级(例如顺序)和光学装置O无关，尤其是，延迟v也可以在光学装置O中发生。当然，具有不同延迟和/或不同长度的光纤F也可以引起延迟。
为每个单独的测量束M1，M2，...，MN选择测量束路径M的构造，以便返回到耦合器K的单独的测量束能够与来自参考束路径R的辐射干涉，即，特别地，具有足够类似的偏振状态。在图3中未示出可能的偏振控制器。
另一方面，如基于图1和2已经解释过的，选择延迟线路，以便所有单独的测量束的从耦合器K直到样品的将被检测的区域的光程长度相等。然而，它们还被选择(当然，这也适用于图1和2)为使单独的测量束的光程长度等于在参考束路径R中的参考束的光程长度，因为只有这样，才可能使叠加的单独的测量束与参考束干涉。通过耦合器K执行该叠加，并且其将与参考束的一部分叠加且发生干涉的单独的测量束M1，M2，...，MN馈送到特定的输出A1，A2，...，AN，在这些输出处它们被对应的检测器记录，通过分析单元10来读出这些检测器。由于耦合器K再次将每个以不同的相对相位调整与参考辐射叠加的单独的测量束的混合束导引到输出A1，A2，...，AN，当然，该混合束可以从相等比率(以及可选地为了均衡检测而执行差分读出)返回到一个或多个单独的测量束的极度不成比例的比率。关于在此描述的任何特定的分离、比率、或混合束组成，它们不应被理解为限制性的，而仅仅是示例性的。
图3中的干涉仪I的示意图清楚地示出了图1和2中的具有两个单独的测量束的示例不是限制性的。相反地，可以任意地选择单独的测量束的数目，N的上限不必是2。
当然，可以用对应地设定的与样品P的距离或者参考束路径中的长度(例如，至镜面S的长度)来替代延迟之一。可以通过限制与激光束源Q的增加的扫描深度相关的区域T的间隔来实现延迟线路的数目的进一步减小。
为了确保每个单独的测量束的检测的所希望的高效率，将耦合器K设计为，对于光纤F的所有输出，在原束(即，光纤1)与小于50％的特定光纤F之间提供耦合。
对于在此描述的构造，干涉仪I实现了对单独的测量束的高效率分析，因为分束器以不对称的强度将源束耦合到参考/测量束路径，并且将测量束路径耦合到探测器馈送。特别地，可以将耦合度(源束以该耦合度被分离成单独的测量束路径)减小为小于50％，以实现在相反方向上在单独的测量束路径之间的耦合以及大于50％的向相关联的检测器的馈送。
可以更加不同地实现耦合器K中的单独的耦合系数。图4示出一个实例，其中实线表示80％的总耦合度，点划线表示20％的总耦合度。总耦合度是对该输出处的所有对应地标记的输出束的耦合度的和。来自导引源束的光纤1的辐射由此将80％耦合到光纤2，并且与光纤F的总耦合度为20％。每个单独的光纤F包含该20％比率的相等部分。F与A之间的特定的耦合，即，在与参考束叠加时单独的测量束向特定的检测器的传输可以至多为1减去总耦合度，源束以该总耦合度分配到光纤。通过减小该耦合度，可以在检测器处实现非常高的信号强度，从而为子区域检测出主要分离的信号。
可以修改图4的构造以获得图5中示意性示出的双束干涉仪。这里，重要的是，在单独的测量束之间而不是与来自固定参考臂(不包括样品)的参考辐射发生干涉。这里，虚线表示约40％的总耦合度。每个单独的测量束由此在这里与各自的其他单独的测量束的一部分混合。
在例如具有三个单独的测量束(N＝3)的干涉仪I中，在输出A1处，单独的测量束M1以40/3％发生，单独的测量束M2也以40/3％发生，并且单独的测量束M3也以40/3％发生。这可以类似的方式适用于其他输出。
单独的测量束引起彼此叠加且被提供到输出A。由此检测到组合的子区域信号，在子区域分量之间具有不同的相位关系。分析装置10由此可以检测到正交分量，以减少例如可在傅里叶域OCT中发生的镜面伪像。这可类似地适用于根据图4的构造。
在图5的构造中仅仅检测到子区域信号之间的相互干涉，从而干涉信号独立于样品P的轴向移动，这是因为不与来自固定参考臂的辐射发生干涉。
图6示出这样的构造，其中，一方面，耦合器K由两个单独的耦合器K1和K2实现。另一方面，执行均衡检测，如在该方面已引用过的US2006/0109477 A1中关于不同类型的干涉仪已经描述过的。尤其是，该均衡检测的原理是：成对组合的信号具有相移(例如，约180°)，由此，使用差分放大器13和14的差分分析消除了任何DC光分量，例如，激光辐射源Q或干涉辐射的强度变化。图6示出两个测量束的一个实例，当然，具有三个或更多个测量束的变化例也是可能的。在耦合因子方面，图3使用与之前的附图相同的方案，实线对应于始于特定终端的80％的总耦合度，虚线对应于始于特定终端的40％的总耦合度，并且点划线对应于始于特定终端的20％的总耦合度。 
