CN101849176A - 环境传感器、具有传感器的颗粒物计数系统及其操作方法 - Google Patents

环境传感器、具有传感器的颗粒物计数系统及其操作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101849176A
CN101849176A CN200880114662.4A CN200880114662A CN101849176A CN 101849176 A CN101849176 A CN 101849176A CN 200880114662 A CN200880114662 A CN 200880114662A CN 101849176 A CN101849176 A CN 101849176A
Authority
CN
China
Prior art keywords
particle
counting
environmental sensor
controller
particle counting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN200880114662.4A
Other languages
English (en)
Inventor
大卫·L·钱德勒
丹尼尔·爱德华·该隐
格伦·Y·科祖玛
乔·索莫萨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Venturedyne Ltd
Original Assignee
Venturedyne Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Venturedyne Ltd filed Critical Venturedyne Ltd
Publication of CN101849176A publication Critical patent/CN101849176A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/00584—Control arrangements for automatic analysers
    • G01N35/00722—Communications; Identification
    • G01N35/00871—Communications between instruments or with remote terminals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/075—Investigating concentration of particle suspensions by optical means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
    • G01N2001/222—Other features
    • G01N2001/2223—Other features aerosol sampling devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N2015/1486—Counting the particles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
    • G01N35/00584—Control arrangements for automatic analysers
    • G01N35/00722—Communications; Identification
    • G01N2035/00891—Displaying information to the operator

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)

Abstract

一种环境传感器，包括：入口和出口，使得流体流从所述入口移动至所述出口；颗粒物检测部分，用于检测流体中的颗粒物；以及控制器，连接到所述颗粒物检测部分。该环境传感器可与数据采集系统(例如，通过无线接入点)进行通信，从而形成颗粒物计数系统。本发明还公开了操作环境传感器的方法和操作颗粒物检测系统的方法。

Description

环境传感器、具有传感器的颗粒物计数系统及其操作方法
相关申请的交叉引用
本申请要求2007年9月4日提交的美国第11/849，421号专利申请的优先权，其全部内容通过引用并入本文。
背景技术
本发明涉及环境传感器，如用来检测空气或液体环境中颗粒物的颗粒物计数器。本发明还涉及具有环境传感器的颗粒物计数系统，操作颗粒物计数系统的方法，以及操作环境传感器的方法。
在一些其它应用中，如果出现污染的情况，颗粒物检测能够监控与期望目标不适应的物质的产生，甚至能够进行原子级别的监控。例如，制药厂商需要无菌环境来避免活的有机体与被制造或包装的产品接触。而且，制药厂商监控特定区域来保证符合洁净标准。
其它通常需要在环境中采用颗粒物计数系统的工业应用是半导体制造业。半导体制造厂商监控其工艺流体、气体和环境的洁净程度来识别并消除污染源。其它工业部门可使用颗粒物计数系统来检测和控制影响产品性能和质量的污染。例如，自动化产品、便携式设备、微机械结构以及光学组件的制造厂商可在其一些制造过程中使用颗粒物计数系统。
因此，需要一种在其它事件中，能够执行可靠的颗粒物计数并允许获取和发布与颗粒物计数相关的信息的环境传感器。还需要集成这种环境传感器的颗粒物计数系统。
发明内容
在一种实施方式中，本发明提供了一种从环境传感器到远程数据采集系统对颗粒物计数信息进行通信的方法。所述方法包括：产生来自于空间、通过所述环境传感器的流体流；检测流体中的颗粒物；在第一时间间隔内确定与检测到的颗粒物的数量有关的第一颗粒物计数；在第二时间间隔内确定与检测到的颗粒物的数量有关的第二颗粒物计数；基于所述第一颗粒物计数和所述第二颗粒物计数确定总颗粒物计数；以及将所述总颗粒物计数从所述环境传感器到所述远程数据采集系统进行通信。所述通信动作包括对来自于所述环境传感器的所述总颗粒物计数进行无线通信。
在另外一种实施方式中，本发明提供一种颗粒物计数系统。该颗粒物计数系统包括：远程数据采集系统；以及环境传感器，放置在空间内。所述环境传感器包括：入口和出口，从而使流体流从所述入口流至所述出口，颗粒物检测部分，用于检测流体中的颗粒物，以及控制器，连接至所述颗粒物检测部分。所述控制器被配置为在多个时间间隔内分别确定具有预定特性的颗粒物的多个计数，所述控制器还被配置为存储在一个时间间隔内检测到的多个计数中的至少一个，并且所述控制器还被配置为通过将滚动计数技术用于所述多个计数而连续更新总计数。所述环境传感器还包括通信层，连接到所述控制器，以将计数通信至所述远程数据采集系统。所述通信层包括天线，以用于对计数进行无线通信。
