CN101818328A - 多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，所述多层复合太阳能选择性吸收镀层，包括设置在玻璃基底表面由内而外依次布置的金属铝红外反射层(1)，TiN氮化钛阻热扩散层(2)，TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3)，以其制备方法依次包括溅射沉积铝红外反射层(1)，TiN阻热扩散层(2)和TiNxOy选择性吸收层(3)为主要特征，还包括在选择性吸收层(3)表面反应溅射沉积Al2O3减反射保护层(4)。具有制备方法合理，制成品质量好，生产成本低等特点。

Description

多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法
技术领域
本发明涉及一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，属于太阳能光热转换技术装备的制造技术。
背景技术
本发明所述涉及的多层复合太阳能选择性吸收镀层，是布置在透明玻璃基底例如玻璃管外表面上的，用来有效提高太阳能吸收率，降低热扩散发射率的镀层。所述吸收镀层包括设置在玻璃基底表面且由内而外依次布置的红外反射层，阻热扩散层和选择性吸收层，由此构成三层复合结构。为了进一步降低所述选择性吸收镀层的反射率和提高其耐侯性能，还在所述选择性吸收层表面，设置Al2O3减反射保护层，由此构成四层复合结构。
所述多层复合太阳能选择性吸收镀层，由于其存在红反射层，阻热扩散层和减反射层，尤其是采用TiNxOy作为选择性吸收层，因而其太阳能吸收率可达≥96％，而其发射率在8％以下，且由于各层间金属的性能接近，因而所述吸收镀层的结构比较稳定，可在中温或高温(＞400℃)条件下，长期正常工作，而且使用寿命长。
有鉴于上述多层复合太阳能选择性吸收镀层，已有本申请人研发成功，并已申请了专利。为此，提供一种所述多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法很有必要。
发明内容
本发明旨在提供一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法。
本发明的技术方案是：
一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，所述多层复合太阳能选择性吸收镀层，包括设置在玻璃基底表面由内而外依次布置的金属铝红外反射层，TiN氮化钛阻热扩散层，TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层，其创新点在于，该所述吸收镀层的制备方法依次包括如下步骤：
a、将经预处理的玻璃基体置入磁控溅射镀膜机的真空镀膜室中，抽真空至8.5×10-3Pa后，通入氩气令真空镀膜室内压为0.1Pa，启动金属Al靶，在玻璃基体表面非反应溅射沉积金属铝红外反射层；
b、启动Ti靶，且在Ar气和N气二者的混合气体中，在金属铝红外反射层表面，反应溅射沉积TiN阻热扩散层；
c、启动Ti靶，且在Ar气、N气和O氧气三者的混合气体中，在TiN阻热扩散层表面，反应溅射沉积TiNxOy选择性吸收层；
所述金属铝红外反射层、TiN阻热扩散层和TiNxOy选择性吸收层三者的镀层厚度，可通过溅射沉积的时间来掌控；
所述TiNxOy选择性吸收层的TiNxOy中的N氮和O氧含量，可通过所述氩Ar气、N氮气和O氧气三者的混合气体中N氮和O氧的含量来掌控。实验结果显示，TiNxOy中O氧含量的适度增量，可有效提升TiNxOy选择性吸收层，对太阳能的吸收能力。本发明优选的TiNxOy是TiN0.7-1.0O1.0-1.4，即Ti∶N∶O＝1∶0.7～1.0∶1.0～1.4。所述比例是Ti、N、O的分子重量比。但并不排除所述Ti、N、O分子重量比之外的TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层。这是因为它们的吸收率均可达92％。
本发明还主张，当在所述TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层表面，反应溅射沉积Al2O3三氧化二铝减反射保护层时，所述Al2O3减反射保护层的溅射沉积，是采用中频孪生双靶磁控溅射技术，向真空镀膜室内通入Ar气和O气后启动铝靶，在TiNxOy选择性吸收层表面，反应溅射沉积Al2O3减反射保护层。所述Al2O3减反射保护层的存在，可以进一步降低所述氮氧化钛选择性吸收层的反射率及其耐高温和耐盐雾等耐侯性能。
本发明还主张，启动Al靶和Ti靶的直流电电压在400～600V范围内，电流在20～40A范围内。但不局限于此。
上述技术方案得以实施后，本发明所具有的制备方法合理，制成品质量好，生产成本低等特点是显而易见的。
附图说明
图1是本发明制成品的结构示意图。图中所示BJ为玻璃基底。
具体实施方式
具体实施方式之一，请参读附图1。
一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，所述多层复合太阳能选择性吸收镀层，包括设置在透明玻璃基底表面由内而外依次布置的金属铝红外反射层1，TiN氮化钛阻热扩散层2，TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层3，该所述吸收镀层的制备方法依次包括如下步骤：