图7示出这样的细化，其中在测量束路径中设置扫描器12，例如，其使单独的测量束横向地偏斜，以检测三维区域T。与其他单独的测量束(例如，未偏斜的测量束)的组合由此允许检测这样的参考点，其他样品区域的三维偏斜的坐标系统可以与该参考点相关。样品P(例如，眼睛)的任何轴向移动可以由此被补偿且不导致对三维取样的破坏。
另外，还可以不仅关于其轴向位置，而且由在该单独的测量束的单独的测量束路径中设置的另外的独立扫描器，来三维地检测参考点，从而可以在用于另一扫描样品区域的测量信号中补偿样品的三维移动。
图7的构造基本实现了图6的构造，然而，(分别)使用独立的扫描器12(和15)，使单独的测量束M2以及可选地单独的测量束M1二者中的每一者偏斜。分析单元10记录对应的扫描器的信号，并且将由差分放大器13和14输出的信号组合到考虑到扫描器信号而关于样品的移动相应地修正的图像中。
当然，对扫描器的这种应用也可以用于所述干涉仪I中的任何一个。这被示意性地示例在图8中，其示出双束途径的扫描器的使用。扫描装置由此对单独的测量束中的至少一个有效。对于眼科应用，这也允许对眼睛水晶体成像，包括确定其眼睛水晶体形状(水晶体的倾斜(即，光学轴与视轴之间的角度)、水晶体后表面的曲率、水晶体前表面的曲率)。还可以在视网膜区域中，特别地，在中央凹区域中成像。
在眼科测量中与最大角膜反射对准的静态单独的测量束的使用是特别有利的，而对于视网膜结构的空间分布的记录，例如，对于成像(双束OCT)或者对于确定相对于视网膜上的特定参考点的眼睛长度，第二单独的测量束被横向偏斜是特别有利的。对于横向扫描，对眼睛长度的频率分布的简单确定也发出能够表征眼睛的信息。这些变化例对于白内障的情况是重要的，在白内障的情况下，对于患者不再可能固定，并且必须空间可分辨地和/或统计地确定眼睛长度。
现在参考图9a，描述单片分束器8的构造。该分束器用于将由光纤4提供的束分离成两个单独的束，这两个单独的束相对于任何后来的干涉彼此轴向偏移，并且可选地还被捆扎为具有以间隔a分开的不同的焦距。在返回路径中，即，对于从样品P传播离开的辐射，分束器8使测量束路径重聚。
分束器8接收在光纤4的端部出射的光束18，并且使用分束器8的玻璃体17所包括的第一透镜侧面L1使其准直。然后，以该方式准直的辐射通过玻璃体17，该玻璃体17具有在其输出侧的光瞳分区。为了该目的，在相反地透镜侧面L2中引入沿光学轴延伸的孔18。在孔基部19处出射的辐射通过这样的玻璃路径，该玻璃路径比在透镜侧面L2处出射的辐射小了孔18的深度t。这引起单独的束彼此延迟。该延迟由此对应于玻璃体17(当然，还可以使用任何可形成透镜的材料)中的孔18的深度的光学光程。
在图9a中，单独的测量束在不同的焦锥20、21中出射。该变化聚焦是由透镜表面L2和孔基部19的不同衍射特性引起的。由此实现的光瞳分区的变化的衍射特性具有这样的结果，焦距22、23被分开，间距为a。焦距和延迟可以由透镜表面和孔深度彼此独立地设定。
当然，如图9a所示的聚焦仅仅被理解为示例性的。例如，如果将孔基部实现为平坦的，则在该光瞳部分中出射的单独的束也可以是平行的，和/或具有由透镜表面L1引起的相同的传输方向。
图9b表明分束器8的改变也是可能的。为了该目的，在旋转器轮W上安装各种分束器8.1、8.2和8.3，并且可以将所需的特定的分束器装在束路径的枢轴上。各种分束器8.1、8.2和8.3在由深度t的光学光程引起的延迟方面不同。
替代成像分束器8，如果玻璃体17的第一和第二侧面不被实现为透镜侧面，而是平坦的，那么也可以使用非成像分束器。
图10至12示出光纤耦合器K的示意图。图10中示出3×3耦合器，其具有终端I-VI，并且在一侧上引起I、III和IV的对应耦合，而在另一侧上引起II、IV和VI的对应耦合。
图11示出对图10的光纤耦合器K的修改，其中不是三根光纤被部分熔接，而是2×2光纤。如在从该方面已经多次引用过的US 2006/0109477 A1中已经描述过的，可以由此替代3×3耦合器。
如果使用这样组合的2×2偶对，对于单独的测量束的变化强度的情况，使显著较强的单独的测量束导引经过路线VI→V是可取的，如在所述实施例中所示，以避免在更灵敏的路线IV→III中的串扰。在对眼睛的干涉测量中，显著较强的信号典型地来自角膜，而更灵敏的信号来自视网膜上的测量区域。
为了使用均衡检测，耦合器K是有利的，如图12中所示，其在VI→V与IV→III之间具有40％的交叉耦合。图12中示出物理实施例的透视图。耦合路线V→IV的过程由此在这样的平面上被折叠，该平面被路线II→IV和I→II跨过。