在另外一种实施方式中，本发明提供一种环境传感器，适于放置在空间内。所述环境传感器包括：入口和出口，使得流体流从所述入口移动至所述出口；颗粒物检测部分，用于检测流体中的颗粒物；控制器，连接到所述颗粒物检测部分。所述控制器被配置为确定多个颗粒物计数，每个颗粒物计数均表示在相应时间间隔内检测到的颗粒物数目，并且所述控制器被配置为确定代表在多个时间间隔内检测到的颗粒物的总颗粒物计数。所述环境传感器还包括无线通信层，连接到所述控制器，以将所述总颗粒物计数和所述多个颗粒物计数中的至少一个无线传输。
本发明的其它方面将由于具体实施方式和附图说明而变得更加明了。
附图说明
图1是颗粒物计数系统的示意图。
图2是第二颗粒物计数系统的示意图。
图3是颗粒物计数器的示意图。
图4是图3中示出的颗粒物计数器的局部示意图。
图5是图4中示出的控制器的可选结构额示意图。
图6是图4中示出的通信层的可选结构示意图。
图7是数据采集系统的示意图。
图8是网页形式的信息显示。
图9是状态寄存器的示意图。
图10是示出了多个存储地址的表格。
具体实施方式
在详细说明本发明的任何实施方式之前，应该理解，本发明不限于在后续说明中提出的或者在附图中示出的结构和部件的排列细节。本发明能够采用其它实施方式并且能够以各种不同的方式实施或者执行。而且，应该理解，本文使用的短语和术语是用于说明的目的而不应该被认为是一种限制。本文使用的“包括”、“包含”或者“具有”及其变体表示包含后面列出的条目、其等同物以及附属项。
尽管在本文采用方向标记如上、下、向下、向上、向后、底、前、后等来说明附图，但这些标记都是针对附图(在正常观察时)的。这些方向并不意味着对本发明任何形式的限制和文字约束。另外，本文使用的术语“第一”、“第二”和“第三”是为了说明的目的而不是为了表明或者暗示相对重要性或者相对意义。
另外，应该理解，本发明的实施方式包括硬件、软件和电子元器件或模块，为了方便论述，这些实施方式被示出和说明为似乎这些部件的大部分仅仅实现为硬件。然而，本领域的普通技术人员在阅读了具体实施方式后应该认识到，至少在一种实施方式中，基于本发明各方面的电子产品可以实现为软件形式。这样，应该注意到，基于设备的多个硬件和软件，以及多种不同结构的部件可以被用来实现本发明。而且，如后续章节中所描述的，在附图中说明的机械结构是为了示例性地示出本发明的实施方式，这些机械结构也可以采用其它可替代的机械结构。
图1是采用无线接入点拓扑结构的颗粒物计数系统10的示意图。颗粒物计数系统10包括环境传感器15，无线接入点(WAP)20，以及通过网络30连接到WAP20的数据采集系统(DAS)25。可以预想到，环境传感器15，WAP20等的数量可根据所示结构的不同而不同。
在示出的结构中，环境传感器15与WAP20通过无线协议(如标准无线协议)进行无线通信，以发送或者接收信息。WAP20通过“有线”连接被连接到网络30。在一种结构中，WAP20可包括NETGEARWGR614无线路由器。使用术语“有线”是为了定义一种连接方式如USB电缆、DSL电缆、以太网线以及其它。类似地，网络30是为了广义地表示是因特网连接或者是内网或者内部网连接。还应该预想到，网络30可包括无线连接器。除了图1中具体示出的DAS25，颗粒物计数系统10还可以包括其它连接到网络30的其他元件，如计算机35。
图2是配置为ad-hoc拓扑结构的颗粒物计数系统40的示意图。更具体地，颗粒物计数系统40包括无线连接到DAS25并可以可选地连接到网络30的一个或多个环境传感器15(在图2中仅示出了一个环境传感器15)。在颗粒物计数系统40包含多于一个环境传感器15的结构中，每个环境传感器15包括由DAS25识别的地址。每个环境传感器15具有唯一地址，其允许DAS25接收、存储并对来自于可位于独立且远程环境中的各个环境传感器15的信息进行通信。如本文所使用的，术语“信息”应该被广义地理解为包含信号(如模拟信号、数字信号等)、状态、数据(如打包数据、非打包数据等)等，并用来提供知识、数值、事件、事实、测量、输出以及类似内容。
参考图1和2，颗粒物计数系统10和40被设置为对从环境传感器15到DAS25进行通信，从而交换关于环境传感器15所在空间的信息，也被定义为环境区(如“干净”区)。颗粒物计数系统10和40的一个不同点是，在颗粒物计数系统10中，DAS25可以通过网络30远程访问环境传感器15，而在颗粒物计数系统40中，DAS25直接通过无线连接来访问环境传感器15。然而，应该理解，在图1和2中示出的拓扑和/或配置是用于示例性说明的目的，并且其它配置的颗粒物计数系统也在本发明的所要求的方面之内。例如，应该预想到，传感器15可以通过有线方式与WAP20或者DAS25进行通信。
图3是一种示例性环境传感器的示意图。更具体地，图3中示出的环境传感器是配置为检测预定尺寸范围内颗粒物的颗粒物计数器50。颗粒物计数器50是通过光散射检测原理进行操作的悬浮颗粒物计数器。然而，另外也可以采用其它悬浮颗粒物计数器(如通过光遮挡原理进行操作的颗粒物计数器)以及它们中间的液体颗粒物计数器。颗粒物计数器50包括流体运动部分55和控制部分60。流体运动部分55包括流体(如空气)入口65、颗粒物检测部分70、真空源75、过滤器80以及流体出口85。
在图3所示的结构中，气流是由真空源75(如空气泵或者风箱)产生的。如下文更具体地描述，按照箭头90所示，气流通过入口65进入颗粒物计数器50中并穿过对空气中颗粒物进行检测的颗粒物检测部分70。然后，气流穿过过滤器80并通过出口85流出。在图3中，示出的真空源75作为流动路径的一部分。然而，颗粒物计数器50的其它结构包括不直接处于流动路径中的真空源，或者可选地，颗粒物计数器50可包括外部真空源。类似地，图3示出了一种位于出口85附近的过滤器80。然而，颗粒物计数器50的其它结构可以包括不同数目(包括0个)的过滤器，并且过滤器的位置也可不同。在又一种结构中，流体运动部分75可包括管或软管，其一端连接到出口65，使得真空源(内部的或者外部的)产生来自于管的另一端且穿过上述颗粒物计数器50的气流。
颗粒物计数器50的控制部分60包括可操作为控制并操作颗粒物计数器50的控制器100。控制部分60还包括电源105、流量传感器110、光源115(如激光束发生器)、光探测器120、通信层125、显示系统130以及输入/输出层135。在颗粒物计数器50的操作过程中，流量传感器110可操作为产生表示通过颗粒物计数器50流动的空气量的信号。流量传感器110产生的信号允许控制器100操作真空源75，以保持通过颗粒物计数器50的流量恒定。例如，控制器100可以操作真空源75来保持恒定流速为1立方英尺每分钟(ft3/min)，其基本上等于28.3升每分钟(lt/min)。然而，真空源75能够基于期望参数或者颗粒物计数器50的特定用途产生其它流速。在其它结构中，环境传感器50可包括没有连接到控制部分60的外部真空源，使得外部真空源相对于控制部分被独立地控制，从而产生通过颗粒物计数器50的流体流。