将经预处理的玻璃基体置入磁控溅射镀膜机的真空镀膜室中，抽真空至8.5×10-3Pa后，通入氩气令真空镀膜室内压为0.1Pa，启动金属Al靶，在玻璃基体表面非反应溅射沉积金属铝红外反射层1，厚度为100nm；
启动Ti靶，且在Ar气和N气二者的混合气体中，在金属铝红外反射层1表面，反应溅射沉积TiN阻热扩散层2，厚度为10nm；
启动Ti靶，且在Ar气、N气和O氧气三者的混合气体中，且Ar∶N∶O＝1∶0.8∶0.1体积比；在TiN阻热扩散层2表面，反应溅射沉积TiNxOy选择性吸收层3，厚度为100nm；本发明由此构成三层结构。
所述金属铝红外反射层1、TiN阻热扩散层2和TiNxOy选择性吸收层3三者的镀层厚度，可通过溅射沉积的时间来掌控；
所述TiNxOy选择性吸收层3的TiNxOy中的N氮和O氧含量，可通过所述Ar氩气、N氮气和O氧气三者的混合气体中N氮和O氧的含量来掌控。而启动Al靶和Ti靶的直流电电压在400～600V范围内，电流在20～40A范围内。
具体实施方式之二，如附图1所示。
一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，所述多层复合太阳能选择性吸收镀层，包括设置在透明玻璃基底表面由内而外依次布置的金属铝红外反射层1，TiN氮化钛阻热扩散层2，TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层3，该所述吸收镀层的制备方法依次包括如下步骤：
将经预处理的玻璃基体置入磁控溅射镀膜机的真空镀膜室中，抽真空至8.5×10-3Pa后，通入氩气令真空镀膜室内压为0.1Pa，启动金属Al靶，在玻璃基体表面非反应溅射沉积金属铝红外反射层1，厚度为100nm；
启动Ti靶，且在Ar气和N气二者的混合气体中，在金属铝红外反射层1表面，反应溅射沉积TiN阻热扩散层2，厚度为10nm；
启动Ti靶，在Ar气、N气和O氧气三者的混合气体中，且Ar∶N∶O＝1∶0.8∶0.1(体积比)，在TiN阻热扩散层2表面，反应溅射沉积较高吸收率的TiNxOy选择性吸收层3-1，厚度为100nm；
增加O氧含量，使Ar∶N∶O＝1∶0.8∶0.5(体积比)，在较高吸收率的TiNxOy选择性吸收层3-1的表面，溅射沉积较低吸收率的TiNxOy选择性吸收层3-2，其厚度为70nm；
还包括在所述TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层3表面，反应溅射沉积Al2O3三氧化二铝减反射保护层4时；所述Al2O3减反射抗氧化保护层4的溅射沉积，是采用中频孪生双靶磁控溅射技术，向真空镀膜室内通入Ar气和O气，达到Ar∶O＝2∶1后启动铝靶，在TiNxOy选择性吸收层3表面，反应溅射沉积Al2O3减反射保护层4，其厚度为80～75nm；本发明由此构成五层结构。
启动Al靶和Ti靶的直流电电压在400～600V范围内，电流在20～40A范围内。
具体实施方式之三，参读附图1。
一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，在所述TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层3表面，溅射沉积有Al2O3减反射保护层4，除此之外，其它均如同具体实施方式之一。本发明由此构成四层结构。
本发明小试效果是十分理想的，其制成品外表面设有选择性吸收镀层的真空玻璃集热管的在机小试效果显示，其吸收率达96％，发射率＜8％，工作温度达到＞400℃。1000小时的例行试验，其所述吸收镀层结构稳定，未发现有受损问题。

Claims (3)

1.一种多层复合太阳能选择性吸收镀层的制备方法，所述多层复合太阳能选择性吸收镀层，包括设置在玻璃基底表面由内而外依次布置的金属铝红外反射层(1)，TiN氮化钛阻热扩散层(2)，TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3)，其特征在于，该所述吸收镀层的制备方法依次包括如下步骤：
a、将经预处理的玻璃基体置入磁控溅射镀膜机的真空镀膜室中，抽真空至8.5×10-3Pa后，通入氩气令真空镀膜室内压为0.1Pa，启动金属Al靶，在玻璃基体表面非反应溅射沉积金属铝红外反射层(1)；
b、启动Ti靶，且在Ar气和N气二者的混合气体中，在金属铝红外反射层(1)表面，反应溅射沉积TiN阻热扩散层(2)；
c、启动Ti靶，且在Ar气、N气和O氧气三者的混合气体中，在TiN阻热扩散层(2)表面，反应溅射沉积TiNxOy选择性吸收层(3)；
所述金属铝红外、反射层(1)、TiN阻热扩散层(2)和TiNxOy选择性吸收层(3)三者的镀层厚度，可通过溅射沉积的时间来掌控；
所述TiNxOy选择性吸收层(3)的TiNxOy中的N氮和O氧含量，可通过所述氩Ar气、N氮气和O氧气三者的混合气体中N氮和O氧的含量来掌控；
2.根据权利要求1所述的多层复合太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，当在所述TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3)表面，反应溅射沉积Al2O3三氧化二铝减反射保护层(4)时；所述Al2O3减反射保护层(4)的溅射沉积，是采用中频孪生双靶磁控溅射技术，向真空镀膜室内通入Ar气和O气后启动铝靶，在TiNxOy选择性吸收层(3)表面，反应溅射沉积Al2O3减反射保护层(4)。