图13示出与图1类似的构造，这里，能够执行所谓的精确的均衡检测，即，对称地或成比例地构成混合束。
在图13的构造中，一方面，由使用虚线绘出的框示例出光纤4可以非常普遍地馈送所处于的变化地实现的应用模块25，该应用模块25分离来自始于光纤4的测量束路径的单独的测量束路径。在图13的上框中所示的变化例中，将第三耦合器K3用于该目的，其执行对单独的测量束路径的分离和组合。在下框中所示的图13的应用模块25的构造使用图9a的分束器，但在部件8上没有光学表面的已描述的变化例中。耦合器K1和K2接合地实现耦合器K，该耦合器K在原理上对应于图1的耦合器。耦合器K2被实现为50-50耦合器或分束器，从而光纤5和3中的混合束被对称地构成，即，以均等的比率包含来自测量束路径M1和M2的辐射，每个测量束路径具有相对于与参考束路径的叠加的180°的相对相移。
此外，存在通过在耦合器K1和K2之间使用连接光纤26的来自2×2耦合器偶对的耦合器K的构造的可能性。这允许实现循环器类型。如果来自辐射源Q的原辐射被线性偏振并且在光纤26中包含四分之一波单元，那么圆偏振的辐射到达测量束路径M。结果，通过光纤26而返回到光纤1且由此返回到源Q的辐射被偏振为垂直于原辐射。这已证明是对源Q的无扰动的稳定操作是有益的。这里，法拉第旋转器在光路26中的可选使用也是有利的，因为实现了在光路中相对于来自光源的光的正交偏振状态。
图14示出对图13的构造的修改。这里由光纤环路(即，光纤2和6的连接)提供参考辐射。这可以被称为透射式参考。该透射式参考臂也可以包含固定的或可变的用于测试在检测器上的信号设定的目的的衰减元件，或者可以被实现为能够实现可变衰减。另外，对图13进行的陈述同样适用于图14的构造。
最后，图15中所示的构造基本上对应于图14的构造，但耦合器K2和K1的相对于连接光纤26的顺序相反。原束再次首先到达耦合器K2，但从那里直接进入测量束路径，当然，也进入参考束路径，这里其再次被实现为透射式。
最后，图16示出与图15类似的构造，但这里耦合器K2被构造为3×3耦合器，因此其通过终端IV.1和IV.2而被直接分离成两个单独的测量束路径。
已经提到，单独的测量束路径在其光路方面适应于将被检测的样品区域的间隔。除了仅仅光路的调制之外，还可以将用于测量束的色散分离地调制为样品中的条件。为了该目的，在测量束路径中单独地引入合适的介质，其影响未改变的光学延迟处的色散，从而单独地补偿对测量束经过的样品区域的影响。
还已经提到，上述实施例可以完全根本地被实现用于SS、SD或TDOCDR。在后一情况下，提供对有效参考臂长度的调制。在图1、2、6、7、13、14和15的示例中，用于调整参考束路径中的辐射的延迟的装置还被附加地设置在由R标示的参考束路径中，例如，根据US 6654127已经提到的RSOD或者路径长度调整。在光纤2的终端处在图4和16中提供类似的元件。可替代地，还可以执行对参考臂中的参考辐射的可设定的衰减，例如，使用可变光学衰减器(VOA)或掺杂的光纤部件。由此可以容易地实现非常高的衰减，其也可以被附加地调制。这既代表对更合适的光线耦合比的选择的替代，也代表对精细调制的补充。

Claims (16)

1.一种用于测量样品(P)的多个轴向间隔的区域(T1，T2)的短相干干涉仪设备，所述样品(P)特别地为眼睛(A)，所述设备具有至少一个测量束路径和一个参考束路径(R)，多个单独的测量束通过所述测量束路径而入射在所述样品(P)上，参考辐射通过所述参考束路径(R)而被导引，所述参考辐射与单独的测量束(M1，M2)叠加且与所述单独的测量束的干涉，其中所述单独的测量束(M1，M2)在入射到所述样品(P)上时彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔(d)，并且其中所述干涉仪设备(I)具有叠加装置(K，K1，K2)，所述叠加装置(K；K1，K2)使每个从所述样品返回的单独的测量束(M1，M2)与所述参考辐射叠加以引起干涉，其特征在于，所述叠加装置(K；K1，K2)具有多个输出(III，V)，每个输出(III，V)馈送检测器(D1，D2)，其中所述叠加装置(K；K1，K2)接收用于与所有单独的测量束(M1，M2)叠加的相同参考辐射，在每个输出(III，V)处输出与所述参考辐射叠加的多个单独的测量束(M1，M2)的混合束，每个混合束包含以变化的相位调整与所述参考束叠加的各个比率的所述单独的测量束(M1，M2)。