仍然参考图3，显示系统130包括多重光显示器，以表明颗粒物计数器50的状态。更具体地，显示系统130包括与电源、报警系统、颗粒物计数间隔、光源以及流动状态相关的“开/关”型显示器。例如，显示系统130可以表示颗粒物计数器是打开还是关闭状态，是否检测到与空气流或者光源115相关的故障，计数器50是否正在检测颗粒物，光源115是否正在运行，以及流速是否维持恒定。颗粒物计数器50的其它结构可包括具有不同数目和光线组合的显示系统130，或者可选地为不同的显示器件(如LCD屏幕)。尽管没有经过特别说明，I/O层135示出了可选的输入/输出连接、显示器、和/或开关，以允许用户对颗粒物计数器50进行控制和/或交互。
在颗粒物计数器50的操作过程中，通过光线散射对颗粒物进行检测。更具体地，光源115在颗粒物计数器50的颗粒物检测部分70的内部产生激光束140。如箭头145所示，颗粒物流过颗粒物检测部分70并流过激光束140。横穿颗粒物监测部分70的颗粒物导致光线散射(用150表示)，这由光学检测器120检测。光学检测器120检测到光线散射150而产生电压脉冲，并将电压脉冲发送给控制器100。控制器100可操作为基于光学检测器120产生的电压脉冲来确定与颗粒物相关的信息(如颗粒物尺寸、速度、成份)。由控制器100确定的信息可被存储在存储器中并且/或者由例如颗粒物计数器50的通信层125发送给DAS25。
图4是控制部分60的示意图，它特别涉及颗粒物的检测以及关于检测到的颗粒物信息的处理和传送。因此，图4更详细地示出了光学检测器120、控制器100和通信层125。为了便于图示说明，还示出了连接到控制器100的真空源75，电源105，流量传感器110，光源115，显示系统130和I/O层135。光学检测器120包括图像检测器和光学器件155以检测散射光150，还包括放大器160，从而在检测到散射光150后产生电压脉冲。控制器100包括附加放大器165、处理器170以及存储器175。处理器170包括模数转换器(A/D)180和脉冲高度分析器或者电压比较器185。处理器170可以是微处理器、数字信号处理器、微控制器或者是可以执行指令的类似设备的形式。当然，A/D转换器180和/或电压比较器185与处理器170可以是独立的，存储器175可以与处理器中170相结合。
接收由光学检测器120产生的电压脉冲，以用于由放大器(或多个放大器)165和处理器170在控制器100处理。更具体地，放大器(或多个放大器)165可对电压脉冲进行放大和过滤，并且A/D 180可将脉冲电压转化为用于由电压比较器185分析的数字信号。电压比较器185通过将数字信号与预定值或者电压阈值进行比较而对数字信号进行分析。基于该比较，处理器170可确定是否电压脉冲大于电压阈值，例如，并将该信息存储在存储器175中。当控制器100接收到由光学检测器120产生的脉冲，具有预定特征(如颗粒物尺寸)的颗粒物计数可被存储在存储器175中。
图5是作为图4中示出的控制器100的替换结构的控制器100A的示意图。控制器100A包括放大器(或多个放大器)165和存储器175。控制器100A还包括具有电压比较器185A的处理器170A，电压比较器185A对光学检测器120(在图5中没有示出)产生的模拟电压脉冲进行比较。因此，控制器100A基于模拟信号分析并且确定颗粒物尺寸信息，而控制器100基于数字信号分析并且确定颗粒物尺寸信息。
在颗粒物计数器50的一种示例性结构中，两个颗粒物计数被存储在存储器175中。第一颗粒物计数是尺寸大于0.5微米的颗粒物的计数。第二颗粒物计数是尺寸大于5微米的颗粒物的计数。在其他结构中，不同的颗粒物计数可被存储在存储器175中。通过颗粒物计数器50的标定过程确定与每个颗粒物尺寸(如0.5微米和5微米)相关的电压阈值。标定过程可包括产生已知尺寸(如0.5微米或者5微米)大小的颗粒物气雾云，并且允许气雾云流过颗粒物计数器50。在标定过程中可使用DAS25来观察颗粒物计数器50检测到的颗粒物尺寸，使得操作人员可以调整颗粒物计数器50直到产生正确的信息。尽管可对颗粒物计数器50进行标定，以检测较宽范围的颗粒物尺寸，但通常对颗粒物计数器50进行标定，以感应尺寸为0.5微米和5微米的颗粒物，这是因为0.5微米与洁净区的特定洁净度相关，而5微米与细菌或者对于洁净区有意义的相似要素的尺寸相关。
再参考图4，通信层125包括处理器190、存储器195、调制器/解调器电路200以及天线205。在颗粒物计数器50的一种示例性结构中，通信层125包括数字连接无线模块，以允许颗粒物计数器50和第二设备之间进行通信。更具体地，通信层125从控制器100接收颗粒物尺寸信息，并如图1所示，通信层125可操作为将该信息无线发送给WAP20，或者如图2所示直接发送给ad-hoc拓扑中的DAS25。在一些结构中，通信层125可包括存储在存储器195中的网页设计，通信层125可操作为将颗粒物计数信息和/或(颗粒物计数器50的)状态信息与网页设计相结合，并传送结合后的信息。通信层125还接收信息和/或指令来操作颗粒物计数器50。例如，通信层125可接收来自于DAS25的颗粒物计数请求或者接收来自于计算机(如图1中示出的计算机)的状态请求。
图6是作为图4中示出的通信层125的替换结构的通信层125A的示意图。通信层125A包括处理器190和存储器195。通信层125A还包括用来与另一个设备或者网络进行通信的接线器，如RJ-45接线器210。在另外一种结构中，颗粒物计数器50可包括与控制器一体制造的通信层。然后，控制器将可操作为如关于控制器100和通信层125或125A的描述那样进行控制和通信。
图7是在图1和2中示出的DAS25的示意图。在示出的结构中，DAS25包括计算机系统215，计算机系统215具有处理器220、通信层225、存储器230、显示系统235和I/O层240。本文所述的计算机系统215是与颗粒物计数器50相关的计算机系统。然而，计算机系统215可以与其他设备(如图7中示出的传感设备)进行通信。该传感设备可包括温度传感器245、湿度传感器250以及压力传感器255。
参考图1，2和7，DAS25配置为与环境传感器15进行通信，从而发送如控制命令或者数据请求等信息，并接收如颗粒物计数和环境传感器15的状态等信息。在示出的结构中，DAS25包括被标识为驱动260的一组指令，驱动260被专门设计为对环境传感器15进行操作。例如，驱动260可获取由颗粒物计数器50采集的数据，并且可选地获取来自于其它传感器的数据，如温度传感器245、湿度传感器250和压力传感器255，并且可将数据发送到数据库用于存储。驱动260还可将数据传输到其能够被取回以用于进一步处理的存储单元。对DAS25的数据的处理可包括将数据与预设的阈值进行比较，并以对于用户来说很显著的方式将数据通过显示系统235进行显示。驱动260还可包括用于操作颗粒物计数器50的特定元件的指令。例如，驱动260可单独地操作并监控真空源75、光源115和显示系统130。