3.根据权利要求1所述的多层复合太阳能选择性吸收涂层的制备方法，其特征在于，启动Al靶和Ti靶的直流电电压在400～600V范围内，电流在20～40A范围内。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102734964A (zh) * 2012-06-29 2012-10-17 苏州嘉言能源设备有限公司 槽式太阳能中高温集热器集热管
CN103029374A (zh) * 2011-09-30 2013-04-10 中国科学院大连化学物理研究所 一种中高温太阳能光热选择性吸收涂层
CN103162452A (zh) * 2013-03-05 2013-06-19 日出东方太阳能股份有限公司 抗氧化性太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
CN103234292A (zh) * 2013-04-27 2013-08-07 江苏夏博士节能工程股份有限公司 一种太阳能光热转换薄膜的膜系结构及其制备方法
CN103234294A (zh) * 2013-04-27 2013-08-07 江苏夏博士节能工程股份有限公司 中高温太阳能选择性吸收镀层的膜系结构及其制备方法
CN103882405A (zh) * 2012-12-20 2014-06-25 冯·阿德纳有限公司 起光学作用的带有透明覆盖层的层系统及其制造方法
CN104034072A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 中国建筑材料科学研究总院 太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法以及应用
CN104034073A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 中国建筑材料科学研究总院 咖啡色太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法和应用
CN104034071A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 中国建筑材料科学研究总院 暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法和应用
CN105568238A (zh) * 2015-12-30 2016-05-11 中国建材国际工程集团有限公司 具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法
CN106091446A (zh) * 2016-06-15 2016-11-09 中国科学院兰州化学物理研究所 一种氮化钛基太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
WO2020097811A1 (zh) * 2018-11-14 2020-05-22 香港科技大学深圳研究院 一种全陶瓷高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1056159A (zh) * 1991-06-18 1991-11-13 北京市太阳能研究所 太阳能选择性吸收膜及制备
WO1996009502A1 (de) * 1994-09-22 1996-03-28 Interpane Spektralselektive kollektorbeschichtung und verfahren zu ihrer herstellung
CN1159553A (zh) * 1995-06-19 1997-09-17 澳大利亚悉尼大学 太阳能选择性吸收表面涂层
CN1594647A (zh) * 2004-06-21 2005-03-16 朱德永 太阳光谱选择性吸收涂层的沉积方法
CN101240944A (zh) * 2008-02-21 2008-08-13 常州博士新能源科技有限公司 太阳平板集热器的板芯及其集热板选择性吸收膜的镀膜方法
EP1992716A1 (en) * 2006-03-03 2008-11-19 Shenzhen Commonpraise Solar Co., Ltd Light selectively absorbing layers and method for making the same
CN101408354A (zh) * 2008-11-27 2009-04-15 山东力诺新材料有限公司 太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1056159A (zh) * 1991-06-18 1991-11-13 北京市太阳能研究所 太阳能选择性吸收膜及制备
WO1996009502A1 (de) * 1994-09-22 1996-03-28 Interpane Spektralselektive kollektorbeschichtung und verfahren zu ihrer herstellung