2.根据权利要求1的短相干干涉仪设备，其特征在于，设置提供测量辐射的辐射源(Q)，其输出源束，所述源束被馈送至所述叠加装置(K；K1，K2)，所述叠加装置(K，K1，K2)将特定强度比率的所述源束分离成所述测量束路径(M)和所述参考束路径(R)。
3.根据权利要求1的短相干干涉仪设备，其特征在于，在每个混合束中，所述单独的测量束(M1，M2)具有基本相同的分量。
4.一种用于测量样品(P)的多个轴向间隔的区域(T1，T2)的短相干干涉仪设备，所述样品(P)特别地为眼睛(A)，所述设备具有至少一个测量束路径，多个单独的测量束通过所述测量束路径而入射在所述样品(P)上，所述单独的测量束(M1，M2)在入射到所述样品(P)上时彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔(d)，并且所述干涉仪设备(I)具有叠加装置(K，K1，K2)，所述叠加装置(K，K1，K2)使所述单独的测量束(M1，M2)中的至少两个彼此叠加以引起干涉，其特征在于，所述叠加装置(K，K1，K2)使所述两个单独的测量束中的每一个叠加在特定的其他单独的测量束上以引起干涉且获得两个叠加的束，然后将这两个束导引到相关联的检测器(D1，D2)。
5.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，在所述测量束路径(M)中设置透镜装置(8)，其将所述测量辐射分离成所述单独的测量束(M1，M2)，且使所述单独的测量束(M1，M2)相对于彼此延迟，并将它们聚焦在距离所述样品(P)不同的焦距长度处。
6.根据权利要求5的短相干干涉仪设备，其特征在于，所述透镜装置(8)通过光瞳分区分离所述单独的测量束(M1，M2)，所述透镜装置(8)的分离的光瞳区域与每个单独的测量束(M1，M2)相关联，利用光程长度的成像特性中的至少一个，所述光瞳区域和所述光瞳区域的色散彼此不同。
7.根据权利要求6的短相干干涉仪设备，其特征在于，所述透镜装置(8)包括具有两个透镜表面(L1，L2)的玻璃体(17)，并且在一个透镜侧面上，孔或填充物使用具有不同折射率的材料，所述孔或填充物沿所述玻璃体(17)中的光学轴延伸。
8.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，对于单独的测量束路径的每个对，所述叠加装置(K，K1，K2)具有一个3×3光纤分束器(K)或者两个组合的2×2光纤分束器(K1，K2)。
9.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，当叠加所述单独的测量束(M1，M2)且将它们中转到所述检测器(D1，D2)时，所述叠加装置(K，K1，K2)将原束的小于50％的强度导引到所述测量束路径(M)中，由此对每个单独的测量束实现小于50％的强度损耗。
10.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，以差分分析读出所述检测器(D1，D2)中的至少两个。
11.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，在所述测量束路径中设置对所有单独的测量束(M1，M2)起作用的偏振控制器(7；7.1，7.2)，或者在每个单独的测量束路径中设置偏振控制器(7.1，7.2)，以在叠加所述单独的测量束(M1，M2)之前使所述单独的测量束(M1，M2)的偏振状态均衡。
12.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，其被实现用于使用扫描的辐射源的SS OCDR。
13.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，所述单独的测量束(M1，M2)的轴向偏移大于由所述扫描的辐射源限定的测量范围。
14.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，设置至少一个扫描装置，以通过所述样品(P)的横向相对移位和所述单独的测量束(M1，M2)中的至少一个来扫描所述样品(P)。
15.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，其适应于使用宽带辐射源和光谱分辨的检测器的SD OCDR。
16.根据上述权利要求中的一项的短相干干涉仪设备，其特征在于，其适应于使用宽带辐射源和具有快速变化的光程长度的参考臂的TDOCDR。
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