在图1和图2中示出的结构中，颗粒物计数系统10、40可包括颗粒物计数器50，其被标定为检测尺寸大于0.5微米的颗粒物。而且，具有驱动260的计算机系统215可被配置为将与颗粒物计数相关的数据移动到颗粒物计数器50中的特定存储地址，并从通信层125取回与网页信息结合的颗粒物计数相关的数据，并且用显示系统235显示所取回的数据。图8是由显示系统235产生的示例性信息显示265。信息显示265显示各种不同的信息，可包括系统信息270、状态信息275以及计数信息280。所示出的信息显示265的形式为由计算机系统215通过例如网络30访问的网页。因为，颗粒物计数器50的通信层125可包括网页设计信息，所以当颗粒物计数器50和计算机系统215处于如图2所示的ad-hoc拓扑中时，显示265可以采用如图8所示的网页形式。系统信息270是指颗粒物计数器50和网络连接的具体类型。状态信息275是指颗粒物计数器50的状态以及颗粒物计数器50的具体元件的状态，如光源115和真空源75。计数信息280是指颗粒物计数器50检测到的数据，如流速和颗粒物数目。
图9是存储在存储器175的某个存储位置的状态信息275的示意图。更具体地，状态信息275示出在第一存储地址285和第二存储地址290中，其中，每个地址都是16位的存储地址。对于显示状态信息275的计算机系统215来说，驱动260仅需要取回存储地址285、290中的信息。计算机系统215将存储地址285、290的特定位与颗粒物计数器50的相应元件的状态进行匹配，从而显示状态信息275(如光源正处于开还是关)。图10是包括多个存储器地址300的存储器175的示意图，存储器地址300专用于不同类型的计数和与颗粒物计数器50相关的信息(如状态信息)。具体参考计数信息280，驱动260从颗粒物计数器50的存储器175的特定存储地址(如存储地址12和13)中取回计数信息280。计算机系统215可操作为，在从存储器175中的专用存储地址取回计数后，显示计数信息280(如，尺寸大于0.5微米的颗粒物的数目)。因此，颗粒物的尺寸信息没有由颗粒物计数器50产生并发送。基于颗粒物计数器50的已知标定和存储器175中取回计数信息280的专用地址，显示系统235可以显示计数信息280和尺寸信息。类似地，可以从颗粒物计数器50的存储器175中的特定地址取回状态信息275。结果是，改善了颗粒物计数器50和计算机系统215之间的数据传输。
具体参考颗粒物计数器50的操作，在其它参数中，标定颗粒物计数器50，以建立要被检测的颗粒物的尺寸和流速。如上所述，颗粒物计数器50可被标定为检测两种尺寸的颗粒物(例如，尺寸大于0.5微米的颗粒物和尺寸大于5微米的颗粒物)。还将颗粒物计数器50标定为具有基本恒定的流速。例如，可将颗粒物计数器50标定为产生约为1ft3/min(大约28.3lt/min)的流速。在其他结构中，可将颗粒物计数器50标定为产生不同的流速，如25lt/min、50lt/min、75lt/min和100lt/min。基于已标定的流速，就可以确定颗粒物计数器50对洁净区的整个容积进行采样所需的时间。为了进行分析，建立预定的采样量，从而使得颗粒物计数能够被显示为流量标准单位(如1m3或者1ft3)的函数。因此，对于标定为产生1ft3/min流速的颗粒物计数器50来说，已确定，颗粒物计数器50可在约35.3分钟内对1m3的采样体积进行采样，并且在大约1分钟的时间内对1ft3的采样体积进行采样。
在示出的结构中，颗粒物计数器50进一步被设置为，以多个时间间隔对采样体积进行采样。更具体地，颗粒物计数器50被配置为，在60个时间间隔内对采样体积进行采样。因此，如果将采样体积建立为1m3，那么颗粒物计数器50可在大约35.3/60分钟内采样1/60m3。类似地，如果将采样体积建立为1ft3，那么颗粒物计数器50可在大约一秒内采样1/60ft3。基于颗粒物计数器50的应用实施和/或期望特征，其它结构可包括颗粒物计数器50被标定为以不同数目的时间间隔对整个采样体积进行采样。用时间间隔对采样体积进行采样将允许颗粒物计数器50在存储器175中存储与部分计数相关的信息。例如，存储器175可包括用于部分计数信息(例如，一个时间间隔内的颗粒物数目，或者在整个采样体积完成采样之前可由DAS25取回的总颗粒物计数，或者之前完成的采样的颗粒物计数)的专用存储地址(如存储地址300)。另外，采用时间间隔对采样体积进行采样将允许颗粒物计数器50包括操作特性，所述操作特性被定义为滚动次数，强制计数，以及故障检测/数据恢复。
滚动计数
滚动计数特征允许颗粒物计数器50为最近的采样体积确定并存储颗粒物计数。更具体地，滚动计数特征是通过颗粒物计数器50连续添加多个时间间隔的颗粒物计数而执行的。如上所述，一旦六十个时间间隔已经过去，则在预定的存储地址300处，整个采样体积的颗粒物计数是可用的。由于颗粒物计数器50对洁净区进行连续采样，所以颗粒物计数器50利用最后一个时间间隔内获得的颗粒物计数而丢弃由最早一个时间间隔获得的颗粒物计数，从而更新整个采样体积的颗粒物计数。因此，存储在与整个采样体积颗粒物计数相对应的存储地址中的颗粒物计数是在最近的采样体积过程中得到的计数。在所示出的结构中，在图10中标识为0和1的存储地址300对应于整个采样体积大于0.5微米的颗粒物的颗粒物计数。类似地，图10中标识为2和3的存储地址对应于整个采样体积大于5微米的颗粒物的颗粒物计数。
强制计数
强制计数特性允许DAS25使用颗粒物计数器50来测试故障条件下DAS的编程逻辑的操作。强制数目特性还测试由故障条件所触发的或者将从颗粒物计数器50获得的颗粒物数目与预定阈值进行比较所触发的报警系统(没有示出)。如图10所示，由数字26到51表示的存储地址300对应于存储在存储器175中的强制计数信息。更具体地，DAS25的驱动260包括命令颗粒物计数器从对强制计数信息专用的地址300中获取信息的指令，以及将信息拷贝(有时也称为移动)到在颗粒物计数器50的操作过程中存储实际的或检测到的信息的相应存储地址300的指令。然后如果DAS25正取回实际检测到的信息，则驱动260从存储器175中读入信息。在一个实例中，如果用户测试当采样体积的颗粒物计数大于预定阈值时报警的触发情况，则驱动260命令颗粒物计数器从对应于强制计数信息的存储地址300中获取计数，并且驱动260还命令颗粒物计数器将信息拷贝到在颗粒物计数器50的操作过程中存储颗粒物计数的存储地址300中，并且驱动260将信息取回至DAS25。当DAS25接收并处理强制计数信息而触发了报警，测试被认为是成功的。如图10所示，包括强制计数信息的每个存储地址300均具有包括了在颗粒物计数器50的操作过程中存储的信息的相应存储地址300。
可选地，不同于DAS的辅助计算机或者控制器(如图1示出的颗粒物计数系统10的计算机35)，可装配有可操作为控制颗粒物计数器并通过网络与颗粒物计数器进行通信的程序。在这种情况中，辅助计算机发送命令，以使得颗粒物计数器向测试状态下的DAS发送强制计数和状态信息。在此情况中测试DAS变成，而无需测试程序在DAS本身中运行。
故障检测/数据恢复