CN1159553A (zh) * 1995-06-19 1997-09-17 澳大利亚悉尼大学 太阳能选择性吸收表面涂层
CN1594647A (zh) * 2004-06-21 2005-03-16 朱德永 太阳光谱选择性吸收涂层的沉积方法
EP1992716A1 (en) * 2006-03-03 2008-11-19 Shenzhen Commonpraise Solar Co., Ltd Light selectively absorbing layers and method for making the same
CN101240944A (zh) * 2008-02-21 2008-08-13 常州博士新能源科技有限公司 太阳平板集热器的板芯及其集热板选择性吸收膜的镀膜方法
CN101408354A (zh) * 2008-11-27 2009-04-15 山东力诺新材料有限公司 太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103029374A (zh) * 2011-09-30 2013-04-10 中国科学院大连化学物理研究所 一种中高温太阳能光热选择性吸收涂层
CN102734964A (zh) * 2012-06-29 2012-10-17 苏州嘉言能源设备有限公司 槽式太阳能中高温集热器集热管
CN103882405B (zh) * 2012-12-20 2015-10-28 冯·阿德纳有限公司 起光学作用的带有透明覆盖层的层系统及其制造方法
CN103882405A (zh) * 2012-12-20 2014-06-25 冯·阿德纳有限公司 起光学作用的带有透明覆盖层的层系统及其制造方法
CN103162452B (zh) * 2013-03-05 2015-04-15 日出东方太阳能股份有限公司 抗氧化性太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
CN103162452A (zh) * 2013-03-05 2013-06-19 日出东方太阳能股份有限公司 抗氧化性太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
CN104034072B (zh) * 2013-03-08 2016-04-27 中国建筑材料科学研究总院 太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法以及应用
CN104034073A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 中国建筑材料科学研究总院 咖啡色太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法和应用
CN104034071A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 中国建筑材料科学研究总院 暗绿色太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法和应用
CN104034072A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 中国建筑材料科学研究总院 太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法以及应用
CN104034073B (zh) * 2013-03-08 2017-07-14 中国建筑材料科学研究总院 咖啡色太阳能光谱选择性吸收涂层及其制备方法和应用
CN103234294B (zh) * 2013-04-27 2015-04-29 江苏夏博士节能工程股份有限公司 中高温太阳能选择性吸收镀层的膜系结构的制备方法
CN103234294A (zh) * 2013-04-27 2013-08-07 江苏夏博士节能工程股份有限公司 中高温太阳能选择性吸收镀层的膜系结构及其制备方法
CN103234292A (zh) * 2013-04-27 2013-08-07 江苏夏博士节能工程股份有限公司 一种太阳能光热转换薄膜的膜系结构及其制备方法
CN105568238A (zh) * 2015-12-30 2016-05-11 中国建材国际工程集团有限公司 具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法
CN105568238B (zh) * 2015-12-30 2020-11-13 中国建材国际工程集团有限公司 具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法
CN106091446A (zh) * 2016-06-15 2016-11-09 中国科学院兰州化学物理研究所 一种氮化钛基太阳能选择性吸收涂层及其制备方法
WO2020097811A1 (zh) * 2018-11-14 2020-05-22 香港科技大学深圳研究院 一种全陶瓷高温太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

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