故障检测特性允许颗粒物计数器50提供准确而及时的计数信息。更具体地，颗粒物计数器50可检测故障条件并可对故障条件做出反应，使得颗粒物计数信息不会被损坏。颗粒物计数器50可检测诸如光源115的失效和气流的中断的故障条件。在发生故障条件的情况下，如图9所示的对应于状态信息275的存储地址得到了更新。因此，颗粒物计数器50丢弃了故障条件发生的时间间隔内获得的计数信息。一旦状态信息275表明故障条件不存在时，那么颗粒物计数器50用不再检测到故障条件的时间间隔内检测的计数更新总的颗粒物计数。这个过程允许颗粒物计数器50为整个采样体积的提供计数信息，而不必丢弃在检测到故障条件的情况下与该采样体积相对应的所有计数。例如，如果采样体积被确定为1ft3，并且在六十个时间间隔中的一个内检测到了故障条件，那么颗粒物计数器50可在大约61秒时间内提供整个采样体积的颗粒物计数(比没有检测到故障条件的情况增加了额外的一秒)。因此，丢弃在一个故障时间间隔内检测到的计数信息而不用丢弃为整个采样体积确定的颗粒物计数。
在以下的权利要求中提出了本发明的各种特征和优点。

Claims (27)

1.一种从环境传感器到远程数据采集系统对颗粒物计数信息进行通信的方法，所述方法包括：
产生来自于空间、通过所述环境传感器的流体流；
检测流体中的颗粒物；
在第一时间间隔内确定与检测到的颗粒物的数量有关的第一颗粒物计数；
在第二时间间隔内确定与检测到的颗粒物的数量有关的第二颗粒物计数；
基于所述第一颗粒物计数和所述第二颗粒物计数确定总颗粒物计数；以及
将所述总颗粒物计数从所述环境传感器到所述远程数据采集系统进行通信，所述通信动作包括对来自于所述环境传感器的所述总颗粒物计数进行无线通信。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述环境传感器包括真空源，并且产生所述流体流的步骤包括用所述真空源产生真空。
3.如权利要求1所述的方法，其中检测颗粒物的步骤包括：
用光源产生光束，并且
检测由流过所述环境传感器的至少一个颗粒物所导致的光束的散射。
4.如权利要求3所述的方法，其中检测颗粒物的步骤还包括：
基于对所述光束的散射的检测产生信号，
将所述信号与阈值进行比较，以及
确定是否所述信号与所述阈值具有关系。
5.如权利要求1所述的方法，其中确定第一颗粒物计数的步骤包括将所述第一时间间隔内检测到的颗粒物的特征值与数值进行比较，并且当比较结果满足关系时，增加所述第一颗粒物计数。
6.如权利要求1所述的方法，其中所述环境传感器包括存储器，其中所述方法还包括在地址处将所述总计数存储在所述存储器中，其中确定第一颗粒物计数的步骤包括用所述第一颗粒物计数更新所述地址处的所述总计数，并且用所述第二颗粒物计数更新所述地址处的所述总计数。
7.如权利要求1所述的方法，还包括在第三时间间隔内确定与检测到的颗粒物的数量有关的第三颗粒物计数，并且其中确定总颗粒物计数的步骤还基于所述第三颗粒物计数。
8.如权利要求7所述的方法，其中确定总颗粒物计数的步骤包括：
将所述第三颗粒物计数增加到所述总颗粒物计数中，并且
从所述总颗粒物计数中减去所述第一颗粒物计数。
9.如权利要求1所述的方法，其中确定总颗粒物计数的步骤包括：确定代表了在采样体积中颗粒物数量的计数，所述采样体积在多个时间间隔流过所述环境传感器。
10.如权利要求9所述的方法，还包括分别为多个时间间隔确定多个颗粒物计数，其中确定多个颗粒物计数的步骤包括确定第一颗粒物计数以及确定第二颗粒物计数，并且其中确定总颗粒物计数的步骤包括将在所述多个时间间隔的最后一个中由所述环境传感器计数得到的颗粒物数量增加到所述总颗粒物计数，并且确定总颗粒物计数的步骤还包括从所述总颗粒物计数中减去在用于所述总颗粒物计数的最早时间间隔内由所述环境传感器计数得到的颗粒物的数量。
11.如权利要求1所述的方法，其中对所述总颗粒物计数进行无线通信的步骤还包括：将所述总颗粒物计数与显示信息相结合。
12.如权利要求1所述的方法，其中对所述总颗粒物计数进行无线通信的步骤包括：将与所述总颗粒物计数相关的信号发送到无线接入点，其中所述无线接入点通过网络连接到所述远程数据采集系统。
13.如权利要求1所述的方法，其中所述环境传感器包括存储器，所述存储器在存储地址具有所述总颗粒物计数，其中所述方法还包括：所述数据采集系统显示所述总颗粒物计数和指示，基于所述计数存储在所述环境传感器中的存储地址，所述指示对应于由所述环境传感器计数得到的颗粒物特性。
14.一种颗粒物计数系统，包括：
远程数据采集系统；以及
环境传感器，放置在空间内，所述环境传感器包括：
入口和出口，从而使流体流从所述入口流至所述出口，
颗粒物检测部分，用于检测流体中的颗粒物，
控制器，连接至所述颗粒物检测部分，所述控制器被配置为在多个时间间隔内分别确定具有预定特性的颗粒物的多个计数，所述控制器还被配置为存储在一个时间间隔内检测到的多个计数中的至少一个，并且所述控制器还被配置为通过将滚动计数技术用于所述多个计数而连续更新总计数，以及
通信层，连接到所述控制器，以将计数通信至所述远程数据采集系统，所述通信层包括天线，以用于对计数进行无线通信。
15.如权利要求14所述的颗粒物计数系统，其中所述环境传感器还包括能够操作为在所述入口和所述出口之间产生所述流体流的真空源。
16.如权利要求15所述的颗粒物计数系统，其中所述真空源置于所述环境传感器内部的空间内，并且被连接到所述控制器。
17.如权利要求14所述的颗粒物计数系统，其中所述控制器包括存储器，以用于在第一存储地址存储在一个时间间隔内检测到的计数，并在第二存储地址存储总计数，其中所述控制器还被配置为利用在所述一个时间间隔内检测到的所述计数连续更新所述第一存储地址，并且其中所述控制器还被配置为利用所述总计数连续更新所述第二存储地址。
18.如权利要求14所述的颗粒物计数系统，其中所述总计数对应于采样体积中颗粒物的数目，所述采样体积是在多个时间间隔内流过所述环境传感器。
19.如权利要求14所述的颗粒物计数系统，其中所述控制器包括在存储地址具有所述总计数的存储器，并且其中所述控制器被配置为将表示采样体积中颗粒物数目的颗粒物计数存储在所述存储地址中，并利用表示采样体积中颗粒物数目的颗粒物计数更新所述存储地址，所述采样体积是在多个时间间隔内流过所述环境传感器。
20.如权利要求14所述的颗粒物计数系统，其中所述通信层包括显示信息，并且其中所述通信层能够操作为将所述总计数与所述显示信息相结合，并对与所述显示信息结合的所述总计数进行无线传输。
21.如权利要求20所述的颗粒物计数系统，其中所述控制器包括在存储地址具有所述总计数的存储器，其中所述远程数据采集系统显示与所述显示信息结合的所述总计数，并且其中与所述显示信息结合的所述总计数包括所述总计数和指示，基于所述总计数存储在所述环境传感器中的存储地址，所述指示对应于由所述环境传感器计数得到的颗粒物特性。
22.如权利要求14所述的颗粒物计数系统，还包括无线接入点，所述天线将计数通信至所述无线接入点，并且所述无线接入点被配置为通过网络将计数通信至所述远程数据采集系统。
23.一种环境传感器，适于放置在空间内，所述环境传感器包括：
入口和出口，使得流体流从所述入口移动至所述出口；
颗粒物检测部分，用于检测流体中的颗粒物；
控制器，连接到所述颗粒物检测部分，所述控制器被配置为确定多个颗粒物计数，每个颗粒物计数均表示在相应时间间隔内检测到的颗粒物数目，并且所述控制器被配置为确定代表在多个时间间隔内检测到的颗粒物的总颗粒物计数；以及
无线通信层，连接到所述控制器，以将所述总颗粒物计数和所述多个颗粒物计数中的至少一个无线传输。
24.如权利要求23所述的环境传感器，还包括真空源，其连接到所述控制器并能够操作为在所述入口和所述出口之间产生所述流体流。
25.如权利要求24所述的环境传感器，还包括存储器，用于在第一存储地址存储当前颗粒物计数，并在第二存储地址存储所述总计数，其中，所述控制器被配置为利用所述多个颗粒物计数中的当前计数更新所述当前颗粒物计数，并且所述控制器被配置为基于所述多个颗粒物计数的滚动计数技术更新所述总计数。
26.如权利要求24所述的环境传感器，其中所述通信层包括显示信息，并且其中所述通信层被配置为将所述多个颗粒物计数中的至少一个以及所述总颗粒物计数与所述显示信息相结合并无线传输。
27.如权利要求26所述的环境传感器，其中所述控制器包括在存储地址具有所述总颗粒物计数的存储器，其中所述远程数据采集系统显示与所述显示信息结合的所述总颗粒物计数，并且其中与所述显示信息结合的所述总颗粒物计数包括所述总颗粒物计数和指示，基于所述总颗粒物计数存储在所述环境传感器中的存储地址，所述指示对应于由所述环境传感器计数得到的颗粒物特性。
CN200880114662.4A 2007-09-04 2008-09-03 环境传感器、具有传感器的颗粒物计数系统及其操作方法 Pending CN101849176A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/849,421 2007-09-04
US11/849,421 US7724150B2 (en) 2007-09-04 2007-09-04 Environmental sensor, particle counting system having an environmental sensor, and methods of operating the same
PCT/US2008/075100 WO2009032833A1 (en) 2007-09-04 2008-09-03 Environmental sensor, particle counting system having an environmental sensor, and methods of operating the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101849176A true CN101849176A (zh) 2010-09-29

Family

ID=40406601

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200880114662.4A Pending CN101849176A (zh) 2007-09-04 2008-09-03 环境传感器、具有传感器的颗粒物计数系统及其操作方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7724150B2 (zh)
EP (1) EP2188617B1 (zh)
CN (1) CN101849176A (zh)
WO (1) WO2009032833A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106769727A (zh) * 2016-12-29 2017-05-31 江苏大学 一种尘埃粒子计数器人机交互系统及人机交互方法
CN114270165A (zh) * 2019-08-26 2022-04-01 粒子监测系统有限公司 触发式采样系统和方法

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7342660B2 (en) * 2003-09-25 2008-03-11 Deka Products Limited Partnership Detection system and method for aerosol delivery
US8370460B1 (en) * 2012-01-10 2013-02-05 Edgecast Networks, Inc. Optimizing multi-hit caching for long tail content
US10983040B2 (en) 2013-03-15 2021-04-20 Particles Plus, Inc. Particle counter with integrated bootloader
US11579072B2 (en) 2013-03-15 2023-02-14 Particles Plus, Inc. Personal air quality monitoring system
US10352844B2 (en) 2013-03-15 2019-07-16 Particles Plus, Inc. Multiple particle sensors in a particle counter
US9677990B2 (en) 2014-04-30 2017-06-13 Particles Plus, Inc. Particle counter with advanced features
JP2016128795A (ja) * 2015-01-09 2016-07-14 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 粒子測定装置、空気清浄機、及び、粒子測定方法
CN104502551B (zh) * 2015-01-20 2016-04-06 成都海兰天澄科技有限公司 测量空气中可吸入颗粒物的在线监测系统
US10151682B2 (en) * 2015-07-14 2018-12-11 Teilch Llc Airborne particle measuring device
US9857285B2 (en) 2015-12-17 2018-01-02 Venturedyne, Ltd. Environmental sensor and method of operating the same
US10557472B2 (en) 2015-12-17 2020-02-11 Venturedyne, Ltd. Environmental sensor and method of operating the same
US9983596B2 (en) 2015-12-17 2018-05-29 Venturedyne, Ltd. Environmental sensor and method of operating the same
WO2017106593A1 (en) 2015-12-17 2017-06-22 Venturedyne, Ltd. Environmental sensor and method of operating the same
US10054530B2 (en) * 2016-08-16 2018-08-21 General Electric Company Particle detection systems
EP3809114A4 (en) * 2018-06-13 2021-07-28 Sony Group Corporation ENVIRONMENTAL MEASURING DEVICE, INFORMATION PROCESSING DEVICE, INFORMATION PROCESSING SYSTEM, INFORMATION PROCESSING METHOD AND PROGRAM
US11988591B2 (en) 2020-07-01 2024-05-21 Particles Plus, Inc. Modular optical particle counter sensor and apparatus

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3936741A (en) * 1973-10-17 1976-02-03 Coulter Electronics, Inc. Method and apparatus for providing primary coincidence correction during particle analysis utilizing time generation techniques
US4220499A (en) * 1978-10-04 1980-09-02 Westvaco Corporation Method for determining the relative quantity of shives in a stream of fibrous particles
US5296910A (en) * 1992-10-05 1994-03-22 University Of Akransas Method and apparatus for particle analysis
US5467189A (en) * 1993-01-22 1995-11-14 Venturedyne, Ltd. Improved particle sensor and method for assaying a particle
EP0746752A4 (en) * 1993-08-19 2000-02-23 Venturedyne Ltd PARTICLE DETECTOR HAVING A LOW PRESSURE DROP AIR CIRCULATION SYSTEM
US5523743A (en) * 1995-04-13 1996-06-04 Digital Security Controls Ltd. Self-diagnostic smoke detector
EP0862733A4 (en) * 1995-11-20 2000-02-23 Venturedyne Ltd PARTICLE SENSOR WITH OPTICAL FIBER
US5825487A (en) * 1996-10-10 1998-10-20 Venturedyne, Ltd. Particle sensor with features for setting, adjusting and trimming the flow rate of the sampled air
US5767967A (en) * 1997-01-02 1998-06-16 Yufa; Aleksandr L. Method and device for precise counting and measuring the particulates and small bodies
US5870190A (en) * 1997-11-25 1999-02-09 Venturedyne, Ltd. Particle sensor and related method offering improved particle discrimination
US6346983B1 (en) * 1998-01-29 2002-02-12 Aleksandr L. Yufa Methods and wireless communicating particle counting and measuring apparatus
US6191853B1 (en) * 1998-09-29 2001-02-20 Horiba, Ltd. Apparatus for measuring particle size distribution and method for analyzing particle size distribution
US6487523B2 (en) * 1999-04-07 2002-11-26 Battelle Memorial Institute Model for spectral and chromatographic data
JP3919403B2 (ja) * 1999-11-10 2007-05-23 能美防災株式会社 光電式煙感知器
US6606582B1 (en) * 2000-03-27 2003-08-12 Seh America, Inc. Universal system, method and computer program product for collecting and processing process data including particle measurement data
US6490530B1 (en) * 2000-05-23 2002-12-03 Wyatt Technology Corporation Aerosol hazard characterization and early warning network
US7338168B2 (en) * 2001-07-06 2008-03-04 Palantyr Research, Llc Particle analyzing system and methodology
US6773932B2 (en) * 2001-11-30 2004-08-10 Seh America, Inc. System and method for collecting, storing, and displaying process data including particle measurement data
US7224825B2 (en) * 2002-04-18 2007-05-29 Lockheed Martin Corporation Detecting and identifying hazardous substances contained in mail articles
US20050219526A1 (en) * 2003-01-17 2005-10-06 Hong Peng Method and apparatus for monitoring biological substance
US20050151968A1 (en) * 2004-01-08 2005-07-14 The Lxt Group Systems and methods for continuous, on-line, real-time surveillance of particles in a fluid
US7111496B1 (en) * 2004-04-29 2006-09-26 Pedro Lilienfeld Methods and apparatus for monitoring a mass concentration of particulate matter
US7253743B2 (en) * 2005-02-07 2007-08-07 Cisco Technology, Inc. Techniques for identifying when to change an air filter
US7456961B2 (en) * 2005-04-14 2008-11-25 The Boeing Company Apparatus and method for detecting aerosol
US20060263925A1 (en) * 2005-05-10 2006-11-23 Chandler David L Ethernet-powered particle counting system
US7456960B2 (en) * 2005-06-06 2008-11-25 Particle Measuring Systems, Inc. Particle counter with improved image sensor array
US7647811B2 (en) * 2006-12-21 2010-01-19 Horiba Ltd. Solid particle counting system with valve to allow reduction of pressure pulse at particle counter when vacuum pump is started
US7895000B2 (en) * 2007-09-04 2011-02-22 Venturedyne, Ltd. Environmental sensor, particle counting system having an environmental sensor, and methods of operating the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106769727A (zh) * 2016-12-29 2017-05-31 江苏大学 一种尘埃粒子计数器人机交互系统及人机交互方法
CN114270165A (zh) * 2019-08-26 2022-04-01 粒子监测系统有限公司 触发式采样系统和方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009032833A1 (en) 2009-03-12
US7724150B2 (en) 2010-05-25
EP2188617A1 (en) 2010-05-26
US20090058668A1 (en) 2009-03-05
EP2188617A4 (en) 2013-06-05
EP2188617B1 (en) 2016-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101849176A (zh) 环境传感器、具有传感器的颗粒物计数系统及其操作方法
US7895000B2 (en) Environmental sensor, particle counting system having an environmental sensor, and methods of operating the same
EP2005765B1 (en) System and method for identification of process components
US20190250785A1 (en) Firmware design for facility navigation, and area and location data management of particle sampling and analysis instruments
KR100252215B1 (ko) 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법
CN104515544B (zh) 非侵入式传感器系统
US9120044B2 (en) Fume extraction
KR102374425B1 (ko) 프로그래밍가능한 논리 제어기 기반 시스템 및 제어된 환경에서 공기를 샘플링하기 위한 사용자 인터페이스
CN105612410A (zh) 用于监测流变学复杂流动的传感器
CN103425119B (zh) 测试系统、设备管理装置和车辆性能测试系统
RU2754389C2 (ru) Устройство для обнаружения жидкости с устройством беспроводной передачи данных
JP2013250695A (ja) プロセス監視システム及び方法
KR101914971B1 (ko) 환경 모니터링 및 계측 제어 장치
KR102335002B1 (ko) 모듈형 임베디드 환경 모니터링 시스템
US9794428B2 (en) Distributed sensing and video capture system and apparatus
US20210252443A1 (en) Air filter apparatus, system and method
KR20180009616A (ko) 센서융합 디바이스 및 이를 이용한 실험실 통합관리 시스템
KR101915236B1 (ko) 스마트 팩토리를 위한 통합 보안 관리 시스템
KR20170070643A (ko) 관리 장치 및 설비의 관리 방법
KR20170058934A (ko) 라벨링 프로세스를 모니터링하기 위한 방법 및 디바이스
KR200385681Y1 (ko) 전력감시 시스템의 하위 디지털계전기 자동 인식장치
CN114342426A (zh) 气流测量系统、通信模块
CN205844247U (zh) 一种智能化烟气成份检测系统
CN213041248U (zh) 一种基于陀螺仪传感器的激光气体遥测仪
CN109447198A (zh) 智能生成垃圾监管系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20100929